V81t

User Manual: v81t

Open the PDF directly: View PDF PDF.

T
urbo-V 81-T
Models: 969-8905, 969-8906, 969-8907,
969-8908
Manuale di istruzioni Instruksjon manual
Bedienungshandbuch Ohjekäsikirja
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
87-900-984-01 (E)
04/2011
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-984-01 (E)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION
Turbo-V 81-T
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 3/228
Turbo-V 81-T
Turbo-V 81-T
4/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 5/228
Contents
1 Istruzioni per l’uso 13
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
2 Gebrauchsanleitung 25
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26
Allgemeine Informationen 27
Lagerung 29
Vor der Installation 30
Installation 31
Gebrauch 34
Wartung 35
Entsorgung 36
Contents
6/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
3 Mode d’emploi 37
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38
Indications générales 39
Stockage 41
Preparation pour l’installation 42
Installation 43
Utilisation 46
Entretien 47
Mise au rebut 48
4 Manual de istrucciones 49
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50
Información general 51
Almacenamiento 53
Preparación para la instalación 54
Instalación 55
Uso 57
Mantenimiento 58
Eliminación 59
5 Manual de Istruções 61
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62
Informações gerais 63
Armazenagem 65
Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 7/228
Preparação para a instalação 66
Instalação 67
Utilização 69
Manutenção 70
Eliminação 71
6 Bedrijfshandleiding 73
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74
Algemene informatie 75
Opslag 77
Uitpakken 78
Installatie 79
Gebruik 82
Onderhoud 83
Afvalverwerking 84
7 Istruktionsbog 85
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86
Generel information 87
Opbevaring 89
Forberedelser før installation 90
Installation 91
Anvendelse 93
Vedligeholdelse 94
Contents
8/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Bortskaffelse 95
8 Bruksanvisning 97
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98
Allmän information 99
Förvaring 100
Förberedelser för installation 101
Installation 102
Användning 104
Underhåll 105
Bortskaffning 106
9 Instruksjon Manual 107
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108
Generell informasjon 109
Lagring 110
Klargjøre til installasjon 111
Installasjon 112
Bruk 114
Vedlikehold 115
Eliminering 116
10 Ohjekäsikirja 117
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118
Yleisiä tietoja 119
Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 9/228
Varastointi 120
Valmistelut asennusta varten121
Asennus 122
Käyttö 124
Huolto 125
Hävittäminen 126
11 Felhasználói Kézikönyv 127
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 128
Általános informáicó 129
Tárolás 130
Előkészítés telepítésre 131
Telepítés 132
Használat 135
Karbantartás 136
Megsemmisítés 137
12 Podrecznik Instrukcji 139
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
140
Ogólne Informacje 141
Magazynowanie 142
Przygotowanie do instalacji 143
Instalacja 144
Użytkowanie 147
Contents
10/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Konserwacja 148
Przetworstwo odpadow 149
13 Návod k Použití 151
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152
Všeobecné informace 153
Uskladnění 154
Příprava k instalaci 155
Instalace 156
Použití 158
Údržba 159
Likvidace 160
14 Návod na Obsluhu 161
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162
Všeobecné informácie 163
Uchovávanie 164
Príprava na inštaláciu 165
Inštalácia 166
Použitie 169
Údržba 170
Likvidácia 171
15 Priročnik za Navodila 173
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 174
Contents
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 11/228
Splošne informacije 175
Shranjevanje 176
Priprava za montažo 177
Montaža 178
Uporaba 180
Vzdrževanje 181
Odlaganje opadkov 181
16 Instructions for Use 183
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 184
General Information 185
Storage 186
Preparation for Installation 187
Installation 188
Use 190
Maintenance 191
Disposal 192
17 Technical Information 193
Description of the Turbo-V 81-T 194
Technical Specification 198
Turbo-V 81-T Outline 200
Inlet Screen Installation 203
Heater Band Installation 206
Contents
12/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Air Cooling Kit Installation 208
Water Cooling Kit Installation 210
Vent Accessories 213
Vibration Isolator Installation 214
Typical Layout Diagram 215
Pump used in Presence of Magnetic Fields 220
Accessories and Spare Parts 221
Vent Valve Model Selection Table 222
Turbo-V 81-T User Manual
13/228
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14
Informazioni Generali 15
Immagazzinamento 17
Preparazione per l’installazione 18
Installazione 19
Uso 22
Manutenzione 23
Smaltimento 24
Traduzione delle istruzioni originali
1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
14/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 15/228
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Le pompe della serie Turbo-V 81-T sono pompe turbomolecolari per
applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompare qualsiasi
tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo. Non sono adatte per
il pompaggio di liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il Turbo-V 81-T è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical Information”.
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
16/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all’apparecchiatura.
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l’attenzione dell’operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto,
potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 17/228
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da -20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
1 Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
18/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Preparazione per l’installazione
La Turbo-V 81-T viene fornita in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il
trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o
vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
Figura 1
NOTA La pompa non può essere danneggiata rimanendo semplice-mente esposta
all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al
momento dell'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da
polvere.
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 19/228
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Figura 2
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti
atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti
esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da +5 °C a +35 °C (vedere grafico nell’appendice
“Technical Information”)
umidità relativa: 0 – 95 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
1 Istruzioni per l’uso
Installazione
20/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Le pompe turbomolecolari della serie Turbo-V 81-T devono essere
utilizzate solo con uno degli appositi controller Agilent e devono
essere collegate ad una pompa primaria (vedere lo schema in
"Technical Information").
I controller disponibili sono i seguenti:
Rack controller 81-AG base: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
La Turbo-V 81-T può essere installata in qualsiasi posizione. Fissare
la Turbo-V 81-T in posizione stabile collegando la flangia di ingresso
della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad
una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse.
Per esempio la flangia ISO 63 può essere fissata con mor-setti in
acciaio ad alta resistenza (tipo modello Agilent IC 63250 DCMZ).
La seguente tabella descrive il numero di morsetti necessari e con
quale coppia di serraggio stringerli.
Tab. 1
FLANGIA TIPO DI MORSETTO N. COPPIA DI SERRAGGIO
ISO 63 Morsetto doppio con filettatura M10 4 22 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice "Technical
Information".
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 21/228
NOTA La Turbo-V 81-T non può essere fissata tramite la sua base.
ATTENZIONE!
La Turbo-V 81-T appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
1 Istruzioni per l’uso
Uso
22/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Uso
Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa
sono contenute nel manuale dell'unità di controllo. Leggere
attentamente tale manuale prima dell'utilizzo. Per raggiungere
migliori pressioni limite è possibile riscaldare il sistema.
Durante l'eventuale riscaldamento della camera da vuoto, la
temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a
120 °C con flangiatura ConFlat e a 80 °C con flangiatura ISO. Usare
sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di
riscaldamento.
VVERTENZA!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla
camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la
turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di
riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della
pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono
dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa
un flusso di gas inerte (Azoto o Elio) per proteggere i cuscinetti (vedere
l'appendice "Technical Information").
VVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 23/228
Manutenzione
Le pompe della serie Turbo-V 81-T non richiedono alcuna
manutenzione. Qualsiasi intervento deve essere eseguito da
personale autorizzato.
VVERTENZA!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,
attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura
superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione
Agilent o del "Agilent advanced exchange service", che permette di
ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto.
NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange
service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la
scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia
della stessa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
1 Istruzioni per l’uso
Smaltimento
24/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
Turbo-V 81-T User Manual
25/228
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 26
Allgemeine 27
Lagerung 29
Vor der Installation 30
Installation 31
Gebrauch 34
Wartung 35
Entsorgung 36
Übersetzung der Originalanleitungen
2 Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
26/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen
Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen
Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese
Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 27/228
Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen
einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Die Pumpen der Serie Turbo V 81-T sind Molekularpumpen für Hoch-
und Höchstvakuumanwendungen, die jede beliebige Art von Gasen
oder nicht korrosiven gasförmigen Gemischen pumpen können. Sie
sind nicht für das Pumpen von Flüssigkeiten oder
Festkörperpartikeln geeignet.
Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine
(max. 80000 1/min) erreicht, die von einem
Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Modell Turbo-V 81-T
enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich
deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum
erfordern.
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
2 Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
28/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
VORSICHT! Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
WARNUNG!
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen
Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text hervorgehoben
werden.
Gebrauchsanleitung
Lagerung
2
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 29/228
Lagerung
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten
werden:
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend)
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu
setzen.
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate
ab dem Speditionsdatum.
VORSICHT! Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist
überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für
Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter.
2 Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
30/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Vor der Installation
Turbo-V 81-T wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert.
Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen
Verkaufsstelle zu melden. Die Pumpe ist vorsichtig auszupacken,
wobei es vor dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu
schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu
entsorgen. Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
VORSICHT! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind
stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden.
Abbildung 1
HINWEIS Die Pumpe kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden. Es sollte
jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um
Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Gebrauchsanleitung
Installation
2
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 31/228
Installation
VORSICHT! Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der
Turbopumpe an das System abnehmen.
Abbildung 2
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor Wetter
(Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen sind, sowie
auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten
Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C (siehe Diagramm im Anhang
"Technical Information")
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 95 % (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe
entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
2 Gebrauchsanleitung
Installation
32/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo-V 81-T dürfen nur mit
einem der entsprechenden Controller Agilent verwendet werden und
müssen an eine Primärpumpe angeschlossen werden (siehe Schema
in der „Technical Information“).
Die verfügbaren Controller sind folgende:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Modell Turbo-V 81-T kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Turbo-V 81-T ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch
angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 250 Nm um
seine eigene Achse belastbar ist. Der ISO 63-Flansch kann z.B. mit
hochfesten Stahlklammern befestigt werden (wie das Agilent-Modell
IC 63250 DCMZ).
Die folgende Tabelle zeigt die erforderliche Anzahl von Klemmen und
das jeweilige Anzugsmoment.
Tab. 1
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 63 Doppelschelle mit NM10 Gewinde 4 22 Nm
Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen
Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschließen.
Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical
Information".
Gebrauchsanleitung
Installation
2
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 33/228
HINWEIS Modell Turbo-V 81-T kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
VORSICHT! Der Turbo-V 81-T gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von den
Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muß daher an eine
Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
2 Gebrauchsanleitung
Gebrauch
34/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Gebrauch
Alle Anweisungen für den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind
im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten. Bitte lesen Sie das
Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch. Für den Erhalt besserer
Grenzdruckwerte ist es möglich, das System zu erhitzen. Bei einer
eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Temperatur an
dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht über 120 °C
und bei einem ISO-Flansch nicht über 80 °C liegen.
Während der Erhitzungsvorgänge immer die Abkühlung mit Wasser
verwenden.
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
VORSICHT! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluß soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet, über
die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Helium) zuzuleiten ist (siehe
Anhang "Technical Information").
WARNUNG!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf
niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
Gebrauchsanleitung
Wartung
2
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 35/228
Wartung
Die Pumpen der Serie Turbo-V 81-T erfordern keine Wartung.
Eventuelle Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal
ausgeführt werden.
WARNUNG!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über
Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor
vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C
abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Agilent Service oder der "Agilent advanced
exchange service" in Anspruch genommen werden, der ein
generalüberholtes System als Ersatz für das defekte System zur
Verfügung stellt.
HINWEIS Bevor Fa. Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt
wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem Handbuch
beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der
Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung der Pumpe hat unter Beachtung der
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
2 Gebrauchsanleitung
Entsorgung
36/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Entsorgung
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende
Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste
Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur
in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt
nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern
einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. Der
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die
Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den
Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen
geprüft hat.
Turbo-V 81-T User Manual
37/228
3
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 38
Indications générales 39
Stockage 41
Preparation pour l’installation 42
Installation 43
Utilisation 46
Entretien 47
Mise au rebut 48
Traduction de la mode d’emploi originale
3 Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
38/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel
d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la
grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs
rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre
rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation
pourrait être libérée.
A
VERTISSEMENT!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation décrites
dans ce manuel!
Mode d’emploi
Indications générales
3
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 39/228
Indications générales
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.
Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de
lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel
des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Les pompes de la série Turbo-V 81-T sont des pompes
turbomoléculaires pour des applications de vide poussé et
ultrapoussé en mesure de pomper n’importe quel type de gaz ou de
composé non corrosif. Elles ne sont pas adaptées au pompage de
liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée (80000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à
haut rendement. Le Turbo-V 81-T est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre".
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation
de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information".
3 Mode d’emploi
Indications générales
40/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
ATTENTION! Les messages d’attention apparaissent avant certaines procédures qui, si elles
ne sont pas observées, pourraient endommager sérieusement l’appareillage.
A
VERTISSEMENT!
Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre,
risque de provoquer de graves lésions
NOTE Les notes contiennent des renseignements importants isolés du texte.
