Tps Compact
User Manual: tps-compact
Open the PDF directly: View PDF 
.
Page Count: 82
| Download | |
| Open PDF In Browser | View PDF |
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
TPS-compact
Models:
969-8217
969-8218
969-8219
969-8220
969-8221
969-8222
969-8223
969-8224
969-8225
969-8226
969-8227
969-8228
969-8229
969-8230
969-8231
969-8232
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR) ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL)
PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK)
NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
87-901-010-01
APRIL 2008
TPS-compact
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4
MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................8
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................11
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................15
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................18
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................22
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................25
BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................28
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................31
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................34
HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................37
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................40
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................44
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................47
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................50
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................53
TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................56
DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT ...................................................................................56
Turbopump Description .....................................................................................................56
Controller Description ........................................................................................................56
Control Panel Description ..................................................................................................56
Scroll Pump Description ....................................................................................................57
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................57
TPS-COMPACT OUTLINE ..........................................................................................................58
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................60
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................61
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................61
INTERCONNECTIONS................................................................................................................62
Input power connector .......................................................................................................62
P3 – Vent ...........................................................................................................................62
Gauge Connector ..............................................................................................................63
Pressure Display Module...................................................................................................63
J5 – IN-OUT.......................................................................................................................64
Signal description ..............................................................................................................64
J6 – Serial ..........................................................................................................................67
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................67
Communication Format .....................................................................................................67
Serial Communication Descriptions...................................................................................68
WINDOW PROTOCOL ................................................................................................................68
Description .........................................................................................................................68
Window Meanings .............................................................................................................70
SERVICE OPTIONS ....................................................................................................................71
Cleaning.............................................................................................................................72
Tip-Seal Replacement .......................................................................................................72
ORDERABLE PARTS ..................................................................................................................74
ISTRUZIONI PER L'USO
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una
rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
1/74
87-901-010-01
ISTRUZIONI PER L'USO
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il TPS-compact è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità mossa da un motore elettrico trifase ad alto
rendimento. Il TPS-compact è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono
un vuoto "pulito".
Il TPS-compact ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali
è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto
tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA
Il TPS-compact non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
INSTALLAZIONE
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a +70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare il sistema di pompaggio in ambienti
esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas
aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di
incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare il sistema di pompaggio in fabbrica.
Per ogni informazione, si prega di contattare il locale
rappresentante della Varian.
In presenza di campi elettromagnetici il sistema di pompaggio
deve essere protetto tramite opportuni schermi.
Il TPS-compact può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il TPS-compact in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio
asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il TPS-compact viene fornito in un imballo protettivo speciale;
se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi
verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il TPS-compact e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni.
2/74
87-901-010-01
ISTRUZIONI PER L'USO
Il LED blu “STATUS” posto sul pannello posteriore della base
del TPS-compact indica, con la frequenza del suo lampeggio,
le condizioni operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
“Waiting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.
FLANGIA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
TIPO DI MORSETTO
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto doppio
con filettatura M10
N.
COPPIA DI
SERRAGGIO
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del
TPS-compact vedere l'appendice "Technical Information".
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Arresto del TPS-compact
Per arrestare il TPS-compact è sufficiente mettere in posizione
OFF l'interruttore esterno. Il controller incorporato arresta
immediatamente il sistema di pompaggio.
NOTA
Arresto di Emergenza
Il TPS-compact non può essere fissato tramite la sua base.
Per arrestare in condizioni di emergenza il TPS-compact
occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o
spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
MANUTENZIONE
USO
Il TPS-compact non richiede alcuna manutenzione (ad
eccezione della sostituzione del Tip-seal). Qualsiasi intervento
deve essere eseguito da personale autorizzato.
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
PERICOLO!
Non far funzionare mai il sistema di pompaggio se la
turboflangia di ingresso non è collegata alla camera a vuoto o
non è chiusa con la flangia di chiusura.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian.
NOTA
PERICOLO!
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è
indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite
la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo
del sistema prima della spedizione.
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
PERICOLO!
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero
verificarsi danni alle persone o alle cose.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
ATTENZIONE!
SMALTIMENTO
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità
Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o
industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta
differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare
il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica
dei termini e condizioni contrattuali di vendita.
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare il sistema di pompaggio in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del TPS-compact
Per accendere il TPS-compact è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno. Il
controller incorporato riconosce automaticamente la presenza
dell’alimentazione ed avvia la pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione
della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal
Description" nel capitolo "Technical Information".
3/74
87-901-010-01
GEBRAUCHSANLEITUNG
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
4/74
87-901-010-01
GEBRAUCHSANLEITUNG
Modell TPS-compact ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle
weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.
Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell TPS-compact ist ein integriertes System, das aus
einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller
und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die
Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen,
nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben
wird. Modell TPS-compact enthält keinerlei umweltschädliche
Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die
ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell TPS-compact verfügt
des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer
über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
Modell TPS-compact kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
LAGERUNG
Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis +70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
INSTALLATION
ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei
Anschluß der Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Pumpensystem darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder
erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist das
Pumpensystemdie Pumpe entsprechend abzuschirmen.
Modell TPS-compact kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell TPS-compact ist stabil zu befestigen, indem
der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment
von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-
ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist das Pumpensystem an das
Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte
an den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell TPS-compact wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
5/74
87-901-010-01
GEBRAUCHSANLEITUNG
mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schellenarten angegeben.
FLANSCH
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
KLEMMSCHELLE
ANZ.
ANZUGSMOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Doppelschelle mit
Gewinde M10
Einschaltung und Gebrauch von Modell TPScompact
Zur Einschaltung des TPS-compact ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu
stellen. Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Information", nachschlagen.
Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell
TPS-compact gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
-
HINWEIS
-
Modell TPS-compact kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
-
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des TPScompact siehe im Anhang "Technical Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Stoppen von Modell TPS-compact
Zur Stillsetzung des TPS-compact ist der externe Schalter auf
die Schaltstellung OFF zu schalten. Der eingebaute Controller
sorgt für den sofortigen Stopp des Pumpensystems.
Not-Aus
GEFAHR!
Zur Notstillsetzung des TPS-compact ist der Netzstecker zu
ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
Das Pumpensystem darf nicht in Betrieb genommen werden,
wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen
ist.
WARTUNG
Das Modell TPS-compact erfordert keine Wartung (außer der
Austausch des Tip-seal). Eventuelle Eingriffe dürfen nur durch
autorisiertes Fachpersonal ausgeführt werden.
GEFAHR!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
GEFAHR!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager
könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen
Schaden zugefügt werden.
Bei Defekten kann der Varian Service.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
GEFAHR!
Wenn das Pumpensystem zur Förderung von giftigen, leicht
entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die
für das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen.
Das Pumpensystem darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
6/74
87-901-010-01
GEBRAUCHSANLEITUNG
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
7/74
87-901-010-01
MODE D’EMPLOI
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel!
8/74
87-901-010-01
MODE D’EMPLOI
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le TPS-compact
est
un
système
intégré,
constitué
d'une
pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe
primaire. Le système est à même de pomper tous les types de
gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au
pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de
pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée, mue par un moteur électrique triphasé à haut
rendement. Le TPS-compact est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre". Le TPS-compact est en
outre doté de connecteurs auxiliaires permettant de
commander la soupape de ventilation, de le piloter à distance à
l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne sérielle. Les
paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant
l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés
se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
ATTENTION!
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Le TPS-compact ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
NOTE
Les notes contiennent
extrapolés du texte.
des
renseignements
importants,
INSTALLATION
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter
les instructions suivantes:
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
• température: de –20 °C à +70 °C
• humidité relative: de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser le système de pompage dans des
milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige),
à la poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
- pression max.: 2 bars au-delà de la pression
atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, le système de pompage
doit être protégée à l'aide d'écrans appropriés.
Le TPS-compact peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, le système de
pompage doit être retournée en usine. Pour tout
renseignement, contacter le représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le TPS-compact est livré dans un emballage de protection spécial;
en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit
pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TPS-compact et à
ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
9/74
87-901-010-01
MODE D’EMPLOI
BRIDE
TYPE DE COLLIER
N.
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Collier double à filet M10
Collier double à filet M10
Collier double à filet M10
4
4
4
COUPLE DE
SERRAGE
22 Nm
22 Nm
22 Nm
-
clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du TPScompact, consulter l'appendice "Technical Information".
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
Arrêt du TPS-compact
Pour arrêter le TPS-compact, il suffit de placer l'interrupteur
extérieur sur OFF. Le contrôleur incorporé arrête
immédiatement le système de pompage.
NOTE
Le TPS-compact ne peut être fixé par sa base.
Arrêt d'urgence
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
Pour arrêter le TPS-compact en condition d'urgence,
débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer
l'interrupteur extérieur sur OFF.
UTILISATION
ENTRETIEN
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
Le TPS-compact n'exige aucun entretien particulier (à
l’exception du remplacement du Tip-seal). Toute intervention
doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner le système de pompage si la bride
d'entrée n'est pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas
fermée avec la bride de fermeture.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian.
DANGER!
NOTE
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,
remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la
fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel
d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
DANGER!
Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle
est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et
provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
ATTENTION!
MISE AU REBUT
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la
directive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la
Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il
est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures
ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer
par un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser le système de pompage en présence de gaz
explosifs.
Mise en marche et utilisation du TPS-compact
Pour allumer le TPS-compact, il suffit de le brancher au réseau
et de placer l'interrupteur extérieur sur ON. Le contrôleur
incorporé reconnaît automatiquement la présence de
l'alimentation et met la pompe en marche.
Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter
le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les
démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode
"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft
Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION"
dans le chapitre "Technical Information".
La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau arrière de la
base du TPS-compact indique, par sa fréquence de
clignotement, les conditions opérationnelles du système:
- allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
10/74
87-901-010-01
INSTRUCCIONES DE USO
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
11/74
87-901-010-01
INSTRUCCIONES DE USO
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el TPS-compact y de no someterlo a golpes o vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El TPS-compact es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene
mediante una turbina rotativa de alta velocidad movida por un
motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El TPS-compact no
posee absolutamente ningún agente contaminante, por lo que
es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’
“limpio”. Asimismo, el TPS-compact posee conectores
auxiliares con los que se puede gobernar la válvula de
ventilación y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host
conectado a través de línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos
que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
NOTA
ALMACENAMIENTO
El TPS-compact no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la
instalación en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y +70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
INSTALACIÓN
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar el sistema de bombeo en lugares expuestos
a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, el sistema de
bombeo ha de protegerse mediante pantallas adecuadas.
El TPS-compact puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el TPS-compact en posición estable conectando la brida
de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de
resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara
de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver el
sistema de bombeo al fabricante. Para mayores informaciones
al respecto, se ruega contactar con el representante local de
Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El TPS-compact se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
12/74
87-901-010-01
INSTRUCCIONES DE USO
tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de
mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas.
BRIDA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
TIPO DE MORDAZA
Mordaza doble con
rosca M10
Mordaza doble con
rosca M10
Mordaza doble con
rosca M10
N.
