INFORMAZIONI GENERALI V6000
User Manual: v6000
Open the PDF directly: View PDF 
.
Page Count: 40
| Download | |
| Open PDF In Browser | View PDF |
Turbo-V 6000 MANUALE DI ISTRUZIONI Model 969-9081 Model 969-9082 NOTICE DE MODE D’EMPLOI BEDIENUNGSHANDBUCH MANUAL DE INSTRUCCIONES MANUAL DE INSTRUÇÕES BEDRIJFSHANDLEIDING INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKÄSIKIRJA ODHGIES CRHSEWS INSTRUCTION MANUAL 87-900-838-01(B) MARCH 2003 Turbo-V 6000 ISTRUZIONI PER L’USO .................................................................................................... 1 GEBRAUCHSANLEITUNG.................................................................................................. 3 MODE D’EMPLOI ................................................................................................................ 5 INSTRUCCIONES DE USO ................................................................................................ 7 INSTRUÇÕES PARA O USO .............................................................................................. 9 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ............................................................................................. 11 BRUGSANVISNING .......................................................................................................... 13 BRUKSANVISNING........................................................................................................... 15 BRUKERVEILEDNING ...................................................................................................... 17 KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................. 19 PDHGIES CRHSEWS ............................................................................................................ 21 INSTRUCTIONS FOR USE............................................................................................... 23 TECHNICAL INFORMATION ............................................................................................ 25 DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP ..................................................................................25 TECHNICAL SPECIFICATION................................................................................................26 INLET SCREEN INSTALLATION............................................................................................28 VENT VALVE INSTALLATION................................................................................................28 VENT DEVICE INSTALLATION ..............................................................................................29 TYPICAL LAYOUT DIAGRAM ................................................................................................29 Connection A - HIGH VACUUM FLANGE .....................................................................30 Connection B - FORE-VACUUM PUMP ........................................................................30 Connection C - ELECTRICAL........................................................................................30 OIL FILL..................................................................................................................................31 WATER COOLING CONNECTION.........................................................................................31 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS........................................................32 PREVENTIVE MAINTENANCE...............................................................................................32 ACCESSORIES ......................................................................................................................32 ISTRUZIONI PER L'USO INFORMAZIONI GENERALI !ATTENZIONE! Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale. L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche. Le pompe della serie Turbo-V6000 sono pompe turbomolecolari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto, capaci di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso. Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide. L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocità (14000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento. Le pompe Turbo-V6000 sono totalmente prive di agenti contaminanti, e sono quindi adatte per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito". Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite nell'appendice “Technical information”. Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni: ! Onde evitare problemi di degassamento, non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata. PERICOLO! I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali. ! ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura. NOTA NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo. La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenerla chiusa fino al momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere. IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate le seguenti prescrizioni: • durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali: • temperatura: da –20 °C a 70 °C • umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante) • il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta • il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione. INSTALLAZIONE ! PERICOLO! La pompa, a causa del suo peso, deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento. ! ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema. !ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il locale rappresentante della Varian. PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE La pompa viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la tutela dell'ambiente. 1 87-900-838-01(B) ISTRUZIONI PER L'USO La pompa viene inviata con l’olio di lubrificazione in un contenitore separato, per cui prima dell’uso occorre riempire la coppa dell’olio. Per informazioni dettagliate sulla procedura da seguire vedere l’appendice “Technical Information”. Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical Information". Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali: − pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica − temperatura: da + 5 °C a +35 °C − umidità relativa: 0 - 95% (non condensante). USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. !ATTENZIONE! Per la mandata all'aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la pressione atmosferica). NO! !ATTENZIONE! Per evitare danni alla pompa il livello dell’olio di lubrificazione non deve mai scendere al di sotto del livello MIN durante il funzionamento della pompa stessa !ATTENZIONE! ! Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. PERICOLO! ! Per evitare lesioni alla persona non inserire mai, per alcun motivo, le dita oppure oggetti nella bocca d’ingresso della turbopompa. Si consiglia l’uso della retina di protezione (opzionale). Se viene utilizzato uno smorzatore di vibrazioni oppure un soffietto metallico flessibile sulla bocca d’ingresso, fissare sempre la turbopompa alla base. Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi. MANUTENZIONE In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori dettagli. Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V6000 devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controllori Varian (serie 9699491, 969-9591) e devono essere collegate ad una pompa primaria (vedere schema in "Technical Information"). La turbopompa deve essere installata in posizione verticale, con una inclinazione massima rispetto all’asse verticale di 10°. La pompa può rimanere poggiata sui suoi piedi, o essere sospesa tramite la flangia di ingresso. Fissare la turbopompa in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 20000 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli. La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli. FLANGIA ISO 500 TIPO DI MORSETTO N. COPPIA DI SERRAGGIO Morsetto doppio con filettatura M16 Morsetto singolo con filettatura M16 12 80 Nm 12 80 Nm PERICOLO! Le pompe della serie Turbo-V6000 non richiedono alcuna manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato. L’olio di lubrificazione deve essere cambiato ogni sei mesi o quando diventa opaco o di colore scuro. Vedere “Technical Information” per la relativa procedura. ! PERICOLO! Prima di effettuare qualsiasi intervento sulla turbopompa scollegare il connettore di alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50°C. In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del "Varian advanced exchange service", che permette di ottenere una pompa rigenerata in sostituzione di quella guasta. NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo della pompa prima della spedizione. Nel caso in cui la pompa poggi sui suoi piedi, questi ultimi vanno fissati al piano di appoggio utilizzando i fori filettati M12 posti in corrispondenza dei piedi di appoggio. Questi fori sono posti su di un cerchio con diametro 550 mm (21,6 pollici). Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche. 2 87-900-838-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG ALLGEMEINES Das Verpackungsmaterial muß korrekt entsorgt werden. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der EG-Richtlinie 85/399 für Umweltschutz. Dieser Apparat ist für Fachbetriebe bestimmt. Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen. Bei Nichtbeachtung - auch teilweise- der enthaltenen Hinweise, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der einheimischen, hier zur Geltung kommenden Bestimmungen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Bei den Pumpen der Serie Turbo-V6000 handelt es sich um Turbomolekularpumpen für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen zur Förderung von jeder Art von Gasen oder gashaltigen Gemischen, nicht jedoch zur Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsdrehturbine (max. 14000 U/Min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Die V6000-Turbopumpen enthalten keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignen sich deshalb auch für Anwendungszwecke, die ein "sauberes" Vakuum vorschreiben. In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten. In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits hinweise folgendermaßen hervorgehoben: ! ! ACHTUNG ! Um Entgasungsprobleme zu vermeiden, dürfen die Komponenten, die mit dem Vakuum in Berührung kommen, nicht mit bloßen Händen angefaßt werden. Immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz tragen. GEFAHR! Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine spezielle Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können. ! ACHTUNG ! Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können. ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben werden. ANMERKUNG Die Pumpe kann, wenn sie ganz einfach der Atmosphäre ausgesetzt ist, keine Schäden erleiden. Sie sollte jedoch bis zur Installation auf der Anlage geschlossen bleiben, um Staubverschmutzungen zu vermeiden. LAGERUNG Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden Anweisungen zu beachten: • Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten werden: • Temperatur: von –20 °C bis 70 °C • Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend) • Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen. • Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate ab dem Speditionsdatum. INSTALLATION ! GEFAHR! Aufgrund ihres Gewichtes dürfen die Pumpen dieser Baureihe nur mit spezifisch geeigneten Geräten angehoben und transportiert werden. ! ACHTUNG ! Entfernen Sie die Klebefolie und den Schutzdeckel erst beim Anschluß der Turbopumpe an die Anlage. !ACHTUNG! Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Varian Vertreter. VOR DER INSTALLATION Die Pumpe wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden müssen der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden. Beim Auspacken vorsichtig vorgehen, damit die Pumpe nicht fällt oder Stößen ausgesetzt wird. 3 87-900-838-01(B) GEBRAUCHSANLEITUNG Diese Bohrungen sind auf einem Kreis mit einem Durchmesser von 550 mm (21,6 Zoll) angebracht. Die Pumpen werden mit in einem separaten Behälter befindlichen Schmieröl ausgeliefert, das vor Inbetriebsetzung der Pumpe in die Ölwanne gegeben werden muß. Weitere Angaben zur Installation finden Sie im Anhang “Technical Information” Installation Sonderzubehör: siehe "Technical Information". Die Pumpe darf nicht in Umgebungen benutzt werden, die ungeschützt vor Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind und in denen Explosions- und erhöhte Brandgefahr besteht. Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden: - Maximaldruck: 2 Bar über dem atmosphärischen Druck - Temperatur: von +5°C bis +35°C - Relative Luftfeuchtigkeit: 0-95% (nicht kondensierend) ANWENDUNG Sämtliche Hinweise für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der entsprechenden Steuereinheit enthalten. Dieses Handbuch sollte vor der Inbetriebnahme genau gelesen werden. ! ACHTUNG ! Für die Belüftung der Pumpe trockene staub - und partikelfreie Luft oder Edelgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß muß kleiner als 2 bar über dem atmosphärischen Druck sein. NEIN ! ! ACHTUNG ! Um eine Beschädigung der Pumpe auszuschließen, darf der Schmierölstand während des Pumpenbetriebs nicht unter den vorgesehenen Mindeststand MIN absinken. ! ! GEFAHR! Um Verletzungen auszuschließen, darf auf keinen Fall und aus keinem Grunde in die Eingangsöffnung der Turbopumpe gefaßt werden; aus dem gleichen Grunde dürfen keine Gegenstände in diese Öffnung gegeben werden. Es wird der Einsatz eines Schutzgitters (Sonderzubehör) empfohlen. Bei Installation eines Erschütterungsdämpfers oder eines Metallbalges auf der Eingangsöffnung muß die Turbopumpe am Unterteil befestigt werden ! ISO 500 KLEMMSCHELLE ANZ. Doppelklemme mit M 16 Gewinde Einzelschelle mit M-16 Gewinde 12 ANZUGSMOMENT 80 Nm 12 80 Nm GEFAHR! Zum Pumpen von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen müssen die für das jeweilige Medium vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen befolgt werden. Benutzen Sie die Pumpe niemals in Präsenz von explosiven Gasen. Sind Magnetfelder vorhanden, müssen die Pumpen über Einsatz eines entsprechend geeigneten Schutzschirms geschützt werden. Weitere Informationen: siehe Schema in "Technical Information". Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V6000 dürfen nur mit den Varian-Spezial-Controllern (Serie 969-9491, 969-9591) benutzt werden und müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema in "Technical Information"). Die Turbopumpen müssen in vertikaler Position und mit einer maximalen Neigung von 10° zur vertikalen Achse installiert werden. Dabei kann die Pumpe auf ihren Standfüßen ruhend installiert oder über den Flansch am Pumpeneingang in schwebender Position angeschlossen werden. Installieren Sie die Turbopumpe in einer stabilen Position, indem Sie den Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch anschließen, der ein Drehmoment von 20000 Nm um die eigene Achse aushält. Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch müssen mittels doppelten oder einfachen Klemmschellen an die Vakuumkammer angeschlossen werden. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und der Anzugsmoment für die jeweiligen Flanschgrößen und Klemmenarten angegeben. FLANSCH ACHTUNG ! Während des Betriebs darf die Pumpe weder Stößen noch ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager beschädigt werden können. WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo-V6000 sind wartungsfrei. Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden. Das Schmieröl muß alle 6 Monate oder aber bei sichtbarer Trübung ausgewechselt werden. Ölwechsel: siehe "Technical Information". ! GEFAHR! Vor jedem Eingriff an der Turbopumpe den Netzstecker ziehen, die Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften, warten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist. Bei einem Defekt kann der Varian Service oder der " Varian Advanced Exchange Service" in Anspruch genommen werden, der Ihnen als Austausch für die beschädigte Pumpe eine generalüberholte Pumpe der gleichen Bauart zur Verfügung stellen wird. ANMERKUNG Vor dem Versand einer defekten Pumpe an die Fa. Varian muß das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die Fa. Varian geschickt werden. Eine Kopie dieses Formulars muß den Frachtpapieren beigelegt werden. Eine eventuelle Verschrottung muß unter Einhaltung der einschlägigen landesüblichen Vorschriften erfolgen. Wenn die Pumpen auf ihren Standfüßen ruhend installiert werden sollen, müssen in diese über die dafür vorgesehenen M12Gewindebohrungen angeschlossen werden. 4 87-900-838-01(B) MODE D’EMPLOI INDICATIONS GÉNÉRALES Ne pas disperser l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et il est conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement. Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle. Il est conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire fournie par Varian, avant d'utiliser l'appareil. Varian décline par conséquent toute responsabilité en cas d'inobservation totale ou partielle des instructions données, d'utilisation incorrecte de la part d'un personnel non formé, d'opérations non autorisées ou d'un emploi contraire aux réglementations nationales spécifiques. Les pompes de la série Turbo-V6000 sont des pompes turbomoléculaires conçues pour des applications de vide poussé et ultrapoussé, particulièrement adaptées à l’utilisation dans les secteurs liés à l’industrie des semi-conducteurs et elles sont appropriées pour le pompage de n'importe quel type de gaz ou de composé gazeux. Elles ne sont pas indiquées pour le pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse élevée (14000 tr/mn maxi), animée par un moteur électrique triphasé à haut rendement. Les pompes Turbo-V6000 sont totalement exemptes d'agents polluants et sont par conséquent indiquées pour des applications exigeant un vide "propre". Les paragraphes suivants donnent toutes les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information" Cette notice utilise les signes conventionnels suivants: ! ! ATTENTION! En vue d'éviter tous problèmes de dégazage, ne pas toucher, les mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropriée. DANGER! Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une manoeuvre spéciale qui, si elle n'est pas effectuée correctement, risque de provoquer de graves lésions. ! ATTENTION ! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l'appareillage. NOTE NOTE La pompe ne peut être endommagée en restant simplement exposée à l'atmosphère. Il est de toute façon conseillé de la garder enfermée jusqu'au moment de l'installation, afin d'éviter toute pollution due à la poussière. Les notes contiennent des renseignements importants, isolés du texte. STOCKAGE INSTALLATION Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de respecter les instructions suivantes : • Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes: • température : de –20 °C à +70 °C • humidité relative : de 0 à 95% (non condensante) • A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start. • Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10 mois à compter de la date d'expédition. ! DANGER! Vu son poids, la pompe doit être manipulée à l’aide des instruments de levage et de déplacement appropriés. ! ATTENTION! N'enlever l'adhésif, puis le couvercle qu'au moment de la connexion de la turbopompe au système. ! ATTENTION! En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le représentant Varian de zone. PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION La pompe est fournie dans un emballage de protection spécial; si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire subir aucun choc ni aucune vibration. 5 87-900-838-01(B) MODE D’EMPLOI La pompe est livrée avec l’huile de lubrification dans un récipient séparé et avant toute utilisation il faut remplir le carter d’huile. Pour plus de détails sur cette procédure, se reporter à l’appendice “Technical Information”. Pour l'installation des accessoires en option, voir "Technical Information". Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), aux poussières, aux gaz de combat ni dans des milieux explosifs ou à risque élevé d'incendie. Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les conditions environnementales suivantes: - pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique - température: de +5°C° à +35°C - humidité relative: 0 - 95% (non condensante) UTILISATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbopompe sont contenues dans la notice de l'unité de contrôle. Il est conseillé de lire attentivement cette notice avant d'utiliser la pompe. ! ATTENTION ! Pour le refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar audelà de la pression atmosphérique. NON ! ! ATTENTION ! Pour éviter tout dommage à la pompe, pendant son fonctionnement le niveau de l’huile de lubrification ne doit jamais descendre en dessous du niveau MIN. ! ! Éviter tous chocs ou déplacements brusques de la turbopompe lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les coussinets. DANGER! Pour éviter tout risque de lésion aux personnes, ne jamais introduire, sous aucun prétexte, ni les doigts ni aucun objet dans la bouche de la turbopompe. Il est conseillé d’utiliser le filet de protection fourni en option. En cas d’utilisation d’un amortisseur de vibrations ou d’un soufflet métallique flexible sur la bouche d’entrée, toujours bien fixer la turbopompe à sa base. ! ISO 500 TYPE DE COLLIER N. COUPLE DE SERRAGE Collier double à filetage M16 12 80 Nm Collier simple à filetage M16 12 80 Nm DANGER! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs. ENTRETIEN En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée par des écrans appropriés. Pour tous autres détails, se reporter à l'appendice "Technical Information". Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V6000 ne doivent être utilisées qu'avec l'un des contrôleurs spéciaux Varian (série 969-9491, 969-9591) et elles doivent être connectées à une pompe primaire (voir schéma dans "Technical Information"). La turbopompe doit être installée en position verticale avec une inclinaison maximale de 10° par rapport à l’axe vertical. La pompe peut rester en appui sur ses pieds ou être suspendue à l’aide de la bride d’entrée. Fixer la turbopompe dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de 20000 Nm autour de son axe. La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le tableau suivant décrit le nombre de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit. BRIDE ATTENTION ! Les pompes de la série Turbo-V6000 n'exigent aucun autre entretien. Toute opération doit être effectuée par un personnel agréé. L’huile de lubrification doit être changée tous les six mois ou lorsqu’elle devient opaque ou de couleur foncée. Consulter “Technical Information” pour la procédure à suivre. ! DANGER! Avant de procéder à toute opération sur la turbopompe, débrancher le connecteur, refouler l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet et attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C. En cas de panne, il est possible de s'adresser au service réparations Varian ou bien au "Varian advanced exchange service" qui permet d'obtenir une pompe régénérée à la place de la pompe endommagée. NOTE Avant de renvoyer au constructeur une pompe pour des réparations ou un "advanced exchange service", remplir et faire parvenir au bureau local Varian la fiche "Sécurité et Santé" annexée à la présente notice d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans l'emballage de la pompe avant l'expédition. Au cas où la pompe soit placée en appui sur ses pieds, ces derniers doivent être ancrés au plan d’appui à l’aide des trous filetés M12 placés en correspondance des pieds d’appui. Ces trous sont placés sur un cercle d’un diamètre de 550 mm (21,6 pouces). En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination conformément aux réglementations nationales en la matière. 6 87-900-838-01(B) INSTRUCCIONES DE USO ! INFORMACIÓN GENERAL Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra información suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato. Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas. Las bombas de la serie Turbo-V6000 son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vacío, capaces de bombear cualquier tipo de gas o de compuesto gaseoso. No son idóneas para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (14000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. Las bombas Turbo-V6000 no poseen ningún agente contaminante y por lo tanto son adecuadas para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. A continuación se facilita toda la información necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo “Technical Information” se facilita información más detallada. Este manual utiliza las convenciones siguientes: ! ¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada. ¡PELIGRO! Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre un procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones personales. ! ¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato. NOTA La bomba no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesta a la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantenerla cerrada hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo. NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto. ALMACENAMIENTO INSTALACIÓN Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las siguientes instrucciones: • durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deberán superarse las siguientes condiciones ambientales: • temperatura: entre –20 °C y 70 °C; • humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante); • el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez; • el período máximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al cliente. ! ! ¡PELIGRO! La bomba, a causa de su peso, ha de manejarse mediante herramientas de levantamiento y desplazamiento específicas. ! ¡ATENCION! Eliminar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el momento en que se conecte la turbobomba al sistema. ¡ATENCIÓN! En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de Varian. PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN La bomba se suministra en un embalaje especial de protección; si se observan daños, que podrían haberse producido durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a choques o vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente. 7 87-900-838-01(B) INSTRUCCIONES DE USO están colocados en un círculo con diámetro de 550 mm (21,6 pulgadas). La bomba se envía con el aceite de lubricación a un recipiente separado, por lo tanto antes de usarla hay que llenar el cárter del aceite. Para una información detallada sobre el procedimiento que hay que realizar véase el anexo “Technical Information”. Para la instalación de los opcionales, véase “Technical Information”. No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes: - presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica - temperatura: de +5ºC a +35ºC - humedad relativa: 0-95% (no condensadora). UTILIZACIÓN Todas las instrucciones para el funcionamiento correcto de la turbobomba se encuentran en el manual de la unidad de control. Leer atentamente dicho manual antes de utilizarla. ! ¡ATENCIÓN! Para enviar aire a la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo ni partículas. La presión de entrada a través de la puerta específica deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión atmosférica). ¡NO! ! ¡ATENCIÓN! Para evitar daños a la bomba el nivel del aceite de lubricación no ha de descender nunca por debajo del nivel MIN durante el funcionamiento de la misma. ! ¡ATENCIÓN! Evitar golpes o desplazamientos bruscos de la turbobomba cuando está en marcha. Los rodamientos podrían dañarse. ! ¡PELIGRO! ! Para evitar lesiones a la persona no introducir nunca, por ningún motivo, los dedos u objetos en la boca de entrada de la turbobomba. Se aconseja usar la red de protección (opcional). Si se usa un amortiguador de vibraciones o un fuelle metálico flexible en la boca de entrada, fijar siempre la turbobomba a la base. ¡PELIGRO! Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cualquier gas. No usar la bomba cuando haya gases explosivos. MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo-V6000 no necesitan ningún mantenimiento. Cualquier intervención deberá ser realizada por personal autorizado. El aceite de lubricación ha de cambiarse cada seis meses o cuando se vuelve opaco o de color oscuro. Véase “Technical Information” para el procedimiento correspondiente. Cuando haya campos electromagnéticos la bomba ha de protegerse aplicando pantallas oportunas. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”. Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo-V6000 han de utilizarse sólo con uno de los controladores Varian específicos (serie 969-9491, 969-9591) y han de conectarse a una bomba primaria (véase esquema en “Technical Information”). La turbobomba ha de instalarse en posición vertical, con una inclinación máxima respecto al eje vertical de 10”. La bomba puede permanecer apoyada en sus patas, o colgarse mediante la brida de entrada. Fijar la turbobomba en una posición estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir a un par de 20000 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarias y al par de apriete al que apretarlas. BRIDA ISO 500 TYPO DE MORDAZA N° PAR DE ARRIETE Mordaza doble con roscado M16 12 80 Nm Mordaza sencilla con roscado M16 12 80 Nm ! ¡PELIGRO! Antes de realizar cualquier intervención en la turbobomba desempalmar el conector de alimentación, enviar aire a la bomba abriendo la válvula específica y esperar hasta que el rotor se pare completamente y a que la temperatura superficial de la bomba esté por debajo de 50ºC. En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Varian o el “Varian advanced exchange service”, que permite obtener una bomba regenerada para sustituir la averiada. NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o advanced exchange service, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina de ventas local la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje de la bomba antes de enviarla. En caso de que la bomba se tenga que desguazar, hacerlo respetando las normas nacionales específicas. En caso de que la bomba se apoye sobre sus patas, éstas se fijarán a la superficie de apoyo utilizando los orificios roscados M12 haciéndolos coincidir con la pata de apoyo. Estos orificios 8 87-900-838-01(B) INSTRUÇÕES DE USO INFORMAÇÕES GERAIS ! Esta aparelhagem destina-se ao uso profissional. O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruções e qualquer outra informação adicional fornecida pela Varian antes de usar a aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela eventual inobservância total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais específicas. As bombas da série Turbo-V6000 são bombas turbomoleculares para aplicações de alto e ultra-alto vácuo, capazes de bombear qualquer tipo de gás ou de composto gasoso. Não são apropriadas bombear líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta velocidade (14000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. As bombas Turbo-V6000 são totalmente sem agentes contaminadores e, portanto, são adequadas para aplicações que requerem um vácuo "limpo". Nos parágrafos a seguir estão descritas todas as informações necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical Information". Este manual utiliza as seguintes convenções: ! ATENÇÃO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada. PERIGO! As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para um procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada correctamente, pode provocar graves lesões pessoais. ! ATENÇÃO! As mensagens de atenção são visualizadas antes de procedimentos que, se não observados, podem causar danos à aparelhagem. NOTA NOTA A bomba não pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, mantê-la fechada até o momento da instalação no sistema para evitar que se suje com poeiras. As notas contêm informações importantes destacadas do texto. ARMAZENAGEM INSTALAÇÃO Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas as seguintes prescrições: • durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das bombas as condições ambientais devem ser as seguintes: • temperatura: de –20 °C a 70 °C • umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante) • ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start • o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular é de 10 meses a contar da data da expedição. ! PERIGO! A bomba, devido ao seu peso, deve ser manejada utilizando ferramentas específicas de levantamento e deslocamento. ! ATENÇÃO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de pretecção somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema !ATENÇÃO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações, contatar o representante local da Varian. PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO A bomba é fornecida numa embalagem protectora especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam verificar-se durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local. Durante a retirada da embalagem, tomar muito cuidado para não deixar cair a bomba e para não submetê-la a choques ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é completamente reciclável e em conformidade com a directriz CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente. 9 87-900-838-01(B) INSTRUÇÕES DE USO A bomba é expedida com o óleo de lubrificação num recipiente separado, portanto, antes da utilização, é preciso encher o colector do óleo. Para maiores detalhes a respeito do procedimento a executar, ver o apêndice "Technical Information". Para a instalação dos acessórios opcionais, ver "Technical Information". Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as seguintes condições ambientais: - pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica - temperatura: de + 5ºC a + 35ºC - humidade relativa: 0 - 95% (não condensante). UTILIZAÇÃO Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler atentamente este manual antes da utilização. ! ATENÇÃO! Para a saída de ar da bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (além da pressão atmosférica). NÄO! ! ATENÇÃO! Durante o funcionamento da bomba, para evitar danos à mesma, o nível do óleo de lubrificação nunca deve descer abaixo do nível MÍN. ! ATENÇÃO! Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. ! ! PERIGO! Para evitar lesões às pessoas, nunca colocar, por qualquer motivo, os dedos ou objectos no bocal de entrada da turbobomba. Aconselha-se o uso da rede de protecção (opcional). Se é utilizado um amortecedor de vibrações ou um respirador metálico flexível no bocal de entrada, fixar sempre a turbobomba à base. MANUTENÇÃO As bombas da série Turbo-V6000 não requerem qualquer manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado. O óleo de lubrificação deve ser trocado de seis em seis meses ou quando estiver opaco ou com uma cor escura. No que diz respeito ao procedimento relativo, consultar “Technical Information”. Existindo campos magnéticos, a bomba deve ser protegida com blindagens adequadas. Ver o apêndice "Technical Information" para maiores detalhes. As bombas turbomoleculares da série Turbo-V6000 devem ser utilizadas somente com um dos controladores Varian específicos (série 969-9491, 969-9591) e devem ser ligadas a uma bomba primária (ver esquema em "Technical Information"). A turbobomba pode ser instalada em posição vertical, com uma inclinação máxima de 10° em relação ao eixo vertical. A bomba pode apoiar nos seus pés, ou ficar suspensa através da flange de entrada. Fixar a turbobomba em posição estável ligando a flange de entrada da turbobomba a uma contraflange fixa capaz de resistir a um torque de 20000 Nm ao redor do próprio eixo. A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à câmara de vácuo através de bornes duplos ou simples. A tabela a seguir descreve, para cada dimensão de flange e tipo de borne, o número de bornes e o torque de aperto necessários. FLANGE ISO 500 TIPO DE BORNE N. TORQUE DE APERTO Borne duplo com rosca M16 12 80 Nm Borne simples com rosca M16 12 80 Nm PERIGO! Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na presença de gases explosivos. ! PERIGO! Antes de efectuar qualquer operação na turbobomba desligar o conector de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC. Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de reparação Varian ou do "Varian advanced exchange service", que permite obter uma bomba regenerada que substitua a bomba com defeito. NOTA Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para reparações ou advanced exchange service, é indispensável preencher e enviar ao escritório local de vendas a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na embalagem da bomba antes da expedição. Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação respeitando as normas nacionais específicas. Se a bomba apoiar nos seus pés, estes deverão ser fixados ao plano de apoio utilizando os furos rosqueados M12 colocados em correspondência com os pés referidos. Estes furos são posicionados num anel com diâmetro de 550 mm (21,6 polegadas). 