Mode d’emploi
Stockage
3
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 41/228
Stockage
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes
Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les
instructions suivantes :
Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent
impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
température: de –20 °C à +70 °C
humidité relative: de 0 à 95 % (non condensante)
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent
toujours être mises en marche par le client en mode soft-Start.
Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10
mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe
doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Agilent de zone.
3 Mode d’emploi
Preparation pour l’installation
42/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Preparation pour l’installation
Le Turbo-V 81-T est livré dans un emballage de protection spécial; en
cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit pendant
le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber la pompe et à ne lui faire
subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner l'emballage
dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et conforme à
la directive CEE 85/399 en matière de protection de l'environnement.
ATTENTION! Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre
protection appropriée.
Figure 1
NOTE La pompe ne peut s'endommager en restant simplement exposé à l'atmosphère.
Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le
garder dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
Mode d’emploi
Installation
3
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 43/228
Installation
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment de
brancher la turbopompe au système.
Figure 2
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux exposés aux
agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz
agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou à fort risque
d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
température: de +5 °C° à +35 °C (Cf. graphique dans "Technical
Information")
humidité relative: 0 – 95 % (non condensante).
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à
l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se
reporter à l'opuscule "Technical Information".
3 Mode d’emploi
Installation
44/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Les pompes turbomoléculaires de la série Turbo-V 81-T doivent être
utilisées uniquement avec un des contrôleurs prévus Agilent et
doivent être reliées à une pompe primaire (voir le schéma sur
"Technical Information").
Les contrôleurs disponibles sont les suivants:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Le Turbo-V 81-T peut être installée dans n'importe quelle position. Le
fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de la
turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un couple de
serrage de 250 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 63
peut être fixé à l'aide de brides en acier à haute résistance (comme le
modèle Agilent IC 63250 DCMZ).
Le tableau suivant indique, le nombre de brides néces-saires et le
couple de fixation correspondant.
Tab. 1
BRIDE TYPE DE COLLIER N. COUPLE DE SERRAGE
ISO 63 Collier double à filetage M10 4 22 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre
à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet.
Pour tout autre détail, se reporter à l'appendice "Technical
Information".
Mode d’emploi
Installation
3
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 45/228
NOTE Le Turbo-V 81-T ne peut être fixé par sa base.
ATTENTION!
Le Turbo-V 81-T appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou
surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif à
une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à "Technical
Information".
3 Mode d’emploi
Utilisation
46/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Utilisation
Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo
pompe sont contenues dans le manuel de l’unité de contrôle. Lire
attentivement ce manuel avant l’emploi. Pour atteindre des pressions
limites meilleures, on peut chauffer le système.
Pendant le chauffage éventuel de la chambre à vide, la température
sur la collerette d’entrée ne doit pas être supérieure à 120 °C avec
collerette ConFlat et à 80 °C avec collerette ISO. Utiliser toujours le
refroidissement à eau pendant les opérations de chauffage.
AVERTISSEMENT!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à la
chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture. Eviter
de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels pendant les
opérations de chauffage. La température élevée peut être à l'origine de
lésions graves.
ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou déplacement
brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le refoulement de l'air de la
pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de poussière ou de particules. La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être inférieure à 2 bar
(au-delà de la pression atmosphérique). Pour le pompage de gaz agressifs, ces
pompes sont dotées d'une porte spéciale à travers laquelle il est nécessaire de
fournir à la pompe un flux de gaz inerte (azote ou Hélium) pour protéger les
paliers (voir l'appendice "Technical Information").
A
VERTISSEMENT!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques, inflammables
ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque gaz. Ne pas utiliser
la pompe en présence de gaz explosifs.
Mode d’emploi
Entretien
3
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 47/228
Entretien
Les pompes de la série Turbo-V 81-T ne demandent aucun entretien.
Toute intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
A
VERTISSEMENT!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la
pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt
complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la pompe
soit inférieure à 50 °C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations
Agilent ou du "Agilent advanced exchange service" qui permet
d'obtenir un système régénéré en remplacement du système
endommagé.
NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced
exchange service", remplir et faire parvenir au bureau de vente local la fiche
"Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage du système avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales concernant la gestion
des déchets.
3 Mode d’emploi
Mise au rebut
48/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Mise au rebut
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le
symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE
nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de
la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères
ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de
collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du
contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le
fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en
œuvre le processus de collecte et mise au rebut.
Turbo-V 81-T User Manual
49/228
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50
Información general 51
Almacenamiento 53
Preparación para la instalación 54
Instalación 55
Uso 57
Mantenimiento 58
Eliminación 59
Traducción de las instrucciones originales
4 Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
50/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de
instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido
a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica
de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre
el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación
podría ser liberada.
¡ADVERTENCIA!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas en el
presente manual!
Manual de istrucciones
Información general
4
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 51/228
Información general
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el
aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no
autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
Las bombas de la serie Turbo V 81-T son bombas turbomoleculares
para aplicaciones de alto y ultra alto vacío capaces de bombear
cualquier tipo de gas o compuesto gaseoso no corrosivo. No son
adecuadas para bombear líquidos ni partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta
velocidad (80000 r.p.m. máx.) movida por un motor eléctrico trifásico
de alto rendimiento. El Turbo-V 81-T no posee ningún agente
contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que
requieren un vacío’ “limpio”.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
4 Manual de istrucciones
Información general
52/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, al no
respetarse, podrían provocar daños al equipo.
¡ADVERTENCIA!
Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una operación específica que, al no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto.
Manual de istrucciones
Almacenamiento
4
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 53/228
Almacenamiento
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento
por primera vez;
el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al
cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de
almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para mayores
informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante local de
Agilent.
4 Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
54/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Preparación para la instalación
El Turbo-V 81-T se suministra en un embalaje especial de protección;
si se observan daños, que podrían haberse producido durante el
transporte, ponerse en contacto con la oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones. No
abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85/399 para
la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas los
componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u otra
protección adecuada.
Figura 1
NOTA El Turbo-V 81-T no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a la
atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que
se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Manual de istrucciones
Instalación
4
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 55/228
Instalación
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la bomba
al sistema.
Figura 2
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, en
lugares explosivos o con alto riesgo de incendio. Durante el
funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones
ambientales siguientes:
presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
temperatura: de +5 °C a +35 °C (véase gráfico en el anexo
“Technical Information”)
humedad relativa: 0 – 95 % (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical
Information” para más detalles. Las bombas turbomoleculares de la
serie Turbo-V 81-T deben usarse exclusivamente con uno de los
controladores Agilent y deben conectarse a una bomba primaria
(véase esquema en “Technical Information”).
4 Manual de istrucciones
Instalación
56/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Los controladores disponibles son los siguientes:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
El Turbo-V 81-T puede instalarse en cualquier posición. Fijar el
Turbo-V 81-T en posición estable conectando la brida de entrada de
la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de
250 Nm alrededor de su eje. Por ejemplo la brida ISO 63 puede ser
fijada con mordazas en acero de alta resistencia (tipo modelo tipo
Agilent IC 63250 DCMZ).
La tabla siguiente describe el número de mordazas necesarios y con
cual par de apriete apretarlos.
Tab. 1
BRIDA TIPO DE MORDAZA N. PAR DE APRIETE
ISO 63 Mordaza doble con rosca M10 4 22 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos específicos
Agilent. Para más detalles véase el anexo “Technical Information”.
NOTA El Turbo-V 81-T no puede fijarse utilizando su base.
¡ATENCIÓN! El Turbo-V 81-T pertenece a la segunda categoría de instalación (o sobretensión)
prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este dispositivo debe ser
conectado a una línea de alimentación adecuada para dicha categoría.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
Manual de istrucciones
Uso
4
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 57/228
Uso
En el manual de la unidad de control se encuentran todas las
instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo-bomba.
Leer atentamente este manual antes de su uso. Para obtener mejores
presiones de máxima es posible calentar el sistema.
Durante el calentamiento de la cámara de vacío la temperatura en la
brida de entrada no debe superar los 120 °C con acoplamiento
ConFlat y los 80 °C con acoplamiento ISO.
Usar siempre refrigeración por agua durante las operaciones de
calentamiento.
¡ADVERTENCIA!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está conectada
al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la turbo-bomba
y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento. La alta
temperatura puede provocar lesiones a las personas.
¡ATENCIÓN!
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba
durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de aire
de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de entrada
a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la presión
atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están dotadas de una
puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal
de gas inerte (Nitrógeno o Helio) para proteger los rodamientos (véase el anexo
“Technical Information”).
¡ADVERTENCIA!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas. No
usar la bomba cuando haya gases explosivos.
4 Manual de istrucciones
Mantenimiento
58/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Mantenimiento
Las bombas de la serie Turbo-V 81-T no requieren mantenimiento.
Cualquier operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡ADVERTENCIA!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la
corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar
hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura
superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent o
el “Agilent advanced exchange service”, que permite obtener un
sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA Antes de enviar al fabricante una bomba para su reparación o “advanced
exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del
sistema antes de enviarlo.
En caso de que la bomba se tenga que desguazar, eliminarla
respetando las normas nacionales específicas.
Manual de istrucciones
Eliminación
4
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 59/228
Eliminación
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El
símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de
la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para
los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el
producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto
con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y que,
por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en
contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de venta.
4 Manual de istrucciones
Eliminación
60/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
61/228
5
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 62
Informações gerais 63
Armazenagem 65
Preparação para a instalação 66
Instalação 67
Utilização 69
Manutenção 70
Eliminação 71
Tradução das instruções originais
5 Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares
62/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Indicações de Segurança para Bombas
Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de
Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta
velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada, por exemplo, por um
contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia
de rotação poderia ser liberada.
ATENÇAO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas neste
manual!
Manual de Istruções
Informações gerais
5
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 63/228
Informações gerais
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruções e todas as informações
adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A
Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das
instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
As bombas da série Turbo-V 81-T são bombas turbomoleculares para
aplicações de alto e ultra-alto vácuo em grau de bombear qualquer
tipo de gás ou de composto gasoso não corrosivo. Não são adequadas
para aspirar líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de alta
velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor eléctrico
trifásico de alto rendimento. O Turbo-V 81-T é totalmente isentos de
agentes contaminadores e, portanto, é adequado para aplicações que
requerem um vácuo "limpo".
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".
5 Manual de Istruções
Informações gerais
64/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Este manual utiliza as seguintes convenções:
CUIDADO! As mensagens de cuidado são visualizadas antes de proceder que, se não
observadas, poderiam causar danos à aparelhagem.
ATENÇAO!
As mensagens de atenção atraem a atenção do operador num procedimento
ou uma prática específica que, se não executada de modo correto, poderiam
provocar graves lesões pessoais.
NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
Manual de Istruções
Armazenagem
5
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 65/228
Armazenagem
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
temperatura: de –20 °C a 70 °C
humidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante)
ao accionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve activá-las sempre em modalidade Soft-Start
o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular
é de 10 meses a contar da data da expedição.
CUIDADO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será
necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais informações,
contatar o representante local da Agilent.
5 Manual de Istruções
Preparação para a instalação
66/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Preparação para a instalação
O Turbo-V 81-T é fornecido numa embalagem protectora especial; se
esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido durante o
transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para não
deixar cair a bomba e para não submetêla a choques ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma CEE
85/399 para a protecção do meio ambiente.
CUIDADO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os componentes
destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou outra protecção
adequada.
Figura 1
NOTA O Turbo-V 81-T não pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto à
atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o momento
da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Manual de Istruções
Instalação
5
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 67/228
Instalação
CUIDADO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no
momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Figura 2
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes
atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases agressivos, em
ambientes com possibilidade de explosão ou com elevado risco de
incêndio. Durante o funcionamento é necessário que sejam
respeitadas as seguintes condições ambientais:
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
temperatura: de +5 °C a +35 °C (consultar a planilha no apêndice
“Technical Information”)
humidade relativa: 0 – 95 % (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes,
consultar o apêndice "Technical Information". As bombas
turbomoleculares da série Turbo-V 81-T devem ser utilizadas somente
com um dos adequados controller Agilent e devem ser ligadas numa
bomba primária (ver o esquema em "Technical Information").
5 Manual de Istruções
Instalação
68/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Os controller disponíveis são os seguintes:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
O Turbo-V 81-T pode ser instalado em qualquer posição. Fixar o
Turbo-V 81-T em posição estável ligando o flange de entrada da
turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um torque de
250 Nm ao redor do próprio eixo. Por exemplo, a flange ISO 63 pode
ser fixada com grampos de aço de alta resistência (como o modelo
Agilent IC 63250 DCMZ). A tabela seguinte descreve, o número de
grampos necessários e o torque de aperto a utilizar.
Tab. 1
FLANGE TIPO DE BORNE N TORQUE DE APERTO
ISO 63 Borne duplo com rosca M10 4 22 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na
câmara de vácuo através de parafusos específicos da mecânica
Agilent. Para ulteriores detalhes, consultar o apêndice "Technical
Information".