PAR DE APRIETE
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Encendido y Uso del TPS-compact
Para encender el TPS-compact basta conectar la tensión de
alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON.
El controlador incorporado reconoce automáticamente la
presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.
Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad
"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las
sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad
"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la
modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”
del capítulo “Technical Information”.
El LED azul “STATUS” situado en el panel trasero de la base
del TPS-compact indica, con la frecuencia de su parpadeo, las
condiciones operativas del sistema:
− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
− parpadea
lentamente
(período
de
400
ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
− parpadea
rápidamente
(período
de
200
ms
aproximadamente): situación de error.
Una descripción detallada del panel de control del TPScompact aparece en el apéndice "Technical Information".
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El TPS-compact no puede fijarse utilizando su base.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
Parada del TPS-compact
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
Para detener el TPS-compact basta disponer el interruptor
externo en posición OFF. El controlador incorporado detiene
inmediatamente el sistema de bombeo.
Parada de Emergencia
Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el
funcionamiento del TPS-compact, se deberá desenchufar el
cable de alimentación de la toma de red o disponer el
interruptor externo en posición OFF.
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca el sistema de bombeo si la brida de
entrada no está conectada a la cámara de vacío o no está
cerrada con la brida de cierre.
MANTENIMIENTO
El TPS-compact no necesita ningún mantenimiento (a
excepción de la sustitución del Tip-seal). Toda intervención
deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
Antes de realizar cualquier operación en el sistema,
desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en
presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar
hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura
superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
¡PELIGRO!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y
se podrían verificar daños a las personas o a las cosas.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian.
¡ATENCIÓN!
NOTA
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de
polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de
entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2
bares (por encima de la presión atmosférica).
¡PELIGRO!
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es
imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente
manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá
introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
¡PELIGRO!
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas. No usar el sistema de bombeo
cuando haya gases explosivos.
13/74
87-901-010-01
INSTRUCCIONES DE USO
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en
observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada.
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.
14/74
87-901-010-01
INSTRUÇÕES PARA O USO
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
15/74
87-901-010-01
INSTRUÇÕES PARA O USO
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O TPS-compact é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba
primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás
ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear
líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade movida por um motor eléctrico trifásico de alto
rendimento. O TPS-compact é totalmente isento de agentes
contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que
requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o TPS-compact tem conectores auxiliares através
dos quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo
por um controlo remoto através de um computer host
conectado por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos
estão descritas todas as informações necessárias para garantir
a segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
TPS-compact não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
INSTALAÇÃO
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
dos sistemas de bombagem Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a +70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar o sistema de bombeamento em
ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo,
neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com
possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, o sistema de
bombeamento deve ser protegida através de blindagens
adequadas.
TPS-compact pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a
aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o
número de grampos e o torque de aperto necessários.
ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar o sistema de bombeamento
para o fabricante. Para mais informações, contactar o
representante local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O TPS-compact é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o TPS-compact e para não submetê-lo a
choques ou vibrações.
16/74
87-901-010-01
INSTRUÇÕES PARA O USO
FLANGE
TIPO DE GRAMPO
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Grampo duplo
com rosca M10
Grampo duplo
com rosca M10
Grampo duplo
com rosca M10
N.
TORQUE DE
APERTO
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel traseiro da
base do TPS-compact, indica, através da frequência de
intermitência, as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando
do TPS-compact, consultar o apêndice "Technical Information".
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
Paragem do TPS-compact
Para parar o TPS-compact é suficiente colocar o interruptor
exterior na posição OFF. O controller incorporado pára
imediatamente o sistema de bombeamento.
NOTA
O TPS-compact não pode ser fixado por intermédio da sua
própria base.
Para a instalação dos
"Technical Information".
acessórios
opcionais,
Paragem de Emergência
Para parar em condições de emergência o TPS-compact é
necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede
de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição
OFF.
consultar
UTILIZAÇÃO
MANUTENÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
O TPS-compact não requer qualquer manutenção (com
excepção da substituição do Tip-seal). Todas as operações
devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Nunca activar o sistema de bombeamento se o flange de
entrada não estiver ligado à câmara de vácuo ou não estiver
fechado com o flange de fecho.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian.
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de
vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente
manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
PERIGO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos
e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas.
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
ATENÇÃO!
ELIMINAÇÃO
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
PERIGO!
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.
O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a
directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a
oportuna verificação dos termos e condições do contrato de
venda.
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar o sistema de
bombeamento na presença de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do TPS-compact
Para ligar o TPS-compact é suficiente conectá-lo à rede de
alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON.
O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de
alimentação e acciona a bomba.
Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável
utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do
controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a
modalidade "Soft Start". Para o procedimento de activação da
modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo
“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.
17/74
87-901-010-01
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
18/74
87-901-010-01
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het
apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk
voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De TPScompact is een geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire
pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een
primaire pomp bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of
gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het pompen
van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen
door een zeer snel draaiende turbine die aangedreven wordt door
een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TPScompact is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook
geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen.
De TPS-compact is bovendien van hulpconnectors voorzien
waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd, en
waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten host
computer op afstand kan worden bediend.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information”.
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
OPMERKING
De TPS-compact kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang
deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele
vervuiling door stof wordt voorkomen.
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
pompsystemen van Varian te garanderen, moeten de volgende
voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot +70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
INSTALLATIE
ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
Het pompsysteem mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden
in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet het
pompsysteem op passende wijze afgeschermd worden.
De TPS-compact kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de TPS-compact in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype,
het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee
ze vastgezet moeten worden.
ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
het pompsysteem weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor
meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De TPS-compact wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de TPS-compact niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
19/74
87-901-010-01
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
FLENS
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
KLEMTYPE
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
NR.
AANHAALKOPPEL
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Inschakeling en gebruik van de TPS-compact
Om de TPS-compact in te schakelen is het voldoende om
voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
stand ON te zetten. De ingebouwde controller herkent
automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp. Bij
de eerste inschakeling wordt aangeraden om de "Soft Start"
modaliteit te gebruiken, door deze op de controller te activeren.
Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de
"Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de
"Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het
hoofdstuk "Technical Information".
De blauwe “STATUS” LED op het achterpaneel van de basis
van de TPS-compact geeft door de frequentie van zijn
knipperen, de werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De TPS-compact kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het
bedieningspaneel van de TPS-compact de bijlage "Technical
Information".
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
Afzetten van de TPS-compact
Om de TPS-compact uit te schakelen is het voldoende om de
externe schakelaar in de stand OFF te zetten. De ingebouwde
controller stopt onmiddellijk het pompsysteem.
GEVAAR!
Noodstop
Om de TPS-compact onder noodomstandigheden uit te
schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden
gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden
gezet.
Laat het pompsysteem nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
GEVAAR!
ONDERHOUD
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
De TPS-compact is onderhoudsvrij (behalve de vervanging van
de Tip-seal). Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd
personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er
kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen
worden veroorzaakt.
ATTENTIE!
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian.
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor
worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór
versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik het pompsysteem niet in aanwezigheid van explosieve
gassen.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
20/74
87-901-010-01
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
AFVALVERWERKING
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.
Het
onderstaande
symbool
wordt
aangebracht
in
overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met
mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde
termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben
gecontroleerd.
21/74
87-901-010-01
BRUGSANVISNING
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
22/74
87-901-010-01
BRUGSANVISNING
VIGTIGT!
GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
TPS-compact systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til
høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed
og hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken
som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet
kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine.
Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj effekt.
TPS-compact er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor
egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
TPS-compact har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at
styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en
værtscomputer gennem seriel forbindelse.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er
nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i
forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Technical
Information” indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
VIGTIGT!
BEMÆRK
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TPS-compact.
Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil
den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i
pumpen.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
INSTALLATION
OPBEVARING
VIGTIGT!
For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Varian
pumpe-systemerne er det nødvendigt at overholde følgende
forskrifter:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
Installér og anvend ikke pumpeanlægget i miljøer, der udsættes
for påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp,
aggressive gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller
brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
VIGTIGT!
Hvis
pumpeanlægget
er
anbragt
i
nærheden
af
elektromagnetiske felter, skal den afskærmes.
TPS-compact kan installeres i en hvilken som helst position.
Fastgør TPS-compact i en stabil position ved at slutte
turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et
moment på 50 Nm omkring akselen.
Turbopumpen
med
ISO-indløbsflange
skal
tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig klemmetypen.
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpeanlægget tilbage til
fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den
lokale Varian repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
TPS-compact leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at TPS-compact ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
23/74
87-901-010-01
BRUGSANVISNING
FLANGE
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
KLEMMETYPE
ANT.
DREJNINGSMOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Dobbelt klemme med
M10 gevind
Dobbelt klemme med
M10 gevind
Dobbelt klemme med
M10 gevind
Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på bagpanelet på TPScompact’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i TPScompact henvises til bilaget "Technical Information".
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Technical Information” findes yderligere detaljer.
Stop af TPS-compact
Afbrydelse af TPS-compact sker ved blot at indstille den
udvendige afbryder i position OFF. Den indbyggede styreenhed
afbryder straks pumpeanlægget.
BEMÆRK
TPS-compact kan ikke fastgøres i fundamentet.
Nødstop
Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
Nødstop af TPS-compact sker ved at fjerne strømkablet fra
stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position
OFF.
ANVENDELSE
VEDLIGEHOLDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
TPS-compact behøver ikke nogen vedligeholdelse (med
undtagelse af Tip-seal pakningen). Ethvert indgreb skal
foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted.
ADVARSEL!
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal
“Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne
instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal
indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
ADVARSEL!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det
kan medføre skader på personer eller ting.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BORTSKAFFELSE
VIGTIGT!
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne.
Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det
såkaldte EU-direktiv "WEEE".
Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet,
som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra
private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres
på en godkendt affaldsstation.
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af
anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for
igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter
nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten.
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk).
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af TPS-compact
Tænding af TPS-compact sker ved blot at tilslutte strømmen og
indstille den udvendige afbryder i position ON. Den indbyggede
styreenhed registrerer øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen
startes.
Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette
sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det
anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse
med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til
tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal
Description” i kapitlet “Technical Information”.
24/74
87-901-010-01
BRUKSANVISNING
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
25/74
87-901-010-01
BRUKSANVISNING
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet TPS-compact består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och
en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla
typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet
för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin som
drivs av en elektrisk trefas högeffektmotor. Inga tillsatsämnen
används i TPS-compact, som därför passar för tillämpningar
som kräver ett "rent" vakuum.
TPS-compact har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt
att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med
hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell
förbindelse.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
VIKTIGT!
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
VIKTIGT!
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå.
OBSERVERA
Normal påverkan från atmosfären kan inte skada TPScompact. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad
tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det
kommer in damm eller annat i den.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
INSTALLATION
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
VIKTIGT!
Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Installera och/eller använd inte pumpsystemet i miljöer som
utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm,
aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig
miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 – 95% (utan kondens)
VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste
pumpsystemet skickas tillbaka till fabriken. Var god och
kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare
information.
