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TwisTorr 305 FS
Pump models: X3513-64008, X3513-64009, X3513-64010, X3513-64011, X3513-64012, X3513-64013, X3513-64014, X3513-64015
Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d'emploi Manual de istrucciones User Manual
87-901-057-01 (A.00) 03/2020
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2020 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means (including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language) without prior agreement and written consent from Agilent Technologies, Inc. as governed by United States and international copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-901-057-01 (A.00)
Edition
Edition 03/2020 Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A. Vacuum Products Division Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì (TO) ITALY
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Trademarks
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Safety Notices
CAUTION
A CAUTION notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in damage to the product or loss of important data. Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met.
WARNING
A WARNING notice denotes a hazard. It calls attention to an operating procedure, practice, or the like that, if not correctly performed or adhered to, could result in personal injury or death. Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met.
TwisTorr 305 FS User Manual/ 87-901-057-01 (A.00)
TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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TwisTorr 305 FS Page intentionally left blank
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Contents
Contents
1 Istruzioni per l'uso Informazioni su questo manuale Validità Definizioni e terminologia Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota Simboli di Avvertenza Sicurezza Uso corretto Uso improprio Attrezzatura di protezione Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari Transporto & Immagazzinamento Descrizione del prodotto Installazione Preparazione per l'installazione Apertura Riparazione di TwisTorr 305 FS Collegamento della flangia per alto vuoto Installazione della flangia ISO-K Installazione della flangia ConFlat Collegamento della pompa del vuoto anteriore Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS Arresto di TwisTorr 305 FS Arresto di emergenza
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
15 17 17 18 18 19 21 21 22 23 25 26 27 28 28 30 32 33 34 35 36 37 38 38
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Contents
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Manutenzione
39
Vita del rotore
39
Soft Start
40
Pulizia
40
Smaltimento
41
Servizio post vendita
42
2 Gebrauchsanleitung
43
Über dieses Handbuch
45
Gültigkeit
45
Begriffsbestimmungen und Terminologie
46
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis
46
Warnsymbole
47
Sicherheit
49
Sachgemäße Verwendung
49
Unsachgemäße Verwendung
50
Schutzausrüstung
51
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
53
Transport und Lagerung
54
Produktbeschreibung
55
Installation
56
Vorbereitung zum Einbau
56
Einrichten
58
Montage von TwisTorr 305 FS
60
Anschluss des Hochvakuumflansches
61
Installation des ISO-K-Flansches
62
Installation des ConFlat-Flansches
63
Anschluss der Vorvakuumpumpe
64
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS
65
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Contents
Stoppen des TwisTorr 305 FS
66
Notausschaltung
66
Wartung
67
Rotordauer
67
Sanftanlauf
68
Reinigung
68
Entsorgung
69
Service
70
3 Mode d'emploi
71
À propos de ce manuel
73
Validité
73
Définitions et terminologie
74
Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note » 74
Symboles d'avertissement
75
Sécurité
77
Utilisation appropriée
77
Utilisation inappropriée
78
Équipement de protection
79
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires
81
Transport et entreposage
82
Description du produit
83
Installation
84
Préparation pour l'installation
84
Configuration
86
Montage du TwisTorr 305 FS
88
Raccordement de la bride à vide élevé
89
Installation de la bride ISO-K
90
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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Contents
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Installation de la bride ConFlat
91
Raccordement de la bride à vide préliminaire
92
Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS
93
Arrêt du TwisTorr 305 FS
94
Arrêt d'urgence
94
Entretien
95
Durée de vie du rotor
95
Démarrage progressif
96
Nettoyage
96
Mise au rebut
97
Service
98
4 Instrucciones de Uso
99
Acerca del manual
101
Validez
101
Definiciones y terminología
102
Definición de Precaución, Advertencia y Nota
102
Símbolos de advertencia
103
Seguridad
105
Uso correcto
105
Uso incorrecto
106
Equipo de protección
107
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares
109
Transporte y almacenamiento
110
Descripción del producto
111
Instalación
112
Preparación para instalación
112
Puesta en marcha
114
Montaje de la TwisTorr 305 FS
116
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Contents
Conexión de la brida de alto vaciado Instalación de la brida ISO-K Instalación de la brida ConFlat Conexión de la bomba pre-vaciado Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS Parada de la TwisTorr 305 FS Parada de emergencia Mantenimiento Vida del rotor Arranque suave Limpieza Eliminación Servicio
5
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
117 118 119 120 121 122 122 123 123 124 124 125 126
127 129 129 130 130 131 133 133 134 135 137 138
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Contents
139
140
140
142
TwisTor 305 FS
144
145
ISO-K
146
ConFlat
147
148
TwisTorr 305 FS
149
TwisTorr 305 FS
150
150
151
151
152
152
153
154
6
155
157
158
159
161
161
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
TwisTorr 305 FS ISO-K ConFlat TwisTorr 305 FS
7 Instructions for Use About this manual Validity Definitions and terminology Warning Symbols
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Contents
162 163 165 166 167 168 168 170 172 173 174 175 176 178 178 179 179 180 180 181 182
183 185 185 186 187
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Contents
Safety
189
Proper Use
189
Improper Use
190
Protective equipment
191
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
193
Transport & Storage
194
Product description
195
Installation
196
Preparation for Installation
196
Set-up
198
TwisTorr 305 FS Mounting
200
Connection of the High Vacuum Flange
201
Installation of ISO-K Flange
202
Installation of ConFlat Flange
203
Connection of the Fore-Vacuum Pump
204
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS
205
Stopping the TwisTorr 305 FS
206
Emergency stop
206
Maintenance
207
Rotor life
207
Soft Start
208
Cleaning
208
Disposal
209
Service
210
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Contents
8 Technical Information
211
Description of the TwisTorr 305 FS
213
Technical Specification
219
TwisTorr 305 FS Outline
222
Interconnections
233
Earth (Ground) Connection
233
Pump Operations
234
Inlet screen installation
234
Air Cooling Kit Installation
237
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps) 239
Vent Accessories
242
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases
245
Purge Valve Installation
247
Pump Used in Presence of Magnetic Fields
248
Vibration Isolator Installation
248
Controller Operations
249
Accessories and Spare Parts
250
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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Contents
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni 1
1 Istruzioni per l'uso
Informazioni su questo manuale
17
Validità
17
Definizioni e terminologia
18
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
18
Simboli di Avvertenza
19
Sicurezza
21
Uso corretto
21
Uso improprio
22
Attrezzatura di protezione
23
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari
25
Transporto & Immagazzinamento
26
Descrizione del prodotto
27
Installazione
28
Preparazione per l'installazione
28
Apertura
30
Riparazione di TwisTorr
32
Collegamento della flangia per alto vuoto
33
Installazione della flangia ISO-K
34
Installazione della flangia ConFlat
35
Collegamento della pompa del vuoto anteriore
36
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS
37
Arresto di TwisTorr 305 FS
38
Arresto di emergenza
38
Manutenzione
39
Vita del rotore
39
Soft Start
40
Pulizia
40
Smaltimento
41
Servizio post vendita
42
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 TwisTorr 305 FS Manuale di istruzioni
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Informazioni su questo manuale
Informazioni su questo manuale
Validità
Questo manuale elenca le istruzioni per gli utenti di TwisTorr 305 FS, con particolare riferimento alle nozioni relative a sicurezza, funzionamento e manutenzione di primo livello, limitatamente alle operazioni di manutenzione di cui l'utente è responsabile.
Le operazioni di manutenzione, illustrate nelle sezioni specifiche, con disposizioni specifiche relative al livello più elevato di manutenzione (personale appositamente addestrato per le operazioni di manutenzione) non devono essere eseguite dall'utente.
Per una corretta installazione e avvio/arresto, consultare il capitolo "Installazione". Per un uso tecnico più dettagliato, consultare il capitolo "Operazioni".
Per ulteriori dettagli sull'utilizzo tecnico, consultare il capitolo "Operazioni".
NOTA
1. Questo manuale contiene informazioni utili affinché tutto il personale che utilizza TwisTorr 305 FS possa utilizzarlo in sicurezza e garantire la perfetta efficienza, per tutta la sua durata.
2. Conservare questo manuale, insieme a tutte le pubblicazioni ad esso correlate, in un luogo accessibile, conosciuto da tutti gli operatori/personale di manutenzione.
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Definizioni e terminologia
Definizioni e terminologia
Definizione di Attenzione, Avvertenza e Nota
Alcuni riferimenti importanti di questo manuale sono evidenziati e incorniciati in colori contrastanti.
AVVERTENZA!! I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti e forniscono maggiori dettagli su passaggi specifici.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Simboli di Avvertenza
Simboli di Avvertenza
Di seguito si riporta un elenco di simboli che vengono visualizzati insieme agli avvisi TwisTorr 305 FS. Viene mostrato anche il pericolo che descrivono. Un simbolo triangolare indica un'avvertenza. I significati dei simboli che possono apparire accanto alle avvertenze nella documentazione o sullo strumento stesso sono i seguenti:
Corrente continua
Non toccare
Dichiarazione Europea di Conformità
Pericolo generico
Sito di produzione
Spegni
Accendi
Messa a terra protettiva
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Simboli di Avvertenza
Il seguente simbolo può essere usato sulle etichette di avvertenza attaccate allo strumento. Quando viene visualizzato questo simbolo, consultare il relativo manuale operativo o di servizio per la procedura corretta a cui fa riferimento tale etichetta di avvertenza.
I seguenti simboli appaiono sullo strumento per vostra informazione.
Messa a terra protettiva
Non toccare
J1
Connettore principale
Certificazione CE
Certificazione CSA
Limitazione della Certificazione delle Sostante Pericolose
Certificazione RoHS China
Rifiuti di Apparecchiature Elettriche ed Elettroniche
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Sicurezza
Sicurezza
Questa sezione contiene le informazioni, prescritte dalla Direttiva Macchine 2006/42/CE, che sono essenziali per la conformità e il rispetto delle norme di sicurezza sia in generale che in relazione all'uso specifico della macchina. La mancata osservanza di queste istruzioni e delle altre istruzioni contenute nel presente manuale può rendere inefficaci le condizioni di sicurezza previste in fase di progettazione e causare incidenti a chi utilizza la macchina.
Agilent Technologies declina ogni responsabilità per danni alla macchina o per la sicurezza fisica dell'operatore o di terzi derivanti dal mancato rispetto delle norme di sicurezza indicate nella documentazione tecnica.
Uso corretto
Questo manuale contiene importanti avvertenze e istruzioni di sicurezza da osservare affinché l'unità funzioni in sicurezza. Il prodotto descritto in questo manuale è destinato esclusivamente all'ambito specificato nelle istruzioni. Il manuale fornisce inolte indicazioni relative ai requisiti essenziali per l'applicazione e il funzionamento del prodotto, nonché le misure di sicurezza che possono essere adottate per garantire un funzionamento regolare. Agilent Technologies non fornisce alcuna garanzia né si assume alcuna responsabilità per applicazioni diverse da quelle descritte nel presente manuale o in cui i requisiti essenziali e le misure di sicurezza non siano rispettati. Il prodotto deve essere utilizzato solo da personale qualificato in grado di adottare le misure di sicurezza necessarie in condizioni che non causano danni o lesioni. Gli accessori e le attrezzature utilizzati con il prodotto devono essere forniti o approvati da Agilent Technologies. Qualsiasi operazione di regolazione o manutenzione deve essere eseguita da un tecnico professionista informato dei rischi.
Le riparazioni sul prodotto devono essere eseguite esclusivamente da personale autorizzato Agilent.