10 87-900-838-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN ALGEMENE INFORMATIE ! Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De pompen van de serie Turbo-V6000 zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen, die in staat zijn om elk type gas of gasverbinding te pompen. Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 14.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De TurboV6000 pompen zijn volledig vrij van verontreinigingen en zijn dus ook geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical information". Deze handleiding gebruikt de volgende symbolen: ! ATTENTIE! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming. GEVAAR! Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken. ! ATTENTIE! Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken. OPMERKING De pomp kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen. OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht. OPSLAG INSTALLATIE Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen: • tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan: • temperatuur: van –20 °C tot 70 °C • relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet condenserend) • de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de SoftStart opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld • de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum. ! GEVAAR! De pomp moet, in verband met haar gewicht, met speciale hef- en transportwerktuigen worden verplaatst. ! ATTENTIE! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden. !ATTENTIE! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian. UITPAKKEN De pomp wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de pomp niet kan vallen of stoten te verduren krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85/399. 11 87-900-838-01(B) GEBRUIKSAANWIJZINGEN De pomp wordt geleverd met de smeerolie in een aparte verpakking. Dus vóór gebruik moet hiermee de oliepan gevuld worden. Voor gedetailleerde informatie over de te volgen procedure wordt verwezen naar de bijlage “Technical Information”. Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als optional verkrijgbaar zijn. De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer hoog brandgevaar. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn: - max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk - temperatuur: van +5°C tot +35°C - relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend). GEBRUIK Alle aanwijzingen voor de correcte werking van de turbopomp zijn in de handleiding van de regeleenheid vermeld. Lees aandachtig deze handleiding vóór ingebruikname door. ! ATTENTIE! Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar (boven de atmsoferische druk) bedragen. NEE ! ! ATTENTIE! Om schade aan de pomp te voorkomen, mag het smeeroliepeil, tijdens de werking van de pomp, nooit onder het MIN. peil zakken. ! ATTENTIE! Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is. De lagers kunnen hier namelijk schade door oplopen. ! GEVAAR! ! Om persoonlijk letsel te voorkomen mogen nooit, om geen enkele reden, de vingers of voorwerpen in de inlaatopening van de turbopomp worden gestoken. Men raadt gebruik van het beschermgaasje aan (optional). Als een trillingdemper of een metalen flexibel balgje op de inlaatopening wordt aangebracht, de turbopomp altijd aan de basis bevestigen. GEVAAR! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen. ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo-V6000 zijn onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd. De smeerolie moet elke zes maanden ververst worden of wanneer hij ondoorzichtig of donker van kleur wordt. Zie “Technical Information” voor de betreffende procedure. Bij aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information” voor meer informatie. De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo V6000 mogen alleen gebruikt worden in combinatie met een van de speciale Varian controllers (serie 969-9491, 969-9591) en moeten aangesloten zijn op een primaire pomp (zie schema in "Technical information"). De turbopomp moet in verticale stand worden geïnstalleerd, met een max. hellingshoek van 10° ten opzichte van de verticale as. De pomp mag op haar eigen pootjes staan of opgehangen worden met behulp van de ingangsflens. Bevestig de turbopomp in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 20000 Nm rondom de eigen as kan verdragen. De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke maat flens of klemtype, het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden. FLENS ISO 500 KLEMTYPE NR. AANHAALKOPPPEL Dubbele klem met M16 schroefdraad 12 80 Nm Enkelvoudige klem met M16 schroefdraad 12 80 Nm ! GEVAAR! Alvorens werkzaamheden aan de turbopomp uit te voeren, de stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt. In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de "Varian advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp. OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd. Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk. Als de pomp op haar eigen pootjes staat, moeten deze op het steunvlak worden bevestigd met behulp van de M12 schroefdraadgaten in de steunpootjes. Deze gaten bevinden zich op een cirkel met diameter van 550 mm (21,6 duim). 12 87-900-838-01(B) BRUGSANVISNING GENEREL INFORMATION ! Dette materiel er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bedes læse denne håndbog samt enhver yderligere vejledning, Varian har leveret, inden udstyret tages i brug. Varian er ikke ansvarlig, hvis vejledningen ikke er nøje fulgt, eller hvis den kun er delvist fulgt, og heller ikke hvis udstyret anvendes forkert af ukvalificeret personale, hvis der foretages uautoriserede indgreb på det, eller hvis udstyret benyttes på en måde, der står i kontrast til det pågældende lands særlige normer. Turbo-V6000 serien omfatter turbomolekulære pumper til højvakuum, der er i stand til at pumpe alle typer gas og gasforeninger. Denne serie er ikke egnet til at pumpe væsker eller faste partikler. Pumpeeffekten opnås ved hjælp af en turbine, der roterer ved høj hastighed (max. 14000 omdr./min.) drevet af en højeffektiv trefaset elektrisk motor. Turbo-V6000 pumperne er fuldstændig fri for forurenende stoffer og finder derfor god anvendelse, når der kræves et "rent" vakuum. I det følgende gives alle nødvendige oplysninger for operatørens sikkerhed under brug af udstyret. For detaljerede oplysninger henvises til den vedlagte "Technical Information". I denne håndbog findes følgende regler: ! VIGTIGT ! For at undgå afgasningsproblemer skal man ikke røre med de bare hænder de dele, der vil bliver udsat for vakuum. Brug altid handsker eller anden passende beskyttelse. ADVARSEL! Advarslerne henkalder operatørens opmærksomhed på et indgreb eller en særlig handling, der kan forårsage alvorlig fare for kvæstelser, hvis den ikke udføres korrekt. ! VIGTIGT ! Disse ord forekommer inden en arbejdsmetode, der skal overholdes for ikke at skabe risiko for skade på udstyret. BEMÆRK BEMÆRK Bemærkningerne indeholder vigtige yderligere oplysninger. Pumpen kan ikke beskadiges ved blot at være udsat for den atmosfæriske luft. For at undgå forurening fra støv anbefales det dog, at pumpen holdes tilpakket, indtil den monteres i anlægget. OPBEVARING Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra Varian: • Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne: • temperatur: fra –20 °C til +70 °C, • relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende). • Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for første gang. • De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra forsendelsesdatoen. MONTERING ! ADVARSEL! På grund af pumpens vægt skal den håndteres ved hjælp af egnet udstyr til hævning og flytning ! VIGTIGT ! Etiketten og beskyttelsesdækslet fjernes først i det øjeblik, turbopumpen tilsluttes anlægget. !VIGTIGT! Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale Varian repræsentant. FORBEREDELSE TIL MONTERING Pumpen leveres med en særlig beskyttelsesemballage. Kontakt vores lokale salgskontor, hvis der findes tegn på beskadigelse, der kan være sket under transporten. Pas på at pumpen ikke falder på gulvet og at der ikke stødes til den under udpakningen. Smid ikke emballagen væk ude i naturen. Al emballage er genbrugsmateriale i overensstemmelse med direktivet 85/399/EØF vedrørende miljøbeskyttelse. 13 87-900-838-01(B) BRUGSANVISNING Pumpen leveres med olie i en separat beholder. Det er således at foretage påfyldning af olie, inden pumpen tages i brug. For detaljer henvises til “Technical Information”. Se "Technical Information" for montering af optionals. Pumpen må ikke installeres og/eller bruges i omgivelser, der udsætter den for forvitring (regn, frost, sne), støv, ætsende luftarter, og heller ikke i omgivelser med eksplosionsfare eller stor brandfare. Følgende betingelser skal overholdes under driften: - maksimaltryk: 2 bar (over atmosfærisk tryk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende). ANVENDELSE Al vejledning angående turbopumpens korrekte drift er beskrevet i håndbogen til kontrolenheden. Læs den nævnte håndbog omhyggeligt før brugen. ! VIGTIGT ! Til pumpens luftafløb anvendes luft eller en inaktiv luftart, der er fri for støv og partikler. Indgangstrykket gennem den særlige åbning skal være under 2 bar. ! NEJ ! VIGTIGT ! For at undgå beskadigelse af pumpen må niveauet med smøringsolie aldrig sænke til under MIN-niveauet, mens pumpen er aktiveret. ! VIGTIGT ! Undgå stød eller pludselig flytning af turbopumpen, mens den er i drift. Lejerne kan beskadiges. ! ! ADVARSEL! For at undgå personskader må fingre eller andre genstande aldrig indsættes i turbopumpens indløbsdysen. Det anbefales at anvende beskyttelsesnettet (optional). Såfremt der anvendes en befugter eller en blæsebælg af metal på indløbsdysen, skal turbopumpen altid fastgøres til basen. VEDLIGEHOLDELSE Pumperne af TURBO-V6000 typen behøver vedligeholdelse. Ethvert indgreb på pumpen skal autoriseret personale. Smøringsolien skal udskiftes hver 6. måned, eller bliver uigennemsigtig eller mørk. Se “Technical vedrørende fremgangsmåden. Hvis der findes magnetfelter må pumpen afskærmes. Se bilag “Technical Information” for yderligere detaljer. Turbomolekulærpumperne i V6000 serien må kun anvendes med en af de særlige Varian kontrolapparater (serie 969-9491, 9699591) og skal forbindes med en primær pumpe (se skemaet i "Technical Information"). Turbopumpen skal monteres i lodret position med en maksimal hældning i forhold til den lodrette akse på 10°. Pumpen kan hvile på fødderne eller kan ophænges ved hjælp af indgangsflangen. Fastgør turbopumpen i en stabil position ved at fastgøre indgangsflangen til en fast modflange, der er i stand til at modstå et drejningsmoment på 20000 Nm omkring aksen. Turbopumperne med ISO indløbsflange skal fastspændes til vakuumkammeret med dobbelte eller enkelte klemmer. Følgende tabel angiver det nødvendige antal af klemmer og det anvendte tilspændingsmoment for de enkelte flangedimensioner og typer af klemmer. FLANGE ISO 500 ! 12 80 Nm Enkelt klemme, gevind M16 12 80 Nm ikke nogen foretages af såfremt den Information” ADVARSEL! Inden der foretages noget som helst indgreb på turbopumpen, skal strømmen først afbrydes og luften lukkes ud af pumpen ved, at man åbner den særlige ventil og venter indtil rotoren er standset helt, og pumpens overfladetemperatur er lavere end 50°C. Hvis pumpen går i stykker, kan man benytte sig af Varians reparationsservice eller af Varians "Advanced Exchange Service", hvorved man kan få en repareret pumpe i bytte for den, der er gået i stykker. BEMÆRK Inden pumpen sendes tilbage til fabrikanten til reparation eller til "Advanced Exchange Service", skal man udfylde formularen "Sikkerhed og Helbred" vedlagt denne håndbog og tilsende den til den lokale forhandler. En kopi af formularen skal vedlægges i pakken med pumpen ved tilbagesendelsen. KLEMMETYPE ANT. DREJNINGSMOMENT Dobbelt klemme, gevind M16 ADVARSEL! Når pumpen anvendes til pumpning af giftige, brandfarlige eller radioaktive gasser, skal de gældende forskrifter for den enkelte gastype strengt overholdes. Pumpen må ikke anvendes i eksplosionsfarlige miljøer. Hvis en pumpe skal skrottes, skal dette foregå overensstemmelse med det pågældende lands særlige love. Såfremt pumpen hviler på fødderne, skal fødderne fastgøres til støttepladen ved hjælp af gevindhullerne M12, der er anbragt i overensstemmelse med fødderne. Disse huller er anbragt på en krans med en diameter på 550 mm (21,6 tommer). 