I närvaro av magnetfält ska pumpsystemet skyddas med en
särskild skärm.
TPS-compact kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
ska
fästas
vid
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar,
nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
TPS-compact levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att TPS-compact inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
26/74
87-901-010-01
BRUKSANVISNING
FLÄNS
TYP AV KLAMMER
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
ANT.
ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Dubbel klammer,
gänga M10
Dubbel klammer,
gänga M10
Dubbel klammer,
gänga M10
Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelens bakpanel på
TPS-compact anger, genom frekvensen av dess blinkningar,
hur systemet fungerar:
- fast sken: pumpen roterar normalt;
- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for
interlock”;
- hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning
av kontrollpanelen för TPS-compact.
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
Att stänga av TPS-compact
Stäng av TPS-compact genom att placera den externa brytaren
i läge OFF. Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart
pumpsystemets funktion.
OBSERVERA
TPS-compact-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
Nödstopp
Installation av
Information".
Stäng av TPS-compact vid en nödsituation genom att dra ut
elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa
brytaren i läge OFF.
tillbehörsutrustning
beskrivs
i
"Technical
ANVÄNDNING
UNDERHÅLL
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
TPS-compact är underhållsfritt (förutom bytet av Tip-seal). Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpsystemet om intagsflänsen varken är
kopplad till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad.
OBSERVERA
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några
uppvärmningen för att undvika brännskador.
tillbehör
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga
dessutom en kopia av bladet med systemet.
under
VARNING!
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift.
Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på
föremål kan inträffa.
BORTSKAFFNING
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.
Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CDdirektivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans
med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
VIKTIGT!
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpsystemet i
närheten av explosiva gaser.
Start och användning av TPS-compact
Starta TPS-compact genom att slå till strömmen och placera
den externa brytaren i läge ON. Den inbyggda styrenheten
känner automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Vid den första starten rekommenderas det att aktivera
funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande
starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft
Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi
till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical
Information”.
27/74
87-901-010-01
BRUKERVEILEDNING
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylære Pumper
Turbomolekylærpumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
28/74
87-901-010-01
BRUKERVEILEDNING
GENERELL INFORMASJON
FORSIKTIG!
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
TPS-compact systemet består av en turbo-molekulær pumpe
for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og
en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass
eller gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker
eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin koplet til en
trefaset elektrisk motor. TPS-compact har ingen forurensende
stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene"
vakuum.
TPS-compact har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter
for styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med
en serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Technical Information".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TPScompact. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
INSTALLASJON
For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og
driftssikkerhet til pumpesystemet Varian, må en følge
forskriftene nedenfor:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til +70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen
turbopumpen koples til systemet.
skal
fjernes
først
når
Ikke installer eller bruk pumpesystemet i miljøer som utsettes
for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser,
eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpesystemet returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den
lokale Varian-forhandleren for informasjon.
Ved magnetfelt må pumpesystemet beskyttes av dertil egnede
skjermer.
TPS-compact kan monteres i en valgfri stilling. Fest TPScompact i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en
fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen.
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
TPS-compact leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når TPS-compact pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
29/74
87-901-010-01
BRUKERVEILEDNING
FLENS
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
TYPE KLEMME
Dobbel klemme,
gjenge M10
Dobbel klemme,
gjenge M10
Dobbel klemme,
gjenge M10
ANT.
STRAMME-MOMENT
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
-
-
den lyser fast: pumpen roterer normalt
den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Se vedlegget "Technical Information" for
beskrivelse av TPS-compacts kontrollpanel.
en
detaljert
Stoppe TPS-compact
For å stoppe TPS-compact er det nok å dreie den utvendige
bryteren til OFF. Den innebygde styreenheten stanser
pumpesystemet umiddelbart.
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Technical Information”.
Nødstopp
MERK
For å stoppe TPS-compact i en nødsituasjon er det nødvendig
å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den
utvendige bryteren til OFF.
TPS-compact må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical
Information".
VEDLIKEHOLD
TPS-compact er vedlikeholdsfri (bortsett fra utskifting av Tipseal). Alt arbeid på systemet må kun utføres av autorisert
personell.
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpesystemet hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians.
MERK
ADVARSEL!
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det
vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til
det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges
systemet som sendes tilbake.
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
ADVARSEL!
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå
skade på personer eller gjenstander.
KASSERING
Betydningen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene.
Symbolet som vises nedenunder, er anvendt i henhold til ECdirektivet kalt "WEEE".
Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det står på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering.
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan
være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
kassering etter å ha kontrollert avtaler og betingelser i
kjøpekontrakten.
FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpesystemet skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke TPS-compact
For å slå på TPS-compact er det nok å kople til strømmen og
dreie den utvendige bryteren til ON. Den innebygde
styreenheten detekterer strømforsyningen automatisk, og
sørger for å starte pumpen.
Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen
på styreenheten. For følgende starter anbefales det å
deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople
inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical
Information” under paragrafen “Signal Description”.
Det blå lysemitterende dioden ”STATUS” som befinner seg på
det bakre panelet til TPS-compacts base angir ved hjelp av
frekvensen på blinkingen, den operative situasjonen til
systemet:
30/74
87-901-010-01
KÄYTTÖOHJEET
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
31/74
87-901-010-01
KÄYTTÖOHJEET
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EYdirektiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä
tai
osittaisesta
laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista
toimenpiteistä
tai
kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TPS-compact on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu
valvojalla ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta
korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä
kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella pyörivän
turbiinin avulla, jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen
sähkömoottori. TPS-compact -järjestelmässä ei ole lainkaan
likaavia aineita, joten se soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä
vaativiin käyttötarpeisiin.
TPS-compact -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden
avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
TPS-compact ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman
kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,
kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen
mahdollinen pölysaastuminen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
ASENNUS
Noudata
seuraavassa
annettuja
ohjeita
Varian
pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan
takaamiseksi:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - +70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi
turbopumppu kytketään järjestelmään.
vasta,
kun
Pumppausjärjestelmää ei tule asentaa ja/tai käyttää
ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin säätekijöiden
(sateen, jään tai lumen), pölyjen tai aggressiivisten kaasujen
kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C.
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
HUOMIO!
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppausjärjestelmä
suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla.
TPS-compact voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnitä
TPS-compact
tukevaan
asentoon
kytkemällä
turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan,
joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri.
Turbopumppu
ISO-sisääntulolaipalla
tulee
kiinnittää
tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden
vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
Jos
varastointiaika
on
jostain
syystä
pidempi,
pumppausjärjestelmä tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja
paikalliselta Varian-edustajalta.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
TPS-compact toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TPScompact:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
32/74
87-901-010-01
KÄYTTÖOHJEET
LAIPPA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
KIINNIKE
MÄÄRÄ
KIRISTYSMOMENTTI
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
TPS-compact perustan takapaneeliin sijoitettu sininen
”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Ks. TPS-compactin ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus
liitteestä "Technical Information".
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä.
TPS-compact: n pysäyttäminen
Pysäytä TPS-compact asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumppausjärjestelmän
välittömästi.
HUOM
TPS-compact:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta.
Hätäpysäytys
Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista
varten.
Hätätilassa pysäytä TPS-compact irrottamalla sähköjohto
pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
KÄYTTÖ
HUOLTO
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
TPS-compact ei vaadi lainkaan huoltoa (tip-seal-tiivisteen
vaihtamista lukuun ottamatta). Mahdolliset toimenpiteet tulee
jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää, ellei sisääntulolaippaa
ole kytketty tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
VAARA!
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua.
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
VAARA!
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat
vahingoittua,
joka
saattaisi
johtaa
henkilötai
omaisuusvahinkoihin.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
HUOMIO!
HÄVITTÄMINEN
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa
ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi).
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle
alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine).
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys
Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEEdirektiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa
se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppausjärjestelmää räjähdysherkkien
kaasujen lähellä.
TPS-compact:n käynnistys ja käyttö
Käynnistä TPS-compact kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla
ulkokatkaisin ON-asentoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa
automaattisesti sähkövirran ja käynnistää pumpun.
Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa
käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal
Description” kappaleessa “Technical Information”.
33/74
87-901-010-01
ODHGIES CRHSHS
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
34/74
87-901-010-01
ODHGIES CRHSHS
GENIKES PLHROFORIES
Autˇ h suskeuˇ proor∂zetai gia epaggelmatikˇ crˇsh. O crˇsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceir∂diou kai opoiadˇpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuˇj. H Varian den
f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikˇ ˇ merikˇ aq◊thsh twn
odhgièn, thn akat£llhlh crˇsh ek m◊rouj anekpa∂deutou
proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ˇ crˇsh pou den
sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To TPS-compact e∂nai
◊na
oloklhrwm◊no
sÚsthma
apoteloÚmeno
apè
m∂a
strobilomoriakˇ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ
kenoÚ, oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktˇ (controller) kai apè
thn prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlˇsei
opoiodˇpote e∂doj aer∂ou ˇ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ˇ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlˇ tacÚthta kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè
hlektrikè kinhtˇra uyhlèn epidèsewn. To TPS-compact stere∂tai
pantelèj rupantikèn paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia
efarmog◊j oi opo∂ej apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè.
To TPS-compact ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetˇrej diam◊sou twn
opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h
kaqodˇghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host
sundem◊nou m◊sw seiriakˇj grammˇj.
Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristˇ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuˇj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
("Technical Information")
Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj
èrouj¿
PROSOCH
Gia na apofÚgete problˇmata apagwgˇj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenè.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ˇ £llh kat£llhlh prostas∂a.
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocˇ tou ceiristˇ se m∂a
diadikas∂a ˇ se m∂a eidikˇ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocˇj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuˇ.
SHMEIWSH
SHMEIWSH
To TPS-compact Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj
ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na
diathre∂te kleistˇ thn antl∂a m◊cri th stigmˇ thj egkat£stashj
sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè
skènh.
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apè to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Για να εγγυηθούµε το µέγιστο επίπεδο λειτουργικότητας και
αξιοπιστίας των συστηµάτων άντλησης Varian, πρέπει να
επισηµανθούν ται ακόλουθα:
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqˇkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exˇj periballontik◊j
sunqˇkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj +70 °C
• scetikˇ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqˇkeushj m∂aj strobilomoriakˇj antl∂aj e∂nai 10
mˇnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolˇj.
EGKATASTASH
PROSOCH
Xekollˇste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki
mèno th stigmˇ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
Το σύστηµα άντλησης de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ˇ na
crhsimopoihqe∂ se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj
par£gontej (brocˇ, p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj
èpou up£rcei k∂ndunoj ◊krhxhj ˇ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akèlouqej sunqˇkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikˇ p∂esh
qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikˇ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn το σύστηµα άντλησης
pr◊pei na prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata.
To TPS-compact mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadˇpote q◊sh.
Stereèste to TPS-compact se staqerˇ q◊sh enènontaj th fl£ntza
eisèdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerˇ kèntrofl£ntza ikanˇ
na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè ton £xon£ thj.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ˇ monèn dagk£nwn. H akèlouqh
tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto
ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na
sfictoÚn.