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Uso improprio
Uso improprio
Agilent Technologies declina ogni responsabilità derivante dall'uso improprio di TwisTorr 305 FS. L'uso improprio comporterà la perdita di tutti i reclami per responsabilità e garanzie. L'uso improprio è definito come: installazione della pompa con materiale di montaggio non specificato pompaggio di gas corrosivi e ossidanti senza flusso di spurgo adeguato
(vedere la sezione "Pompa utilizzata con gas corrosivi e ossidanti") pompaggio di gas esplosivi pompaggio di vapori di condensazione pompaggio di liquidi pompaggio di polvere funzionamento con flusso di gas elevato improprio funzionamento con pressioni inadeguate per il vuoto avanzato funzionamento con modalità gas selezionata diversa dal gas effettivamente
utilizzato funzionamento con elevati livelli impropri di apporto termico isolato funzionamento in campi magnetici elevati impropri ventilazione con alte velocità di ventilazione inadeguate utilizzo della pompa del vuoto per generare pressione funzionamento del dispositivo in aree con radiazioni ionizzati funzionamento in aree potenzialmente esplosivo utilizzo del dispositivo in sistemi in cui stress e vibrazioni simili a impatti o
forze periodiche influiscono sul dispositivo.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Attrezzatura di protezione
Attrezzatura di protezione
L'attrezzatura di protezione degli operatori che stanno operando o eseguendo la manutenzione del sistema di pompaggio deve essere sempre adeguata al tipo di operazione da eseguire. Inoltre, deve soddisfare i requisiti di sicurezza della legislazione in vigore nel paese in cui viene utilizzata la macchina.
In generale, l'operatore deve indossare scarpe antinfortunistiche durante la manipolazione del 305 FS e durante l'installazione.
AVVERTENZA!
Pericolo per la salute a causa di sostenza pericolose durante la manutenzione o l'installazione A seconda della peculiarità del processo, le pompe per vuoto, i componenti o i fluidi di funzionamento possono essere contaminati da sostanze tossiche, reattive o radioattive.
Indossare attrezzatura di protezione adeguata durante la manutenzione e le riparazioni o in caso di reinstallazione.
AVVERTENZA! Rischio di lesioni dovute alla caduta di oggetti Durante il trasporto manuale delle pompe per vuoto, sussiste il pericolo che i carichi scivolino e cadano.
Trasporare pompe per vuoto di piccole e medie dimensioni a due mani. Qualsiasi attrezzatura più pesante di 20 kg deve essere trasportata utilizzando un dispositivo di sollevamento adatto. Indossare scarpe antinfortunistiche con puntale in acciaio secondo la direttiva EN 347.
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Attrezzatura di protezione
ATTENZIONE! Rischio di lesioni a causa di spigoli vivi I rischi del rotore e dello statore delle turbopompe hanno bordi molto affilati.
Prima di riparare la pompa o prima di qualsiasi azione di montaggio/smontaggio della pompa del sistema, attendere per l'arresto completo della pompa. Non operare direttamente all'interno della pompa. Se necessario, indossare guanti protettivi secondo la EN 420.
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Istruzioni per l'uso 1 Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari
Linee guida di sicurezza per pompe turbomolecolari
Le pompe turbomolecolari descritte nel seguente manuale contengono una grande quantità di energia cinetica dovuta all'elevata velocità di rotazione in combinazione con la massa specifica dei loro rotori.
In caso di malfunzionamento di una parte meccanica della pompa, l'energia di rotazione può essere rilasciata a qualunque cosa sulla quale la pompa sia fissata.
AVVERTENZA! Per evitare danni alle apparecchiature e per prevenire lesioni al personale operativo, è necessario seguire scrupolosamente le istruzioni di installazione fornite nel presente manuale!
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Transporto & Immagazzinamento
Transporto & Immagazzinamento
Al fine di garantire il massimo livello di prestazioni e affidabilità delle pompe turbomolecolari Agilent, è necessario seguire le seguenti line guida per evitare la condensa: durante la spedizione, lo spostamento e lo stoccaggio delle pompe, non
devono essere superate le seguenti specifiche ambientali: intervallo di temperatura: -da 40 °C a 70 °C intervallo di umidità relativa: da 0 a 90 % (senza condensa).
la durata di conservazione di una pompa turbomolecolare è di 12 mesi dalla data di spedizione.
le pompe turbomolecolari devono essere sempre avviate progressivamente quando vengono ricevute e utilizzate per la prima volta dal cliente.
le pompe turbomolecolari devono essere sempre aviate gradualmente dopo un periodo di inattività della pompa di 60 giorni.
ATTENZIONE! Se per qualsiasi motivo viene superata la scadenza della conservazione, la pompa deve essere restituita alla fabbrica. Per informazioni, contattare il rappresentante Agilent Vacuum locale e il servizio di assistenza.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Descrizione del prodotto
Descrizione del prodotto
Questa attrezzaura è destinata all'uso professionale e deve essere utilizzata da professionisti.
TwisTorr 305 FS è una pompa turbomolecolare per applicazioni con vuoto elevato e altissimo che è in grado di pompare qualsiasi tipo di gas o composto di gas non corrosivo e ossidante.
L'azione di pompaggio si ottiene attraverso una turbina ad alta velocità (max. 60600 rpm) azionata da un motore elettrico ad alte prestazioni.
È privo di agenti contaminanti e, quindi, è adatto per applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Informazioni dettagliate sono fornite nella sezione "Informazioni tecniche".
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Installazione
Installazione
Preparazione per l'installazione
TwisTorr 305 FS viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Evitare impatti improvvisi sul 305 FS che potrebbero essere causati dalla sua caduta. Fare attenzione a conservare la confezione per riutilizzarla in caso di conservazione per un lungo periodo di tempo o in caso di spedizione. Non gettare i materiali di imballaggio in modo non autorizzato. Il materiale è riciclabile al 100% ed è conforme alla Direttiva CEE 94/62 e successive modifiche.
ATTENZIONE! Per evitare problemi di degassificazione, non usare le mani nude per maneggiare i componenti che saranno esposti al vuoto. Usare sempre guanti o altre protezioni appropriate.
NOTA
La normale esposizione all'ambiente non può danneggiare TwisTorr 305 FS. Tuttavia, si consiglia di tenerlo sigillato nella sua busta di plastica fino a quando non viene installato nel sistema, evitando così qualsiasi forma di inquinamento da polvere.
28/258
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Installazione
Figura 1 Imballo del TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Apertura
Apertura
ATTENZIONE! Non rimuovere l'adesivo e il cappuccio protettivo fino a quando non si è pronti per installare la turbopompa sul sistema.
Figura 2
30/258
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Istruzioni per l'uso 1 Apertura
Installare questo dispositivo solo in ambienti chiusi e non utilizzare la pompa in un ambiente esposto ad agenti atmosferici (pioggia, ghiaccio, neve), polvere, gas aggressivi o in ambienti esplosivi o ad alto rischio di incendio. Durante il funzionamento è necessario rispettare le seguenti condizioni ambientali per evitare la condensa: Pressione ambiente massima: 2 bar sopra la pressione atmosferica temperatura: da +5 °C a +35 °C umidità relativa: 0 90 % (senza condensa).
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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1 Istruzioni per l'uso Riparazione di TwisTorr 305 FS
Riparazione di TwisTorr 305 FS
AVVERTENZA! La mancata osservanza di queste istruzioni di installazione potrebbe comportare il distacco della pompa dal sistema in caso di guasto del rotore, con conseguenti danni materiali o lesioni gravi o mortali.
TwisTorr 305 FS può essere installato in qualsiasi posizione. Fissare TwisTorr 305 FS in una posizione stabile, montando la flangia di ingresso della turbopompa sulla controflangia del sistema, con una connessione in grado di resistere a una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse. La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat e ISO K deve essere fissata alla camera del vuoto mediante l'apposito hardware Agilent. Per ulteriori dettagli consultare la sezione "Installazione di ConFlat e ISO K".
ATTENZIONE! TwisTorr 305 FS non può essere riparato tramite la sua base
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Istruzioni per l'uso 1 Collegamento della flangia per alto vuoto
Collegamento della flangia per alto vuoto
Se il rotore si arresta improvvisamente, la coppia risultante deve essere assorbita dall'hardware che fissa la flangia dell'alto vuoto. I bulloni o l'hardware devono soddisfare le specifiche seguenti.
AVVERTENZA! È obbligatorio collegare la pompa in modo tale da resistere alla coppia specificata nella sezione "ISTRUZIONI PER L'USO". In particolare, prestare attenzione al design dei morsetti, al materiale dei morsetti e ai bulloni e alla coppia di fissaggio dei bulloni. Utilizzare solo morsetti (o bulloni) di classe ad alta resistenza 8,8.
AVVERTENZA! Se la pompa viene fissata su una camera a vuoto con flange diverse da quelle consigliate da Agilent, esiste la possibilità che il 305 FS si attorcigli o si strappi nel caso in cui il rotore si arresti improvvisamente. La combinazione di diversi tipi di flangia non è consentita. Agilent non si assume alcuna responsabilità per tutti i danni derivanti da un fissaggio improprio.
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1 Istruzioni per l'uso Installazione della flangia ISO-K
Installazione della flangia ISO-K
Per i collegamenti della flangia ISO-K, fissare le due flange con i morsetti modello IC63250DCMZ o equivalenti, come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo).
Figura 3 Utilizzare il numero richiesto di morsetti artiglio: 4 per la flangia ISO 100 4 per la flangia ISO 160 Stringere le fascette con una coppia di 22 Nm.
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Istruzioni per l'uso 1 Installazione della flangia ISO-K
Installazione della flangia ConFlat
Per i collegamenti delle flange ConFlat, fissare le due flange con le viti come mostrato nella figura seguente (è possibile utilizzare facoltativamente uno schermo protettivo).
Figura 4
Utilizzare il numero richiesto di viti: 16 per CFF 6" 20 per CFF 8"
Collegare le unità e serrare a turno ciascuna vite. Ripetere il serraggio sequenziale fino a quando le facce della flangia si incontrano. Stringere le viti con una coppia di 20 Nm. Per la flangia ConFlat consigliamo solo l'uso di bulloni in acciaio ad alta resistenza. Per facilitare il montaggio e lo smontaggio, è facoltativo applicare il lubrificante Felpro C-100 ad alta temperatura per le filettature delle viti che sporgono dalla flangia e tra i dadi e la flangia. In alcuni casi, i collegamenti possono essere effettuati solo con il bullone nella parte inferiore.
ATTENZIONE! Prestare attenzione quando si serrano dadi e bulloni per evitare di creare ammaccature nella busta.
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1 Istruzioni per l'uso Collegamento della pompa del vuoto anteriore
Collegamento della pompa del vuoto anteriore
La connessione forzata deve essere effettuata utilizzando la flangia KF 16 NW fornita su TwisTorr 305 FS. Il collegamento alla pompa principale può essere effettuato mediante una pompa o un tubo classificati come vuoto. Se viene utilizzato un tubo rigido, qualsiasi vibrazione generata dalla pompa meccanica deve essere attenuata attraverso l'uso del soffietto.
NOTA
TwisTorr 305 FS è caratterizzato da un elevato rapporto di compressione anche per i vapori d'olio. Quando si utilizza una pompa meccanica a tenuta d'olio, è consigliabile installare una trappola adatta tra la turbopompa e la pompa del vuoto anteriore per evitare il riflusso di olio o particolato dalle pompe a secco.
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Istruzioni per l'uso 1 Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS
Avvio e funzionamento di TwisTorr 305 FS
NOTE
Per accendere TwisTorr 305 FS tramite i controller di bordo o remoto, collegare la pompa al controller, fornire al controller la tensione di alimentazione corretta e agire sui segnali "START" e "INTERLOCK" (che si trovano sull'interfaccia del controller). Una volta riconosciuti questi segnali, il controller avvia la pompa.