NOTA O Turbo-V 81-T não pode ser fixado através da sua base.
CUIDADO! O Turbo-V 81-T pertence à segunda categoria de instalação (ou sobretensão)
prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a uma linha de
alimentação apropriada para esta categoria.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar "Technical
Information".
Manual de Istruções
Utilização
5
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 69/228
Utilização
Todas as instruções para o correcto funcionamento da turbobomba
estão contidas no manual da unidade de controlo. Ler com muita
atenção este manual antes do uso. Para alcançar melhores pressões
limite é possível aquecer o sistema.
Durante o eventual aquecimento da câmara de vácuo, a temperatura
na flange de ingresso não deve ser superior a 120 °C com flange
ConFlat e a 80 °C com flange ISO.
Use sempre o arrefecimento a água durante as operações de
aquecimento.
ATENÇAO!
Nunca activar a bomba se a flange de entrada não estiver ligado à câmara de
vácuo ou não estiver fechado com a flange de fecho. Não tocar a turbobomba
e os seus eventuais acessórios durante as operações de aquecimento. A
elevada temperatura pode causar lesões às pessoas.
CUIDADO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando
está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da
bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da pressão
atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão equipadas
com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à bomba um
fluxo de gás inerte (Azoto ou Hélio) para proteger os rolamentos (consultar o
apêndice "Technical Information”).
ATENÇAO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou
radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás. Não
usar a bomba na presença de gases explosivos.
5 Manual de Istruções
Manutenção
70/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Manutenção
As bombas da série Turbo-V 81-T não necessitam de qualquer
manutenção. Todas as operações devem ser efectuadas por pessoal
autorizado.
ATENÇAO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da alimentação,
introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica, aguardar até a completa
paragem do rotor e até que a temperatura superficial da bomba seja inferior a
50 ºC
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência
Agilent ou do "Agilent advanced exchange service", que permite obter
um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito.
NOTA Antes de reenviar ao fabricante uma bomba para as reparações ou o “advanced
exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas
local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A
cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba tenha que ser destruída, proceder à sua eliminação
respeitando as normas nacionais específicas.
Manual de Istruções
Eliminação
5
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 71/228
Eliminação
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo
abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada
"WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser
eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais
comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do
dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna
verificação dos termos e condições do contrato de venda.
5 Manual de Istruções
Eliminação
72/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
73/228
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74
Algemene informatie 75
Opslag 77
Uitpakken 78
Installatie 79
Gebruik 82
Onderhoud 83
Afvalverwerking 84
Vertaling van de originele instructies
6 Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
74/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden
besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de
hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een
contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan
de rotatie-energie vrijkomen.
WAARSCHUWING!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
6
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 75/228
Algemene informatie
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker
wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door
Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in
gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de
gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving.
De pompen van de serie Turbo-V 81-T zijn turbomoleculaire pompen
voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen die elk soort gas en niet-
corrosieve gasvormige verbindingen kunnen pompen. Ze zijn niet
geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes.
Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende
turbine (max. 80000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Turbo-V 81-T
is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor
toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid
van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren.
Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical
Information”.
6 Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
76/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
VOORZICHTIG! Bij dit synbool staat tekst met procedures die, indien niet opgevolgsd, schade
aan apparatuur kunnen veroorzaken.
WAARSCHUWING!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een
speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig
lichamelijk letsel kan veroorzaken.
OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.
Bedrijfshandleiding
Opslag
6
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 77/228
Opslag
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan
de volgende omgevingscondities worden voldaan:
temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste
keer in werking worden gesteld
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
VOORZICHTIG!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer
naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht contact
op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent.
6 Bedrijfshandleiding
Uitpakken
78/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Uitpakken
De Turbo-V 81-T wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port
veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het
plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de
Turbo-V 81-T niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren
krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG
milieurichtlijn 85/399.
VOORZICHTIG! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met het
vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden.
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming.
Figuur 1
OPMERKING De Turbo-V 81-T kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de
atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp
gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat
eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Bedrijfshandleiding
Installatie
6
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 79/228
Installatie
VOORZICHTIG!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten
mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.
Figuur 2
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in ruimten die
blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden (regen, vorst, sneeuw),
stof, agressieve gassen, of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot
brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig
zijn
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
temperatuur: van +5 °C tot +35 °C (zie grafiek in de bijlage
“Technical Information”)
relatieve vochtigheid: 0 – 95 % (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende
wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical Information”
voor meer informatie.
6 Bedrijfshandleiding
Installatie
80/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo-V 81-T moeten
uitsluitend met een van de speciale controllers van Agilent gebruikt
worden en op een primaire pomp aangesloten worden (zie schema in
"Technical Information").
De beschikbare controllers zijn de volgende:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
De Turbo-V 81-T kan in alle standen worden geïnstalleerd. Bevestig
de Turbo-V 81-T in een stabiele positie en verbind de in¬laatflens van
de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 250 Nm
rondom de eigen as kan verdragen. De flens ISO 63 kan bijvoorbeeld
worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand (zoals
model Agilent IC 63250 DCMZ).
De volgende tabel geeft het benodigde aantal klemmetjes en het juiste
aandraaimoment.
Tab. 1
FLENS KLEMTYPE NR. AANHAAL KOPPEL
ISO 63 Dubbele klem met M10 schroefdraad 4 22 Nm
De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacuümpomp
worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische
bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de
bijlage "Technical Information".
Bedrijfshandleiding
Installatie
6
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 81/228
OPMERKING
De Turbo-V 81-T kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd.
VOORZICHTIG!
De Turbo-V 81-T behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze
inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die als
optie verkrijgbaar zijn.
6 Bedrijfshandleiding
Gebruik
82/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Gebruik
Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in
de handleiding van de controle-eenheid. Lees de handleiding
aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen.
Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd
worden.
Tijdens de eventuele verwarming van de vacuümkamer mag de
temperatuur op de inlaatflens niet meer bedragen dan 120 °C met
ConFlat flens en niet meer dan 80 °C met ISO flens.
Koel tijdens de verwarming altijd met water.
W
AARSCHUWING!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is
aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en
eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge temperatuur
kan lichamelijk letsel veroorzaken.
VOORZICHTIG!
Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp
wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken. Gebruik
voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste
deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar
(boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het pompen van
agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de pomp een
stroom inert gas (stikstof of helium) ter bescherming van de lagers krijgt geleverd
(zie bijlage “Technical Information”).
WAARSCHUWING!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare of
radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor
elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van
explosieve gassen.
Bedrijfshandleiding
Onderhoud
6
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 83/228
Onderhoud
De pompen van de serie Turbo-V 81-T zijn onderhoudsvrij. Eventuele
werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
WAARSCHUWING!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding
loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten
en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur
van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent
of de "Agilent advanced exchange service" in te schakelen: zo krijgt
men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij
deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld
naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
6 Bedrijfshandleiding
Afvalverwerking
84/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Afvalverwerking
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande
symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn
"WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht,
NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of
industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De
eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de
leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en
voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd.
Turbo-V 81-T User Manual
85/228
7
Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 86
Generel information 87
Opbevaring 89
Forberedelser før installation 90
Installation 91
Anvendelse 93
Vedligeholdelse 94
Bortskaffelse 95
Oversættelse af originalinstruktionerne
7 Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
86/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende
brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje
omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke
vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt
mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan
omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er det
strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne
brugsanvisning!
Istruktionsbog
Generel information
7
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 87/228
Generel information
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør
læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra
Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader
helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner,
fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ukorrekt
anvendelse af udstyret eller håndtering, der strider imod gældende
lokale regler.
Pumperne i serien Turbo-V 81-T er turbomolekylære pumper til
anvendelse for høj og ultrahøj vakuumtilpasning i stand til at pumpe
en hvilken som helst type gas eller ikke ætsende gasholdige
blandinger. De er ikke egnede til pumpning af væsker eller faste
partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (80000
omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med høj
effekt. Turbo-V 81-T er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er
derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at
garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af
udstyret. Bilaget “Technical Information” indeholder detaljerede
oplysninger.
7 Istruktionsbog
Generel information
88/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
FORSIGTIG! Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at
risikere maskinskader.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure
eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat
fald er der risiko for svære personskader.
BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
Istruktionsbog
Opbevaring
7
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 89/228
Opbevaring
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra
Agilent:
Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne:
temperatur: fra –20 °C til +70 °C
relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af
Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for
første gang.
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra
forsendelsesdatoen.
FORSIGTIG!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt
at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved
henvendelse til den lokale Agilent repræsentant.
7 Istruktionsbog
Forberedelser før installation
90/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Forberedelser før installation
Turbo-V 81-T leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt den
lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan være
opstået under transporten.
Sørg for, at Turbo-V 81-T ikke tabes eller udsættes for stød ved
udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100 % og opfylder
EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
FORSIGTIG! Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder,
idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende
beskyttelse.
Figur 1
BEMÆRK Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade Turbo-V 81-T. Det anbefales dog,
at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres. Herved
forhindres, at der kommer støv i pumpen.
Istruktionsbog
Installation
7
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 91/228
Installation
FORSIGTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes
systemet.
Figur 2
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive gasser,
og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
temperatur: fra +5 °C til + 35 °C (se illustrationen i bilaget
“Technical Information”)
relativ luftfugtighed: 0 – 95 % (ikke kondenserende)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal
den afskærmes. Se bilaget “Technical Information” for yderligere
oplysninger.
De turbomolekylære pumper i serien Turbo-V 81-T må kun benyttes
med en af de specielle Agilent controller og de skal tilsluttes med en
primær pumpe (se skemaet under "Technical Information").
7 Istruktionsbog
Installation
92/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
De controller, som står til rådighed, er følgende:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T kan installeres i en hvilken som helst position. Fastgør
Turbo-V 81-T i en stabil position ved at slutte turbopumpens
indløbsflange til en fast kontraflange, der tåler et moment på 250 Nm
omkring akselen.
Flangen ISO 63 kan for eksempel fastgøres med klemmer af
højstyrkestål (type Agilent-model IC 63250 DCMZ).
Nedenstående tabel viser, hvor mange klemmer der kræves, samt
med hvilket spændingsmoment de skal strammes.
Tab. 1
FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-MOMENT
ISO 63 Dobbelt klemme, gevind M10 4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Agilent monteringsudstyret. I bilaget
“Technical Information” findes yderligere detaljer.
BEMÆRK Turbo-V 81-T kan ikke fastgøres i fundamentet.
VOORZICHTIG! Turbo-V 81-T hører til den anden installationsklasse (eller overspændingsklasse)
jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en forsyningslinie, som
opfylder kravene i denne klasse.
Der henvises til bilaget “Technical Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
Istruktionsbog
Anvendelse
7
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 93/228
Anvendelse
Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er
indeholdt i manualen for styreenheden. Læs omhyggeligt denne
manual før den anvendes. For at opnå bedre begrænsnings-tryk er
det muligt at opvarme systemet.
Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret må
temperaturen på indløbsflangen ikke overskride 120 °C med flange
ConFlat og ikke overskride 80 °C med flange ISO. Brug altid
vandafkøling under opvarmnings-operationerne.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
FORSIGTIG! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug
af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes
med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler.
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over
atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en dør, igennem hvilken det er nødvendigt at forsyne
pumpen med ædelgasser (kvælstof eller argon) for at beskytte lejerne (se
bilaget “Technical Information”)
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser,
følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til
eksplosive gasser.
7 Istruktionsbog
Vedligeholdelse
94/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Vedligeholdelse
Pumperne i serien Turbo-V 81-T kræver ikke nogen form for
vedligeholdelse. Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret
personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen
først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent med
foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på
pumpens overflade er under 50 °C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Agilent
reparationsværksted eller “Agilent advanced exchange service”, der
udskifter systemet med et repareret system.
BEMÆRK Inden pumpen sendes til konstruktørens reparationsværksted eller advanced
exchange service skal “Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt
denne instruktionsmanual, udfyldes og sendes til den lokale forhandler. En kopi
af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
Skrotning af pumpen skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
Istruktionsbog
Bortskaffelse
7
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 95/228
Bortskaffelse
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående
symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv
"WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at
produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med
affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal
indleveres på en godkendt affaldsstation. Vi opfordrer derfor
slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten
fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og
bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i
salgskontrakten.
7 Istruktionsbog
Bortskaffelse
96/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
97/228
8
Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 98
Allmän information 99
Förvaring 100
Förberedelser för installation 101
Installation 102
Användning 104
Underhåll 105
Bortskaffning 106
Översättning av originalinstruktionerna
8 Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar
98/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har
en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten
och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan
rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att
rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på
operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
Bruksanvisning
Allmän information
8
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 99/228
Allmän information
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör
läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent
före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador
helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna,
olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt
bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala
föreskrifter.