14 87-900-838-01(B) i BRUKSANVISNING ALLMÄN INFORMATION Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Varian före användning av utrustningen. Varian tar inget ansvar för skador helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter. Pumparna i Turbo-V6000 serien är turbomolekylära pumpar för höga och mycket höga vakuumtillämpningar. De kan användas för pumpning av alla typer av gas eller gasföreningar. De lämpar sig inte för pumpning av vätskor eller fasta partiklar. Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 14000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga tillsatsämnen används i Turbo-V6000 seriens pumpar, som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum. De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade uppgifter finns i bilagan " Technical information". I bruksanvisningen används följande standardrubriker: ! VARNING! Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra personskador. ! VIKTIGT ! OBSERVERA Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för att inte risk för maskinskada skall uppstå. Normal påverkan från omgivningen kan inte skada pumpen. Trots det är det säkrast att hålla den stängd tills den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den. OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten. INSTALLATION FÖRVARING ! Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar: • Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande omgivningsförhållanden respekteras: • Temperaturområde: -20 °C till +70 °C. • Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens). • Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när de mottas och sätts i drift för första gången. • De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från leveransdatumet. VARNING! Med tanke på pumpens vikt får den endast hanteras med hjälp av därtill avsedda lyft- och flyttningsanordningar. Installera inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö. Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift: - maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck) - temperatur: från +5°C till +35°C - relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens) ! VIKTIGT ! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala Varian-återförsäljaren för ytterligare information. ! VIKTIGT Ta inte bort tejpen och skyddskåpan innan turbopumpen har anslutits till systemet. FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN Pumpen levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att pumpen inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen. Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd. ! VIKTIGT ! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd. 15 87-900-838-01(B) BRUKSANVISNING ANVÄNDNING Anvisningar för riktig användning av turbopumpen finns i styrenhetens bruksanvisning. Läs bruksanvisningen noga innan du startar pumpen. ! VIKTIGT ! Använd luft eller ädelgas, fri från damm och partiklar för avluftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar (över atmosfäriskt tryck). NEJ ! ! VIKTIGT ! För att förebygga skador på pumpen får oljenivån aldrig sjunka under MIN märket under pumpens drift. ! VIKTIGT! Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I annat fall kan lagren skadas ! VARNING! ! För att undvika personskador får du aldrig sticka in fingrarna eller andra föremål i turbopumpens intagsöppningar. Vi rekommenderar användning av skyddsnätet (tillval). Om en vibrationsdämpare eller en flexibel metallbälg används för intagsöppningen, måste turbopumpen alltid fästas till fundamentet. VARNING! Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva typ, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser. UNDERHÅLL Pumparna i Turbo-V6000 serien är underhållsfria. Allt servicearbete måste utföras av auktoriserad personal. Smörjoljan ska bytas ut var 6:e månad eller så snart den blir matt eller mörk. Se särskilda anvisningar i “Technical Information”. I närvaro av magnetfält skall pumpen skyddas med en särskild skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. Turbomolekylärpumparna i serien V6000 måste användas med en särskild styrenhet från Varian (serie 969-9491, 969-9591), och anslutas till en förpump (se schemat "Technical information"). Turbopumpen ska installeras i vertikalt läge med en max lutning på 10° i förhållande till den vertikala axeln. Pumpen kan stå på sina fötter eller hängas upp i intagsflänsen. Fäst turbopumpen i ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 20000 Nm runt den genomgående axeln. Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas i vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar. Den följande tabellen beskriver olika flänsstorlekar, olika typer av klamrar, nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment. FLÄNS ISO 500 TYP AV KLAMMER ! Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice, som kan ersätta pumpen med en renoverad pump OBSERVERA Innan pumpen lämnas in till tillverkaren för reparation eller utbyte mot en renoverad enhet, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen. ANT. ÅTDRAGNING S-MOMENT Dubbel klammer, gänga M16 12 80 Nm Enkel klammer, gänga M16 12 80 Nm VARNING! Innan något arbete utförs på turbopumpen måste pumpens strömförsörjning brytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC. Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning. Om pumpen ställs på fötterna, ska dessa fästas till underlaget med M12 hålen som återfinns intill fötterna. Dessa hål bildar en cirkel med en diameter på 550 mm (21,6 tum). Pumpen levereras med smörjolja i en separat behållare. Det är därför nödvändigt att fylla på oljesumpen innan pumpen används. Se särskilda anvisningar i “Technical information”. Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical Information". 16 87-900-838-01(B) BRUKERVEILEDNING GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med nasjonale bestemmelser. Turbo-V6000 serien med pumper er turbo-molekulære pumper for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, og kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. De er ikke beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler. Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 14000 opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V6000 pumper har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for "rene" vakuum. De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon". Denne manualen bruker følgende standardprotokoll: ! ADVARSEL! Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige skader. ! FORSIKTIG ! MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge pumpen. Likevel anbefaler vi å holde den lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving. Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan føre til at utstyret skades. MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten. INSTALLASJON ! LAGRING ADVARSEL! Med tanke på pumpens vekt skal den bare håndteres ved bruk av dertil egnede løfte- og flyttingsanordninger. For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges: • Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende miljøforhold overstiges: • Temperatur: fra –20 °C til 70 °C. • Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering). • Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de mottas og startes opp første gang. • Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra sendedato. Ikke installer eller bruk pumpen i miljøer som utsettes for regn, snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller miljøer med stor brannfare. Under bruk må følgende forhold respekteres: - maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk) - temperatur: fra +5°C til +35°C - relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens) !FORSIKTIG! ! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Varian-forhandleren for informasjon. FORSIKTIG ! Fjern tapen og ta ut beskyttelsesproppen først når turbopumpen skal sluttes til systemet. KLARGJØRE TIL INSTALLASJON Pumpen leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når pumpen pakkes ut, må du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse. ! FORSIKTIG ! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr. 17 87-900-838-01(B) BRUKERVEILEDNING BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk av turbopumpen finnes i kontrollenhetens manual. Les nøye gjennom denne manualen før pumpen tas i bruk. ! FORSIKTIG ! Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved lufting av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). NEI ! ! FORSIKTIG ! For å unngå skader på pumpen må smøreoljens nivå aldri synke under MIN. nivået under bruk av pumpen. ! FORSIKTIG ! Unngå støt eller brå bevegelser av pumpen når den er i bruk. Dette kan føre til at lagrene skades ! ADVARSEL! ! For å unngå personskader må du aldri stikke inn fingrene eller annet i turbopumpens inngangsåpning. Vi anbefaler bruk av beskyttelsesnettet (tilbehør). Dersom en vibrasjonsdemper eller en fleksibel metallbelge brukes på inngangsåpningen må turbopumpen alltid festes til fundamentet. ADVARSEL! Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer. VEDLIKEHOLD Turbo-V6000 serien pumper er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på pumpen må kun utføres av autorisert personell. Smøreoljen må byttes ut hver 6. måned eller når oljen blir matt eller mørk. Se den spesifikke prosedyren i “Teknisk Informasjon”. Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer. Turbo-V6000 serien turbo-molekulære pumper må kun brukes med en av de spesielle Varian kontrollere (serie 969-9491, 9699591), og må koples til hovedpumpen (se skjema i "Teknisk informasjon"). Turbopumpen skal monteres i vertikal stilling med en helning på maks. 10° i forhold til den vertikale aksen. Pumpen kan plasseres på føttene, eller opphenges i inngangsflensen. Fest turbopumpen i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en koplingsflens med et dreiemoment på 20000 Nm rundt aksen. Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer. Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte flensdimensjonene og typer klemmer. FLENS ISO 500 ! Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte pumper til erstatning for den ødelagte pumpen. MERK Før pumpen returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for en overhalt pumpe, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges pumpen som sendes tilbake. TYPE KLEMME ANT. STRAMMEMOMENT Dobbel klemme, gjenge M16 12 80 Nm Enkel klemme, gjenge M16 12 80 Nm ADVARSEL! Før noe arbeid gjøres på turbopumpen må den frakoples tilførselen, den må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50°C. Dersom en pumpe skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser. Dersom pumpen plasseres på føttene, må de festes til støtteflaten ved bruk av M12-hullene ved føttene. Disse hullene er plassert i en sirkel med en diameter på 550 mm (21,6 tommer). Pumpen leveres med smøreolje i en separat beholder. Det er derfor nødvendig å fylle oljesumpen før bruk. Se den spesifikke prosedyren i “Teknisk informasjon”. For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk informasjon". 18 87-900-838-01(B) KÄYTTÖOHJEET YLEISIÄ TIETOJA ! Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti mukana seuraava käyttöohje sekä kaikki muu Varianin toimittama lisätieto. Varian ei ota vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydestä tai osittaisesta laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen lainsäädännön vastaisesta käytöstä. Turbo-V6000 sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja, jotka on tarkoitettu korkean ja ultrakorkean tyhjiön muodostamiseen. Ne soveltuvat kaikentyyppisien kaasujen tai kaasuseosten pumppaamiseen. Ne eivät sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaukseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (14000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jonka korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori käynnistää. Turbo-V6000 sarjan pumpuissa ei ole lainkaan likaavia aineita, joten ne soveltuvat myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin. Seuraavilla sivuilla on luettavissa kaikki tarpeellinen tieto laitteen käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana. Yksityiskohtaista tietoa saa osasta "Technical Information". Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä: ! HUOMIO! Jotta kaasun poistumisongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiöön tarkoitettuihin osiin tule koskea paljain käsin. Hanskojen tai muun sopivan suojan käyttö on tarpeellinen. VAARA! Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai toimintatapaan, joiden vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkilövaurioihin. ! HUOMIO! Huomio-merkit ovat nähtävissä ennen toimintatapoja, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen. HUOMAUTUKSET HUOMAUTUS Huomautuksissa käyvät ilmi tekstissä käsitellyt tärkeät tiedot. Pumppu ei vahingoitu sen ollessa yksinkertaisesti avoinna. On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna kunnes se kytketään järjestelmään, jotta vältettäisiin sen mahdollinen saastuminen pölyltä. VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti: • Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää: • lämpötila: -20 °C - 70 °C. • suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä). • Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä ensimmäisen kerran. • Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimituspäivästä. ASENNUS ! VAARA! Ajatellen pumpun painoa, tätä tulee käsitellä ainoastaan siihen tarkoitetulla nosto- ja siirtolaitteiston avulla. ! !HUOMIO! HUOMIO! Poista tarra ja irrota suojakorkki vasta silloin, kun yhdistät turbopumpun järjestelmään. Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-edustajalta. VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Pumpun toimitus tapahtuu erityisessä suojaavassa pakkauksessa; mikäli havaittavissa on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon. Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti pumpun putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja. Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali on täysin kierrätettävä ja se vastaa EEC 85/399 direktiiviä ympäristön suojelusta. 19 87-900-838-01(B) KÄYTTÖOHJEET Pumpun mukana toimitetaan erillinen voiteluöljyä sisältävä astia. Täytä öljypohja ennen laitteen käyttöönottoa. Tämä toimenpide on kuvailtu yksityiskohtaisesti kappaleessa “Technical Information”. Lisälaitteiden asennuksen ohjeet ovat nähtävissä "Technical Information" osassa. Pumppua ei tule asentaa eikä käyttää ympäristössä, missä se joutuu kosketuksiin sateen, jään tai lumen, pölyn tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdystai tulipalovaara. Käytön aikana on tarpeellista noudattaa seuraavia ympäristöä koskevia ehtoja: - maksimipaine: 2 bar, paitsi atmosfäärinen paine - lämpötila: +5°C - +35°C - suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä) KÄYTTÖ Turbopumpun oikeaoppiseen käyttöön tarvittavat ohjeet löytyvät valvojan käsikirjasta. Lukekaa huolellisesti kyseinen käsikirja ennen käyttöönottoa. ! HUOMIO! Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää ilmaa tai jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olla alle 2 bar:ia (paitsi atmosfäärinen paine). EI ! ! HUOMIO! Pumpun voiteluöljyn tason ei tule koskaan laskea MIN- tason alapuolelle sen toiminnan aikana, sillä muussa tapauksessa öljyn puute voi aiheuttaa pumpun vahingoittumisen. ! HUOMIO! Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua. ! ! VAARA! Älä koskaan aseta sormiasi tai muita esineitä turbopumpun syöttöaukon sisään, sillä ne saattavat ruhjoutua pahasti. Suosittelemme pikkuisen suojaverkon käyttöä (valinnainen), mikäli syöttöaukossa käytetään tärinänvaimenninta tai taipuisia metallipalkeita. Kiinnitä turbopumppu aina jalustaan kiinni. HUOLTO Sarjan Turbo-V6000 pumput eivät vaadi lainkaan huoltoa. Minkä tahansa toimenpiteen täytyy suorittaa siihen valtuutettu henkilö. Voiteluöljy tulee vaihtaa joka kuuden kuukauden välein tai aina silloin, kun se muuttuu sameaksi tai tummaksi. Kappaleesta “Technical Information” saatte ohjeet tämän toimenpiteen suorittamiseen. Mikäli magneettikenttijä on läsnä pumppu tulee suojata tähän tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical Information“-liitteestä. Sarjan V6000 turbomolekyylipumppuja tulee käyttää ainoastaan niihin sopivien varian valvojien kanssa (sarja 969-9491, 969-9591) ja niiden täytyy olla yhdistettyinä pääpumppuun (katso kaaviota osasta "Technical Information"). Turbopumppu tulee asentaa pystyasentoon, jolloin sen maksimikallistuskulma ei saa ylittää 10° suhteessa pystyakseliin. Pumppu voidaan asettaa maahan jalkojensa varaan tai asettaa riippumaan sisääntulolaipan avulla. Turbopumppu tulee kiinnittää vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kannattaa 20000 Nm momenttia akselinsa ympärillä, tai käyttäen tarkoitukseen sopivia lisävarusteita sen kiinnittämiseen. Turbopumpun ISO sisääntulolaipalla tulee kiinnittää tyhjiökammariin kaksois kiinnikkeillä tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä. Seuraava taulukko kuvaa kaikki laippakoot ja kiinnikemallit, kiinnikkeiden tarpeellisen määrän ja kiristysmomentti. LAIPPA ISO 500 KIINNIKE ! 12 80 Nm Yksinkertainen kiinnike, kierteitys M16 12 80 Nm VAARA! Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä ottakaa pois päältä verkkovirta, päästäkää pumppuun ilmaa avaten siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä ja että pumpun pintalämpö on alle 50º. Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin korjauspalvelua tai "Varian advanced exchange service", joka mahdollistaa regeneroidun pumpun saamisen vahingoittuneen tilalle. HUOMAUTUS Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai advanced exchange serviceä varten, on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys"-kaavake, joka löytyy liitteenä ohjekirjan mukana. Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liittää pumpun pakkaukseen ennen sen lähettämistä. MÄÄ KIRISTYS-RÄ MOMENTTI Kaksoiskiinnike, kierteitys M16 VAARA! Jolloin pumppua käytetään myrkyllisten, tulenvaarallisten ja radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen tulee seurata joka kaasuun sopivaa menettelytapaa. Älkää käytä pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä. Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla. Mikäli pumppu asetetaan jalkojensa varaan, ne tulee kiinnittää laitteen perustan kierteillä varustettuihin reikiin M12, jotka on sijoitettu tukijalasten mukaisesti. Reiät on asetettu ympyrän muotoon, jonka läpimitta on 550 mm (21,6 tuumaa). 20 87-900-838-01(B) ODHGIES CRHSHS GENIKES PLHROFORIES ! Authv h suskeuhv proorivzetai gia epaggelmatikhv crhvsh. O crhvsthÇ qa prevpei na diabavsei prosektikav tiÇ odhgiveÇ tou parovntoÇ egceirivdiou kai opoiadhvpote avllh provsqeth plhroforiva pou divnei h Varian, prin apov th crhsimopoivhsh thÇ suskeuhvÇ . HVarian den fevrei kammiva euquvnh ovson aforav thn olikhv hv merikhv aqevthsh twn odhgiwvn, thn akatavllhlh crhvsh ek mevrouÇ anekpaivdeutou proswpikouv, auqaivreteÇ epembavseiÇ hv crhvsh pou den sumfwneiv me tiÇ eidikevÇ eqnikevÇ diatavxeiÇ . Oi antliveÇ thÇ kathgorivaÇ Turbo-V6000 eivnai strobilomoriakevÇ antliveÇ gia efarmogevÇ uyhlouv kai poluv uyhlouv kenouv, ikanevÇ na antlhvsoun kavqe eivdouÇ aevrio hv aeriouvco sustatikov. Eivnai akatavllhleÇ gia thn avntlhsh ugrwvn hv sterewvn swmatidivwn. H avntlhsh epitugcavnetai diamevsou mivaÇ tourmpivnaÇ pou peristrevfetai se uyhlhv tacuvthta (14.000 strofevÇ §leptov max), h opoiva kineivtai apov evna trifasikov hlektrikov motevr uyhlhvÇ apovdoshÇ . Oi antliveÇ Turbo-V6000 den perievcoun rupantikouvÇ paravgonteÇ , eivnai katavllhleÇ loipovn kai gia efarmogevÇ pou apaitouvn evna økaqarovø kenov. StiÇ epovmeneÇ paragravfouÇ anafevrontai ovleÇ oi aparaivthteÇ plhroforiveÇ pou egguouvntai thn asfavleia tou ceiristhv katav th diavrkeia thÇ crhsimopoivhshÇ thÇ suskeuhvÇ . LeptomereivÇ plhroforiveÇ divnontai sto paravrthma øTecnikevÇ PlhroforiveÇ ø. Autov to egceirivdio crhsimopoieiv tiÇ akovlouqeÇ sumbavseiÇ ¿ ! PROSOCH Prokeimevnou na apofuvgete problhvmata apov thn apeleuqevrwsh aerivou, mhn aggivzete me gumnav cevria ta tmhvmata pou provkeitai na ekteqouvn sto kenov. Na crhsimopoieivte pavnta gavntia hv avllh katavllhlh prostasiva. KINDUNOS! Oi endeivxeiÇ kinduvnou elkuvoun thn prosochv tou ceiristhv se miva diadikasiva hv se miva eidikhv ergasiva h opoiva an den ektelesteiv swstav, qa mporouvse na prokalevsei sobarevÇ proswpikevÇ blavbeÇ . ! PROSOCH ! Oi endeivxeiÇ prosochvÇ emfanivzontai prin apov tiÇ diadikasiveÇ oi opoiveÇ an den ektelestouvn me prosochv, qa mporouvsan na prokalevsoun zhmievÇ sth suskeuhv. SHMEIWSH H antliva den katastrevfetai an aplwvÇ ekteqeiv ston atmosfairikov aevra. SaÇ sumbouleuvoume ovmwÇ na thn krathvsete kleisthv mevcri th stigmhv pou qa egkatastaqeiv sto suvsthma, evtsi wvste na apofeucqeiv h endecovmenh ruvpansh apov th skovnh. SHMEIWSH Oi shmeiwvseiÇ perievcoun shmantikevÇ evcoun apospasteiv apov to keivmeno. plhroforiveÇ pou EGKATASTASH APOQHKEUSH Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒ thtaj kai axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na throÚ ntai oi exÿj prodiagraf◊j¿ • kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j sunqÿkej¿ • qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C • scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh) • o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me ton trÒ po Soft-Start Ò tan paralamb£nontai kai q◊tontai se leitourg∂a gia prèth for£ • o crÒ noj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10 mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj. ! KINDUNOS! H antliva, lovgw tou bavrouÇ thÇ , prevpei na metakinhqeiv diamevsou katavllhlwn suvnergwn anuvywshÇ kai metakivnhshÇ . ! PROSOCHç Xekollhvste to autokovllhto kai bgavlte to prostateutikov kapavki movno th stigmhv thÇ suvndeshÇ thÇ tourmpoantlivaÇ sto suvsthma. ! PROSOCH E£n, gia opoiodÿpote lÒ go, o crÒ noj apoqÿkeushj e∂nai megalÚ teroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚ me na epikoinwnÿsete me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian. PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH H antliva promhqeuvetai mevsa se miva eidikhv prostateutikhv suskeuasiva. An upavrcoun endeivxeiÇ blavbhÇ pou qa mporouvsan na evcoun proklhqeiv katav th diavrkeia thÇ metaforavÇ , sumbouleuteivte to topikov tmhvma pwlhvsewn. Katav th diavrkeia tou anoivgmatoÇ thÇ suskeuasivaÇ , dwvste idiaivterh prosochv evtsi wvste na mhn pevsei kai na mhn ctuphqeiv h antliva. Mhn egkataleivpete th suskeuasiva sto peribavllon. To ulikov anakuklwvènetai plhvrwÇ kai antapokrivnetai sthn Odhgiva thÇ E.O.K. 85/399 gia thn diafuvlaxh tou peribavllontoÇ . 21 87-900-838-01(B) ODHGIES CRHSHS brivskontai se evnan kuvklo me diavmetro 550 mm (21,8 ivntseÇ). H antliva apostevlletai me to lavdi livpanshÇ se evna xecwristov doceivo, gi j autov to lovgo prin th crhvsh prevpei na gemivsete to rezerbouavr tou ladiouv. Gia leptomerevstereÇ plhroforiveÇ thÇ diadikasivaÇ pou prevpei na akolouqhvsete blevpete to paravrthma "TecnikevÇ PlhroforiveÇ". Gia thn egkatavstash twn proairetikwvn axesouavr, blevpe "TecnikevÇ PlhroforiveÇ". H antliva den qa prevpei na egkatastaqeiv kai§hv na crhsimopoihqeiv se cwvrouÇ ekteqeimevnouÇ se atmosfairikouvÇ paravgonteÇ (brochv, pavgo, ciovni), skovneÇ, polemikav aevria, se cwvrouÇ ovpou upavrcei kivndunoÇ evkrhxhÇ hv kivndunoÇ purkagiavÇ. Katav th diavrkeia thÇ leitourgivaÇ prevpei na throuvntai oi akovlouqeÇ sunqhvkeÇ peribavllontoÇ: - mevgisth pivesh: 2 bar pavnw apov thn atmosfairikhv pivesh - qermokrasiva : apov + 5 °C mevcri + 35°C - scetikhv ugrasiva: 0 - 95% (asumpuvknwth). CRHSH OleÇ oi odhgiveÇ gia th swsthv leitourgiva thÇ tourmpoantlivaÇ perievcontai sto egceirivdio thÇ monavdaÇ elevgcou. Diabavste prosektikav autov to egceirivdio prin apov th crhvsh. ! PROSOCH ! Gia na dioceteuvsete me aevra thn antliva crhsimopoieivste aevra hv adranevÇ aevrio kaqarov apov skovnh hv avlla stoiceiva. H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ, prevpei na eivnai mikrovterh apov 2 bar (pavnw apov thn atmosfairikhv pivesh). OCI! ! PROSOCH ! Gia na apofeugcqouvn oi blavbeÇ sthn antliva to epivpedo tou ladiouv livpanshÇ den prevpei potev na eivnai katwvtero apov to epivpedo MIN kata v th diavrkeia thÇ leitourgivaÇ thÇ ivdiaÇ thÇ antlivaÇ. ! PROSOCH ! ! Na apofeuvgontai ctuphvmata hv apovtomeÇ metakinhvseiÇ thÇ tourmpoantlivaÇ ovtan eivnai se leitourgiva. Qa mporouvsan na dhmiourghqouvn blavbeÇ sta roulemavn. KINDUNOS! Gia thn apofughv proswpikouv traumatismouv mh qevtete potev gia kanevna lovgo, ta davktula hv avlla antikeivmena sto stovmio thÇ eisovdou thÇ tourmpoantlivaÇ. Sumbouleuvetai h crhvsh prostateutikouv ductiouv (proairetikov). An crhsimopoieivtai evnaÇ aposbesthvraÇ katav twn donhvsewn hv evna mikrov elastikov fuserov sto stovmio thÇ eisovdou, sterewvnete pavnta thn tourmpoantliva sth bavsh. ! Parousiva hlektromagnhtikwvn pedivwn h antliva prevpei na prostateuvetai me katavllhla prokaluvmmata. Blevpe to paravrthma øTecnikevÇ PlhroforiveÇø gia perissovtereÇ leptomevreieÇ. Oi tourmpomoriakevÇ antliveÇ thÇ seiravÇ Turbo-V6000 prevpei na crhsimopoiouvntai movno me evnan apov touÇ eidikouvÇ elegktevÇ Varian (seirevÇ 969-9491, 969-9591) kai prevpei na eivnai sundedemevneÇ me miva prwteuvousa antliva (blevpe schvma stiÇ øTecnikevÇ PlhroforiveÇø. H tourmpoantliva prevpei na egkatastaqeiv se kavqeth qevsh, me miva mevgisth klivsh 10" se scevsh me ton kavqeto avxona. H antliva mporeiv na parameivnei akoumpismevnh sta povdia thÇ, hv na anarthqeiv diamevsou thÇ flavntzaÇ eisovdou. Sterewvste thn tourmpoantliva se staqerhv qevsh enwvnontaÇ th flavntza eisovdou me miva staqerhv kovntroflavntza ikanhv na sugkrathvsei evna zeuvgoÇ 20000 Nm guvrw apov ton avxonav thÇ. H tourmpoantliva me flavntza eisovdou ISO prevpei na sterewqeiv sto qavlamo kenouv mevsw diplwvn hv monwvn mevggenwn. H akovlouqh tampevla perigravfei to aparaivthto nouvmero mevggenwn kai me poio zeuvgoÇ bidwvmatoÇ na ta sfivxete. FLANTZA ISO 500 TUPOS MEGGENHS N. SUNTHRHSH Oi antliveÇ thÇ kathgorivaÇ Turbo-V6000 de creiavzontai kammiva sunthvrhsh. Opoiadhvpote epevmbash prevpei na givnetai apov exousiodothmevno proswpikov. To lavdi livpanshÇ prevpei na allavzetai kavqe evxi mhvneÇ hv ovtan givnetai pacuvreusto kai skouvro sto crwvma. Blevpe "TecnikevÇ PlhroforiveÇ" gia th scetikhv diadikasiva. ! 