Fare riferimento ai relativi manuali d'uso del controller per:
(1) Trovare la posizione dell'ingresso dell'alimentatore e i valori ammessi della tensione di ingresso della rete (Remoto: capitolo Informazioni Tecniche; A bordo: capitolo Informazioni Tecniche).
(2) Trovare la posizione dei pin di ingresso START/STOP e INTERLOCK nonché le relative caratteristiche elettriche (Remoto: capitolo Informazioni Tecniche; A bordo: capitolo Informazioni Tecniche).
(3) Trovare i dettagli su come collegare i segnali di START/STOP e INTERLOCK (Remoto: capitolo Informazioni Tecniche; a bordo: capitolo Informazioni Tecniche).
Controller MPNs
Descrizione del controller
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
Twistorr 305 FS a bordo 24V Twistorr 305 FS a bordo 110/230V Twistorr 305 FS AG Remoto RS232/485 Twistorr 305 FS AG Remoto Profibus
Rif. Manuale d'uso
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
AVVERTENZA! L'avvio iniziale della pompa sarà in modalità "SOFT START"; per informazioni dettagliate su questa modalità consultare la sezione dedicata a pagina 40.
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1 Istruzioni per l'uso Arresto di TwisTorr 305 FS
Arresto di TwisTorr 305 FS
Per arrestare la pompa mentre è in funzione, è necessario agire sull'unità di controllo che sta guidando la pompa e che può essere collegata ad essa. È possibile arrestare la pompa tramite comunicazione seriale comandi e tramite segnali I/O remoti. Fare riferimento ai relativi manuali d'uso del controller per trovare l'insieme appropriato di istruzioni (Remoto: capitolo Informazioni tecniche - Collegamento del controller e significati delle finestre; A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre).
Arresto di emergenza
L'arresto di emergenza può essere ottenuto rimuovendo l'alimentazione.
AVVERTENZA! Questa modalità deve essere utilizzata solo in caso di emergenza. L'uso di questa modalità di arresto potrebbe causare guasti e/o danni alla pompa. L'uso improprio di questa modalità di arresto potrebbe invalidare la garanzia.
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Istruzioni per l'uso 1 Manutenzione
Manutenzione
TwisTorr 305 FS non richiede manutenzione. Qualsiasi lavoro deve essere eseguito da personale autorizzato.
AVVERTENZA! Prima di eseguire qualsiasi intervento sul sistema, scollegarlo dall'alimentazione, sfiatare la pompa con la valvola di sfiato, attendere che il rotore sia completamente fermo e attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50° C.
NOTA
In caso di guasto della pompa, è possibile utilizzare il servizio di riparazione Agilent o il "servizio di cambio avanzato Agilent", che offre un sistema rigenerato per sostituire il sistema guasto. Il pezzo di ricambio 305 FS viene spedito al momento dell'ordine. Quindi si restituisce il 305 FS non funzionante nella scatola in cui vi era il pezzo di ricambio 305 FS.
Prima di restituire una pompa per la riparazione o il servizio di sostituzione avanzata al produttore, è essenziale completare e inviare all'ufficio vendite locale il modulo "Richiesta di restituzione" allegato al presente manuale di istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nella confezione del sistema prima della spedizione.
Se è necessario eliminare un pezzo, assicurarsi che vengano seguite le normative locali per lo smaltimento appropriato.
Vita del rotore
La resistenza alla fatica del rotore della pompa turbomolecolare 305 FS risultante dalla valutazione teorica è di 405000 cicli di rampa da arresto a piena velocità e ritorno a fine corsa. Come misura precauzionale, considerando l'utilizzo tipico della pompa e tenendo conto dei limiti di sicurezza, Agilent consiglia di restituire la pompa dopo 17 anni di utilizzo per la manutenzione.
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1 Istruzioni per l'uso Soft Start
Soft Start
AVVERTENZA! Per garantire una corretta lubrificazione dei cuscinetti della pompa, al primo avvio, la pompa deve essere avviata in modalità "Soft Start". Questa modalità di avviamento (Soft Start) garantisce una velocità regolare della pompa e consente una corretta lubrificazione dei cuscinetti.
L'unità di controllo collegata alla pompa è già predisposta di default per il funzionamento della pompa (solo al primo avviamento dell'unità di controllo). In caso di utilizzo di una pompa nuova con un'unità di controllo usata, ricordarsi di impostare manualmente la modalità soft start. La modalità di avvio graduale richiederà più tempo rispetto all'avvio standard; l'utente deve attendere che la pompa sia completamente a regime prima di arrestarla. Dopo il primo avvio, la centralina non riavvia la pompa in modalità soft start.
Dopo un lungo periodo di inattività (60 giorni o più), al fine di consentire nuovamente la corretta ridistribuzione del grasso presente nei cuscinetti, è necessario riavviare la pompa tramite la modalità di avvio graduale.
AVVERTENZA! Fare riferimento ai relativi manuali di istruzioni del controller al fine di trovare l'insieme appropriato di istruzioni per attivare la modalità di "avvio graduale" (Remoto: Capitolo Informazioni tecniche - Collegamento del controller e significati delle finestre; A bordo: Capitolo Informazioni tecniche - Interconnessioni e significati delle finestre).
Pulizia
La superficie esterna del 305 FS può essere pulita solo con un detergente delicato.
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Istruzioni per l'uso 1 Smaltimento
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente nelle etichette Il seguente simbolo viene applicato in conformità con la Direttiva CE WEEE (Rifiuti di apparecchiature elettriche ed elettroniche). Questo simbolo (valido solo nei paesi della Comunità europea) indica che il prodotto a cui si applica NON deve essere smaltito insieme ai normali rifiuti domestici o industriali ma deve essere inviato a un sistema di raccolta differenziata. L'utente finale è quindi invitato a contattare il fornitore del dispositivo, che sia la Capogruppo o un rivenditore, per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo aver verificato i termini e le condizioni di vendita contrattuali.
Per maggiori informazioni consultare: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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1 Istruzioni per l'uso Servizio post vendita
Servizio post vendita
Nel caso in cui un cliente necessiti di un servizio di sostituzione o riparazione avanzato, si prega di contattare il distributore locale o spedire direttamente a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
È necessario completare il modulo di richiesta di restituzione per restituire la pompa ad Agilent per l'assistenza (fornito alla fine di questo manuale).
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TwisTorr 305 FS Bedienungshandbuch 2
2 Gebrauchsanleitung
Über dieses Handbuch
45
Gültigkeit
45
Begriffsbestimmungen und Terminologie
46
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis
46
Warnsymbole
47
Sicherheit
49
Sachgemäße Verwendung
49
Schutzausrüstung
51
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
53
Transport und Lagerung
54
Produktbeschreibung
55
Installation
56
Vorbereitung zum Einbau
56
Einrichten
58
Montage von TwisTorr
60
Anschluss des Hochvakuumflansches
61
Installation des ISO-K-Flansches
62
Installation des ConFlat-Flansches
63
Anschluss der Vorvakuumpumpe
64
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS
65
Stoppen des TwisTorr 305 FS
66
Notausschaltung
66
Wartung
67
Rotordauer
67
Sanftanlauf
68
Reinigung
68
Entsorgung
69
Service
70
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2 TwisTorr 305 FS Bedienungshandbuch
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Über dieses Handbuch
Gültigkeit
In diesem Handbuch werden die Anweisungen für die Benutzer des TwisTorr 305 FS aufgeführt, insbesondere in Bezug auf die Begriffe zu Sicherheit, Betrieb und Wartung auf der ersten Ebene, der auf die vom Benutzer zu verantwortenden Wartungsarbeiten beschränkt sind.
Die Wartungsarbeiten, die in den spezifischen Abschnitten mit spezifischen Bestimmungen für den höheren Wartungsgrad (speziell für Wartungsarbeiten geschultes Personal) dargestellt sind, dürfen nicht vom Benutzer durchgeführt werden.
Informationen zur korrekten Installation und zum Starten/Stoppen finden Sie im Kapitel "Installation".
Ausführlichere technische Informationen finden Sie im Kapitel "Betrieb".
HINWEIS
1. Dieses Handbuch enthält nützliche Informationen, damit alle Mitarbeiter, die den TwisTorr 305 FS verwenden, ihn sicher bedienen und für die gesamte Lebensdauer eine einwandfreie Funktion gewährleisten kann.
2. Bewahren Sie dieses Handbuch zusammen mit allen zugehörigen Veröffentlichungen an einem für alle Bediener/Wartungspersonal zugänglichen Ort auf.
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2 Gebrauchsanleitung Begriffsbestimmungen und Terminologie
Begriffsbestimmungen und Terminologie
Definition von Vorsicht, Warnung und Hinweis
In dieser Gebrauchsanleitung werden wichtige Sicherheitshinweise folgendermaßen farblich hervorgehoben.
WARNUNG!! Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf eine bestimmte Prozedur oder Praktik, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen können.
VORSICHT! Die Vorsichtshinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam, daß bei Nichteinhaltung Schäden an der Anlage entstehen können.
HINWEIS Hinweise sollen auf wichtige Informationen aufmerksam machen und nähere Informationen zu bestimmten Schritten enthalten.
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Gebrauchsanleitung 2 Warnsymbole
Warnsymbole
Das Folgende ist eine Liste von Symbolen, die in Verbindung mit den Warnungen auf dem TwisTorr 305 FS angezeigt werden. Die von ihnen beschriebene Gefahr wird ebenfalls angezeigt.
Ein dreieckiges Symbol weist auf eine Warnung hin. Die Bedeutung der Symbole, die neben Warnhinweisen in der Dokumentation oder auf dem Gerät selbst erscheinen können, ist wie folgt:
Gleichstrom
Nicht berühren
Europäische Konformitätserklärung
Allgemeine Gefahr
Herstellungsbetrieb
Ausschalten
Einschalten
Schutzerdungsanschluss
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2 Gebrauchsanleitung Warnsymbole
Das folgende Symbol kann auf am Gerät angebrachten Warnschildern verwendet werden. Wenn Sie dieses Symbol sehen, finden Sie in der jeweiligen Betriebsoder Wartungsanleitung das richtige Verfahren, auf das sich dieses Warnschild bezieht.
Die folgenden Symbole werden zu Ihrer Information auf dem Instrument angezeigt.
Schutzerdungsklemme
Nicht berühren
J1
Verbindungsstück
CE-Zertifizierung
CSA-Zertifizierung
Beschränkung gefährlicher Stoffe
RoHS-Chinazertifizierung
Elektro- und Elektronikaltgeräte
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Gebrauchsanleitung 2 Sicherheit
Sicherheit
Dieser Abschnitt enthält die in der Maschinenrichtlinie 2006/42/EG vorgeschriebenen Informationen, die für die Einhaltung der Sicherheitsbestimmungen im Allgemeinen und in Bezug auf den spezifischen Einsatz der Maschine von wesentlicher Bedeutung sind. Die Nichtbeachtung dieser Anweisungen und der anderen in diesem Handbuch enthaltenen Anweisungen kann die in der Konstruktionsphase vorgesehenen Sicherheitsbedingungen ineffizient machen und Unfälle bei den Bedienern der Maschine verursachen. Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung für Schäden an der Maschine oder für die physische Sicherheit des Bedieners oder Dritter ab, die sich aus der Nichtbeachtung der in den technischen Unterlagen angegebenen Sicherheitsregeln ergeben.