Pumparna av serie Turbo-V 81-T är molekylära turbopumpar för höga
och mycket höga vakuumtillämpningar. Systemet kan pumpa alla
typer av gaser och ej frätande gasblandningar, men kan dock inte
användas för att pumpa vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin
(max 80000 varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i Turbo-V 81-T, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att
garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade
uppgifter finns i bilagan "Technical Information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
OBSERVER!
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för
att inte risk för maskinskada skall uppstå
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur
eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat
fall finns risk för svåra personskador.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
8 Bruksanvisning
Förvaring
100/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Förvaring
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda
och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar:
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när
de mottas och sätts i drift för första gången.
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
OBSERVER! Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka till
fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent -återförsäljaren för ytterligare
information.
Bruksanvisning
Förberedelser för installation
8
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 101/228
Förberedelser för installation
Turbo-V 81-T levereras i ett särskilt skyddande emballage. Kontakta
det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken på skador
som kan ha uppstått under transporten. Se till att Turbo-V 81-T inte
tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart
till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
OBSERVER!
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer
pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd.
Figur 1
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada Turbo-V 81-T. Trots det är det
säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet, för att
förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
8 Bruksanvisning
Installation
102/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Installation
OBSERVER! Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till
systemet.
Figur 2
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för påverkan
från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva gaser, och inte
heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
temperatur: från +5 °C till +35 °C (se bild i “Technical
Information”)
relativ luftfuktighet: 0 – 95 % (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild skärm.
Se bilagan “Technical Information“ för ytterligare upplysningar.
De molekylära pumparna av typen Turbo-V 81-T bör endast användas
med en av de speciella Agilent systemen och måste anslutas till en
huvudpump (se schemat "Technical Information").
Bruksanvisning
Installation
8
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 103/228
Följande kontrollsystem finns tillgängliga:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast fläns
som måste tåla ett vridmoment på 250 Nm kring sin axel. Flänsen
ISO 63 kan till exempel fixeras med höghållfasta stålbyglar (modell
Agilent IC 63250 DCMZ).
I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras och med
vilket moment de ska dras åt.
Tab. 1
FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGS-MOMENT
ISO 63 Dubbel klammer med gänga M10 4 22 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”.
OBSERVERA
Turbo-V 81-T-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.
OBSERVER!
Turbo-V 81-T tillhör den andra installationsklassen (eller överspänningsklassen)
enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen till en elledning som
uppfyller kraven för denna klass.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information”.
8 Bruksanvisning
Användning
104/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Användning
Alla instruktioner för en optimal prestanda och driftsäkerhet av
turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning.
Instruktionsboken bör läsas mycket noggrannt innan användning.
För att uppnå högre trycknivåer kan systemet värmas upp.
Under en eventuell uppvärmning av vakuumkammaren, bör ej
temperaturen på intagningsflänsen överstiga 120 °C med ConFlat
fläns och 80 °C med ISO fläns.
Använd alltid vattenkylning under uppvärmningsförloppen.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till
vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte
turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika
brännskador.
OBSERVER! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av
turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med
luft eller med ädelgaser som ärfria från damn eller andra partiklar.
Ingångstrycket mot rätt dörr måsteunderstiga 2 bar (utöver det atmosfäriska
trycket). För pumpning av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en
speciell öppning igenom vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller
Helium) för att skydda lagren (se bilagan “Technical Information”).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller radioaktiva
gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje enskild gas. Använd
ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Bruksanvisning
Underhåll
8
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 105/228
Underhåll
Turbo-V 81-T pumparna kräver inget som helst underhåll. Allt
servicearbete måste utföras av auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning
avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta
sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än 50 ºC
Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller
Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat
system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller advanced exchange
service, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av
bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
8 Bruksanvisning
Bortskaffning
106/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Bortskaffning
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas
nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats
som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som
tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med
vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas. Vi
rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
Turbo-V 81-T User Manual
107/228
9
Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper 108
Generell informasjon 109
Lagring 110
Klargjøre til installasjon 111
Installasjon 112
Bruk 114
Vedlikehold 115
Eliminering 116
Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen
9 Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper
108/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylære pumper
De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende
Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den
høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til
pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt
mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien
bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye!
Instruksjon Manual
Generell informasjon
9
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 109/228
Generell informasjon
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren
bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra
Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for
hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse
instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke
autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte
er i strid med nasjonale bestemmelser.
Turbo-V 81-T er en turbomolekylær pumpe for høye- og ultrahøye
vakuumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger.
Den egner seg ikke for pumping av væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 80000 opm)
koplet til en trefaset elektrisk motor. Turbo-V 81-T har ingen
forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for
"rene" vakuum.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for
å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises
det til tillegget "Technical Information".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges, kan
føre til at utstyret skades.
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell
fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan medføre alvorlige
skader.
MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten.
9 Instruksjon Manual
Lagring
110/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Lagring
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende
miljøforhold overstiges:
Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de
mottas og startes opp første gang.
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra
sendedato.
FORSIKTIG! Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen
returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent -forhandleren for
informasjon.
Instruksjon Manual
Klargjøre til installasjon
9
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 111/228
Klargjøre til installasjon
Turbo-V 81-T leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser denne
tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du ta
kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Turbo-V 81-T pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned eller
utsettes for noen form for støt. Emballasjen må ikke kastes på en
ulovlig måte. Alle materialer er 100% resirkulerbare og er i samsvar
med EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum
håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende
verneutstyr.
Figur 1
MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge Turbo-V 81-T. Likevel
anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik at den ikke
forurenses eller utsettes for nedstøving.
9 Instruksjon Manual
Installasjon
112/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Installasjon
FORSIKTIG! Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til
systemet.
Figur 2
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn, snø
eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer eller
miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
temperatur: fra +5 °C til +35 °C (se diagram i tillegget “Technical
Information”)
relativ fuktighet: 0 – 95 % (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se
“Technical Information” for detaljer.
Turbo-V 81-T pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede
Agilent-styreenhetene og den må koples til en hovedpumpe (se
skjema i "Technical Information").
Instruksjon Manual
Installasjon
9
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 113/228
Følgende styreenheter kan brukes:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T kan monteres i en valgfri stilling. Fest Turbo-V 81-T i en
stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens
med et dreiemoment på 250 Nm rundt aksen. For eksempel ISO 63
flensen kan festes ved å bruke ekstra resistente stålklemmer (som
Agilent modell IC 63250 DCMZ).
Følgende tabell viser det nødvendige antallet klemmer samt
dreiningsmomentet for å stramme dem.
Tab. 1
FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME- MOMENT
ISO 63 Dobbel klemme gjenge M10 4 22 Nm
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra Agilent. For
detaljer henvises det til “Technical Information”.
MERK Turbo-V 81-T må ikke festes gjennom fundamentet.
FORSIKTIG!
Turbo-V 81-T hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse) nummer 2 i
følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en hovedledning som
tilfredsstiller kravene for denne klassen.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Technical Information".
9 Instruksjon Manual
Bruk
114/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Bruk
Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i
styreenhetens bruksanvisning. Les nøye denne manualen før du
bruker pumpen. For å forbedre grensetrykket, er det mulig å varme
opp pumpen.
Mens oppvarmingen av vakuumkammeret pågår, må temperaturen
ved inngangsflensen ikke overskride 120 °C for en ConFlat flens og
80 °C for en ISO flens.
Man må alltid bruke vannkjøling under oppvarmingsoperasjonene.
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret,
eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør turbopumpen eller noe av
tilleggsutstyret under oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen når den er i
funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass
ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være mindre enn 2 bar
(over atmosfærisk trykk). Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene
utstyrt med en spesiell åpning. Til denne åpningen skal flyt av inaktive gasser
(Nitrogen eller lettere gasser) koples for å beskytte lagrene (se “Technical
Information).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal
ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Instruksjon Manual
Vedlikehold
9
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 115/228
Vedlikehold
Turbo-V 81-T pumpeseriene er vedlikeholdsfrie. Alt arbeid på
systemet må kun utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen, pumpen
må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har
stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 °C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Agilents
reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan
tilby overhalte system til erstatning for det ødelagte systemet.
MERK Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte for et
overhalt system, må det vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og
sendes til det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges systemet
som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale
bestemmelser.
9 Instruksjon Manual
Eliminering
116/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Eliminering
Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet
nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt
"WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering. Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av
anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som
kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i
kjøpekontrakten.
Turbo-V 81-T User Manual
117/228
10
Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 118
Yleisiä tietoja 119
Varastointi 120
Valmistelut asennusta varten 121
Asennus 122
Käyttö 124
Huolto 125
Hävittäminen 126
Alkuperäisen ohjeiden käännös
10 Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
118/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea
määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta
pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin
koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia
saattaa vapautua.
VAROITUS!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
10
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 119/228
Yleisiä tietoja
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen
käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut
Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista,
jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen
käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Sarjan Turbo-V 81-T pumput ovat turbomolekyylipumppuja korkean
ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee
pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai syövyttämättömiä
kaasuyhdisteitä, mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen. Pumppaus saadaan aikaan korkealla
nopeudella (80000 kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla,
jota käyttää korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori.
Turbo-V 81-T -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se
soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Technical Information”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
HUOMIO! Huomio- merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen
vahingoittumiseen.
VAROITUS!
Varoitus-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai
toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin
henkilövaurioihin.
HUOM Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
10 Ohjekäsikirja
Varastointi
120/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Varastointi
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu
toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia
ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
lämpötila: -20 °C - 70 °C.
suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä).
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-
start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä
ensimmäisen kerran.
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa tehtaalle.
Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta.
Ohjekäsikirja
Valmistelut asennusta varten
10
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 121/228
Valmistelut asennusta varten
Turbo-V 81-T toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli siinä
on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita, ottakaa
yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo-V 81-Tin
putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä. Pakkausta ei
tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan kierrättää
kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399 ympäristön
suojelusta.
HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule
koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta.
Kuva 1
HUOM Turbo-V 81-T ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
10 Ohjekäsikirja
Asennus
122/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Asennus
HUOMIO! Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään
järjestelmään.
Kuva 2
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se joutuu
kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen), pölyjen tai
aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa räjähdys- tai
tulipalovaara. Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä
koskevia ehtoja:
maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
lämpötila: +5 °C - +35 °C (ks. “Technical Information” -liitteen
kaaviota).
suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Technical
Information” -liitteestä. Sarjan Turbo-V 81-T
turbomolekyylipumppuja saa käyttää ainoastaan yhdessä tarkoitusta
varten olevien Agilent valvojien kanssa ja ne on kytkettävä
pääpumppuun (ks. "Technical Information" liitteen kaaviota).
Ohjekäsikirja
Asennus
10
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 123/228
Saatavilla on seuraavan tyyppisiä valvojia:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnittäkää
Turbo-V 81-T vakaaseen asentoon liittämällä turbopumpun
sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 250 Nm:n
momentin akselinsa ympäri. Esimerkiksi laippa ISO 63 voidaan
kiinnittää suurta rasitusta kestävillä teräspuristimilla (tyyppiä
Agilent IC 63250 DCMZ).
Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavien puristinten
lukumäärä sekä momentti, johon puristimet kiristetään.
Tab. 1
LAIPPA KIINNIKE MÄÄ-RÄ KIRISTYS- MOMENTTI
ISO 63 Kaksoiskiinnike, kierteitys M10 4 22 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla.
Lisätietoja löytyy “Technical Information” -liitteestä.
HUOM Turbo-V 81-Tia ei voida kiinnittää perustansa kautta.
HUOMIO! Turbo-V 81-T kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen
asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi
sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset.
Ks. “Technical Information” -liitettä lisävarusteiden asentamista
varten.
10 Ohjekäsikirja
Käyttö
124/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Käyttö
Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyvät ohjeet löydät
valvontayksikön käyttöoppaasta. Lue tämä käyttöopas huolellisesti
ennen käytön aloittamista.
Voit saavuttaa parhaat rajapaineet lämmittämällä järjestelmän.
Tyhjiökammion mahdollisen lämmittämisen yhteydessä imulaipan
lämpötilan ei tule nousta 120 °C yläpuolelle ConFlat laipoituksella ja
80 °C yläpuolelle ISO laipoituksella.
Käytä vesijäähdytystä aina lämmitystoimenpiteiden aikana.
VAROITUS!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty tyhjiökammioon
tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko turbopumppuun tai sen
lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa
henkilöiden loukkaantumisia.
HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä
laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai jalokaasua,
joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän paineen tulee
olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on varustettu
aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi pumppuun
kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai Helium) laakereiden suojaamiseksi (katso
“Technical Information” -liite).