12 80 Nm Monhv mevggenh me elivkwsh M16 12 80 Nm KINDUNOS! Prin epiceirhvsete opoiadhvpote epevmbash sthn tourmpoantliva, aposundevste to kalwvdio trofodosivaÇ, kavnte exaevrwsh sthn antliva anoivgontaÇ thn eidikhv balbivda anamevnete mevcri thn plhvrh akinhtopoivhsh tou rovtora kai perimevnete mevcri h qermokrasiva thÇ epifavneiaÇ thÇ antlivaÇ na eivnai katwvterh apov 50°C. Se perivptwsh blavbhÇ mporeivte na apeuqunqeivte sto sevrbiÇ episkeuwvn Varian hv sto “Varian advanced exchange service”, pou saÇ divnei th dunatovthta na antikatasthvsete thn calasmevnh antliva me miva avllh eniscumevnh. ZEUGOS BIDWMATOS Diplhv mevggenh me elivkwsh M16 KINDUNOS! Otan h antliva crhsimopoieivtai gia thn avntlhsh toxikwvn, euvflektwn hv radienergwvn aerivwn, akolouqeivste tiÇ katavllhleÇ diadikasiveÇ eidikav gia to kavqe aevrio. Mhn crhsimopoieivte thn antliva parousivaÇ ekrhktikwvn aerivwn. SHMEIWSH Prin epistrevyete ston kataskeuasthv thn antliva gia episkeuhv hv gia advanced exchange service, eivnai aparaivthto na sumplhrwvsete kai na parousiavsete sto topikov Grafeivo Pwlhvsewn, to evntupo øSigouriav kai ugeivaø sunhmmevno sto parovn egceirivdio odhgiwvn. Antivgrafo tou ivdiou entuvpou prevpei na upavrcei mevsa sth suskeuasiva thÇ antlivaÇ prin apov thn apostolhv. Se perivptwsh pou h antliva sthrivzetai sta povdia thÇ, autav ta teleutaiva prevpei na sterewqouvn sthn epifavneia sthvrixhÇ crhsimopoiwvntaÇ tiÇ elikweideivÇ opevÇ M12 pou evcoun teqeiv se antapovkrish twn podiwvn sthvrixhÇ. AutevÇ oi opevÇ Otan plevon pauvsei na leitourgeiv h antliva qa prevpei na katastrafeiv suvmfwna me touÇ eidikouvÇ eqnikouvÇ kanonismouvÇ. 22 87-900-838-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE GENERAL INFORMATION ! This equipment is destined for use by professionals. The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment. Varian will not be held responsible for any events occurring due to non-compliance, even partial, with these instructions, improper use by untrained persons, non-authorised interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards. The Turbo-V 6000 series pumps are turbo-molecular pumps for high and ultra-high vacuum applications and can pump any type of gas or gas compound. They are not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 14000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The Turbo-V 6000 pumps are free of contaminating agents and, therefore, are suitable for applications requiring a "clean" vacuum. The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment. Detailed information is supplied in the appendix "Technical Information". This manual uses the following standard protocol: ! CAUTION In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection. NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the pump. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust. WARNING! The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to serious injury. ! CAUTION The caution messages are displayed before procedures which, if not followed, could cause damage to the equipment. NOTE The notes contain important information taken from the text. STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed: • when shipping, moving and storing pumps, the following environmental specifications should not be exceeded: • temperature range: -20 °C to 70 °C • relative humidity range: 0 to 95% (non condensing) • the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer • the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date. INSTALLATION ! WARNING! Cause its weight, the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools. ! CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system. !CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations. PREPARATION FOR INSTALLATION The pump is supplied in a special protective packing. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office. When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an unauthorised manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 85/399. 23 87-900-838-01(B) INSTRUCTIONS FOR USE USE Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk. During operation, the following environmental conditions must be respected: − maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure − temperature: from +5 °C to +35 °C − relative humidity: 0 - 95% (non-condensing) In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for detailed information. All the instructions for the correct use of the turbopump are contained in the control unit manual. Read the manual carefully before using the pump. ! CAUTION Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2 bar (above atmospheric pressure). ! CAUTION To avoid damage to the pump the lubrication oil level must never decrease below the MIN level during the pump operation. ! NO! CAUTION Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation. The bearings may become damaged. ! WARNING! When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not use the pump in presence of explosive gases. MAINTENANCE ! The Turbo-V 6000 series pump does not require any maintenance. Any work performed on the pump must be carried out by authorised personnel. The lubrication oil must be changed every six months or whenever the oil becomes opaque or dark brown. The relevant procedure is detailed into the appendix “Technical Information”. WARNING! To avoid injury, never put fingers or any objects whatsoever in the inlet port of the turbopump. The use of the protective screen is strongly advised (optional extra). If a vibration damper or flexible metallic bellows are used on the inlet port, make sure that the pump is fixed to the base. ! The Turbo - V 6000 series pumps must only be used with one of the special Varian controllers (series 969-9491, 969-9591) and must be connected to a primary pump (see "Technical Information"). The turbopump must be installed vertically with a maximum slope of 10°. The pump can either rest on its support pedestal or it can be suspended from the high vacuum flange. Fix the turbopump in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque of 20000 Nm around its axis. The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws. The following table shows the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque. FLANGE ISO 500 FIXING DEVICE M16 clamps M16 claws N. FIXING TORQUE 12 12 80 Nm 80 Nm WARNING! Before carrying out any work on the turbopump, disconnect it from the supply, vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 °C. In the case of breakdown, contact your local Varian service center who can supply a reconditioned pump to replace that broken down. NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or replacement with a reconditioned unit, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted in the pump package before shipping. If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance with the specific national standards. When the pump rest on its legs, attach them to the bench using the M12 threaded holes in the legs where the rubber feet are installed. These holes are located on a 550 mm (21.6 inches) diameter. For installation of optional accessories, see "Technical Information". 24 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION During normal operation, the motor is fed with a voltage of 100 Vac three-phase at 233 Hz. To reduce losses during start-up to a minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage/frequency ratio. The motor stator windings and the earth are connected to a Turbo-V controller through a 7 pin socket on the bottom side of the pump. A water jacket surrounds the pump stator and is used to cool the lubrication oil and the motor, which operates in the forevacuum region of the pump. Cooling water is connected to the pump via two riffled nozzles on the cooling jacket. Temperature sensors are located near the top and the bottom bearings and the values are displayed on the controller upon selection. Another temperature sensors is located between the motor and the body and switches off the pump if the temperature exceeds 65 °C. A photodetector located on the forevacuum region allows to measure the rotational speed of the pump and its value is displayed on the controller upon selection. The oil is centrifugally pumped from the conical nose of the shaft into the pump and is ejected above the upper and lower bearings. As it falls it lubricates and cools the bearings, finally draining back to the transparent oil sump where any particulates are filtered by the small metering hole in the sump. An oil level sensor is located into the oil sump to monitor the oil level and if it decreases below the minimum level the pump is stopped automatically. Temperature sensors, rotational speed photodetector and oil level sensor are wired to a 14 pins socket located on the bottom side of the pump. The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.05 µm. The pump must be mounted vertically, with a maximum allowable slope of 10°. It can be suspended by inlet flange or rest upon its support legs. The connection of the forevacuum on the side of the pump is an ISO 100 flange. DESCRIPTION OF THE TURBOPUMP The Turbo-V6000 pump is available in two models which differ only in the high vacuum flange: − Model 969-9081 with ISO 500 high vacuum flange − Model 969-9082 with 20” internal diameter Wheeler high vacuum flange Model 969-9081 Model 969-9082 The Turbo-V6000 pump consists of a medium frequency motor driving a turbine fitted with 12 bladed stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy. The first 3 high vacuum stages have blade angles of 40°, the subsequent four stages have blade angles of 30°, and the lower stages have blade angles of 20°. The turbine rotor is supported by high precision ball bearings oil lubricated: the upper one is a double ceramic ball bearing, the lower one is a double stainless steel ball bearing. The static blades of the stator are made of aluminium. These are supported and accurately positioned by spacer rings. 25 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed N2: 6000 l/s He: 7000 l/s H2: 6500 l/s Compression ratio N2: >1 x 10 5 He: 2 x 10 3 H2: 7 x 10 Coolant water (minimum characteristics) flow: 100 l/h (0.45 GPM) temp.: + 10° C to + 25° C pressure: 2 to 4 bar (30 to 60 Psi) Bakeout temperature 120° C at inlet flange maximum Vibration level (displacement) < 0.05 µm at inlet flange Noise level ≤ 55 dB (A) at 1 meter 9 -10 Base pressure* 5 x 10 Inlet flange ISO 500 20” I.D. Wheeler -10 mbar (4 x 10 Torr) Foreline flange ISO 100 Input 100 Vac, three phase, 233 Hz Vent port flange KF 10 NW Lubricant type Varian T.A. oil Rotational speed 14000 rpm Lubricant charge 1000 cm Start-up time 30 minutes Storage temperature - 20° C to + 70° C Recommended forepump Varian SD 1400 Weight kg (lbs) 250 (550) Operating position Vertical (max slope 10°) Operating ambient temperature + 5° C to + 35° C 3 * According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, using the recommended forepump. 