Sachgemäße Verwendung
Dieses Handbuch enthält wichtige Warnungen und Sicherheitshinweise, die beachtet werden müssen, damit das Gerät sicher funktioniert. Das in dieser Anleitung beschriebene Produkt ist ausschließlich für den in der Anleitung angegebenen Anwendungsbereich bestimmt. Das Handbuch enthält auch Angaben zu den grundlegenden Anforderungen für die Anwendung und den Betrieb des Produkts sowie zu den Sicherheitsmaßnahmen, die zur Gewährleistung eines regelmäßigen Betriebs ergriffen werden können. Agilent Technologies übernimmt keine Garantie oder Verantwortung für Anwendungen, die nicht in diesem Handbuch beschrieben sind oder bei denen die grundlegenden Anforderungen und Sicherheitsmaßnahmen nicht eingehalten werden. Das Produkt darf nur von qualifiziertem Personal verwendet werden, das in der Lage ist, die erforderlichen Sicherheitsmaßnahmen unter Bedingungen zu treffen, die keine Schäden oder Verletzungen verursachen. Alle mit dem Produkt verwendeten Zubehörteile und Geräte müssen von Agilent Technologies geliefert oder genehmigt werden. Einstellungs- oder Wartungsarbeiten müssen von einem Fachmann durchgeführt werden, der über die Risiken informiert ist. Reparaturen am Produkt dürfen ausschließlich von Agilent-autorisiertem Personal durchgeführt werden.
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2 Gebrauchsanleitung Unsachgemäße Verwendung
Unsachgemäße Verwendung
Agilent Technologies lehnt jede Verantwortung ab, die sich aus der unsachgemäßen Benutzung vom TwisTorr 305 FS ergibt. Bei unsachgemäßer Verwendung verfallen alle Haftungs- und Gewährleistungsansprüche. Unsachgemäße Verwendung ist definiert als: Installation der Pumpe mit nicht spezifiziertem Befestigungsmaterial Pumpen von ätzenden und oxidierenden Gasen ohne ordnungsgemäßen Spülfluss (siehe
Abschnitt ,,Pumpe für ätzende und oxidierende Gase") Pumpen von explosiven Gasen Pumpen von kondensierenden Dämpfen Pumpen von Flüssigkeiten Pumpen von Pulver Betrieb mit unzulässig hohem Gasdurchsatz Betrieb mit ungeeignetem Hochvakuumdruck Betrieb mit gewählter Gasart, die sich vom tatsächlich verwendeten Gas unterscheidet Betrieb mit ungeeignet hoher Wärmeisolation Betrieb in unzulässig hohen Magnetfeldern Entlüften mit ungeeignet hohen Entlüftungsraten Verwendung der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung Betrieb des Gerätes in Bereichen mit ionisierender Strahlung Betrieb in explosionsgefährdeten Bereichen Verwendung des Geräts in Systemen, in denen stoßartige Beanspruchungen und
Vibrationen oder periodische Kräfte auf das Gerät einwirken.
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Gebrauchsanleitung 2 Schutzausrüstung
Schutzausrüstung
Die Schutzausrüstung der Bediener, die das Pumpensystem bedienen oder warten, muss immer für die Art des auszuführenden Vorgangs geeignet sein. Darüber hinaus muss es den Sicherheitsanforderungen der in dem Land, in dem die Maschine verwendet wird, geltenden Rechtsvorschriften entsprechen.
Im Allgemeinen muss der Bediener beim Umgang mit dem 305 FS und während der Installation Unfallverhütungsschuhe tragen.
WARNUNG!
Gesundheitsgefahr durch gefährliche Stoffe bei Wartung oder Installation Vakuumpumpen, Komponenten oder Betriebsflüssigkeiten können je nach Prozessbesonderheit mit giftigen, reaktiven oder radioaktiven Stoffen verunreinigt sein.
Tragen Sie bei Wartungs- und Reparaturarbeiten oder bei einer erneuten Installation angemessene Schutzausrüstung.
WARNUNG! Verletzungsgefahr durch herunterfallende Gegenstände Beim Transport von Vakuumpumpen von Hand besteht die Gefahr, dass Lasten verrutschen und herunterfallen.
Tragen Sie kleine und mittlere Vakuumpumpen mit zwei Händen. Alle Geräte, die schwerer als 20 kg sind, sollten mit einer geeigneten Hebevorrichtung transportiert werden. Sicherheitsschuhe mit Stahlkappe gemäß Richtlinie EN 347 tragen.
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2 Gebrauchsanleitung Schutzausrüstung
VORSICHT!
Verletzungsgefahr durch scharfe Kanten Rotor- und Statorscheiben von Turbopumpen haben sehr scharfe Kanten.
Warten Sie vor der Wartung der Pumpe oder vor dem Einund Ausbau der Pumpe vom System bis zum vollständigen Stillstand der Pumpe. Nicht direkt im Hochvakuumflansch betreiben. Gegebenenfalls Schutzhandschuhe nach EN 420 tragen.
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Gebrauchsanleitung 2 Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
Sicherheitsrichtlinie für Turbomolekularpumpen
Turbomolekularpumpen, wie sie in der folgenden Betriebsanleitung beschrieben sind, enthalten aufgrund der hohen Drehzahl in Kombination mit der spezifischen Masse ihrer Rotoren eine große Menge kinetischer Energie. Bei einer Funktionsstörung eines mechanischen Teils der Pumpe kann die Rotationsenergie an alle Stellen abgegeben werden, an denen die Pumpe befestigt ist.
WARNUNG! Um Geräteschäden und Verletzungen des Bedienpersonals zu vermeiden, sind die in diesem Handbuch enthaltenen Installationsanweisungen unbedingt zu beachten!
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2 Gebrauchsanleitung Transport und Lagerung
Transport und Lagerung
Um die maximale Leistung und Zuverlässigkeit von Agilent Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, müssen die folgenden Richtlinien beachtet werden, um Kondensation zu vermeiden: Beim Versand, Transport und der Lagerung von Pumpen sollten die
folgenden Umgebungsbedingungen nicht überschritten werden: Temperaturbereich: Von -40 °C bis 70 °C relativer Luftfeuchtigkeitsbereich: von 0 bis 90% (nicht kondensierend).
Die Haltbarkeit einer Turbomolekularpumpe beträgt 12 Monate ab Versanddatum.
Die Turbomolekularpumpen müssen immer sanft gestartet werden, wenn sie vom Kunden zum ersten Mal empfangen und betrieben werden.
Die Turbomolekularpumpen müssen nach einer gewissen Zeit von 60 Tage von Inaktivität der Pumpe immer sanft gestartet werden.
VORSICHT!
Wenn aus irgendeinem Grund die Haltbarkeitsdauer überschritten wird, muss die Pumpe an das Werk zurückgeschickt werden. Bitte wenden Sie sich an den lokalen Agilent Vacuum Vertriebs- und Servicevertreter, um weitere Informationen zu erhalten.
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Gebrauchsanleitung 2 Produktbeschreibung
Produktbeschreibung
Dieses Gerät ist für den professionellen Gebrauch und für den professionellen Gebrauch bestimmt.
TwisTorr 305 FS ist eine Turbomolekularpumpe für Hoch- und Ultrahochvakuumanwendungen, die alle Arten von nicht korrosiven und oxidierenden Gasen oder Gasverbindungen fördern kann.
Die Pumpwirkung wird durch eine Hochgeschwindigkeitsturbine (max. 60600 U/min) erzielt, die von einem Hochleistungselektromotor angetrieben wird. Sie ist frei von Verunreinigungen und eignet sich daher für Anwendungen, die ein ,,sauberes" Vakuum erfordern.
Detaillierte Informationen entnehmen Sie dem Abschnitt ,,Technische Informationen".
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2 Gebrauchsanleitung Installation
Installation
Vorbereitung zum Einbau
TwisTorr 305 FS wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Wenden Sie sich an Ihr lokales Verkaufsbüro, wenn dies Anzeichen von Schäden zeigt, die während des Transports aufgetreten sein können.
Vermeiden Sie plötzliche Stöße auf den 305 FS, die durch Herunterfallen verursacht werden können. Bewahren Sie den Verpackungskarton auf, um ihn bei längerer Lagerung oder beim Versand wieder verwenden zu können.
Entsorgen Sie das Verpackungsmaterial nicht auf unbefugte Weise. Das Material ist zu 100% recycelbar und entspricht der EG-Richtlinie 94/62 und nachfolgenden Änderungen.
VORSICHT!
Um Ausgasungsprobleme zu vermeiden, verwenden Sie keine bloßen Hände, um Bauteile zu handhaben, die Vakuum ausgesetzt sind. Verwenden Sie immer Handschuhe oder einen anderen geeigneten Schutz.
HINWEIS
Normale Umwelteinflüsse können den TwisTorr 305 FS nicht beschädigen. Trotzdem ist es ratsam, es bis zum Einbau in das System in der Plastiktüte aufzubewahren, um jegliche Verschmutzung durch Staub zu vermeiden.
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Gebrauchsanleitung 2 Installation
Abbildung 1 TwisTorr 305 FS-Verpackung
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2 Gebrauchsanleitung Einrichten
Einrichten
VORSICHT! Entfernen Sie den Klebstoff und die Schutzkappe erst, wenn Sie bereit sind, die Turbopumpe am System zu installieren.
Abbildung 2
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Gebrauchsanleitung 2 Einrichten
Stellen Sie das Gerät nur in Innenräumen auf und verwenden Sie die Pumpe nicht in Umgebungen, die Witterungseinflüssen (Regen, Eis, Schnee), Staub, aggressiven Gasen oder explosionsgefährdeten Umgebungen ausgesetzt sind.
Während des Betriebs müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden, um Kondensation zu vermeiden:
Maximaler Umgebungsdruck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
Temperatur: von +5 °C bis +35 °C
Relative Feuchtigkeit: 0-90% (nicht kondensierend).
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2 Gebrauchsanleitung Montage von TwisTorr 305 FS
Montage von TwisTorr 305 FS
WARNUNG! Die Nichtbeachtung dieser Installationsanweisungen kann dazu führen, dass sich die Pumpe bei einem Rotorausfall vom System löst, was zu Sachschäden oder schweren oder tödlichen Verletzungen führen kann.
TwisTorr 305 FS kann in jeder Position installiert werden. Befestigen Sie den TwisTorr 305 FS in einer stabilen Position und montieren Sie den Einlassflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems, wobei die Verbindung ein Drehmoment von 1000 Nm um deren Achse aushalten kann. Die Turbopumpe mit ConFlat- und ISO K-Einlassflansch muss mit den entsprechenden Agilent-Teilen an der Vakuumkammer befestigt werden. Weitere Einzelheiten entnehmen Sie dem Abschnitt ,,Installation von ConFlat und ISO K".
VORSICHT! TwisTorr 305 FS kann nicht mit seiner Basis befestigt werden
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Gebrauchsanleitung 2 Anschluss des Hochvakuumflansches
Anschluss des Hochvakuumflansches
Wenn der Rotor plötzlich stoppt, muss das resultierende Drehmoment von der Befestigung des Hochvakuumflansches aufgenommen werden. Schrauben oder Kleinteile müssen den unten angegebenen Spezifikationen entsprechen.
WARNUNG!
Die Pumpe muss so angeschlossen werden, dass sie dem im Abschnitt ,,GEBRAUCHSANLEITUNG" angegebenen Drehmoment standhält. Achten Sie insbesondere auf die Ausführung der Klemmen, das Material der Klemmen und Schrauben und den Anzugmoment der Schrauben. Verwenden Sie nur Klemmen (oder Schrauben) mit hohem Widerstand 8.8.
WARNUNG!
Wenn die Pumpe an einer Vakuumkammer mit Flanschen befestigt ist, die von den von Agilent empfohlenen Flanschen abweichen, besteht die Möglichkeit, dass sich der 305 FS dreht oder abreißt, falls der Rotor plötzlich stoppt. Die Kombination verschiedener Flanschtypen ist nicht zulässig. Agilent übernimmt keine Haftung für alle Schäden, die durch unsachgemäße Befestigung entstehen.