VAROITUS!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten
kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa
menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
Ohjekäsikirja
Huolto
10
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 125/228
Huolto
Sarjan Turbo-V 81-T pumput eivät vaadi mitään huoltoa. Mahdolliset
toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAROITUS!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti
sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu
venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän
jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC :en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Agilentin
korjauspalvelua tai "Agilent advanced exchange service" -
vaihtopalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on
ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen
kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä..
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
10 Ohjekäsikirja
Hävittäminen
126/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Hävittäminen
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä
merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan
keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan,
olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
Turbo-V 81-T User Manual
127/228
11
Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 128
Általános informáicó 129
Tárolás 130
Előkészítés telepítésre 131
Telepítés 132
Használat 135
Karbantartás 136
Megsemmisítés 137
Az eredeti utasítás fordítása
11 Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz
128/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási
energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos
tömege miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia
felszabadulhat.
VESZÉLY!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 129/228
Általános informáicó
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A
felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a
gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A
Agilent nem vonható felelősségre olyan eseményekért, amelyek az
ezen utasításoknak való akár részbeni meg nem felelés, szakképzetlen
személyek általi nem megfelelő használat, a berendezésbe való
jogosulatlan beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal
ellentétes bármely művelet miatt történtek.
A Turbo-V 81-T széria szivattyúi turbómolekuláris szivattyúk,
melyeket magas és rendkívül magas vákuumalkalmazásokhoz
terveztek, hogy bármely típusú, nem korrodáló gáz illetve gázvegyület
szivattyúzására képes legyen. Nem alkalmas folyadékok vagy szilárd
részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási műveletet egy
nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral hajtott
nagysebességű turbina (max. 80000 fordulat/perc) biztosítja. A
Turbo-V 81-T szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas „tiszta”
vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának
garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes
információt talál a „Technical Information” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt használja:
FIGYELEM! A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem
követnek, a berendezés károsodását okozhatják.
VESZÉLY!
A veszélyt üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra vagy
gyakorlatra, amit ha nem követnek megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak.
11 Felhasználói Kézikönyv
Tárolás
130/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Tárolás
A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell
követni:
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő
környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi, és először üzemelteti őket.
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a
szállítás dátumától számítva.
FIGYELEM! Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a
gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi Agilent vákuumkereskedelmi és
szolgáltatási képviselethez.
Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 131/228
Előkészítés telepítésre
A Turbo-V 81-Tt különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez
sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a
helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le, és
kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett módon.
Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az EEC 85/399-es
direktívának.
FIGYELEM! Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta kezeket vákuumnak
kitett komponensek kezelésére. Mindig használjon kesztyűt vagy más alkalmas
védelmet.
Ábra 1
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a Turbo-V 81-Tt. Mégis
ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való telepítésig, így megakadályozva a por
általi szennyeződés bármely formáját.
11 Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
132/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Telepítés
FIGYELEM! Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú
rendszerre csatlakoztatása előtt.
Ábra 2
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban, agresszív
gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes környezetben.
Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket kell
biztosítani:
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig (lásd a nyomás-hőmérséklet
diagramot a „Technical Information” függelékben)
relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell ferromágneses
pajzs segítségével. Részletes információért lásd „Technical
Information”.
Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 133/228
A Turbo-V 81-T széria turbómolekuláris szivattyúit kizárólag a
megfelelő Agilent vezérlő egységek egyikével szabad használni, és a
szivattyúkat előzőleg egy elsődleges szivattyúra kell kötni (lásd a
“Technical Informationk” (Technical Information) részben megadott
rajzot).
Az alkalmazható vezérlő egységek a következők:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
A Turbo-V 81-T bármely helyzetben telepíthető. Rögzítse a
Turbo-V 81-Tt stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti karimáját
egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely képes ellenállni
250 Nm tengely körüli nyomatéknak.
Például az ISO 63 karima rögzíthető nagy teherbírású acélkapcsokkal
(mint az IC 63250 DCMZ Agilent típus).
A következő táblázat megmutatja a kapcsok szükséges számát és a
hozzátartozó rögzítő nyomatékot.
Tab. 1
KARIMA RÖGZÍTŐ ESZKÖZ N. RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
ISO 63 M10 kapcsok 4 22 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért lásd
“Technical Information”.
11 Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
134/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
MEGJEGYZÉS
A Turbo-V 81-T nem rögzíthető az alapján keresztül.
FIGYELEM! A Turbo-V 81-T a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához tartozik az
EN 61010-1 direktíva szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti kategóriának
megfelelő hálózathoz.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Technical
Information”.
Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 135/228
Használat
A turbószivattyú helyes alkalmazására vonatkozó minden utasítást
megtalál a vezérlőegység kézikönyvében. Mielőtt a berendezést
használná, figyelmesen olvassa el az említett kézikönyvet!
A jobb nyomás-határértékek elérése érdekében a rendszert fel lehet
melegíteni. A vákuumkamra esetleges felmelegítése során a bemeneti
nyjlásnál mért hőmérséklet nem lehet magasabb, mint 120 °C
ConFlat típusú illesztőperem esetén, illetve a 80 °C hőmérsékletet
ISO illesztőperem esetén.
Mindig alkalmazzon vízhűtést a melegítés során!
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva. Ne érintse meg a
turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat közben. Magas
hőmérséklet égést okozhat.
FIGYELEM!
Kerülje a szivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben. A
csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes levegőt
vagy közömbös gázt a szivattyú szellőztetéséhez. A szellőző porton lévő
nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie (a légköri nyomás fölött). Agresszív
gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk fel vannak szerelve egy különleges
porttal, hogy lehetővé tegyék közömbös gáz (Nitrogén vagy Hélium) stabil
áramlását védelmet viselő szivattyú számára (lásd „Technical Information”
függelék).
VESZÉLY!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok szivattyúzására
használja, kérem, kövesse az egyes gázok ártalmatlanításához szükséges
eljárásokat. Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
11 Felhasználói Kézikönyv
Karbantartás
136/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Karbantartás
A Turbo-V 81-T típusú szivattyúk nem igényelnek karbantartást. A
rendszeren végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell
elvégeznie.
VESZÉLY!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a tápfeszültségről,
szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep kinyitásával, várjon, amíg a rotor
forgása leáll, és amíg a szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Agilent
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a
hibás helyett.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell tölteni és el kell
küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap egy másolatát szállítás előtt be kell
illeszteni a rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a konkrét
nemzeti szabványoknak megfelelően.
Felhasználói Kézikönyv 11
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 137/228
Megsemmisítés
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. A lent látható
szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül
alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható,
NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt
megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő rendszerbe
kell továbbítani. A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési
eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy
viszonteladó.
11 Felhasználói Kézikönyv
Megsemmisítés
138/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 139/228
12
Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 140
Ogólne Informacje 141
Magazynowanie 142
Przygotowanie do instalacji 143
Instalacja 144
Użytkowanie 147
Konserwacja 148
Przetworstwo odpadow 149
Tłumaczenie instrukcji oryginalnej
12 Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp Turbomolekularnych
140/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi
posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo
wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu
między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika,
energia obrotowa może być zwolniona.
ZAGROZENIE!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących
instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi!
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 141/228
Ogólne Informacje
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik
musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą
dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed
użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek
odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego braku
przestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego użytkowania
przez nieprzeszkolony personel, w przypadku nieupoważnionych
interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich
norm krajowych.
Pompy z serii Turbo-V 81-T to pompy turbomolekularne
przeznaczone są do wywoływania wysokiej i ultra wysokiej próżni, są
wstanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie
korozyjnej. Nie znajdują one zastosowania do pompowania płynów
lub cząstek ciał stałych.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę o
wysokiej prędkości (max. 80000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System
Turbo-V 81-T jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających, i
dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” próżnia.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje
zostały przedstawione w dodatku dotyczącym informacji
technicznych „Technical Information”.
12 Podrecznik Instrukcji
Magazynowanie
142/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia:
UWAGA! Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w przypadku
ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury.
ZAGROZENIE!
Komunikaty zagrozeniu przyciągają uwagę operatora co do danej procedury
lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie mogłoby
spowodować poważne uszkodzenia ciała.
PRZYPIS Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
Magazynowanie
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i
niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy
przestrzegać następujących zaleceń:
podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie
należy przekraczać następujących warunków środowiskowych:
temperatura: od –20 °C do 70 °C
względna wilgoć· od 0 do 95 % ( bez opar)
klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić·w sposób Soft-
Start.
czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10
miesięcy od daty wysyłki.
UWAGA! Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy odesłać
pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy skontaktować się z
miejscowym przedstawicielem firmy Agilent.
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 143/228
Przygotowanie do instalacji
System Turbo-V 81-T jest dostarczany w specjanym ochronnym
opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których mogłoby
dojść podczas transportu, należy skontaktować się z miejscowym
biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną uwagę
aby nie spowodować upadku systemu Turbo-V 81-T ani nie poddawać
go uderzeniom lub wibracjom. Nie porzucać opakowania w
środowisku. Materiał ten nadaje się całkowicie do recyklingu zgodny
jest z dyrektywą UE 855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
UWAGA! Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma
części przeznaczonych do wytwarzania próżni. Należy zawsze stosować
odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie.
Posta 1
PRZYPIS Turbo-V 81-T, nie może być uszkodzony poprzez wystawienie go na działanie
atmosfery. Mimo to zaleca się aby pompa do momentu jej instalacji na systemie,
pozostała zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
12 Podrecznik Instrukcji
Instalacja
144/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Instalacja
UWAGA! Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie
połączenia pompy do systemu.
Posta 2
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach wystawionych
na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz, śnieg), pyły, gazy
chemiczne, w środowiskach wybuchowych lub z wysokim
zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać następujące
warunki otoczenia:
maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym
temperatura: od +5 °C do +35 °C (patrz wykres graficzny w
dodatku “Technical Information”)
względna wilgoć 0 – 95 % (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio
zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu
szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical
Information”.
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 145/228
Pomp turbomolekularnych z serii Turbo-V 81-T należy używać
wyłącznie wraz ze specjalnym kontrolerem Agilent i muszą być one
podłączone do pompy głównej (zobacz schemat w "Technical
Information ").
Kontrolery będące w dyspozycji są następujące:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować Turbo-V 81-T w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 250 Nm wokół własnej osi.
Na przykład kołnierz ISO 63 może być zamocowany z zaciskami
stalowymi o wysokiej wytrzymalności (typ modelu Agilent IC 63250
DCMZ).
Niniejsza tabela podaje ilość potrzebnych zacisków i moment z jakim
trzeba je dokręcić.
Tab. 1
KOŁNIERZ TYP ZACISKU NR. MOMENT DOKRĘCENIA
ISO 63 Podwójny zacisk z gwintem M10 4 22 Nm
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie drobne
układy mechaniczne firmy Agilent. W celu dodatkowych informacji
należy zapoznać się z dodatkiem “Technical Information”.
12 Podrecznik Instrukcji
Instalacja
146/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
PRZYPIS Turbo-V 81-T nie może być mocowany poprzez własną podstawę.
UWAGA! Turbo-V 81-T należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia) przewidzianej
przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do linii zasilania która
spełni te wymogi.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
“Technical Information”.
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 147/228
Użytkowanie
Wszystkie instrukcje dotyczące prawidłowego funkcjonowania pompy
turbinowej zostały opisane w instrukcji użytkowania jednostki
kontroli. Przed użytkowaniem uważnie przeczytać wspomniane
instrukcje. By uzyskać optymalne dopuszczalnie ciśnienie,
przewidziane zostało ewentualne nagrzanie systemu.
Podczas ewentualnego nagrzewania kamery próżniowej, temperatura
na kołnierzu złącznym nie powinna przekraczać 120 °C z wywiniętym
kołnierzem ConFlat oraz 80 °C i z wywiniętym kołnierzem ISO.
Zawsze stosować chłodzenie wodne podczas fazy nagrzewania.
ZAGROZENIE!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz wejściowy
nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty z kołnierzem
zamknięcia. Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas
operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia
ciała na osobach.
UWAGA! Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej
działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu do powietrza pompy
zastosować powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 bar (ponad ciśnienie
atmosferyczne). Dla pompowania niszczących gazów, pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ obojętnego
gazu (Azot i Hel) dla zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek “Technical
Information”).
ZAGROZENIE!
Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo
palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury typowe
dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów
wybuchowych.
12 Podrecznik Instrukcji
Konserwacja
148/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Konserwacja
Pompy z serii Turbo-V 81-T nie wymagają żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony
personel.
ZAGROZENIE!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć
go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż do
całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni
pompy będzie poniżej 50 °C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Agilent lub "Agilent advanced exchange service",który
pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zastępstwie
uszkodzonego systemu.