26 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure Graph of compression ratio vs foreline pressure Graph of nitrogen throughput vs inlet pressure using the recommended mechanical forevacuum pump 27 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange. INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod. 969-9308 prevents the blades of the pump from being damaged by debris greater than 2 mm diameter. The inlet screen, however, will reduce the pumping speed by about 15%. VENT VALVE INSTALLATION The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure. The vent valve mod. 969-9833 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (5 sec maximum), and enables an automatic vent operation. Fix the vent valve to the vent port of the pump as shown in the figure of the following paragraph. The screen can be mounted on each pump model. 28 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION VENT DEVICE INSTALLATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM The vent device mod. 969-9831 allows to avoid undesired venting of the pump during a temporary power failure (adjustable time up to 36 min.), and enables an automatic vent operation. Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp as shown in the following figure. 1. Turbo-V controller 2. Vent valve 3. Vacuum pump shut-off valve (optional) 4. System vent valve (optional) 5. Vacuum chamber 6. Ionisation gauge 7. Fore-vacuum pump connecting flange 8. Oil mist eliminator 9. Fore-vacuum pump with internal one-way valve 10. Fore-vacuum pump control relay 11. Connection for water cooling 12. Roughing line with valve (optional) 13. Turbopump 14. Flexible connection 29 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION Connection A - HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange, remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure. Connection C - ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through two connectors: a 7-pin connector and a 14-pin connector. The power is supplied via the 7-pin connector where pins B, G and E are the 3-phase supply to the motor, pin D for ground connection between pump and controller and pins A and F are not connected (see the following figure). Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure. All the other signals are connected via the 14-pin connector where pins B, K and I are connected to the photodetector, pins E and D to the motor stator thermistor, pins E and C to the body thermistor, pins F and G to the top bearing thermistor, pins F and H to the bottom bearing thermistor, pins A and J to the oil level sensor and pins L, M and N are not used (see the following figure). Connection B - FORE-VACUUM PUMP A flange ISO 100 is available to connect the Turbopump to the forevacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows. NOTE The Turbo pump is characterised by its high compression ratio also for oil vapours. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent oil backstreaming. 30 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING CONNECTION OIL FILL Prior the use of the pump, the oil sump must be filled with oil according to the following procedure. 1. Remove the screws at the bottom of the pump and detach the empty oil sump. 2. Check the cleanliness of the sump, then fill it with the recommended oil up to the OIL mark level. 3. Place O-ring into the seat and reattach the sump immediately to avoid particulate contamination of the oil. Do not overtighten the screws to prevent breakage of the sump. The turbopump must be used with the water cooling connected. To connect the water cooling to the turbopump see the following figure. NOTE When the pump is first operated with a new charge of oil, for some minutes after starting a foam formation due to outgassing is visible through the oil sump. After several minutes the oil becomes clear and will drip back into the sump. NOTE The oil level will be lower than the OIL mark when the pump is in operation. 31 87-900-838-01(B) TECHNICAL INFORMATION PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation. PREVENTIVE MAINTENANCE The oil must be changed every six months or whenever the oil becomes opaque or dark brown. Change the oil according to the following procedure: 1. Unscrew the screws attaching the oil sump to the pump. 2. Lower the sump, empty old oil charge. 3. Clean the sump thoroughly (do not use alcohol) and fill it with a new charge of oil. 4. Reattach the sump immediately to avoid particulate contamination, making sure the O-ring is cleaned and properly seated. Do not overtighten the screws to avoid breakage of the sump. The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool. This effect is strongly dependant from the intensity, time function and distribution of the magnetic field. NOTE Do not mix oil; use only Varian T.A. oil. In general, therefore, an increase in pump current can be expected. ACCESSORIES DESCRIPTION If this increase is lower than 50% of the current value drawn by the motor in high vacuum operation, no particular problem should be expected. However if the effect is grater, than the case should be carefully reviewed by Varian's specialist. As a matter of fact, in case of high magnetic fields, also important forces might be generated and applied to the rotor. PART NUMBER Inlet screen 969-9308 Vent valve with fixed delay time 969-9833 Vent device with adjustable delay time 969-9831 3 Varian T.A. oil, 100 cm 969-9901 3 Varian T.A. oil, 1000 cm 969-9902 Forepump SD 1400 with 3 ph., universal motor P1261-337 For a complete overview of Varian's extensive product lines, please refer to the Varian catalog. 32 87-900-838-01(B) Request for Return 1. 2. 3. 4. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out, signed and returned to Varian Customer Service. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN). The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit). Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you. North and South America Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Lexington, MA 02421 Phone : +1 781 8617200 Fax: +1 781 8609252 Europe and Middle East Varian SpA Via Flli Varian 54 10040 Leini (TO) – ITALY Phone: +39 011 9979111 Fax: +39 011 9979330 Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Local Office CUSTOMER INFORMATION Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..…. Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….….... Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..….. Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......……….. Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... Customer Ship To: ………………………….……… ……………..…………………... ………………..………………... PRODUCT IDENTIFICATION Product Description USA only: Taxable Non-taxable Customer Bill To: …………………..……………... ..………………………………... ..………………………………... Varian P/N Varian S/N TYPE OF RETURN (check appropriate box) Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Credit Shipping Error Evaluation Return Warranty Repair Calibration Purchase Reference Loaner Return Other ………………. HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem. The equipment listed above (check one): HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that equipment was exposed to, check all categories that apply: Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula. .…………………………………………………………………………………………………………………….. Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...……………………. Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../…… NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product. Do not write below this line Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: …………………….. Request for Return FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS Does not start Does not spin freely Does not reach full speed Mechanical Contact Cooling defective TURBOCONTROLLER ERROR Noise Vibrations Leak Overtemperature POSITION Vertical Horizontal Upside-down Other: …………………. PARAMETERS Power: Rotational Speed: Current: Inlet Pressure: Temp 1: Foreline Pressure: Temp 2: Purge flow: OPERATION TIME: MESSAGE: ION PUMPS/CONTROLLERS Bad feedthrough Poor vacuum Vacuum leak High voltage problem Error code on display Other Customer application: VALVES/COMPONENTS Main seal leak Solenoid failure Damaged sealing area Customer application: Bellows leak Damaged flange Other LEAK DETECTORS Cannot calibrate Vacuum system unstable Failed to start Customer application: No zero/high backround Cannot reach test mode Other INSTRUMENTS Gauge tube not working Communication failure Error code on display Customer application: Display problem Degas not working Other PRIMARY PUMPS Pump doesn’t start Doesn’t reach vacuum Pump seized Customer application: Noisy pump (describe) Over temperature Other DIFFUSION PUMPS Heater failure Doesn’t reach vacuum Vacuum leak Customer application: Electrical problem Cooling coil damage Other FAILURE DESCRIPTION (Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis): NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese. REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français. HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich. Sales and Service Offices Argentina Varian Argentina Ltd. Germany and Austria Varian Deutschland GmbH UK and Ireland Varian Ltd. Sucursal Argentina Av. Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel: (54) 1 783 5306 Fax: (54) 1 786 5172 Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel: (49) 6151 703 353 Fax: (49) 6151 703 302 28 Manor Road Walton-On-Thames Surrey KT 12 2QF England Tel: (44) 1932 89 8000 Fax: (44) 1932 22 8769 Australia Varian Australia Pty Ltd. India Varian India PVT LTD United States Varian Vacuum Technologies 679-701 Springvale Road Mulgrave, Victoria ZZ 3170 Australia Tel: (61) 395607133 Fax: (61) 395607950 101-108, 1st Floor 1010 Competent House 7, Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel: (91) 11 5548444 Fax: (91) 11 5548445 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H, 3956 CP Leersum The Netherlands Tel: (31) 343 469910 Fax: (31) 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda. Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel: (55) 11 3845 0444 Fax: (55) 11 3845 9350 Canada Central coordination through: Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 USA Tel: (781) 861 7200 Fax: (781) 860 5437 Toll Free: (800) 882 7426 China Varian Technologies - Beijing Room 1201, Jinyu Mansion No. 129A, Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P.R. China Tel: (86) 10 6608 1530 Fax: (86) 10 6608 1534 France and Wallonie Varian s.a. 7 avenue des Tropiques Z.A. de Courtaboeuf – B.P. 12 Les Ulis cedex (Orsay) 91941 France Tel: (33) 1 69 86 38 13 Fax: (33) 1 69 28 23 08 11/01 Italy Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Other Countries Varian Vacuum Technologies Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) Italy Tel: (39) 011 997 9111 Fax: (39) 011 997 9350 Japan Varian Vacuum Technologies Internet Users: Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor 4-16-36 Shibaura Minato-ku, Tokyo 108 Japan Tel: (81) 3 5232 1253 Fax: (81) 3 5232 1263 Customer Service & Technical Support: Korea Varian Technologies Korea, Ltd. Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong Kangnam-gu, Seoul Korea 135-280 Tel: (82) 2 3452 2452 Fax: (82) 2 3452 2451 Mexico Varian S.A. Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel: (52) 5 523 9465 Fax: (52) 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd. 18F-13 No.79, Hsin Tai Wu Road Sec. 1, Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan, R.O.C. Tel: (886) 2 2698 9555 Fax: (886) 2 2698 9678 vtt.customer.service@varianinc.com Worldwide Web Site: www.varianinc.com/vacuum Order On-line: www.evarian.com Representatives in most countries
Source Exif Data:
File Type : PDF File Type Extension : pdf MIME Type : application/pdf PDF Version : 1.6 Linearized : No Author : Pierpaolo Massa Create Date : 2003:03:10 16:10:02+01:00 Modify Date : 2015:03:23 14:54:49-07:00 Has XFA : No Tagged PDF : No XMP Toolkit : Adobe XMP Core 5.4-c005 78.147326, 2012/08/23-13:03:03 Producer : Acrobat Distiller 5.0.5 (Windows) Metadata Date : 2015:03:23 14:54:49-07:00 Creator Tool : Acrobat PDFMaker 5.0 per Word Document ID : uuid:da9445de-431f-11d9-b400-000a95a593b2 Instance ID : uuid:49b75c5d-4419-c74d-8223-4c237c57eec3 Format : application/pdf Creator : Pierpaolo Massa Title : INFORMAZIONI GENERALI Page Mode : UseOutlines Page Count : 40EXIF Metadata provided by EXIF.tools