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2 Gebrauchsanleitung Installation des ISO-K-Flansches
Installation des ISO-K-Flansches
Befestigen Sie bei ISO-K-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Klemmen Modell IC63250DCMZ oder einem gleichwertigen Element, wie in der folgenden Abbildung dargestellt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden).
Abbildung 3 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Klauenklemmen: 4 für ISO 100 Flansch 4 für ISO 160 Flansch Ziehen Sie die Klauenklemmen mit einem Drehmoment von 22 Nm an.
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Gebrauchsanleitung 2 Installation des ConFlat-Flansches
Installation des ConFlat-Flansches
Befestigen Sie bei ConFlat-Flanschverbindungen die beiden Flansche mit den Schrauben wie in der folgenden Abbildung gezeigt (optional kann ein Schutzgitter verwendet werden).
Abbildung 4 Verwenden Sie die erforderliche Anzahl von Schrauben: 16 für CFF 6" 20 für CFF 8" Befestigen Sie die Einheiten und ziehen Sie jede Schraube der Reihe nach an. Wiederholen Sie das sequenzielle Anziehen, bis die Flanschflächen einander anschlagen. Ziehen Sie die Schrauben mit einem Drehmoment von 20 Nm an. Für ConFlat-Flansche empfehlen wir nur die Verwendung von hochfesten Stahlschrauben. Um die Montage und Demontage zu erleichtern, kann optional Felpro C-100 Hochtemperaturschmiermittel auf, die aus dem Flansch und zwischen den Muttern und dem Flansch herausragenden Schraubengewinde aufgetragen werden. In einigen Fällen können die Verbindungen nur mit dem Bolzen in der unteren Seite hergestellt werden.
VORSICHT! Gehen Sie beim Anziehen der Schrauben und Muttern vorsichtig vor, um Beulen am Gehäuse zu vermeiden.
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2 Gebrauchsanleitung Anschluss der Vorvakuumpumpe
Anschluss der Vorvakuumpumpe
Der Vorleitungsanschluss sollte mit dem KF 16 NW-Flansch erfolgen, der auf dem TwisTorr 305 FS bereitgestellt wird. Die Verbindung zur Vorpumpe kann über einen Vakuumschlauch oder ein Vakuumrohr hergestellt werden. Wenn ein starres Rohr verwendet wird, müssen Vibrationen, die von der mechanischen Pumpe erzeugt werden, mit einem Faltenbalg gedämpft werden.
HINWEIS
TwisTorr 305 FS zeichnet sich durch sein hohes Verdichtungsverhältnis auch für Öldämpfe aus. Bei Verwendung einer mechanisch ölgedichteten Pumpe ist es ratsam, zwischen der Turbopumpe und der Vorvakuumpumpe einen geeigneten Abscheider anzubringen, um ein Zurückströmen von Öl oder Partikeln aus trockenen Pumpen zu verhindern.
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Gebrauchsanleitung 2 Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS
Inbetriebnahme und Betrieb des TwisTorr 305 FS
Um den TwisTorr 305 FS über die integrierten Steuerungen oder die Fernsteuerungen einzuschalten, schließen Sie die Pumpe an die Steuerung an, versorgen Sie die Steuerung mit der richtigen Versorgungsspannung und wirken Sie auf die Signale ,,START" und ,,INTERLOCK" (die sich auf der Schnittstelle der Steuerung befinden). Sobald diese Signale erkannt werden, startet die Steuerung die Pumpe.
Beziehen Sie sich bitte auf die entsprechenden Bedienungsanleitungen der ANMERKUNGEN Steuerung, um:
(1) die Position des Netzteils sowie die zulässigen Werte für die Netzeingangsspannung zu ermitteln (Fern: Kapitel Technische Informationen; On Board: Kapitel Technische Informationen).
(2) die Position der START/STOP- und INTERLOCK-Eingangsstifte sowie die zugehörigen elektrischen Kenndaten zu ermitteln (Fern: Kapitel Technische Informationen; On Board: Kapitel Technische Informationen).
(3) Einzelheiten zum Anschließen der Signale START/STOP und INTERLOCK zu ermitteln (FERN: Kapitel Technische Informationen; On Board: Kapitel Technische Informationen).
Steuerung MPNs
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
Beschreibung der Steuerung
Ref. auf Bedienungsanleitung
Twistorr 305 FS Onboard 24V Twistorr 305 FS Onboard 110/230V Twistorr 305 FS AG Fern RS232/485 Twistorr 305 FS AG Fern Profibus
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
WARNUNG! Der erste Start der Pumpe erfolgt im ,,Sanftanlauf" - Modus. Ausführliche Informationen zu diesem Modus finden Sie im entsprechenden Abschnitt auf Seite 68.
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2 Gebrauchsanleitung Stoppen des TwisTorr 305 FS
Stoppen des TwisTorr 305 FS
Um die Pumpe während des Betriebs anzuhalten, muss auf die Steuereinheit eingewirkt werden, die die Pumpe antreibt und an die sie angeschlossen ist.
Über die seriellen Befehle sowie über Fern- I/O-Signale kann die Pumpe gestoppt werden.
Die entsprechenden Anweisungen finden Sie in den entsprechenden Bedienungsanleitungen der Steuerung (Fern: Kapitel Technische Informationen Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern).
Notausschaltung
Die Notausschaltung kann durch Entfernen der Stromversorgung erreicht werden.
WARNUNG!
Diese Betriebsart ist nur im Notfall zu verwenden. Die Verwendung dieses Stoppmodus kann zu Fehlern und/oder Schäden an der Pumpe führen. Die unsachgemäße Verwendung dieses Stoppmodus kann zum Erlöschen der Garantie führen.
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Gebrauchsanleitung 2 Wartung
Wartung
Der TwisTorr 305 FS ist wartungsfrei. Alle Arbeiten müssen von autorisiertem Personal durchgeführt werden.
WARNUNG!
Bevor Sie Arbeiten an der Anlage ausführen, trennen Sie diese von der Stromversorgung, entlüften Sie die Pumpe mit dem Entlüftungsventil, warten Sie, bis der Rotor vollständig stillsteht und bis die Oberflächentemperatur der Pumpe unter 50° C liegt.
HINWEIS
Falls die Pumpe ausfällt, können Sie den Agilent-Reparaturdienst oder den ,,erweiterten Austauschservice von Agilent" verwenden, mit dem Sie ein überarbeitetes System erhalten, um das ausgefallene System zu ersetzen. Der Austausch 305 FS wird versendet, wenn die Bestellung aufgegeben wird. Sie geben dann den fehlerhaften 305 FS in der Verpackung zurück, mit dem der Austausch-305 FS vorgenommen wird.
Bevor Sie eine Pumpe zur Reparatur oder zum vorzeitigen Austausch an den Hersteller zurücksenden, müssen Sie unbedingt das dieser Bedienungsanleitung beigefügte Formular ,,Rückgabeantrag" ausfüllen und an das örtliche Verkaufsbüro senden. Eine Kopie davon muss vor dem Versand in die Verpackung des Systems eingelegt werden.
Wenn ein System verschrottet werden muss, stellen Sie sicher, dass die örtlichen Vorschriften für eine angemessene Entsorgung befolgt werden.
Rotordauer
Die sich aus der theoretischen Bewertung ergebende Ermüdungsbeständigkeit des 305 FS-Turbomolekularpumpenrotors beträgt 405000 Ramp-Up-Zyklen von Stopp zu voller Geschwindigkeit und zurück zu Stopp. Aus Sicherheitsgründen empfiehlt Agilent, die Pumpe unter Berücksichtigung der typischen Verwendung der Pumpe und unter Berücksichtigung der Sicherheitsgrenzen nach 17 Jahren zur Wartung zurückzugeben.
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2 Gebrauchsanleitung Sanftanlauf
Sanftanlauf
WARNUNG!
Um eine ordnungsgemäße Schmierung der Lager der Pumpe zu gewährleisten, muss die Pumpe beim ersten Hochfahren im Modus ,,Sanftanlauf" gestartet werden. Diese Anlaufart (Soft Start) sorgt für ein gleichmäßiges Anlaufen der Pumpe und ermöglicht eine ordnungsgemäße Schmierung der Lager.
Die an die Pumpe angeschlossene Steuereinheit ist bereits standardmäßig für den Betrieb der Pumpe eingerichtet (nur bei der ersten Inbetriebnahme der Steuereinheit). Bei Verwendung einer neuen Pumpe mit einer gebrauchten Steuereinheit denken Sie daran, den Softstartmodus manuell einzustellen. Der Softstart-Modus dauert im Vergleich zum Standardstart länger. Der Benutzer muss warten, bis die Pumpe vollständig die Geschwindigkeit erreicht hat, bevor er die Pumpe anhält. Nach dem ersten Start wird die Pumpe von der Steuereinheit nicht mehr im Softstartmodus gestartet.
Nach längerer Inaktivität (60 Tage oder länger) muss die Pumpe über den Softstart-Modus erneut gestartet werden, damit das in den Lagern vorhandene Fett wieder richtig verteilt wird.
WARNUNG!
Informationen zum Aktivieren der Softstart-Modalität finden Sie in den entsprechenden Bedienungsanleitungen des Controllers. (Fern: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Steuerungsanschluss und Fenstern; On Board: Kapitel Technische Informationen - Bedeutungen von Verriegelungen und Fenstern).
Reinigung
Die Außenfläche des 305 FS darf nur mit einem milden Reinigungsmittel gereinigt werden.
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Gebrauchsanleitung 2 Entsorgung
Entsorgung
Bedeutung des "WEEE" -Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol wird in Übereinstimmung mit der EG-Richtlinie über Elektro- und Elektronik-Altgeräte (WEEE) verwendet. Dieses Symbol (gültig nur in Ländern der Europäischen Gemeinschaft) weist darauf hin, dass das betreffende Produkt NICHT zusammen mit normalem Haushalts- oder Industriemüll entsorgt werden darf, sondern einem getrennten Abfallsammelsystem zugeführt werden muss. Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. Die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen geprüft hat.
Weitere Informationen finden Sie unter: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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2 Gebrauchsanleitung Service
Service
Sollte ein Kunde einen erweiterten Austausch- oder Reparaturservice benötigen, wenden Sie sich bitte an den örtlichen Händler oder direkt and die Email-Adresse: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
Das Ausfüllen des Rücksendeformulars ist erforderlich, um die Pumpe zur Wartung an Agilent zurückzusenden (am Ende dieses Handbuchs angegeben).
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TwisTorr 305 FS Notice de mode d'emploi 3
3 Mode d'emploi
À propos de ce manuel
73
Validité
73
Définitions et terminologie
74
Définition des termes « Attention », « Avertissement »
et « Note »
74
Symboles d'avertissement
75
Sécurité
77
Utilisation appropriée
77
Utilisation inappropriée
78
Équipement de protection
79
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires 81
Transport et entreposage
82
Description du produit
83
Installation
84
Préparation pour l'installation
84
Configuration
86
Montage du TwisTorr 305 FS
88
Raccordement de la bride à vide élevé
89
Installation de la bride ISO-K
90
Installation de la bride ConFlat
91
Raccordement de la bride à vide préliminaire
92
Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS
93
Arrêt du TwisTorr 305 FS
94
Arrêt d'urgence
94
Entretien
95
Durée de vie du rotor
95
Démarrage progressif
96
Nettoyage
96
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3 TwisTorr 305 FS Notice de mode d'emploi
Mise au rebut
97
Service 98
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À propos de ce manuel
Mode d'emploi 3 À propos de ce manuel
Validité
Le présent manuel contient les instructions pour les utilisateurs du TwisTorr 305 FS, en particulier les notions de sécurité, d'exploitation et d'entretien de premier niveau, limitées aux opérations de maintenance dont l'utilisateur est responsable.