PRZYPIS Przed wysyłką systemu do konstruktora celem naprawy lub advanced exchange
service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego
wysyłką.
Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, rzystąpić do jej eliminacji
zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy.
Podrecznik Instrukcji 12
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 149/228
Przetworstwo odpadow
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE”
Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE
moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub
przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu
przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej . Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i
warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z
dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu
zbiorki i przerobu.
12 Podrecznik Instrukcji
Przetworstwo odpadow
150/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
151/228
13
Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 152
Všeobecné informace 153
Uskladnění 154
Příprava k instalaci 155
Instalace 156
Použití 158
Údržba 159
Likvidace 160
Překlad originálního návodu
13 Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
152/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím
návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké
otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů.
V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo
statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační
energie.
NEBEZPEČÍ!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za
účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy!
Návod k Použití 13
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 153/228
Všeobecné informace
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody,
které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů,
nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem
do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny
uvedenými v příslušných státních normách.
Čerpadlo řady Turbo-V 81-T je turbomolekulární čerpadlo pro
vysokovakuové a ultra vysokovakuové aplikace, které je schopné
čerpat jakýkoli typ nekorozívního plynu nebo sloučeniny plynů.
Nehodí se pro čerpání tekutin nebo pevných částic.
Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.)
poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva
Turbo-V 81-T neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí
pro aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technical Information".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
POZOR! Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení
mohly poškodit zařízení.
NEBEZPEČÍ!
Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo
činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
13 Návod k Použití
Uskladnění
154/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Uskladnění
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat
následující pokyny:
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli
překračovat následující technické podmínky prostředí:
Teplotní rozpětí: -20 °C až 70 °C
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé
vždycky spouštět pozvolně
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne
doručení.
POZOR! Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte
vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis vývěv
firmy Agilent.
Návod k Použití 13
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 155/228
Příprava k instalaci
Vývěva Turbo-V 81-T se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít
během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte jej před
všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento materiál
lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice EEC 85/399.
POZOR! Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při
manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte rukavice
nebo jinou vhodnou ochranu.
Postava 1
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Turbo-V 81-T nemůže poškodit. Přesto
doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do
systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
13 Návod k Použití
Instalace
156/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Instalace
POZOR! Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a
ochranné víko.
Postava 2
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno atmosférickým
vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním plynům, ve výbušném
prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru.
Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím:
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: od +5 °C do +35 °C (viz diagram tlak-teplota v příloze
“Technical Information”)
relativní vlhkost: 0 – 95 % (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technical Information". Turbomolekulární čerpadlo řady Turbo-V
81-T lze používat jen ve spojení s některým ze speciálních controllerů
Agilent a musí být připojeno k primárnímu čerpadlu (viz schéma v
bodu Technical Information).
Návod k Použití 13
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 157/228
Jsou k dispozici následující controllery:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Vývěvu Turbo-V 81-T lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu Turbo-
V 81-T upevněte v nějaké stabilní poloze a přívodní přírubu
turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní
moment 250 Nm kolem své osy.
Např. přírubu ISO 63 lze připevnit příchytkami z vysoce pevné oceli
(jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent). Následující tabulka uvádí
nezbytný počet příchytek a příslušný utahovací moment.
Tab. 1
PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ ZAŘÍZENÍ POČET UTAHOVACÍ MOMENT
ISO 63 Příchytky M10 4 22 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu firmy
Agilent. Viz podrobný popis v příloze “Technical Information”.
POZNÁMKA
Vývěvu Turbo-V 81-T nelze připevnit pomocí její podstavy.
POZOR! Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva Turbo-V 81-T do druhé elektroinstalační
(nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě, která splňuje uvedenou
třídu.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technical
Information".
13 Návod k Použití
Použití
158/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Použití
Veškeré pokyny pro správné používání turbočerpadla jsou uvedené v
příručce řídicí jednotky. Před použitím čerpadla si tuto příručku
pozorně přečtěte. Pro dosažení lepšího maximálního tlaku můžete
systém čerpadla zahřát.
Při zahřívání vakuové komory čerpadla nesmí teplota na vstupní
přírubě překročit 120 °C v případě příruby typu ConFlat a 80 °C v
případě příruby ISO.
Při zahřívání používejte vždy chlazení vodou.
NEBEZPEČÍ!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba připojená k
vakuové komoře. Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POZOR! Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby. Mohly
by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo inertní plyn,
který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru musí být menší než
2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání agresivních plynů jsou tyto
vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který umožňuje plynulý přítok inertního
plynu (Dusîk nebo helium) pro ochranu ložisek vývěvy (viz přílohu “Technical
Information”).
NEBEZPEČÍ!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo radioaktivních
plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Návod k Použití 13
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 159/228
Údržba
Čerpadla řady Turbo-V 81-T nevyžadují žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
NEBEZPEČÍ!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě,
odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor
přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod
50 °C.
V případě poruchy kontaktujte místní servisní středisko firmy
Agilent, které může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za
porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus, musíte
list "Health and Safety" (Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu vyplnit a
odeslat do kanceláře místního prodejního oddělení. Před odesláním zařízení
musíte k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má vývěva vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s
konkrétními státními normami.
13 Návod k Použití
Likvidace
160/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Likvidace
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený
symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento
symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek,
který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními
domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do
patřičných provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován
odděleně od městského odpadu. Uživateli, který míní výrobek
likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem
nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a
smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného
výrobku.
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 161/228
14
Návod na Obsluhu
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy 162
Všeobecné informácie 163
Uchovávanie 164
Príprava na inštaláciu 165
Inštalácia 166
Použitie 168
Údržba 170
Likvidácia 171
Preklad originálneho návodu
14 Návod na Obsluhu
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy
162/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Bezpečnostné návod pre Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa
vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti
otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora
alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia.
NEBEZPEČÍ!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované,
aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy!
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 163/228
Všeobecné informácie
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než
začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky
ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu
zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý
nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi,
zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými
osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Čerpadlá série Turbo-V 81-T sú turbomolekulárnymi čerpadlami na
vytvorenie vysokého a ultravysokého vákua, ktoré sú schopné
odčerpať ľubovoľný nekorozívny druh plynu alebo plynnej zmesi. Nie
sú vhodné na čerpanie kvapalín alebo tuhých častíc.
Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi rýchla turbína (max.
80000 otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým
elektrickým motorom. Zariadenie Turbo-V 81-T neobsahuje žiadne
kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce
„čisté“ vákuum.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technical
Information“.
14 Návod na Obsluhu
Uchovávanie
164/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
POZOR! Pozor označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť poškodenie
zariadenia.
NEBEZPEČÍ!
Nebezpečie majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo
činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie.
POZNÁMKA Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
Uchovávanie
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali
maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:
neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,
prenášania a uchovávania vývev:
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie)
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy
použiť režim soft štartu
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo
dňa dodania
POZOR! Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu do
závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho zastúpenia
spoločnosti Agilent pre predaj a servis.
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 165/228
Príprava na inštaláciu
Zariadenie Turbo-V 81-T sa dodáva v špeciálnom ochrannom balení.
Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas prepravy),
obráťte sa na miestne zastúpenie spoločnosti Agilent.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie nespadlo,
nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu, alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je
100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC 85/399.
POZOR! Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré
budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú vhodnú
ochranu.
Postava 1
POZNÁMKA
Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie Turbo-V 81-T poškodiť.
Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli
prevencii kontaminácie prachom.
14 Návod na Obsluhu
Inštalácia
166/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Inštalácia
POZOR! Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte turbovývevu k
systému.
Postava 2
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny, ani vo
výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké riziko
požiaru.
Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti
prostredia:
maximálny pretlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
teplota: od +5 °C do +35 °C (pozri závislosť tlaku od teploty v
dodatku “Technical Information”)
relatívna vlhkosť: 0 – 95 % (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v
dodatku „Technical Information“.
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 167/228
Turbomolekulárne čerpadlá série Turbo-V 81-T sa môžu používať len
s niektorým z príslušných kontrolných zariadení Agilent a musia byť
zapojené na primárne čerpadlo (viď schému v materiále “Technical
Information”).
K dispozícii sú nasledujúce kontrolné zariadenia:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Zariadenie Turbo-V 81-T môže byť nainštalované v ľubovoľnej polohe.
Upevnite Turbo-V 81-T do stabilnej polohy pripojením vstupnej
príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak, aby vydržala
namáhanie krútiacim momentom 250 Nm okolo svojej osi.
Napríklad príruba typu ISO 63 môže byť pripevnená oceľovými
svorkami s vysokou pevnosťou (napr. model Agilent IC 63250 DCMZ).
Nasledujúca tabuľka ukazuje potrebný počet svoriek a príslušný
upevňovací krútiaci moment.
Tab. 1
PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET UŤAHOVACÍ KRÚTIACI
MOMENT
ISO 63 svorky M10 4 22 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená k
vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky Agilent.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku “Technical
Information”.
14 Návod na Obsluhu
Inštalácia
168/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
POZNÁMKA Zariadenie Turbo-V 81-T sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne.
POZOR! Zariadenie Turbo-V 81-T patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie podľa
smernice EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania, ktorý
vyhovuje uvedenej kategórii.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technical
Information”.
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 169/228
Použitie
Všetky inštrukcie, potrebné pre správnu prevádzku turbočerpadla, sú
uvedené v príručke kontrolnej jednotky. Pred použitím si túto
príručku pozorne preštudujte.
Aby sa dosiahli lepšie hraničné hodnoty tlaku, možno systém vyhriať.
Pri zahrievaní vákuovej komory nesmie teplota na vstupnej prírube
prekročiť hodnotu 120 °C u obrubového systému ConFlat a 80 °C u
obrubového systému ISO.
Pri vyhrievaní používajte vždy chladenie vodou.
NEBEZPEČÍ!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k
vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa
nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty
môžu spôsobiť popáleniny
POZOR! Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu
alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu preplachujte
pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na
preplachovacom vstupe musí byť nižší než 2 bar (pretlakový). Vývevy sú vybavené
špeciálnym vstupom na vyčerpávanie agresívnych plynov, ktoré umožňujú
stabilný tok inertného plynu (Dusîk a hélium) kvôli ochrane ložísk vývevy (pozri
dodatok “Technical Information”).
NEBEZPEČÍ!
Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo
rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre
likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných
plynov.
14 Návod na Obsluhu
Údržba
170/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Údržba
Čerpadlá série Turbo-V 81-T nevyžadujú žiadnu údržbu. Akékoľvek
úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál.
NEBEZPEČÍ!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania,
vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor
neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 ºC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte kontaktné stredisko
spoločnosti Agilent, kde vám pokazený systém vymenia.
POZNÁMKA Skôr než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník
“Zdravie a bezpečnosť”, Dotazník pripojený k návodu na použitie je potrebné
vyplniť a odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so
systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia vývevy, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
Návod na Obsluhu 14
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 171/228
Likvidácia
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie
doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že
výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným
domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako
delený odpad. Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa
skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo
predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok
predaja.
14 Návod na Obsluhu
Likvidácia
172/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
173/228
15
Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 174
Splošne informacije 175
Shranjevanje 176
Priprava za montažo 177
Montaža 178
Uporaba 179
Vzdrževanje 181
Odlaganje opadkov 181
Prevod navodil v izvirniku
15 Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke
174/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo
veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s
specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku
rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska
energija.
SVARILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate
natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
Priročnik za Navodila 15
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 175/228
Splošne informacije
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora
uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije,
ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki
bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in
nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki
niso v skladu s standardi.
Črpalke iz serije Turbo-V 81-T so turbomolekularne črpalke za visoko
in ultra visoko vakuumsko uporabo. Sistem lahko črpa vse tipe plinov
ali nekorozivnih plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje tekočine ali
trdnih delcev.
Črpanje se izvaja preko hitre turbine (maks. 80000 rpm), ki jo vodi
visoko učinkovit 3-fazni električni motor. Turbo-V 81-T ne vsebuje
onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost
tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v
prilogi »Technical Information«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu:
POZOR! Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe opreme.
SVARILO!
Svarilo so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke pri
katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži.
OPOMBA Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila.
15 Priročnik za Navodila
Shranjevanje
176/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Shranjevanje
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza)
Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja
zagnati mehko.
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od
datum pošiljanja.
POZOR! Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko vrniti
v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in
storitev za Agilent Vacuum.
Priročnik za Navodila 15
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 177/228
Priprava za montažo
Turbo-V 81-T je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je embalaža
poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
POZOR! Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami, saj
boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali drugo
primerno zaščito.
Slika 1
OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave Turbo-V 81-T.
Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem. S
tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
15 Priročnik za Navodila
Montaža
178/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Montaža
POZOR! Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na
sistem.