PROSOCH
E£n, gia opoiodˇpote lÒgo, o crÒnoj apoqˇkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete το σύστηµα άντλησης sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnˇsete
me thn topikˇ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To TPS-compact promhqeÚetai se m∂a eidikˇ prostateutikˇ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafˇ me to topikè tmˇma pwlˇsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocˇ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to TPS-compact
kai na mhn uposte∂ ctupˇmata ˇ donˇseij.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè
anakuklèènetai plˇrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
FLANTZA
EIDOS DAGKANHS
N.
ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 63
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
Diplˇ dagk£nh me
el∂kwsh M10
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
ISO 100 K
ISO 160 K
35/74
87-901-010-01
ODHGIES CRHSHS
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του TPS-compact
βλέπε την προσθήκη "Technical Information".
SHMEIWSH
Για την κράτηση του TPS-compact αρκεί να θέσετε στη θέση OFF
τον εξωτερικό διακόπτη. O enswmatwm◊noj elegktˇj stamat£
am◊swj το σύστηµα άντλησης.
Stam£thma tou TPS-compact
To TPS-compact den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του TPS-compact
χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα του
ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό διακόπτη στη
θέση OFF.
CRHSH
Se autˇn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiˇsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
SUNTHRHSH
To TPS-compact de crei£zetai kamm∂a suntˇrhsh (εκτός από την
αντικατάσταση τουTip-seal). Opoiadˇpote ep◊mbash pr◊pei na
g∂netai apè eidikeum◊no proswpikè.
KINDUNOS!
Mhn afˇnete pot◊ na leitourge∂ το σύστηµα άντλησης an h
fl£ntza eisèdou den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ˇ den
e∂nai kleistˇ me th fl£ntza kleis∂matoj.
KINDUNOS!
Prin epiceirˇsete opoiadˇpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikˇ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatˇsei
tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakˇ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C.
KINDUNOS!
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian.
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartˇmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlˇ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastˇ thn antl∂a gia episkeuˇ,
enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto
topikè Grafe∂o Pwlˇsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø
sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou
entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin
apè thn apostolˇ.
KINDUNOS!
Αποφύγετε συγκρούσεις ή µετατοπίσεις της αντλίας στροβίλου όταν
είναι σε λειτουργία. Τα ρουλεµάν µπορούν να φθαρούν και
ενδέχεται να παρουσιαστούν βλάβες σε άτοµα ή αντικείµενα.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsˇ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
PROSOCH
Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste
adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c.
vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ
prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn
atmosfairikhv pivesh).
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.
Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ.
που ονοµάζεται "WEEE".
Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής
Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο,
∆ΕΝ πρέπει να πεταχτεί µαζί µε κοινά οικιακά ή βιοµηχανικά
σκουπίδια, αλλά µε διαφοροποιηµένο τρόπο.
Γι΄αυτό, παρακαλούµε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή µε τον
πωλητή της συσκευής ή µε το εργοστάσιο σχετικά µε την εκκίνηση
της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης
του συµβολαίου πώλησης.
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ˇ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te το σύστηµα άντλησης parous∂a ekrhktikèn
aer∂wn.
/Enaush kai Crˇsh tou TPS-compact
Για το άναµµα του TPS-compact αρκεί να παρέχετε την τάση
τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη. O
enswmatwm◊noj elegktˇj anagnwr∂zei autom£twj thn parous∂a thj
trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh thn antl∂a.
Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start"
ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις
συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη
διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε
στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο
κεφάλαιο "Τechnical Information".
Το µπλε led «STATUS» που βρίσκεται στο πίσω πάνελ της βάσης του
TPS-compact δείχνει, µε συχνότητα αναλαµπών, τη λειτουργική
κατάσταση του συστήµατος:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikˇ peristrofˇ:
- anabosbˇnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai
se kat£stash an£bashj, ˇ epibr£dunshj, ˇ stop, ˇ "Waiting
for interlock".
- anabosbˇnei grˇgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqˇkh.
36/74
87-901-010-01
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
37/74
87-901-010-01
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A TPS-compact egy integrált rendszer turbómolekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina biztosítja. A TPS-compact
szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta”
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A TPS-compact fel van szerelve segédcsatlakozókkal a
ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell
vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Technical
Information” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
TPS-compact-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések
tartalmaznak.
a
szövegből
vett
fontos
információt
TÁROLÁS
TELEPÍTÉS
A Varian szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének
és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő
előírásokat:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - +70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
a
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyúzó rendszert
atmoszférikus közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég),
porban, agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyúzó
rendszert vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért
forduljon a helyi Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási
képviselethez.
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyúzó rendszert védeni
kell ferromágneses pajzs segítségével.
A TPS-compact-ot bármely helyzetben lehet telepíteni.
Rögzítse a TPS-compact-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva,
amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A TPS-compact-ot különleges védőcsomagolásban szállítják.
Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
38/74
87-901-010-01
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
KARIMA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
M10 kapcsok
M10 kapcsok
M10 kapcsok
N.
4
4
4
•
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
22 Nm
22 Nm
22 Nm
•
A TPS-compact vezérlőpanel
„Technical Information” függelék.
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Technical Information”.
A TPS-compact vészhelyzetben való azonnali leállításához el
kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
KARBANTARTÁS
A TPS-compact nem igényel karbantartást (kivéve a Tip-seal
cseréjét). A rendszeren végzett bármely munkát jogosult
személyzetnek kell elvégeznie.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a szivattyúzó rendszert, amikor a bemeneti
karima nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs
kiiktatva.
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
VIGYÁZAT!
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a
rendszercsomagba.
VIGYÁZAT!
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a
turbószivattyúhoz
működés
közben!
A
csapágyak
megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
FIGYELEM
MEGSEMMISÍTÉS
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
lásd
Vészleállítás
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Informationt”.
leírásáért
A TPS-compact kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI
állásba kapcsolni. A beépített vezérlő azonnal leállítja a
szivattyúzó rendszert.
ATPS-compact nem rögzíthető az alapján keresztül.
részletes
A TPS-compact kikapcsolása
MEGJEGYZÉS
lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése.
Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű
irányelvével összhangban kerül alkalmazásra.
Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen
megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari
hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív
hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani.
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás
beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy
egy viszonteladó.
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyúzó rendszert robbanó gázok
jelenlétében.
A TPS-compact bekapcsolása és használata
A TPS-compact bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni.
Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a tápfeszültség
jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Technical
Information” fejezetben.
A kék “STATUS” kijelző a villogás sűrűségével jelzi a rendszer
működési állapotát.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
39/74
87-901-010-01
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
40/74
87-901-010-01
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu TPS-compact ani
nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję
każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian
przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od
jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub
całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku
zastosowania odpowiednich norm krajowych.
TPS-compact jest zintegrowanym systemem składającym się z
pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra
wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy.
System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki
gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub
stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez
obrotową turbinę o wysokiej prędkości napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System TPScompact jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i
dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” próżnia.Poza tym, TPS-compact posiada
pomocnicze konektory poprzez które można sterować wentylator
vent, pilotować go zdalnie poprzez główny komputer podłączony
przez port szeregowy.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Technical Information”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia:
UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
UWAGA!
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
System TPS-compact, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
INSTALACJA
By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i
działania systemów pompujących Varian, powinny być
przestrzegane następujące zasady:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie
mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do +70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% (bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
UWAGA!
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
Nie instalować i / lub użytkować zespołu pompującego w
otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz,
mróz, śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach
wybuchowych lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura: od +5 °C do +35 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych zespół pompyjący musi
być odpowiednio zabezpieczony przez odpowiednie ekranowanie.
TPS-compact może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować TPS-compact w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 50 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana
do komory próżniowej poprzez podwójne lub pojedyncze zaciski.
UWAGA!
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać zespół pompujący do fabryki. W celu
jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z
miejscowym przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System TPS-compact jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których
mogłoby dojść
podczas
transportu,
należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
41/74
87-901-010-01
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu
zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich.
KOŁNIERZ
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
TYP ZACISKU
Nr.
MOMENT
DOKRĘCENIA
4
22 Nm
4
22 Nm
4
22 Nm
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Włączenie i obsługa systemu TPS-compact
Aby włączyć TPS-compact wystarczy dostarczyć napięcie
zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On.
Wbudowany sterownik tzw. kontroler automatycznie rozpozna
obecność zasilania i uruchomi pompę.
Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft
Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych
uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla
procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się
z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Technical
Information”.
Niebieska LAMPKA “STATUS” umieszczona na panelu tylnym
podstawy urządzenia TPS-compact częstotliwością swego
migania określa operatywne warunki systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Technical
Information”
INFORMACJA
System TPS-compact nie może być mocowany poprzez własną
podstawę.
Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego TPS-compact
należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Technical Information”.
Zatrzymanie TPS-compact
UŻYTKOWANIE
Aby zatrzymać TPS-compact wystarczy ustawić wyłącznik
zewnętrzny na pozycji OFF. Wbudowany sterownik zatrzyma
natychmiast zespół pompujący.
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia
elektryczne
i
pneumatyczne.
Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie alarmowym system TPS-compact,
należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub
ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
KONSERWACJA
Absolutnie nie wolno uruchamiać zespołu pompującego w
przypadku, gdy kołnierz wejściowy nie jest podłączony do
komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem zamknięcia.
System TPS-compact nie wymaga żadnej konserwacji
(z wyjątkiem wymiany Tip-seal). Jakakolwiek interwencja musi
być wykonana przez upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów
podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może
spowodować uszkodzenia ciała na osobach.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i
jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może
dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy.
W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego firmy Varian.
INFORMACJA
UWAGA!
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy
obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do
niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być
włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez
pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2
barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne).
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować zespołu pompującego w obecności gazów
wybuchowych.
42/74
87-901-010-01
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
PRZETWORSTWO ODPADOW
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
“WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
“WEEE” Unii Europejskiej.
Symbol
ten
(prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki
zroznicowanej .
Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.
43/74
87-901-010-01
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
44/74
87-901-010-01
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VAROVÁNÍ
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
TPS-compact je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína poháněná vysoce výkonným
trojfázovým elektromotorem. TPS-compact neobsahuje žádné
kontaminující látky a proto se hodí pro aplikace vyžadující
"čisté" vakuum.
TPS-compact je vybaven pomocnými konektory pro ovládání
odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí
hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
V normálním prostředí se vývěva TPS-compact nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
USKLADNĚNÍ
INSTALACE
Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti
vývěvových systémů Varian je třeba respektovat následující
předpisy:
•
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
•
Teplotní rozpětí : -20 °C až +70 °C
•
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
•
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
•
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
do
systému
Čerpací systém neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
čerpací systém musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u
místního zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
V přítomnosti magnetických polí se čerpací systém musí
chránit feromagnetickým stíněním.