Les opérations d'entretien, illustrées dans les sections correspondantes, avec les dispositions spécifiques relatives au niveau supérieur d'entretien (personnel spécialement formé pour les opérations d'entretien) ne doivent pas être effectuées par l'utilisateur.
Pour une installation et un démarrage/arrêt corrects, veuillez vous reporter au chapitre « Installation ».
Pour une utilisation technique plus détaillée, veuillez vous référer au chapitre « Opérations ».
NOTE
1. Le présent contient des informations utiles pour que tout le personnel utilisant le TwisTorr 305 FS puisse l'exploiter en toute sécurité et garantir une efficacité parfaite, pendant toute sa durée de vie.
2. Conserver le présent manuel, ainsi que toutes les publications connexes, dans un endroit accessible et connu de tous les opérateurs/du personnel chargé(s) de l'entretien.
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3 Mode d'emploi Définitions et terminologie
Définitions et terminologie
Définition des termes « Attention », « Avertissement » et « Note »
Certaines références importantes du présent manuel sont mises en évidence et encadrées en couleurs contrastées.
AVERTISSEMENT ! Les messages d'avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une procédure ou une pratique particulière qui, si elle n'est pas exécutée correctement, pourrait entraîner des blessures graves.
ATTENTION ! Des messages de mise en garde s'affichent avant les procédures qui, si elles ne sont pas respectées, pourraient endommager l'équipement.
NOTE
Les notes visent à attirer l'attention sur des renseignements importants et à fournir plus de détails sur des étapes précises.
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Mode d'emploi 3 Symboles d'avertissement
Symboles d'avertissement
Voici une liste de symboles qui apparaissent en conjonction avec les avertissements sur le TwisTorr 305 FS. Le danger qu'ils décrivent est également illustré.
Le symbole triangulaire indique un avertissement. Les significations des symboles qui peuvent apparaître à côté des avertissements dans la documentation ou sur l'appareil lui-même sont les suivantes :
Courant continu
Ne pas toucher
Déclaration européenne de conformité
Danger générique Site de fabrication
Mise hors tension
Mise sous tension
Borne de mise à la terre de protection
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3 Mode d'emploi Symboles d'avertissement
Le symbole suivant peut être utilisé sur les étiquettes d'avertissement apposées sur l'appareil. Lorsque vous voyez ce symbole, reportez-vous au manuel d'utilisation ou d'entretien correspondant pour connaître la procédure correcte visée par cette étiquette d'avertissement.
Les symboles suivants apparaissent sur l'appareil pour votre information.
Borne de mise à la terre de protection
Ne pas toucher
J1
Connecteur principal
Certification CE
Certification CSA
Restriction de la certification des substances dangereuses
Certification RoHS Chine
Déchets d'équipements électriques et électroniques
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Mode d'emploi 3 Sécurité
Sécurité
Cette section contient les informations prescrites par la directive Machines 2006/42/CE, qui est essentielle à la conformité et au respect des règles de sécurité en général ainsi qu'à l'utilisation spécifique de la machine. Le non-respect de ces instructions et des autres instructions contenues dans le présent manuel peut rendre inefficaces les conditions de sécurité prévues dans la phase de conception et causer des accidents à ceux qui utilisent la machine. Agilent Technologies décline toute responsabilité pour les dommages causés à la machine ou pour la sécurité physique de l'opérateur ou des tiers résultant du non-respect des règles de sécurité indiquées dans la documentation technique.
Utilisation appropriée
Le présent manuel contient des avertissements importants et des instructions de sécurité à respecter pour que l'appareil puisse fonctionner en toute sécurité. Le produit décrit dans le présent manuel est destiné exclusivement au domaine d'application spécifié dans les instructions. Le manuel fournit également des indications concernant les exigences essentielles pour l'application et le fonctionnement du produit ainsi que les mesures de sécurité qui peuvent être adoptées pour garantir un fonctionnement régulier. Agilent Technologies ne fournit aucune garantie ou n'assume aucune responsabilité pour des applications autres que celles décrites dans le présent manuel ou dans lesquelles les exigences essentielles et les mesures de sécurité ne sont pas respectées. Le produit ne doit être utilisé que par un personnel qualifié capable de prendre les mesures de sécurité nécessaires dans des conditions qui ne causent pas de dommages ou de blessures. Tous les accessoires et équipements utilisés avec le produit doivent être fournis ou approuvés par Agilent Technologies. Toute opération de réglage ou de maintenance doit être effectuée par un technicien professionnel informé des risques. Les réparations du produit doivent être effectuées exclusivement par le personnel autorisé d'Agilent.
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3 Mode d'emploi Utilisation appropriée
Utilisation inappropriée
Agilent Technologies décline toute responsabilité en raison de l'utilisation inappropriée du TwisTorr 305 FS. Une utilisation inappropriée entraînera l'annulation de toutes les créances et garanties. Une utilisation inappropriée est définie comme suit : installation de la pompe avec un matériau de montage non spécifié ; pompage des gaz corrosifs et oxydants avec débit de purge approprié (voir la section
« Pompe utilisée avec des gaz corrosifs et oxydants ») ; pompage des gaz explosifs ; pompage des vapeurs de condensation ; pompage des liquides ; pompage de la poussière ; fonctionnement avec débit de gaz élevé ; fonctionnement avec des pressions de vide élevées ; fonctionnement avec la modalité de gaz sélectionnée différente du gaz réellement
utilisé ; fonctionnement avec des niveaux élevés d'entrée de chaleur isolée ; fonctionnement dans des champs magnétiques élevés incorrects ; évacuation avec des taux d'évacuation élevés inappropriés ; utilisation de la pompe à vide pour générer de la pression ; fonctionnement de l'appareil dans les zones à rayonnement ionisant ; fonctionnement dans des zones potentiellement explosives ; utilisation du dispositif dans des systèmes dans lesquels des contraintes et des
vibrations de type choc ou des forces périodiques affectent le dispositif.
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Mode d'emploi 3 Utilisation appropriée
Équipement de protection
L'équipement de protection des exploitants qui opèrent ou effectuent l'entretien du système de pompage doit toujours être adéquat pour le type d'utilisation en cours. En outre, il doit être conforme aux exigences de sécurité de la législation en vigueur dans le pays où la machine est utilisée.
En général, l'exploitant doit porter des chaussures de prévention des accidents lors de la manipulation et de l'installation du 305 FS.
AVERTISSEMENT !
Danger pour la santé par des substances dangereuses pendant l'entretien ou l'installation Selon la particularité du procédé, les pompes à vide, composants ou fluides d'exploitation peuvent être contaminés par des substances toxiques, réactives ou radioactives.
Porter un équipement de protection adéquat pendant l'entretien et les réparations ou en cas de réinstallation.
AVERTISSEMENT ! Risque de blessure par chute d'objets Lors du transport manuel des pompes à vide, il y a un danger causé par les charges qui glissent et tombent.
Transporter les petites et moyennes pompes à vide avec les deux mains. Tout équipement de plus de 20 kg doit être transporté à l'aide d'un dispositif de levage approprié. Porter des chaussures de sécurité avec embout en acier conformément à la directive EN 347.
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3 Mode d'emploi Utilisation appropriée
ATTENTION ! Risque de blessure par objets tranchants Les disques de rotor et de stator des turbopompes ont des bords très tranchants. Avant de procéder à l'entretien de la pompe ou avant tout montage/démontage de la pompe du système, attendre l'arrêt complet de la pompe. Ne pas exploiter directement à l'intérieur de la bride à vide élevé. Si cela est nécessaire, porter des gants de protection conformément à la norme EN 420.
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Mode d'emploi 3 Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires
Directive de sécurité pour les pompes turbomoléculaires
Les pompes turbomoléculaires décrites dans le manuel d'utilisation suivant contiennent une grande quantité d'énergie cinétique en raison de la vitesse de rotation élevée en combinaison avec la masse spécifique de leurs rotors. En cas de dysfonctionnement d'une partie mécanique de la pompe, l'énergie de rotation peut être libérée sur la pompe à laquelle elle est fixée.
AVERTISSEMENT ! Pour éviter d'endommager l'équipement et de blesser le personnel exploitant, les instructions d'installation fournies dans le présent manuel doivent être rigoureusement respectées !
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3 Mode d'emploi Transport et entreposage
Transport et entreposage
Afin de garantir le niveau maximal de performance et de fiabilité des pompes turbomoléculaires Agilent, les directives suivantes doivent être respectées pour éviter la condensation : lors de la livraison, du déplacement et de l'entreposage des pompes, les
spécifications environnementales suivantes ne doivent pas être dépassées : plage de température : -40 °C à 70 °C plage d'humidité relative : 0 à 90 % (sans condensation). la durée de conservation d'une pompe turbomoléculaire est de 12 mois à compter de la date d'expédition. les pompes turbomoléculaires doivent toujours être démarrées progressivement lorsqu'elles sont reçues et utilisées pour la première fois par le client. les pompes turbomoléculaires doivent toujours être démarrées progressivement après une période d'inactivité de 60 jours de la pompe.
ATTENTION ! Si, pour une raison quelconque, la durée de conservation est dépassée, la pompe doit être retournée à l'usine. Contacter le représentant local Agilent Vacuum Sales and Service pour plus d'informations.
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Mode d'emploi 3 Description du produit
Description du produit
Cet équipement est destiné à un usage professionnel et doit être utilisé par des professionnels.
Le TwisTorr 305 FS est une pompe turbomoléculaire pour les applications à vide élevé et ultra-élevé capable de pomper tout type de composé gazeux ou gazeux non corrosif et oxydant.
L'action de pompage est obtenue par une turbine à grande vitesse (max. 60 600 tr/m) entraînée par un moteur électrique à haute performance. La pompe est exempte d'agents contaminants et, par conséquent, adaptée aux applications nécessitant un vide « pur ».
Des informations détaillées sont fournies dans la section « Informations techniques ».
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3 Mode d'emploi Installation
Installation
Préparation pour l'installation
Le TwisTorr 305 FS est fourni dans un emballage de protection spécial. Si l'on constate des marques de dommages pouvant s'être produits pendant le transport, contacter aussitôt le bureau de vente local. Éviter les impacts soudains sur le 305 FS qui seraient causés par la chute. Veiller à entretenir le carton d'emballage afin de le réutiliser en cas de stockage de longue durée ou d'expédition. Ne pas jeter les matériaux d'emballage sans autorisation. Le matériel est recyclable à 100 % et est conforme à la directive 94/62 de la CEE et aux modifications ultérieures.
ATTENTION ! Afin de prévenir les problèmes de dégazage, ne pas utiliser les mains nues pour manipuler les composants qui seront exposés au vide. Toujours porter des gants ou une autre protection adaptée.
NOTE
L'exposition normale à l'environnement ne peut pas endommager le TwisTorr 305 FS. Néanmoins, il est conseillé de garder le produit scellé dans son sac plastique jusqu'à ce qu'il soit installé dans le système, empêchant ainsi toute forme de pollution par la poussière.
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Mode d'emploi 3 Installation
Figure 1 Emballage du TwisTorr 305 FS
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3 Mode d'emploi Configuration
Configuration
ATTENTION ! Ne pas retirer l'adhésif et le capuchon de protection avant d'être prêt à installer la turbopompe sur le système.
Figure 2
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Mode d'emploi 3 Configuration
Installer ce dispositif à l'intérieur seulement, et ne pas utiliser la pompe dans un environnement exposé à des agents atmosphériques (pluie, glace, neige), de la poussière, des gaz agressifs, ou dans des environnements explosifs ou présentant un risque élevé d'incendie.
Pendant l'exploitation, les conditions environnementales suivantes doivent être respectées afin d'éviter la condensation :
pression ambiante maximale : 2 bars au-dessus de la pression atmosphérique
température : de +5 °C à +35 °C
humidité relative : 0 à 90 % (sans condensation).