Slika 2
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne
nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež,
sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost
požara.
Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje:
Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
Temperatura: od +5 °C do +35 °C (glej diagram pritisk-
temperatura v prilogi “Technical Information”)
Relativna vlažnost: 0 – 95 % (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Technical Information".
Turbomolekularne črpalke iz serije Turbo-V 81-T se lahko uporabljajo
samo s primernimi krmilniki Agilent in morajo biti priključene na
primarno črpalko (glej sliko v sekciji “Technical Information”).
Priročnik za Navodila 15
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 179/228
Primerni krmilniki so sledeči:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
Turbo-V 81-T lahko montirate v številne pozicije. Turbo-V 81-T
namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno prirobnico
turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko prenese navor
250 Nm okoli svoje osi.
ISO 63 prirobnico lahko na primer pritrdite s pomočjo jeklenih držal
(kot pri Agilent modelu IC 63250 DCMZ).
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih pritrjeval ter potreben
navor za pritrjevanje.
Tab. 1
PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE N. NAVOR
ISO 63 M10 držala 4 22 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za
dodatne informacije glejte prilogo "Technical Information".
OPOMBA Naprave Turbo-V 81-T ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo.
POZOR! Po direktivi EN 61010-1 spada Turbo-V 81-T v skupino za drugo nameščanje (ali
prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z zgornjo kategorijo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Technical Information«.
15 Priročnik za Navodila
Uporaba
180/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Uporaba
Vsa navodila za pravilno delovanje turbočrpalke se nahajajo v
priročniku kontrolne enote. Pazljivo preberite ta priročnik pred
uporabo.
Za dosego boljših mejnih pritiskov je možno segreti sistem.
Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in
80 stopinj C s prirobnicami ISO.
Vedno morate uporabiti vodno hlajenje med segrevanjem!
SVARILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na
vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne
dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
POZOR! Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom
delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite zrak
ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši od 2
bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te črpalke
opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov (Dušik ali
Helij) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Technical Information”).
SVARILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim
navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v
prisotnosti eksplozivnih plinov.
Priročnik za Navodila 15
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 181/228
Vzdrževanje
Črpalke iz serije Turbo-V 81-T ne potrebujejo nikakršnega
vzdrževanja. Kakršno koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano
osebje.
SVARILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko
tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an
počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Agilent servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim.
OPOMBA Preden odnesete črpalko na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto, morate
izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate
lokalni prodajni pisarni. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v
embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi standardi.
Odlaganje opadkov
Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v
skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja
samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE
ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi
odpadki, temveč morate poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri
prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov,
šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe.
15 Priročnik za Navodila
Odlaganje opadkov
182/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T User Manual
183/228
16
Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 184
General Information 185
Storage 186
Preparation for Installation 187
Installation 188
Use 189
Maintenance 191
Disposal 192
Original Instructions
16 Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
184/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating
manual contain a large amount of kinetic energy due to the high
rotational speed in combination with the specific mass of their
rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator
contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel
the installation instructions as given in this manual should be strictly
followed!
Instructions for Use 16
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 185/228
General Information
This equipment is destined for use by professionals. The user should
read this instruction manual and any other additional information
supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not
be held responsible for any events occurring due to non-compliance,
even partial, with these instructions, improper use by untrained
persons, non-authorized interference with the equipment or any
action contrary to that provided for by specific national standards.
The Turbo-V 81-T is a turbo-molecular pump for high and ultra-high
vacuum applications which can pump any type of non-corrosive gas
or gas compound. It is not suitable for pumping liquids or solid
particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine (max.
80000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The
Turbo-V 81-T is free of contaminating agents and, therefore, is
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
The following paragraphs contain all the information necessary to
guarantee the safety of the operator when using the equipment.
Detailed information is supplied in the appendix "Technical
Information".
This manual uses the following standard protocol:
CAUTION! The caution messages are displayed before procedures which, if not followed,
could cause damage to the equipment.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the operator to a
particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to
serious injury.
NOTE The notes contain important information taken from the text.
16 Instructions for Use
Storage
186/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Storage
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines
must be followed:
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
temperature range: -20 °C to 70 °C
relative humidity range: 0 to 95 % (non condensing)
the turbomolecular pumps must be always soft-started when
received and operated for the first time by the customer
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the
shipping date.
CAUTION! If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to
the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service
representative for informations.
Instructions for Use 16
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 187/228
Preparation for Installation
The Turbo-V 81-T is supplied in a special protective pack-ing. If this
shows signs of damage which may have occurred during transport,
contact your local sales office.
When unpacking the pump, be sure not to drop it and avoid any kind
of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner.
The material is 100 % recyclable and complies with EEC Directive
85/399.
CAUTION! In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle
components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other
appropriate protection.
Figure 1
NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo-V 81-T.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system,
thus preventing any form of pollution by dust.
16 Instructions for Use
Installation
188/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Installation
CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump
to the system.
Figure 2
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases, or in
explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must be
respected:
maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
temperature: from +5 °C to +35 °C (see the diagram pres-sure-
temperature in the appendix “Technical Information”)
relative humidity: 0 – 95 % (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using
a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for
detailed information. The Turbo-V 81-T pumps must be used in
conjunction with one of the suitable Agilent controller and they must
be connected to a primary pump (see "Technical Information").
Instructions for Use 16
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 189/228
The available controllers are the following:
Rack controller 81-AG: 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485: 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus: 969-8990
PCB 24 V: 969-9538
Navigator Controller 81AG 24 Vdc: 969-8995
Navigator Controller 81AG 100-240 Vac: 969-8996
The Turbo-V 81-T can be installed in any position. Fix the
Turbo-V 81-T in a stable position connecting the inlet flange of the
turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a torque
of 250 Nm around its axis.
For example the ISO 63 flange can be fixed using high strength steel
clamps (as Agilent model IC 63250 DCMZ).
The following table shows the necessary number of clamps and the
relevant fixing torque.
Tab. 1
FLANGE FIXING DEVICE N. FIXING TORQUE
ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See
the appendix "Technical Information" for a detailed description.
NOTE The Turbo-V 81-T cannot be fixed by means of its base.
CAUTION! The Turbo-V 81-T belongs to the second installation (or overvoltage) category as
per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that satisfy the
above category.
For installation of optional accessories, see "Technical Information".
16 Instructions for Use
Use
190/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Use
All the instructions to correctly use the turbopump are contained in
the controller manual. Read carefully this manual before use the
pump. To obtain better limit pressures it is possible to heat the
pump.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C for a ConFlat flange and 80 °C for a
ISO flange.
While heating always use the water cooling.
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the
vacuum chamber. Do not touch the turbopump or any of its accessories
during the heating process. The high temperatures may cause burns.
CAUTION! Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation.
The bearings may become damaged. Use air or inert gas free from dust or
particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2
bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps
are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like Nitrogen or
Helium) for pump bearing protection (see the appendix "Technical Information").
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive
gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not
use the pump in presence of explosive gases.
Instructions for Use 16
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 191/228
Maintenance
The Turbo-V 81-T series pumps does not require any maintenance.
Any work performed on the system must be carried out by
authorized personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,
vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has
stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls
below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Agilent service center
who can supply a reconditioned system to replace that broken down.
NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or advanced exchange
service, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must
be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be inserted
in the system package before shipping.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in accordance
with the specific national standards.
16 Instructions for Use
Disposal
192/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Disposal
Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol
is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and
Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in
countries of the European Community) indicates that the product it
applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic
or industrial waste but must be sent to a differentiated waste
collection system. The end user is therefore invited to contact the
supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to
initiate the collection and disposal process after checking the
contractual terms and conditions of sale.
Turbo-V 81-T User Manual
193/228
17
Technical Information
Description of the Turbo-V 81-T 194
Pump Description 194
Technical Specification 198
Turbo-V 81-T Outline 200
Inlet Screen Installation 203
Heater Band Installation 206
Air Cooling Kit Installation 208
Water Cooling Kit Installation 210
Vent Accessories 213
Vibration Isolator Installation 214
Typical Layout Diagram 215
With Navigator Controller 215
With Standard Rack Controller 216
Connection A - High Vacuum Flange 217
Connection Configurations 218
Connection B - Fore-Vacuum Pump 219
Connection C - Electrical 219
Pump used in Presence of Magnetic Fields 220
Accessories and Spare Parts 221
Vent Valve Model Selection Table 222
Original Instructions
17 Technical Information
Description of the Turbo-V 81-T
194/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Description of the Turbo-V 81-T
The Turbo-V 81-T pump is available in four versions. The difference
among the four versions lies purely in the high vacuum connection.
The four versions are:
Model 969-8905 with ISO 63 high vacuum flange;
Model 969-8906 with KF 40 NW high vacuum flange;
Model 969-8907 with ConFlat 4.5" external diameter high vacuum
flange;
Model 969-8908 with ConFlat 2.75” external diameter high
vacuum flange.
Pump Description
The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted
with 9 bladed stages. The turbine rotates in an anticlockwise
direction when viewed from the high vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength aluminium al-loy, machined
from a single block.
Figure 3 Model 969-8905
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 195/228
Figure 4 Model 969-8906
Figure 5 Model 969-8907
Figure 6 Model 969-8908
17 Technical Information
Description of the Turbo-V 81-T
196/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Proceeding from the high vacuum to the forevacuum region, the
turbine stages sequence is:
1st stage with a blade angle of 40°,
2nd stage with a blade angle of 30°,
3rd stage with a blade angle of 24°,
4th and 5th stages with a blade angle of 18°,
6th stage with a blade angle of 14°;
7th, 8th and 9th stages with a blade angle of 12°.
The turbine rotor is supported by permanently lubricated high
precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of
the pump.
The static blades of the stator are made of stainless steel. These are
supported and accurately positioned by spacer rings.
During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac
three-phase at 1350 Hz (max). To reduce losses during start-up to a
minimum, the frequency increases according to a ramp with a higher
initial voltage/frequency ratio.
The pump can be water cooled or air cooled: in the first case the
customer can use a dedicated external plate made of nickel-plated
brass, in the second case an external optional fan is available.
A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent
the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a residual vibration
amplitude less than 0.01 μm.
The pump can operate in any position and can be supported on the
high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of
the pump is a KF 16 NW flange.
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 197/228
Figure 7
PUMP
FOREPUMP
CONNECTOR
CONTROLLER
CONNECTOR
17 Technical Information
Technical Specification
198/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Technical Specification
Tab. 2 Technical Specification
Pumping speed With ISO 63
or CFF 4.5”
N2: 77 l/s
He: 65 l/s
H2: 50 l/s
With KF 40 NW
or CFF 2.75”
N2: 50 l/s
He: 56 l/s
H2: 46 l/s
Compression ratio N2: >7 x 106
He: 5 x 103
H2: 3 x 102
Base pressure *
(with recommended forepump)
mechanical:
5 x 10-9 mbar (3.8 x 10-9 Torr)
diaphragm:
5 x 10-8 mbar (3.8 x 10-8 Torr)
Inlet flange ISO 63 KF 40 NW
CFF 4.5” O.D. CFF 2.75” O.D.
Foreline flange KF16 NW
Rotational speed 1350 Hz (max)
Start-up time < 60 seconds
Cooling requirements Natural air convection
Forced air or water optional
Recommended forepump mechanical: Agilent DS 42 – DS 102
dry pump: Agilent SH 100
Operating position any
Coolant water flow: 10 l/h (0.05 GPM)
temperature: + 15 °C to + 35 °C
pressure: 2 to 4 bar (30 to 60 Psi)
Operating ambient temperature
with natural air convection
+5 °C to +25 °C
Operating ambient temperature
with forced air cooling or water
+5 °C to +35 °C
Bakeout temperature 120 °C at inlet flange max. (CF flange)
80 °C at inlet flange max. (ISO flange)
Vibration level (displacement) < 0.01 μm at inlet flange
Noise level ≤ 45 dB (A) at 1 meter
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 199/228
Compliance with: UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN-CENELEC 55011
IEC 1000-4-2 (ex 801-2)
IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
IEC 1000-4-4 (ex 801-4)
EN 61010-1 (IEC 1010-1)
EN 1012-2
Storage temperature -20 °C to +70 °C
Input 60 Vac, three phase,
1350 Hz (max)
50 W max
Lubricant permanent lubrication
Installation category II
Pollution degree 2
Storage temperature - 20 °C to + 70 °C
Weight kg (lbs): ISO 63: 1.83 (4.03)
KF 40: 1.80 (3.97)
CFF 4.5”: 2.62 (5.78)
CFF 2.75”: 2.59 (5.71)
* (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48
hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and
using the recommended pre-vacuum pump)
NOTE When the Turbo-V 81-T has been stored at a temperature less than 5 °C, wait
until the system has reached the above mentioned temperature.