Vývěvu TPS-compact lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
TPS-compact upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní
přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese
torzní moment 50 Nm kolem své osy.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
45/74
87-901-010-01
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
•
PŘÍRUBA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
Spony M10
Spony M10
Spony M10
POČET
4
4
4
UTAHOVACÍ
MOMENT
22 Nm
22 Nm
22 Nm
•
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy TPS-compact
v příloze "Technical Information.
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technical
Information".
Vypnutí vývěvy TPS-compact
Vývěvu TPS-compact stačí vypnout externím vypínačem, který
přepnete do vypnuté polohy. Vestavěný regulátor čerpací
systém okamžitě zastaví.
POZNÁMKA
Vývěvu TPS-compact nelze připevnit pomocí její podstavy.
Nouzové zastavení
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical
Information".
Pro okamžité zastavení vývěvy TPS-compact v nouzové situaci
je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo
vypnout síťový vypínač.
POUŽITÍ
ÚDRŽBA
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
Vývěva TPS-compact nevyžaduje žádnou údržbu (s výjimkou
výměny Tip-seal). Veškeré práce na tomto zařízení musí
provádět oprávněné osoby.
Čerpací systém nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POZNÁMKA
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
VÝSTRAHA!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy
během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také
ke zranění osob či škodám na věcech.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
VAROVÁNÍ
LIKVIDACE
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
VÝSTRAHA!
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným
"WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie)
určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován
společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale
je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí
být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
VÝSTRAHA!
Pokud používáte čerpací systém pro čerpání toxických,
hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím
požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy TPS-compact
Vývěvu TPS-compact stačí zapojit do sítě a pak zapnout
venkovní vypínač. Vestavěný regulátor automaticky rozezná
přítomnost síťového napětí a spustí vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technical
Information".
Modrá LED kontrolka „STATUS“ na zadním panelu základny
modelu TPS-compact ukazuje prostřednictvím rychlosti svého
blikání operační stav systému:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
46/74
87-901-010-01
NÁVOD K POUŽITIU
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
47/74
byť
prísne
87-901-010-01
NÁVOD K POUŽITIU
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom
súlade,
s týmito
pokynmi,
zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
TPS-compact je integrovaný systém s turbovývevou pre určený
pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum,
spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou
primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ
plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie
tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi
rýchla turbína, poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie TPS-compact neobsahuje
žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie,
vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie TPS-compact je vybavené prídavnými konektormi
pre kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové ovládanie z
osobného počítača pripojeného sériovou linkou.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technical Information“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
UPOZORNENIE!
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
UPOZORNENIE!
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže TPS-compact
poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích
sústav Varian, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny:
•
neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
•
rozsah teplôt: -20 °C až +70 °C
•
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
•
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej
vývevy vždy postupovať pomaly a postupne
•
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
INŠTALÁCIA
UPOZORNENIE!
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Čerpací systém neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí
vystavenom vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach,
korozívne plyny, ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde
existuje vysoké riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je
potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť čerpací systém
chránený feromagnetickým štítom.
Zariadenie TPS-compact môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite TPS-compact do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo
svojej osi.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca
tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet
svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment.
UPOZORNENIE!
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte čerpací systém do závodu, v ktorom bola
vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia
spoločnosti Varian pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie TPS-compact je dodané v špeciálnom ochrannom
obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
48/74
87-901-010-01
NÁVOD K POUŽITIU
PRÍRUBA
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
Svorky M10
Svorky M10
Svorky M10
4
4
4
•
UPEVŇOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
22 Nm
22 Nm
22 Nm
•
Podrobné informácie o kontrolnom paneli TPS-compactu sa
nachádzajú v dodatku „Technical Information“.
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technical Information“.
Vypnutie TPS-compactu
Pre vypnutie TPS-compactu stačí prepnutie vonkajšieho
vypínača do polohy OFF. Zabudovaný kontrolný modul čerpací
systém okamžite zastaví.
POZNÁMKA
TPS-compact nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
Núdzové zastavenie
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical
Information”.
Ak chcete zariadenie TPS-compact okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky
zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy
OFF.
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 şC.
ÚDRŽBA
Zariadenie TPS-compact nevyžaduje žiadnu údržbu (s
výnimkou výmeny Tip-seal). Akékoľvek úpravy a opravy
systému musí vykonať autorizovaný personál.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte čerpací systém, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
VAROVANIE!
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Varian.
POZNÁMKA
Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník
„Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
VAROVANIE!
Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a chráňte ju pred
nárazmi, aby nedošlo k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť
k úrazom alebo k majetkovým škodám.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
UPOZORNENIE!
LIKVIDÁCIA
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu,
častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí
byť nižší než 2 bary (pretlakové).
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
VAROVANIE!
Ak čerpací systém používate na vyčerpávanie toxických,
horľavých alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím
požadované postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
Zapnutie a použitie zariadenia TPS-compact
Pre zapnutie TPS-compactu stačí pripojenie k sieti a prepnutie
vonkajšieho vypínača do polohy ON. Zabudovaný kontrolný
modul automaticky rozpozná pripojenie k sieti a zapne vývevu.
Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý
sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa
odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní
režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole
“Technical Information”.
Modrá LED “STATUS”, umiestnená na zadnom paneli
zariadenia TPS-compact, signalizuje frekvenciou blikania
operatívne podmienky, v ktorých sa nachádza systém:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
49/74
87-901-010-01
NAVODILA ZA UPORABO
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
50/74
87-901-010-01
NAVODILA ZA UPORABO
SPLOŠNE INFORMACIJE
POZOR!
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
TPS-compact je integriran sistem s turbomolekularno črpalko
za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s
pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko
črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje
tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine,
ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni motor. TPS-compact
ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto«
vakuumiranje.
TPS-compact je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor na
odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomočjo
gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske
povezave.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Technical Information«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
POZOR!
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
OPOMBA
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati TPScompact-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler
je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s
prahom.
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti
črpalnih sistemov Varian, je potrebno upoštevati sledeča
pravila:
•
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
•
temperaturno območje: -20 °C do +70 °C
•
območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
•
Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
•
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
MONTAŽA
POZOR!
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Črpalni sistem nameščajte in uporabljajte samo odznotraj in v
nobenem primeru je ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno
na atmosferske agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali
v okoljih kjer obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je
treba spošotvati naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: od +5 °C od +35 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
POZOR!
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalni sistem vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
V prisotnosti magnetnih polje zaščite črpalni sistem s
feromagnetnim ščitom.
TPS-compact lahko namestite v poljuben položaj. TPScompact namestite v stabilem položaj tako, da povežete
vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki
lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval
ter potreben navor za pritrjevanje.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
TPS-compact je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
51/74
87-901-010-01
NAVODILA ZA UPORABO
•
PRIROBNICA
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
M10 držala
M10 držala
M10 držala
N.
NAVOR
4
4
4
22 Nm
22 Nm
22 Nm
•
Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Technical
Information«.
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information" .
Izklop TPS-compact-a
Za izklop TPS-compact-a je dovolj, da premaknete zunanje
stikalo v položaj OFF. Vgrajen kontroler takoj zaustavi črpalni
sistem.
OPOMBA
TPS-compact-a ni moč pritrditi s svojo osnovo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«.
Zaustavitev v sili
UPORABA
Za takojšenj izklop TPS-compact-a v sili je potrebno odstraniti
dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF.
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
VZDRŽEVANJE
TPS-compact ne potrebuje vzdrževanja (razen zamenjave Tipseal-a). Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano
osebje.
OPOZORILO!
Črpalnega sistema ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino,
počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska
temperatura črpalke pade pod 50 °C.
OPOZORILO!
V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni
center.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
OPOZORILO!
OPOMBA
Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje.
Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo
človeku in predmetom.
Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati
»Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter
ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate
kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
POZOR!
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu,
delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti
manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
ODLAGANJE OPADKOV
OPOZORILO!
Pomen znamke "WEEE" na etiketah.
Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod
imenom "WEEE".
Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti)
pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi
komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate
poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali
pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve
odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili
kupopordajne pogodbe.
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalnega sistema ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih
plinov.
Vklop in uporaba TPS-compact-a
Za vklop TPS-compact-a je dovolj, da priključite napetost in
premaknete zunanje stikalo v položaj ON. Vgrajen upravljalec
samodejno prepozna prisotnost napetosti in zažene črpalko.
Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki
ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je
priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo
načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju
»Technical Information«.
Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na zadnji plošči TPScompact kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne
pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
52/74
87-901-010-01
INSTRUCTIONS FOR USE
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
53/74
87-901-010-01
INSTRUCTIONS FOR USE
CAUTION
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The TPS-compact is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications
associated with its relevant controller and its primary pump.
The system can pump any type of gas or gas compound. It is
not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping
action is obtained through a high speed turbine driven by a
high-performance 3-phase electric motor. The TPS-compact is
free of contaminating agents and, therefore, is suitable for
applications requiring a "clean" vacuum.
The TPS-compact is equipped with auxiliary connectors to
control the vent valve, to be controlled from a remote site by
means of an host computer connected through a serial line.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the TPScompact. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is
installed in the system, thus preventing any form of pollution by
dust.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
INSTALLATION
STORAGE
CAUTION
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian pumping systems, the following guidelines
must be followed:
•
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
•
temperature range: -20 °C to +70 °C
•
relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
•
the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the
customer
•
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
Do not install or use the pumping system in an environment
exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust,
aggressive gases, or in explosive environments or those with a
high fire risk. During operation, the following environmental
conditions must be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
CAUTION
In the presence of magnetic fields the pumping system must be
protected using a ferromagnetic shield.
The TPS-compact can be installed in any position. Fix the TPScompact in a stable position connecting the inlet flange of the
turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a
torque of 50 Nm around its axis.
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each fixing device, the necessary number of
clamps or claws and the relevant fixing torque.
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pumping
system has to be returned to the factory. Please contact the
local Varian Vacuum Sales and Service representative for
informations.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The TPS-compact is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
FLANGE
ISO 63
ISO 100 K
ISO 160 K
54/74
FIXING DEVICE
M10 clamps
M10 clamps
M10 clamps
N.
4
4
4
FIXING TORQUE
22 Nm
22 Nm
22 Nm
87-901-010-01
INSTRUCTIONS FOR USE
See the appendix "Technical Information" for a detailed
description of the TPS-compact control panel.
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
TPS-compact Switching off
To switch off the TPS-compact it is sufficient to move the
external switch to OFF position. The integrated controller
immediately stops the pumping system.
NOTE
The TPS-compact cannot be fixed by means of its base.
Emergency Stop
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
To immediately stop the TPS-compact in an emergency
condition it is necessary to remove the supply cable from the
mains plug or moving the external switch to OFF position.
USE
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
MAINTENANCE
The TPS-compact does not require any maintenance (except
Tip-seal replacement). Any work performed on the system must
be carried out by authorized personnel.
WARNING!
Never use the pumping system when the turboinlet flange is not
connected to the vacuum chamber or is not blanked.
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center.
NOTE
WARNING!