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3 Mode d'emploi Montage du TwisTorr 305 FS
Montage du TwisTorr 305 FS
AVERTISSEMENT ! Le non-respect de ces instructions d'installation peut entraîner le détachement de la pompe du système en cas de défaillance du rotor, ce qui peut causer des dommages matériels, corporels ou la mort.
Le TwisTorr 305 FS peut être installé dans n'importe quelle position. Fixer le TwisTorr 305 FS dans une position stable, en montant la bride d'entrée de la turbopompe sur la contre-bride du système, avec un raccord capable de résister à un couple de 1000 Nm autour de son axe. La turbopompe avec bride d'entrée ConFlat et ISO K doit être fixée à la chambre à vide au moyen du matériel Agilent approprié. Pour plus de détails, voir la section « Installation de la ConFlat et de l'ISO K ».
ATTENTION ! Le TwisTorr 305 FS ne peut être fixé au moyen de son support.
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Mode d'emploi 3 Raccordement de la bride à vide élevé
Raccordement de la bride à vide élevé
Si le rotor s'arrête soudainement, le couple résultant doit être absorbé par le matériel de fixation de la bride à vide élevé. Les boulons ou le matériel doivent être conformes aux spécifications cidessous.
AVERTISSEMENT !
Il est obligatoire de raccorder la pompe de manière à résister au couple spécifié dans la section « MODE D'EMPLOI ». Porter une attention particulière à la conception des colliers, au matériau des colliers et des boulons et au couple de fixation des boulons. Utiliser uniquement des colliers (ou boulons) de classe haute résistance 8.8.
AVERTISSEMENT !
Si la pompe est fixée sur une chambre à vide avec des brides différentes de celles recommandées par Agilent, le 305 FS risque de se tordre ou de se déchirer en cas d'arrêt soudain du rotor. La combinaison de différents types de brides n'est pas autorisée. Agilent n'acceptera aucune responsabilité pour tous les dommages résultant d'une mauvaise fixation.
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3 Mode d'emploi Raccordement de la bride à vide élevé
Installation de la bride ISO-K
Pour les raccords à brides ISO-K, fixer les deux brides avec les attaches modèle IC63250DCMZ ou équivalent, comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option).
Figure 3
Utiliser le nombre requis de brides de serrage : 4 pour la bride ISO 100 4 pour la bride ISO 160 Serrer les brides de serrage à un couple de 22 Nm.
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Mode d'emploi 3 Raccordement de la bride à vide élevé
Installation de la bride ConFlat
Pour les raccords à bride ConFlat, fixer les deux brides avec les vis comme indiqué dans la figure suivante (un écran de protection peut être utilisé en option).
Figure 4
Utiliser le nombre requis de vis : 16 pour CFF 6 po 20 pour CFF 8 po Fixer les unités et serrer chaque vis à tour de rôle. Répéter le serrage séquentiel jusqu'à ce que les faces de la bride se rencontrent. Serrer les vis à un couple de 20 Nm. Pour la bride ConFlat, nous recommandons l'utilisation de boulons en acier à haute résistance uniquement. Pour faciliter l'assemblage et le démontage, vous avez la possibilité d'appliquer du lubrifiant à haute température Felpro C-100 sur les filetages de vis dépassant de la bride et entre les écrous et la bride. Dans certains cas, les raccordements peuvent être faits seulement avec le boulon dans le côté inférieur.
ATTENTION ! Faire preuve de prudence lors du serrage des écrous et des boulons pour éviter de créer des bosselures dans l'enveloppe.
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3 Mode d'emploi Raccordement de la bride à vide préliminaire
Raccordement de la bride à vide préliminaire
Le raccordement avant doit être effectué à l'aide de la bride KF 16 NW fournie sur le TwisTorr 305 FS. Le raccordement à la pompe de première ligne peut être fait par un tuyau ou conduit de vide. Si un tuyau rigide est utilisé, toute vibration générée par la pompe mécanique doit être amortie par l'utilisation de soufflets.
NOTE
Le TwisTorr 305 FS se caractérise également par son taux de compression élevé pour les vapeurs d'huile. Lors de l'utilisation d'une pompe mécanique étanche à l'huile, il est conseillé d'installer un piège approprié entre la turbopompe et la pompe à vide avant afin d'éviter le refoulement de l'huile ou des particules provenant des pompes sèches.
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Mode d'emploi 3 Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS
Démarrage et utilisation du TwisTorr 305 FS
NOTES
Pour allumer le TwisTorr 305 FS via les contrôleurs embarqués ou les contrôleurs distants, raccorder la pompe au contrôleur, fournir au contrôleur la tension d'alimentation appropriée, puis activer les signaux « START » (Démarrer) et « INTERLOCK » (Verrouiller) (qui sont situés sur l'interface du contrôleur). Une fois ces signaux reconnus, le contrôleur démarre la pompe.
Veuillez consulter les modes d'emploi en question du contrôleur pour : (1) Trouver l'emplacement de l'entrée d'alimentation ainsi que les valeurs de
tension d'entrée secteur admises (À distance : Chapitre Informations techniques ; Embarqué : Chapitre Informations techniques). (2) Trouver l'emplacement des broches d'entrée START/STOP (Marche/Arrêt) et INTERLOCK (Verrouiller) ainsi que les valeurs électriques correspondantes (À distance : Chapitre Informations techniques ; Embarqué : Chapitre Informations techniques). (3) Trouver les détails sur la façon de connecter les signaux START/STOP (Marche/Arrêt) et INTERLOCK (Verrouiller) (À distance : Chapitre Informations techniques ; Embarqué : Chapitre Informations techniques).
MPN du contrôleur
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
Description du contrôleur
TwisTorr 305 FS embarqué 24V TwisTorr 305 FS embarqué 110/230V TwisTorr 305 FS AG distant RS232/485 TwisTorr 305 FS AG distant Profibus
Mode d'emploi de réf.
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
AVERTISSEMENT ! Le démarrage initial de la pompe sera en mode « Démarrage progressif » ; pour plus d'informations sur ce mode, reportez-vous à la section dédiée à la page 96.
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3 Mode d'emploi Arrêt du TwisTorr 305 FS
Arrêt du TwisTorr 305 FS
Pour arrêter la pompe quand elle est en marche, il est nécessaire d'agir sur l'unité de commande qui actionne la pompe et y est raccordée.
Il est possible d'arrêter la pompe via les commandes de comm. en série ainsi que via les signaux d'E/S distants.
Veuillez consulter les modes d'emploi en question du contrôleur pour trouver l'ensemble des instructions approprié (À distance : Chapitre Informations techniques Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques Interconnexions et significations des fenêtres).
Arrêt d'urgence
L'arrêt d'urgence peut être obtenu en retirant l'alimentation électrique.
AVERTISSEMENT !
Ce mode ne doit être utilisé qu'en cas d'urgence. L'utilisation de ce mode d'arrêt peut entraîner des défauts et/ou des dommages à la pompe. Une utilisation inappropriée de ce mode d'arrêt pourrait annuler la garantie.
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Mode d'emploi 3 Entretien
Entretien
Le TwisTorr 305 FS ne nécessite aucun entretien. Tout travail doit être effectué par un personnel autorisé.
AVERTISSEMENT ! Avant d'effectuer des travaux sur le système, le mettre hors tension, purger la pompe avec la valve de purge, attendre que le rotor soit complètement arrêté et que la température de surface de la pompe soit inférieure à 50 °C.
NOTE
En cas de défaillance de la pompe, vous pouvez utiliser le service de réparation Agilent ou le « service d'échange avancé Agilent », qui vous fournit un système réusiné pour remplacer le système défaillant. Le 305 FS de rechange est expédié lorsque la commande est passée. Vous retournez ensuite le 305 FS défectueux dans le carton où se trouvait le 305 FS de rechange.
Avant de retourner une pompe pour un service d'échange ou de réparation avancé au fabricant, il est essentiel de remplir et d'envoyer au bureau de vente local le formulaire « Demande de retour » joint au présent mode d'emploi. Une copie doit être insérée dans l'emballage du système avant l'expédition.
Si un système doit être mis au rebut, s'assurer que les réglementations locales sont respectées pour une mise au rebut appropriée.
Durée de vie du rotor
La résistance à la fatigue du rotor de la pompe turbomoléculaire 305 FS résultant de l'évaluation théorique est de 405 000 cycles de montée de l'arrêt à la vitesse maximale et du retour à l'arrêt. Par mesure de précaution, compte tenu de l'utilisation typique de la pompe et des limites de sécurité, Agilent recommande de la remettre en service après 17 ans d'utilisation pour l'entretien.
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3 Mode d'emploi Démarrage progressif
Démarrage progressif
AVERTISSEMENT !
Pour s'assurer que les roulements sont correctement lubrifiés, la pompe doit être démarrée en mode « démarrage progressif » (Soft Start) lors du premier démarrage. Cette modalité de démarrage (Démarrage progressif) assure une montée en douceur de la vitesse de la pompe et permet une bonne lubrification des roulements. L'unité de commande qui est connectée à la pompe est déjà configurée par défaut pour faire fonctionner la pompe (uniquement lors de la première mise en service de l'unité de commande). En cas d'utilisation d'une nouvelle pompe avec une unité de commande usagée, n'oubliez pas de régler manuellement le mode de démarrage progressif. Le mode Démarrage progressif prend plus de temps que le mode Démarrage standard ; l'utilisateur doit attendre que la pompe atteigne complètement sa vitesse avant de l'arrêter. Après le premier démarrage, la pompe ne sera plus démarrée en mode Démarrage progressif par l'unité de commande.
Après une longue période d'inactivité (60 jours ou plus), afin de permettre à nouveau la redistribution correcte de la graisse présente dans les roulements, il est nécessaire de redémarrer la pompe en mode Démarrage progressif.
AVERTISSEMENT !
Veuillez consulter les modes d'emploi en question du contrôleur pour trouver l'ensemble des instructions approprié pour activer la modalité de démarrage progressif (À distance : Chapitre Informations techniques Connexion du contrôleur et significations des fenêtres ; Embarqué : Chapitre Informations techniques Interconnexions et significations des fenêtres).
Nettoyage
La surface extérieure du 305 FS ne peut être nettoyée qu'avec un détergent doux.
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Mode d'emploi 3 Mise au rebut
Mise au rebut
Signification du logo « WEEE » figurant sur les étiquettes Le symbole suivant est appliqué conformément à la directive CE WEEE (Déchets d'équipements électriques et électroniques). Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente, l'utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en oeuvre le processus de collecte et mise au rebut.
Pour en savoir plus, consulter : http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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3 Mode d'emploi Service
Service
Si, vous, le client avez besoin d'un service d'échange ou de réparation avancé, veuillez contacter le distributeur local ou directement par courrier à : vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
Vous devez remplir le formulaire de demande de retour pour retourner votre pompe à Agilent pour l'entretien (fourni à la fin du présent manuel).
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TwisTorr 305 FS Manual de istrucciones 4
4 Instrucciones de Uso
Acerca del manual
101
Validez
101
Definiciones y terminología
102
Definición de Precaución, Advertencia y Nota
102
Símbolos de advertencia
103
Seguridad
105
Uso correcto
105
Uso incorrecto
106
Equipo de protección
107
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares
109
Transporte y almacenamiento
110
Descripción del producto
111
Instalación
112
Preparación para instalación
112
Puesta en marcha
114
Montaje de la TwisTorr 305 FS
116
Conexión de la brida de alto vaciado
117
Instalación de la brida ISO-K
118
Instalación de la brida ConFlat
119
Conexión de la bomba pre-vaciado
120
Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS 121
Parada de la TwisTorr 305 FS
122
Parada de emergencia
122
Mantenimiento
123
Vida del rotor
123
Arranque suave
124
Limpieza
124
Eliminación
125
Servicio
126
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4 TwisTorr 305 FS Manual de istrucciones
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Acerca del manual
Instrucciones de Uso 4 Acerca del manual
Validez
El presente manual contiene las instrucciones para los usuarios de la TwisTorr 305 FS con particular referencia a las nociones relativas a la seguridad, funcionamiento y mantenimiento de primer nivel, limitadas a las operaciones de mantenimiento de las que es responsable el usuario.