17 Technical Information
Turbo-V 81-T Outline
200/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Turbo-V 81-T Outline
The following figure shows the Turbo-V 81-T outlines (dimensions are
in inches [mm]).
Figure 8 Turbo-V 81-T outline
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 201/228
Figure 9 Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m3/h
mechanical pump
Figure 10 Graph of compression ratio vs foreline pressure
17 Technical Information
Turbo-V 81-T Outline
202/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Figure 11 Graph of Nitrogen throughput against inlet pressure using a DS102
as forevacuum pump
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 203/228
Inlet Screen Installation
Figure 12
Figure 13
The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309 prevent the blades of
the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm
diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about
10 %.
The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in
the figure.
17 Technical Information
Inlet Screen Installation
204/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Figure 14
The screen can be mounted on each pump. The screen can be
removed as shown in the following figure.
Figure 15
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 205/228
The following figure shows the overall flange dimensions with the
protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF
flange (dimensions are in inches [mm]).
Figure 16
17
Technical Information
Heater Band Installation
206/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Heater Band Installation
Figure 17
The heater band model 969-9801 and 969-9802 can be used to heat
the pump casing when a bakeout is needed. The heater band is
applied to the upper part of the pump casing, as shown in the figure,
and heats it to a temperature of about 80 °C. The heater band must
be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump
wall to obtain fast and efficient heating.
Figure 18
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 207/228
Switch on the heater while the turbopump is in operation. In the
event of turbopump overheat, the pump will be automatically cut out
by the thermistor sensor.
NOTE The turbopump must be "baked" only when operat-ing with an inlet pressure
less than 10-4 mbar and with water cooling.
CAUTION! If the chamber of the system is "baked" at a high temperature, a shield should
be installed to pre-vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the
pump. The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 °C.
17 Technical Information
Air Cooling Kit Installation
208/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Air Cooling Kit Installation
An air cooling kit (mod. 969-9290) is available for cooling the pump
during heavy operational conditions and whenever the natural air
convection is not sufficient.
Figure 19
Fan specifications:
air flow: 12.8 l/s (27.1 CFM)
input voltage: 24 Vdc
dimensions: 60 x 60 x 25 mm
power: 2.60 W
The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the
pump and in different positions. To fix the fan to the Turbo-V 81-T
case execute the following procedure (see the following figure):
1 Fix the fan to the suitable bracket by means of the furnished
screws;
2 Fix the bracket to the pump body;
3 Connect the fan supply to the P4 connector of the controller.
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 209/228
Figure 20
Figure 21
Figure 22
17 Technical Information
Water Cooling Kit Installation
210/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Water Cooling Kit Installation
Two types of water cooling kits are available to be mounted when the
pump is used under heavy load conditions or when air cooling is
insufficient.
The two model part numbers are: 969-9823 (metallic model), and
969-9824 (plastic model).
Figure 23
CAUTION! The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following
figure
Figure 24
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 211/228
The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the
pump body with a recommended closing torque of 5 Nm.
The water kit is assembled as shown in the figure.
Figure 25
17 Technical Information
Water Cooling Kit Installation
212/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
1 Connect the plate to the pump bottom with four screws M3x20
Figure 26
2 Assemble the metal or the plastic kit as shown.
Cooling may be carried out either through an open circuit with
eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling
system.
The water temperature must be between +15 °C and +35 °C, with an
inlet pressure between 2 and 4 bar.
NOTE The water electrical conductance must be ≤ 500 µs/cm. When the conductance
is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is
suggested.
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 213/228
Vent Accessories
The vent valve allow to avoid undesired venting of the pump during
temporary power failure and enables an automatic vent operation.
There are several vent valves available and each vent valve has to be
driven by its own control unit.
NOTE Refer to the Vent Valve Model Selection table to choose the valve and the
related control unit.
NOTE Refer to the control unit manual for the pump-valve-controller interconnections.
Refer to the vent valve manual and follow the in-structions to properly vent the
turbomolecular pump.
To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure
below).
Figure 27
Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16
mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm.
17 Technical Information
Vibration Isolator Installation
214/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Figure 28
CAUTION! Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump.
Then connect the cable from the valve to the suitable connector on
the controller.
Vibration Isolator Installation
Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps
are available as accesso-ries.
The two model part numbers are the following:
model 969-9375 for ISO 63 flange;
model 969-9376 for CFF 4.5” flange.
They typically reduce the vibration transmitted from the
Turbo-V 81-T to the system by a factor of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 215/228
Typical Layout Diagram
With Navigator Controller
Figure 29
1 Turbo-V Navigator controller
2 Vent valve
3 Vacuum pump shut-off valve (optional)
4 System vent valve (optional)
5 Vacuum chamber
6 Ionization gauge
7 Fore-vacuum pump connecting flange
8 Oil mist eliminator
9 Fore-vacuum pump with internal one-way valve
10 Fore-vacuum pump control relay
11 Connection for water cooling
12 Roughing line with valve (optional)
17 Technical Information
Typical Layout Diagram
216/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
13 Turbopump
14 Fan
15 Flexible connection
With Standard Rack Controller
Figure 30
1 Turbo-V standard rack controller
2 Vent valve
3 Vacuum pump shut-off valve (optional)
4 System vent valve (optional)
5 Vacuum chamber
6 Ionization gauge
7 Fore-vacuum pump connecting flange
8 Oil mist eliminator
9 Fore-vacuum pump with internal one-way valve
10 Fore-vacuum pump control relay
11 Connection for water cooling
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 217/228
12 Roughing line with valve (optional)
13 Turbopump
14 Flexible connection
Connection A - High Vacuum Flange
To connect the Turbo-V 81-T pump to the ISO inlet flange, remove the
outer ring and position the centering ring as shown in the figure.
Figure 31
Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the
figure.
Figure 32
17 Technical Information
Typical Layout Diagram
218/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
For ConFlat flange connections we recommend using Agilent
hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high
temperature lubricant to the screw threads protruding from the
flange and between the nuts and flange.
Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential
tightening until the flange faces meet.
CAUTION! Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the
envelope as this may cause the pump rotor to lock.
Connection Configurations
Figure 33
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 219/228
Connection B - Fore-Vacuum Pump
A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo-V 81-T pump to
the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be used.
If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical
pump must be eliminated through the use of bellows.
NOTE The Turbo-V 81-T pump is characterized by its high compression ratio also for oil
vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a
suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to
prevent oil backstreaming.
Connection C - Electrical
Figure 34
The turbopump is connected to the controller through an 6-pin
connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins
A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ
resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground. If
the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To
prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C,
the sensor automatically cuts out the power supply.
17 Technical Information
Pump used in Presence of Magnetic Fields
220/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Pump used in Presence of Magnetic Fields
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular
pump that tend to oppose to its rotation.
The result is increased electrical power consumption by the motor,
most of which is dissipated in the rotor.
Since the rotor is not in contact with the stator the above power can
leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be
overheated while static parts of the pump remain cool.
This effect is strongly dependant from the intensity, time function
and distribution of the magnetic field.
In general, therefore, an increase in pump current can be expected.
If this increase is lower than 50 % of the current value drawn by the
motor in high vacuum opera-tion, no particular problem should be
expected.
However if the effect is grater, than the case should be carefully
reviewed by Agilent's special-ist. As a matter of fact, in case of high
magnetic fields, also important forces might be generated and applied
to the rotor.
Technical Information 17
Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E) 221/228
Accessories and Spare Parts
Tab. 3 Accessories and Spare Parts
DESCRIPTION PART NUMBER
Inlet screen, DN 40 969-9309
Inlet screen, DN 63 969-9300
Heater band 220 V 969-9801
Heater band 120 V 969-9802
Metallic water cooling kit 969-9823
Plastic water cooling kit 969-9824
Air cooling kit (0.5 m cable) 969-9290
Air cooling kit extension cable (5 m) 969-9940
Pump extension cable 969-9942
Vibration damper DN 63 969-9375
Vibration damper CFF 4.5" 969-9376
Mechanical pump DS 102 949-9315
Mechanical pump DS 42 949-9309
Dry scroll SH 100 SH01001 UNIV
Dry scroll SH 110 SH01101 UNIV
Rack controller 81-AG base 969-8988
Rack controller 81-AG RS232/485 969-8989
Rack controller 81-AG Profibus 969-8990
PCB 24 V 969-9538
Turbo-V 81-AG Navigator Controller 24 Vdc 969-8995
Turbo-V 81-AG Navigator Controller 100-240 Vac 969-8996
For a complete overview of Agilent's extensive product lines, please
refer to the Agilent catalog.
17 Technical Information
Vent Valve Model Selection Table
222/228 Turbo-V 81-T User Manual / 87-900-984-01 (E)
Vent Valve Model Selection Table
Tab. 4 Vent valve model selection table
CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER
Turbo-V 81-AG Navigator Controller
(cable 0.7 m) (any version)
N.O. 969-9844
Turbo-V 81-AG Rack Controller
(cable 0.7 m) (any version)
N.O. 969-9844
Controller TV70 Navigator (P/N 969-8970, 969-8971) 969-9834
Turbo-V 70 Rack controller (P/N 969-9405, 969-9505) 969-9843
Request f or Return Form
Sales and Service Offices
United States
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
India
Agilent Technologies India Pvt. Ltd.
Vacuum Product Division
G01. Prime corporate Park,
230/231, Sahar Road, Opp. Blue Dart Centre,
Andheri (East), Mumbai – 400 099.India
Tel: +91 22 30648287/8200
Fax: +91 22 30648250
Toll Free: 1800 113037
Southeast Asia
Agilent Technologies Sales Sdn Bhd
Vacuum Products Division
Unit 201, Level 2 uptown 2,
2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown
47400 Petaling Jaya,
Selangor, Malaysia
Tel : +603 7712 6106
Fax: +603 6733 8121
Benelux
Agilent Technologies Netherlands B.V.
Vacuum Products Division
Herculesweg 8
4338 PL Middelburg
The Netherlands
Tel.: +31 118 671570
Fax: +31 118 671569
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Italy
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì, (Torino) - Italy
Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Taiwan
Agilent Technologies Taiwan Limited
Vacuum Products Division (3F)
20 Kao-Shuang Rd.,
Pin-Chen City, 324
Taoyuan Hsien , Taiwan, R.O.C.
Tel. +886 34959281
Toll Free: 0800 051 342
Canada
Central coordination through: Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
Japan
Agilent Technologies Japan, Ltd.
Vacuum Products Division
8th Floor Sumitomo Shibaura Building
4-16-36 Shibaura Minato-ku Tokyo 108-0023 - Japan
Tel.: +81 3 5232 1253
Fax: +81 3 5232 1710
Toll-Free: 0120 655 040
UK and Ireland
Agilent Technologies UK, Ltd.
Vacuum Products Division
6 Mead Road Oxford Industrial Park
Yarnton, Oxford OX5 1QU – UK
Tel.: +44 (0) 1865 291570
Fax: +44 (0) 1865 291571
Toll free: 00 800 234 234 00
China
Agilent Technologies (China) Co. Ltd
Vacuum Products Division
No.3, Wang Jing Bei Lu,
Chao Yang District,
Beijing, 100102
China
Tel.: +86 (10) 6439 7718
Toll-Free: 800 820 6556
Korea
Agilent Technologies Korea, Ltd.
Vacuum Products Division
Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel.: +82 2 3452 2452
Fax: +82 2 3452 2451
Toll-Free: 080 222 2452
Other Countries
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì, (Torino) -
Italy
Tel.: +39 011 997 9111
Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
France
Agilent Technologies France
Vacuum Products Division
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
91941 Les Ulis cedex - France
Tel.: +33 (0) 1 69 86 38 84
Fax: +33 (0) 1 69 86 29 88
Toll free: 00 800 234 234 00
Mexico
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle
C.P. 03100 – Mexico, D.F.
Tel.: +52 5 523 9465
Fax: +52 5 523 9472
Customer Support & Service
NORTH AMERICA:
Toll Free: 800 882 7426, Option 3
vpl-ra@agilent.com
EUROPE:
Toll Free: 00 800 234 234 00
vpt-customercare@agilent.com
PACIFIC RIM:
please visit our website for individual office
information http://www.agilent.com
Worldwide Web Site, Catalog and Order
On-line:
www.agilent.com
Representative in most countries
12/10
Germany and Austria
Agilent Technologies
Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11
14 35
64289 Darmstadt – Germany
Tel.: +49 (0) 6151 703 353
Fax: +49 (0) 6151 703 302
Toll free: 00 800 234 234 00
Singapore
Agilent Technologies Singapore Pte. Ltd,
Vacuum Products Division
Agilent Technologies Building,
1 Yishun Avenue 7,
Singapore 768923
Tel : (65) 6215 8045
Fax : (65) 6754 0574
© Agilent Technologies, Inc. 2011
Printed in ITALY
04/2011
Publication Number: 87-900-984-01 (E)

Navigation menu