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation. The bearings may become damaged and damages
to the persons or the things could be taken place.
Before returning the system to the constructor for repairs, the
"Health and Safety" sheet attached to this instruction manual
must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the
sheet must be inserted in the system package before shipping.
CAUTION
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
Use inert gas free from dust, particles or humidity (like
Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port
must be less than 2 bar (above atmospheric pressure).
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with the EC
WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the European
Community) indicates that the product it applies to must NOT
be disposed of together with ordinary domestic or industrial
waste but must be sent to a differentiated waste collection
system.
The end user is therefore invited to contact the supplier of the
device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the
collection and disposal process after checking the contractual
terms and conditions of sale.
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pumping system in presence of explosive
gases.
Switching on and Use of TPS-compact
To switch on the TPS-compact it is sufficient to supply the
mains and then move the external switch to ON position. The
integrated controller automatically recognizes the mains
presence and start up the pump.
At the first start up it is recommended to use the "Soft Start"
mode by enabling it on the controller. For the following start ups
it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the
"Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph
"Signal Description" in the chapter "Technical Information".
The blue LED “STATUS” located on the TPS-compact base
rear panel indicates with its flashing frequency the system
operating conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
55/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
rotor discs. These are fabricated in aluminium alloy.
During normal operation, the motor functions with
a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz
(TV81M) or 963 Hz (TV301). To reduce losses
during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial
voltage/frequency ratio.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm.
DESCRIPTION OF THE TPS-COMPACT
The TPS-compact pumping system consists of a
pump with an integrated controller and a forepump
and is available in sixteen models which differ in
the TPM size, high vacuum flange and voltage.
The models are:
P/N
969-8217
969-8218
969-8219
969-8220
969-8221
969-8222
969-8223
969-8224
TMP
TV81M
TV81M
TV81M
TV81M
TV301
TV301
TV301
TV301
Flange
KF40
CFF 2.75
ISO63
CFF 4.5
ISO100
CFF6
ISO160
CFF8
Foreline
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
3
3.6 m /h Scroll
Voltage
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
110V 60Hz
P/N
969-8225
969-8226
969-8227
969-8228
969-8229
969-8230
969-8231
969-8232
TMP
TV81M
TV81M
TV81M
TV81M
TV301
TV301
TV301
TV301
Flange
KF40
CFF 2.75
ISO63
CFF 4.5
ISO100
CFF6
ISO160
CFF8
Foreline
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
3
3.0m /h Scroll
Voltage
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
220V 50-60Hz
Controller Description
The integrated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output,
analog and input/output section, microprocessor
and digital section. The controller recognizes the
mains presence and converts the single phase AC
mains supply into a 3-phase, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection.
Control Panel Description
The following picture shows the TPS-compact control panel; the associated table lists the available
commands. For a detailed description see the following paragraphs.
Turbopump Description
The turbopump consists of a high frequency motor
driving a turbine fitted with many bladed stages
and Macrotorr stages. The turbine rotates in an
anticlockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have five different
angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages
are in the form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
CONTROL NAME
56/74
DESCRIPTION
J5 IN-OUT
Input-output connector to remote control
the TPS-compact
J6 SERIAL
Serial input-output connector to control
the TPS-compact via an RS 232 or RS
485 connection
STATUS
Blue LED to show the system operating
condition
P3 VENT
Connector to control the optional vent
valve
GAUGE
Connector to control external EyeSys
Gauge
ON-OFF switch
(not shown in the
picture)
It is located on the rear side of the system. It is the power supply switch.
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
Scroll Pump Description
The TPS-compact internal scroll creates vacuum
using a simple dual scroll mechanism in which one
of the nested scrolls orbits about the other, creating moving zones of captured gas.
Gas enters the scroll set at the perimeter and is
displaced and compressed toward the center hub
where it is exhausted.
TECHNICAL SPECIFICATION
Characteristic
TV301
TV81M
Pumping speed (l/s)
N2: 215 l/s
N2: 60 l/s
Base pressure*
Inlet flange
Rotational speed
-9
1x10 mbar (*) [CFF flanges]
-10
7.5x10 Torr (*) [CFF Flanges]
-8
1x10 mbar
[ISO Flanges]
-9
7.5 x 10 Torr
[ISO Flanges]
ISO 100, ISO 160,
CFF 6, CFF 8
KF 40, ISO 63,
CFF 2.75, CFF 4.5
56000 RPM
80000 RPM
Start-up time
15 s
Operating position
Any
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Noise level
55 dB (A) at 1 meter
Lubricant
permanent lubrication
Power supply
(Line type):
Input voltage:
Input frequency:
Max input power:
Protection fuse
Compliance with:
115 or 200–240 Vac
50 or 50 – 60 Hz
310 VA
115 or 200–240 Vac
50 or 50 – 60 Hz
260 VA
115 Vac: 4 A
220 Vac: 2.5 A
115 Vac: 5 A
220 Vac: 3 A
UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011 (Class A Group 1)
EN 61000/3/2
EN 61000/3/3
EN 61000/4/2
EN 61000/4/3
EN 61000/4/4
EN 61010-1
EN 1012-2
Installation category
II
Pollution degree
2
Power cable
115 Vac: USA plug 5 meters long
220 Vac: EU or UK plug 5 meters long
Serial communication (kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male
connector and a 9-pin D type female
connector, and software (optional)
Storage temperature
Weight kg (lbs)
- 20° C to + 70° C
19.1 (42.1)
16.7 (36.8)
* According to standard DIN 28 428, the base pressure
is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after
the completion of test dome bake-out, with a Turbopump
fitted with a ConFlat flange.
NOTE
When the TPS-compact has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the TPS-compact has reached the above mentioned temperature.
57/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
TPS-COMPACT OUTLINE
The following figure shows the TPS-compact outline. Dimensions are in mm.
PRESSURE
mBar
Torr
x10
PRESSURE
Pa
mBar
Torr
x10
Pa
TPS-compact
equipped with TV301
250
Pumping speed (l/s)
200
150
100
50
0
0,0001
0,001
0,01
0,1
Inlet Pressure (mbar)
Graph of pumping speed vs inlet pressure
58/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
TPS-compact
equipped with TV81M
70
Pumping speed (l/s)
60
50
40
30
20
10
0
0,0001
0,001
0,01
0,1
Inlet Pressure (mbar)
Graph of pumping speed vs inlet pressure
TPS-compact
TV301/TV81M - 14lt Pump Down
1,E+03
1,E+02
Pressure [mbar]
1,E+01
1,E+00
1,E-01
1,E-02
1,E-03
1,E-04
1,E-05
1,E-06
0
60
120
180
240
300
360
420
480
540
600
660
720
780
Time [sec]
TV301
TV81M
Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
59/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9300, 969-9309,
969-9302 and 969-9303 prevent the blades of the
pump from being damaged by debris greater than
0.7 mm diameter.
0.1 [2.50]
ISO 63 / CFF 2.75 / CFF 4.5
The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
2.76 [70.00]
0.35 [9.00]
The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange and pump with CFF flange
(dimensions are in inches [mm]).
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
KF 40
0.47 [12.00]
0.67 [17.00]
0.24 [6.00]
2.09 [53.00]
The screen can be mounted on each pump.
CFF 8"
ISO 160
CFF 6"
ISO 100
The screen can be removed as shown in the following figure.
DIMENSIONS: inches [mm]
60/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces
meet.
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS
61/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
INTERCONNECTIONS
P3 – Vent
Input power connector
The following figure show the input power connector.
Bipolar
switch
Line
GND
Line
Vent Connector
IEC320
connector
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve (available on request).
Fuses
The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line.
62/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
Vent Valve Diagram in “Auto” mode
Pressure gauge can be connected/disconnected
from the TPS-compact during normal operation.
Gauge Connector
TPS-compact is equipped with new generation
gauge reading card able to drive/read a Varian
“EyeSys Mini-IMG” gauge or a Varian Full Range
Gauge FRG-700.
The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement
instrument based on the inverted magnetron ion
gauge design (see orderable parts table).
The gauge pressure operation range goes from
6.6x10-3 mbar [5x10-3 Torr] to 6.6x10-9 mbar
[5x10-9 Torr] and its operation temperature range
goes from 0°C to 50°C [32°-122°F].
Gauge Connector
NOTE
The Mini-IMG gauge is intended for high vacuum
use, so with pressure above 50 mTorr the signal is
misinterpreted and a “false” pressure is displayed.
Use a transition gauge to understand if the reading
is really under 50 mTorr or not.
The FRG-700 Full Range Gauge is a combined
technologies gauge (Inverted Magnetron plus Pirani Gauge).
FRG-700 measure from 5x10-9 mbar to atmosphere (3.8x10-9 Torr to atmosphere) and its temperature range goes from 5°C to 55°C [41°-131°F].
Pressure Display Module
Pressure data is available on three independent
reading channels:
PRESSURE
1.
On-board display (data expressed in mbar,
Torr or Pa) – (see Pressure Display Module
picture)
2.
Serial communication line (Win 224)
3.
Analogical output.
mBar
Torr
Pa
x10
Pressure display module
63/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
This connector carries all the input and output signals to remote control the TPS-compact.
It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
PIN N.
EyeSys Mini-IMG gauge dimension
INPUT/
OUTPUT
SIGNAL NAME
1
START/STOP (+)
IN
2
START/STOP (-)
IN
3
INTERLOCK (+)
IN
4
INTERLOCK (-)
IN
5
SPEED SETTING (+)
IN
6
SPEED SETTING (-)
IN
7
SOFT START (+)
IN
8
SOFT START (-)
IN
9
+24 Vdc
10
NORMAL OUTPUT (relay)
Vmax = 125V
Imax = 30 mA
OUT
OUT
Imax = 200 mA
11
PROGRAMMABLE SET POINT
OUT
12
NORMAL OUTPUT
OUT
13
FAULT OUTPUT
OUT
14
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
15
•
GROUND
•
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. Without the supplied cover connector the
turbomolecular pump automatically starts, if you
want to stop the turbo-pump from outside, you
have to connect the START/STOP (+) signal to the
+24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin (this is the default configuration of
the cover connector).
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-) signal to the
GROUND pin; in this condition the pump is
stopped.
FRG-700 gauge dimension
J5 – IN-OUT
SOFT START: this input is used to provide a "soft
start" to the pump; in this condition the ramp-up
time could be up to 20 min.
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
64/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
Output: Temperature setting
100
90
80
Temperature (°C)
Excitation Frequency [Hz]
• amplitude: 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
• corresponding to a pump speed from 1100Hz
to 1350Hz (see the following diagram).
1400
1350
1300
70
60
50
40
30
20
1250
10
0
1200
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
9
10
Voltage (V)
1150
1100
1050
Output: Pressure setting
20
30
40
50
60
70
80
1,0E-01
Duty Cycle [%]
1,0E-02
Pressure (Torr)
1,0E-03
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power
or Temperature or Pressure) set by the user. The
default setting is the frequency (see the following
example diagram).
1,0E-04
1,0E-05
1,0E-06
1,0E-07
1,0E-08
1,0E-09
0
1
2
3
4
5
6
7
8
Voltage (V)
Output: Frequency setting
FAULT: this open collector output signal is ON
when a system fault condition is detected.
1350
1200
Frequency (Hz)
1050
900
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold.
The signal can be "high level active" (that is the
output is normally OFF and becomes ON when activated), or "low level active" (that is the output is
normally ON and becomes OFF when activated).
Moreover, if the reference quantity is the frequency
or the power or pressure drawn, it is possible to
set the hysteresis (in % of the threshold value) to
avoid bouncing.
750
600
450
300
150
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Voltage (V)
Output: Power setting
100
90
80
For example:
− reference quantity: frequency
− threshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: "high level"
Power (W)
70
60
50
40
30
20
10
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Voltage (V)
65/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
It is possible to delay the set point checking for a
programmable delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the
following default settings:
− reference quantity: frequency
− thereshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: high level
− delay time: 0 second
NOTE
The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the programmable feature.
How to connect the open collector input of the
controller
Here below there are the typical connections of the
open collector input of TPS-compact to an external
system. Two cases are considered:
1.
the customer supplies the 24 Vdc
2.
the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 30
mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available.
Case 2 with relay utilisation
Case 1
Case 2 with transistor utilisation
66/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the outputs of the controller
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector J6.
The communication protocol is the same (see the
structure below), but only the RS 485 manages the
address field. Therefore to enable the RS 485 is
necessary to select the type of communication as
well as the device address by means of the software.
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may be
connected e.g. a LED, a computer, etc., and the
related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point
signal on pins 11 and 9.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable
Connector examples:
Typical output connection 1
J6 – Serial
5
5
PC 2
2
3
3
CNT
TPS-COMPACT
RS 232 Connection
120Ω
½W
A+
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
TPS-compact.
PIN N.
PC HOST
(0)
BGnd
SIGNAL NAME
1
+5 V (OUT)
2
TX (RS232)
3
RX (RS232)
4
Not used
5
GND
6
A + (RS485)
7
Not used
8
B - (RS485)
9
Not used
A+
6
TPS-compact B- 8
(1)
Gnd
A+
5
6
TPS-compact B- 8
(2)
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation Software is available (optional).
Gnd
5
120Ω
½W
RS 485 Connection
67/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
2.
The communication port mating connector is supplied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or
equivalent 15-pin “D” type male connector).
the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
++++++
For example, the Transmit data signal from controller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa.
Consult the host computer’s instruction manual for
its serial port connections.
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the corresponding ASCII character.
NOTE
Varian cannot guarantee compliance with FCC
regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shround on the 0-subconnector.
The cable should be secured to the connector with
screws.
(Start of transmission) = 0x02
− (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
(Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485)
− (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
Serial Communication Descriptions
This unit can communicate by two different protocol:
− protocol (old system) “letter”
− “Window” protocol (new system).
These two protocols can be used as well with 232
or 485 media.
NOTE
Please use “Window” protocol for new development.
DATA TYPE
FIELD
LENGTH
Logic (L)
1
‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N)
6
‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified
with ‘0’
Alphanumeric (A)
10
from blank to ‘_’ (ASCII)
WINDOW PROTOCOL
Description
Communication Format
• 8 data bit
VALID
CHARACTERS
− (End of transmission) = 0x03
− = XOR of all characters subsequent to
and including the terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE
type.
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Host = MASTER
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS .
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC
to the controller (SLAVE);
68/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
The controller can answer with the following response types;
RESPONSE
LENGTH
RESPONSE
VALUE
Logic
1 byte
-
After a read instruction of a logic window
Numeric
6 bytes
-
After a read instruction of a numeric window
Alphanumeric
10 bytes
-
After a read instruction of an alphanumeric window
ACK
1 byte
(0x6)
The command execution has been successfully completed
NACK
1 byte
(0x15)
The command execution has been failed
Unknown Window
1 byte
(0x32)
The specified window in the command is not a valid window
Data Type Error
1 byte
(0x33)
The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is
not accorded with the specified Window
Out of Range
1 byte
(0x34)
The value expressed during a write command is out of range value of the
specified window
Win Disabled
1 byte
(0x35)
The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you
can’t write the Soft Start when the Pump is running)
RESPONSE TYPE
DESCRIPTION
Examples:
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02
80
30
STX ADDR
30
02
30
WINDOW
31
31
03
WR
ON
ETX
42
33
80
06
03
STX ADDR ACK ETX
80
30
STX ADDR
30
02
38
35
80
03
STX ADDR ACK ETX
02
80
31
30
30
31
WR
30
03
OFF ETX
42
32
80
06
03
42
33
CRC
80
06
03
38
35
CRC
02
83
STX
ADDR
32
30
35
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
37
CRC
CRC
02
38
35
83
32 30 35 30 30 30 30 30 30 03
STX ADDR WINDOW
DATA (STATUS)
38
ETX
37
CRC
CRC
Command: READ SERIAL TYPE
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485
mode)
30
31
31
03
WR
ON
ETX
42
32
CRC
Source: Controller
Destination: PC
02
03
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
WINDOW
STX ADDR ACK ETX
30
OFF ETX
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
STX ADDR
31
WR
CRC
WINDOW
06
30
STX ADDR ACK ETX
Source: Controller
Destination: PC
02
30
WINDOW
Source: Controller
Destination: PC
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02
31
CRC
Source: Controller
Destination: PC
02
80
STX ADDR
02
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
31
CRC
Source: Controller
Destination: PC
38
35
CRC
69/74
02
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
31
03
RD DATA ETX
42
30
CRC
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
Window Meanings
N.
000
Read/
Write
Data
Type
Description
Admitted
Values
R/W
L
Start/Stop
(in remote/
mode the window is a read
only)
Start = 1
Stop = 0
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
Admitted
Values
111
R/W
L
Analog output type:
output voltage signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
(default = 1)
2 = Pump
temperature
3 = Pressure
001
R/W
L
Low Speed
Activation (in
remote/ mode
the window is
a read only)
No = 0
Yes = 1
(default = 0)
117
R/W
N
Low Speed
frequency
(Hz)
1100 to “Maximum rotational
frequency”
(win 120)
(default = 1100)
008
R/W
L
Remote
or Serial configuration
Remote = 1
Serial = 0
120
R/W
N
Rotational
frequency
setting (Hz)
1100 to 1350
(default = 1350)
Soft Start
(write only
in Stop
condition)
YES = 1
NO = 0
122
R/W
L
Set vent
valve on/off
0 = Closed
1 = Open
0 = Frequency
1 = Power
2 = Time
3 = Normal
4 =Pressure
(default = 0)
125
R/W
L
Set the vent
valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
Vent valve
opening delay
(expressed in
0.2 sec)
0 to 65535
100
101
102
103
104
105
R/W
R/W
R/W
R/W
R/W
R/W
L
N
N
N
L
N
R1 Set Point
type
(default = 1)
(default = 1)
R1 Set Point
valve
(expressed in
Hz, W or s)
(default = 867)
Set Point delay: time between the
pump start and
the set point
check (seconds)
0 to 999999
Set Point signal activation
type: the signal
can be "high
level active" or
"low level active"
0 = high level active
1 = low level active
Set point
hysteresis
(in % of value)
0 to 100
(default = 2)
Water cooling
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
107
R/W
L
Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
Baud rate
600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109
W
L
110
R/W
L
147
(default = 0)
L
N
N
R/W
N
(default = 0)
R/W
R/W
R/W
(corresponding to
0 to 13107 sec)
(default = 15)
106
108
126
On command = 1
(see note 2.)
To reset write ‘1’
Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
70/74
0 = infinite
1 bit = 0.2 sec
watt
155
R
N
Power limit
applied
Read the
maximum
allowable
power
157
R/W
N
161
R/W
N
Gas load
type
Select the
gas load to
the pump
Pressure
Reading Connection Factor
Table A1 Appendix A EyeSys Manual
162
R/W
A
R1 Set Point
Pressure
Valve
Valid if Win.
101 = 4
Format X.X
E. XX
Where X = 0
to 9
s = + or -
163
R/W
N
Pressure unit
of measure
(default = 0)
Pump life/
cycle time/
cycle number
reset
Vent open
time
See “vent
connector”
paragraph
1 to 65535
Ø = N2
1 = Ar
0 to 10
0=0
10 = 1 = N2
0 = mBar
1 = Pa
2 = Torr
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
167
R/W
A
Stop speed
reading
Activates /
deactivates
the pump
speed reading after Stop
command
200
R
N
Admitted
Values
0 = disable
1 = enable
(default = 0)
N
Pump voltage in Vdc
216
R
N
Controller Air
Temperature
(°C).
224
R
A
Pressure
reading
Format = X.X
E XX
226
R
N
Rotation Frequency (rpm)
300
R
N
Cycle time in
minutes (zeroed by the
reset command)
0 to 999999
Cycle number (zeroed
by the reset
command)
0 to 9999
Pump life in
hours (zeroed by the
reset command)
0 to 999999
302
310
to
347
R
N
N
503
R/W
N
R/W
L
Description
Admitted
Values
RS 485 address
0 to 31
Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the vent valve is opened with a delay
defined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3. These commands remove the pump motor
supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping.
0 to 70
7
6
5
TOO HIGH LOAD
SHORT CIRCUIT
OVERVOLTAGE
4
3
2
1
0
NO CONNECTION
PUMP OVERTEMP.
CONTROLL. OVERTEMP.
Window N. 206 Bit Description
Reserved to Varian service
358
R/W
N
Tip-seal life
(R)
Tip-seal life
reset (W)
0 = reset
400
R
A
CRC
EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
401
R
A
Boot CRC
(BL)
BL2XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402
R
A
CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404
R
A
CRC Parameter
structure
"XXXX"
406
R
A
Program Listing Code
"XXXXXXXXXX"
407
R
A
Parameter
Listing Code
"XXXXXXXXXX"
500
Data
Type
504
Pump current
in mA dc
R
R
Read/
Write
(default = 0)
201
301
N.
SERVICE OPTIONS
Varian pumping systems will provide many years
of trouble-free operation if the maintenance procedures are observed.
Pumping System cleaning and internal scroll pump
tip seal replacement are recommended when
Pumping System TMP adsorbed current (with
blanked inlet flange) has risen to an unacceptably
high level (>500mA) or when the message “TIPSEAL SERV” appears on the TPS-compact front
side display.
The warning message appears after 5000h of operation.
If your TPS-compact exhibits humming or grinding
noises from the scroll pump, a major overhaul
should be done by Varian Vacuum Technologies.
Advance exchange TPS-compact are available to
minimize downtime.
The parts needed for Tip-Seal replacement on the
internal scroll pump are available in the kit described in Orderable parts Table. This kit contains
seals and O-rings, and can be obtained from your
Varian dealer.
Reserved to Varian service
71/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
To remove the worn tip-seals:
Disconnect the TPS-compact from electrical
power.
Unlock the scroll pump support by unscrewing the
screws (A) (see the “Tip-Seal replacement - Figure A”)
1. Lift the TPS-compact in order to access the
Scroll pump site (you’ll hear a “click” noise as
soon as the upper part of TPS-compact is
locked).
Cleaning
Exterior
The exterior surfaces of the TPS-compact may be
cleaned with mild detergents only.
Interior
Internal dry scroll pump do not contain fluid for the
cleansing of accumulated dust and debris. Run the
pump periodically at atmosphere for a minute or
two to flush it out.
Tip-Seal Replacement
The parts and tools required to replace Tip-Seals
are listed below:
- Tip-Seal Replacement Kit P/N IDP3TS
- 4 mm Allen wrench
- Razor blade or side-cutting pliers
- Compressed air (optional)
2.
Remove (4) M5 socket head bolts (B).
3.
Remove the outboard housing axially off the
frame (C).
4.
Remove and discard the worn tip seals (D)
and the main O-ring.
5.
If compressed air is available, blow any remaining seal debris off the scroll parts. If seal
debris is attached to the sides, use a razor or
Exacto knife to scrape the debris off.
To install the new seals and O-rings:
1. Unpack the Tip-Seals.
Two tip seals are provided in the kit; one fits
the orbiting scroll and the other fits the outboard housing scroll.
2. Install the correct tip seal into the groove of the
orbiting scroll by:
a. Facing the white plastic surface upwards
and inserting the foam backing into the
groove. Start from the center and work
outward.
Tip-Seal replacement - Figure A
b. Cutting the tip seal off about 1/8" (3 mm)
from the outer end of the groove.
3. Install the correct tip seal into the groove of the
outboard housing scroll as in step 3.
4. Place the new main O-ring into the groove in
the frame.
5. Ensure that the groove is clean.
6. Ensure the sealing face of the outboard housing is clean. Carefully replace the outboard
housing by lining up the locating pins. Ensure
the tip seal has not fallen out of its groove.
Tip-Seal replacement - Figure B
7. Reinstall (4) M5 bolts (B) and torque the (4)
M5 bolts to 5.6 N-m (50 in-lb).
8. Unlock the upper part of TPS-compact by sliding the small lever you can find on the bottom
side of TPS-compact.
9. Reconnect the TPS-compact to the electrical
power mains.
10. Disable the “TIP-SEAL SERV” warning message by serial interface. To disable the Tipseal Service message you have to reset the
Tip-seal hour-meter (Win 358). Write a “0” on
the window 358. The message will be showed
Tip-Seal replacement - Figure C
72/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
again after 5000 h of operation. To check the
Tip-seal life you have just to read the Win 358.
cates that the tip seal or main O-ring are possibly out of place.
WARNING!
If dangerous gases were being pumped, flush the
pump with air or inert gas for at least 10 minutes
prior to disassembly.
2.
Disassemble and repair as necessary.
3.
The pump is now ready to return to service.
NOTE
Newly installed tip seals may require several hours
of run time to seat properly and enable the pump
to meet speed and base pressure specifications.
To test the pumping system:
1. Run the TPS-compact for about 5 seconds.
Verify that the front fan is running. If you hear
loud noises from the Scroll pump this indi-
Troubleshooting Chart
Problem
TMP doesn’t
reach NORMAL
OPERATION
System will not
start
Poor ultimate
pressure
Possible Causes
Corrective Actions
Scroll Pump motor thermal protector open
Vacuum system leak
Excessive voltage drop
Fuses burnt-out
Vacuum system leak
Water in TPS-compact
Solvent in pump
Scroll Pump seals worn out
Poor conductance to TPS-compact
Hammering noise
Scroll pump overheated
Debris in Scroll pump
Internal Scroll
Pump runs intermittently
*
Motor thermal protector is cycling
open and closed.*
Allow motor to cool. Identify cause of overload.
Locate and repair leak.
Check size and length of cable.
Check fuses and if necessary replace.
Locate and repair leak.
Flush the system with air or dry nitrogen.
Flush the system with air or dry nitrogen. Install
trap or filter.
Replace tip seals.
Replumb with shorter and/or larger diameter tubing.
Check ventilation to TPS-compact. Check ambient
temperature.
Flush the TPS-compact. Disassemble pump and
inspect.
Allow the scroll motor to cool. Identify the cause of
the overload.
The internal Scroll Pump is equipped with an auto-reset thermal motor protector. This protector automatically shuts down the pump when it detects an overload condition, and automatically restarts the pump
when the motor has cooled to within an acceptable temperature range.
73/74
87-901-010-01
TECHNICAL INFORMATION
ORDERABLE PARTS
TV 81-M
KF40
TV 81-M
CFF 2.75"
TV 81-M
ISO 63
TV 81-M
CFF 4.5"
TV 301
ISO 100
TV 301
CFF 6"
TV 301
ISO 160
TV 301
CFF 8"
969-8217
969-8218
969-8219
969-8220
969-8221
969-8222
969-8223
969-8224
969-8225
969-8226
969-8227
969-8228
969-8229
969-8230
969-8231
969-8232
DIY EyesSys Gauge Kit
969-9185
969-9196
969-9186
969-9187
969-9188
969-9197
969-9189
969-9198
DIY Full Range Gauge Kit
969-9190
969-9199
969-9192
969-9193
969-9194
969-9201
969-9195
969-9202
Wheels accessory kit
969-8233
969-8233
969-8233
969-8233
969-8233
969-8233
969-8233
969-8233
US Power cord [5 m]
969-8452
969-8452
969-8452
969-8452
969-8452
969-8452
969-8452
969-8452
EU Power cord [5 m]
969-8450
969-8450
969-8450
969-8450
969-8450
969-8450
969-8450
969-8450
UK Power cord [5 m]
969-8451
969-8451
969-8451
969-8451
969-8451
969-8451
969-8451
969-8451
US Power cord [2 m]
969-9397
969-9397
969-9397
969-9397
969-9397
969-9397
969-9397
969-9397
EU Power cord [2 m]
969-9396
969-9396
969-9396
969-9396
969-9396
969-9396
969-9396
969-9396
UK Power cord [2 m]
969-9398
969-9398
969-9398
969-9398
969-9398
969-9398
969-9398
969-9398
--
--
969-9340
969-9376
969-9344
969-9334
969-9345
969-9335
TPS-compact
120 V
220 V
Accessories
Vibration damper
Inlet screen
969-9309
--
969-9300
969-9300
969-9302
969-9302
969-9304
969-9304
FRG-700 1.5 m cable
969-9959
969-9959
969-9959
969-9959
969-9959
969-9959
969-9959
969-9959
FRG-700 3 m cable
969-9960
969-9960
969-9960
969-9960
969-9960
969-9960
969-9960
969-9960
FRG-700 5 m cable
969-9961
969-9961
969-9961
969-9961
969-9961
969-9961
969-9961
969-9961
EyeSys Mini-IMG cable [1 m]
969-9943
969-9943
969-9943
969-9943
969-9943
969-9943
969-9943
969-9943
EyeSys Mini-IMG ext. cable
969-9944
969-9944
969-9944
969-9944
969-9944
969-9944
969-9944
969-9944
Serial cable and T-Plus SW
969-9883
969-9883
969-9883
969-9883
969-9883
969-9883
969-9883
969-9883
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
IDP3TS
Tip-seal replacement kit
For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog.
74/74
87-901-010-01
Request for Return
1.
2.
3.
4.
A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..…
Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..……
E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………...
Customer Ship To: ………………………….………
……………..…………………...
………………..………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description
USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Bill To: …………………..……………...
..………………………………...
..………………………………...
Varian P/N
Varian S/N
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Warranty Repair
Calibration
Purchase Reference
Loaner Return
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic
Corrosive
Reactive
Flammable
Explosive
Biological
Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: ………………………………….
Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………...
Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
Does not start
Does not spin freely
Does not reach full speed
Mechanical Contact
Cooling defective
TURBOCONTROLLER ERROR
Noise
Vibrations
Leak
Overtemperature
POSITION
Vertical
Horizontal
Upside-down
Other:
………………….
PARAMETERS
Power:
Rotational Speed:
Current:
Inlet Pressure:
Temp 1:
Foreline Pressure:
Temp 2:
Purge flow:
OPERATION TIME:
MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Vacuum leak
High voltage problem
Error code on display
Other
Customer application:
VALVES/COMPONENTS
Main seal leak
Solenoid failure
Damaged sealing area
Customer application:
Bellows leak
Damaged flange
Other
LEAK DETECTORS
Cannot calibrate
Vacuum system unstable
Failed to start
Customer application:
No zero/high backround
Cannot reach test mode
Other
INSTRUMENTS
Gauge tube not working
Communication failure
Error code on display
Customer application:
Display problem
Degas not working
Other
PRIMARY PUMPS
Pump doesn’t start
Doesn’t reach vacuum
Pump seized
Customer application:
Noisy pump (describe)
Over temperature
Other
DIFFUSION PUMPS
Heater failure
Doesn’t reach vacuum
Vacuum leak
Customer application:
Electrical problem
Cooling coil damage
Other
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
France and Benelux
Varian s.a.
Japan
Varian Vacuum Technologies
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 84
Fax: (33) 1 69 86 29 88
From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70
From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Toll Free: 0120 655 040
Canada
Central coordination through:
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Toll Free: 080 222 2452
China
Varian Technologies - Beijing
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Rm 1648 Central Tower South Wing
Beijing Junefield Plaza
No. 10 XuanWuMenWai Street
Beijing 100052
P.R. China
Tel: (86) 10 63108550
Fax: (86) 10 63100141
Toll Free: 800 820 6556
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Other Countries
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Toll-Free: 1 800 882 7426
vtl.technical.support@varianinc.com
Europe
Tel: 00 800 234 234 00
vtt.technical.support@varianinc.com
China
Toll-Free: 800 820 8266
vtc.technical.support@varianinc.com
Japan
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
Toll Free: 0800 051342
Toll-Free: 0120 655 040
vtj.technical.support@varianinc.com
Korea
Toll-Free: 080 222 2452
vtk.technical.support@varianinc.com
Taiwan
India
Varian India PVT LTD
UK and Ireland
Varian Ltd.
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 28521171
Fax: (91) 11 28521173
6 Mead Road
Oxford Industrial Park - Yarnton
Oxford OX5 1QU - England
Tel: (44) 1865 291570
Fax: (44) 1865 291571
Italy
Varian Inc.
Vacuum Technologies
United States
Varian Vacuum Technologies
Toll-Free: 0 800 051 342
vtw.technical.support@varianinc.com
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
03/06
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Source Exif Data:
File Type : PDF File Type Extension : pdf MIME Type : application/pdf PDF Version : 1.7 Linearized : No XMP Toolkit : Adobe XMP Core 5.6-c015 84.159810, 2016/09/10-02:41:30 Create Date : 2018:01:22 14:34:46 Creator Tool : PDFium Modify Date : 2018:01:22 14:35:35-08:00 Metadata Date : 2018:01:22 14:35:35-08:00 Producer : PDFium Format : application/pdf Document ID : uuid:fb1c76fe-264b-8641-bbc4-7d5003bedf98 Instance ID : uuid:d0a2f8b5-33c7-ea4d-84e3-076ac3b1cb25 Page Count : 82 Creator : PDFiumEXIF Metadata provided by EXIF.tools