Las operaciones de mantenimiento, ilustradas en las secciones correspondientes, con disposiciones específicas relativas al nivel más alto de mantenimiento (personal específicamente entrenado para operaciones de mantenimiento) no deben ser llevadas a cabo por el usuario.
Para una instalación y arranque/parada correctos, consulte el capítulo "Instalación".
Para uso técnico más detallado, consulte el capítulo "Operaciones".
NOTA
1. El presente manual contiene información útil para que todo el personal que utilice la TwisTorr 305 FS pueda operarlo de manera segura y garantizar la eficacia perfecta durante toda su vida útil.
2. Guarde el presente manual, junto con todas las publicaciones relacionadas, en un lugar accesible conocido por todo el personal de mantenimiento/operarios.
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4 Instrucciones de Uso Definiciones y terminología
Definiciones y terminología
Definición de Precaución, Advertencia y Nota
Algunasreferencias importantes del presente manual están subrayadas y encuadradas en un color de contraste.
¡ADVERTENCIA!! Los mensajes de advertencia atraen la atención del operario a un procedimiento o una práctica específicos que, si no se realizan correctamente, podrían resultar en lesiones personales graves.
¡PRECAUCIÓN! Los mensajes de precaución se muestran antes de los procedimientos que, si no se observasen, podrían causar daños graves al equipo.
NOTA
Las notas tienen el fin de atraer la atención a la información importante y proporcionar más detalles acerca de pasos específicos.
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Instrucciones de Uso 4 Símbolos de advertencia
Símbolos de advertencia
La siguiente lista contiene símbolos que aparecen en conjunción con las advertencias de la TwisTorr 305 FS. El peligro que describen también se muestra. Un símbolo triangular indica una advertencia. Los significados de los símbolos que pueden aparecer junto a las advertencias en la documentación o el instrumento mismo son los siguientes:
Corriente directa
No tocar
Declaración Europea de Conformidad
Peligro genérico Lugar de fabricación
APAGADO
ENCENDIDO
Terminal protectora de tierra
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4 Instrucciones de Uso Símbolos de advertencia
El siguiente símbolo podría utilizarle en las etiquetas de advertencia fijadas al instrumento. Cuando vea este símbolo, consulte la operación relevante o el manual de servicio para el procedimiento referido por dicha etiqueta de advertencia.
Los siguientes símbolos aparecen en el instrumento para su información.
Terminal protectora de tierra
No tocar
J1
Conector principal
Certificación CE
Certificación CSA
Certificación de Restricción de Sustancias Peligrosas
Certificación China RoHS
Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico
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Instrucciones de Uso 4 Seguridad
Seguridad
La presente sección contiene la información, prescrita por la Directiva de Maquinario 2006/42/EC, que es esencial para el cumplimiento y seguimiento de las normativas de seguridad, tanto generales como en relación con el uso específico de la máquina. El incumplimiento de las presentes instrucciones y las otras instrucciones en el presente manual pueden hacer que las condiciones de seguridad previstas en la fase de diseño sean ineficaces y causen accidentes a los que operen la maquinaria. Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad por daños a la máquina o la seguridad física del operario o terceras partes derivados del incumplimiento de las reglas de seguridad indicadas en la documentación técnica.
Uso correcto
El presente manual contiene advertencias importantes e instrucciones de seguridad a cumplir para que la unidad funcione de manera segura. El producto descrito en el presente manual está destinado exclusivamente al área de aplicación especificado en las instrucciones. El manual también proporciona indicaciones acerca de los requisitos esenciales para la aplicación y funcionamiento del producto, así como las medidas de seguridad que pueden ser adoptadas para garantizar el funcionamiento regular. Agilent Technilogies no proporciona ninguna garantía ni asume ninguna responsabilidad por aplicaciones que no sean las descritas en el presente manual, o en las que no se respeten los requisitos y medidas de seguridad esenciales. El producto solo puede ser utilizado por personal cualificado que pueda tomar las medidas de seguridad necesarias bajo condiciones que no causen daños o lesiones. Cualquier accesorio y equipo utilizado con el producto debe ser proporcionado o aprobado por Agilent Technologies. Cualquier ajuste u operación de mantenimiento debe ser realizada por un técnico profesional informado sobre los riesgos. Las reparaciones del producto deberán ser realizadas exclusivamente por personal autorizado por Agilent.
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4 Instrucciones de Uso Uso correcto
Uso incorrecto
Agilent Technologies niega cualquier responsabilidad derivada del uso incorrecto de la TwisTorr 305 FS. El uso incorrecto anulará todas las reclamaciones por responsabilidad y garantías. El uso incorrecto se define como: instalación de la bomba con el material de montaje incorrecto bombear gases corrosivos y oxidantes sin el flujo de purga adecuado (véase sección
"Pump used with corrosive and oxidizing gases") bombear gases explosivos bombear vapores condensantes bombear líquidos bombear polvo funcionamiento con capacidad de gas alta incorrecta funcionamiento con presiones de pre-vaciado altas incorrectas Funcionamiento con modalidad de gas seleccionada diferente del gas utilizado funcionamiento con niveles altos incorrectos de entrada de calor aislada funcionamiento en campos magnéticos altos incorrectos descargar con velocidad de descarga alta incorrecta uso de la bomba de vacío para generar presión funcionamiento del dispositivo en zonas con radiación ionizante funcionamiento en zonas potencialmente explosivas uso del dispositivo en sistemas en los que la fuerza de impacto y las vibraciones o
fuerzas periódicas afecten al dispositivo.
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Instrucciones de Uso 4 Equipo de protección
Equipo de protección
El equipo de protección de los operarios que están operando o ejecutando el mantenimiento del sistema de bombeado debe ser siempre adecuado para el tipo de operación que se está ejecutando. Asimismo, debe cumplir los requisitos de seguridad de la legislación vigente en el país donde se utilice la máquina.
En general, el operario debe llevar calzado de prevención de accidentes mientras maneje la 305 FS y durante la instalación.
¡ADVERTENCIA!
Peligro a la salud por presencia de sustancias peligrosas durante el mantenimiento o instalación Dependiendo de la peculiaridad del proceso, las bombas de vaciado, los componentes o líquidos operativos pueden estar contaminados por sustancias tóxicas, reactivas o radioactivas.
Lleve equipo de protección adecuado durante el mantenimiento y las reparaciones o en caso de reinstalación.
¡ADVERTENCIA! Riesgo de lesión por caída de objetos Cuando transporte bombas de vaciado a mano, hay peligro de que las cargas se resbalen y se caigan.
Lleve las bombas de vaciado pequeñas y medianas con las dos manos. Cualquier equipo de peso mayor a 20 kg deberá ser transportado
utilizando un dispositivo de elevación. Lleve calzado de seguridad con punta de acero según
la directiva EN 347.
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4 Instrucciones de Uso Equipo de protección
¡PRECAUCIÓN! Riesgo de lesión por bordes afilados Los discos del rotor y estátor de las turbobombas tienen bordes muy afiladas.
Antes de realizar mantenimiento en la bomba o antes de cualquier acción de montaje/desmontaje de la bomba del sistema, espere
a que la bomba se detenga completamente. No opere directamente dentro de la brida de alto vaciado. Si es necesario lleve guantes de protección según EN 420.
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Instrucciones de Uso 4 Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares
Pautas de seguridad para bombas turbomoleculares
Las bombas turbomoleculares, como se describen en el siguiente manual de funcionamiento, contienen una gran cantidad de energía kinética debido a la alta velocidad de rotación en combinación con la masa específica de sus rotores. En caso de avería de una parte mecánica de la bomba, la energía de rotación podría pasarse a lo que esté fijada la bomba.
¡ADVERTENCIA! Para evitar daños al equipo y evitar lesiones al personal operativo se deben seguir estrictamente las instrucciones indicadas en el presente manual.
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4 Instrucciones de Uso Transporte y almacenamiento
Transporte y almacenamiento
Para garantizar el máximo nivel de rendimiento y fiabilidad de las bombas turbomoleculares de Agilent, las siguientes pautas deben seguirse para evitar la condensación: cuando se envíen, mueve o almacenen las bombas, no deberán excederse
las siguientes especificaciones ambientales: rango de temperatura: -40 °C a 70 °C rango de humedad relativo: 0 a 90 % (no condensante). la vida útil de una bomba turbomolecular es de 12 meses desde la fecha de envío. las bombas turbomoleculares deben iniciadas con arranque suave cuando se reciben y puestas en marcha por primera vez por el cliente. las bombas turbomoleculares deben iniciarse con arranque suave siempre después de un período de 60 días de inactividad de la bomba.
¡PRECAUCIÓN! Si, por cualquier motivo, la vida útil es excedida, la bomba deberá ser devuelta a la fábrica. Por favor, contacte con el representante local de Ventas y Servicios de Vacío de Agilent para más información.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Descripción del producto
Descripción del producto
Este equipo está destinado a uso profesional y deberá ser utilizado por profesionales.
La TwisTorr 305 FS es una bomba turbomolecular para aplicaciones de vacío ultra alto que puede bombear cualquier tipo de gas o compuesto de gas no corrosivo y oxidante.
La acción de bombeado se obtiene a través de una turbina de alta velocidad (max. 60600 rpm) impulsada por un motor eléctrico de alto rendimiento. Está libra de agentes contaminantes y, por tanto, es adecuada para aplicaciones que requieran un vacío "limpio".
Puede encontrar información detallada en la sección "Technical Information".
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4 Instrucciones de Uso Instalación
Instalación
Preparación para instalación
La TwisTorr 305 FS se proporciona con un embalaje protector especial. Si esta muestra signos de daños que puedan haber ocurrido durante el transporte, contacte con su oficina de ventas local. Evite impactos repentinos a la 305 FS que podrían ser causados al dejarla caer. Tenga cuidado de guardar la caja de embalaje para reutilizarla en caso de almacenamiento durante largos períodos de tiempo o en caso de envío. No tire los materiales de embalaje de manera no autorizada. El material es 100% reciclable y cumple con la Directive EEC 94/62 y modificaciones posteriores.
¡PRECAUCIÓN! Para evitar problemas de liberación de gases, no utilice las manos para manejar los componentes que estén expuestos a la bomba. Utilice guantes u otra protección adecuada siempre.
NOTA
La exposición normal al ambiente no puede dañar la TwiTorr 305 FS. Sin embargo, es aconsejable mantenerla sellada en su bolsa de plástico hasta que esté instalada en el sistema, evitando así cualquier forma de contaminación por polvo.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Instalación
Figura 1
Embalaje de la TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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4 Instrucciones de Uso Puesta en marcha
Puesta en marcha
¡PRECAUCIÓN! No extraiga la tapa adhesiva y protectora hasta que esté preparado para instalar la turbobomba en el sistema.
Figura 2
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Puesta en marcha
Instale este dispositivo solo en interiores y no utilice la bomba en un ambiente expuesto a agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvo, gases agresivos o en ambientes explosivos o con un alto riego de incendio.
Durante el funcionamiento, las siguientes condiciones ambientales deben cumplirse para evitar la condensación:
presión ambiente máxima: 2 bar por encima de presión atmosférica
temperatura: de +5 °C a +35 °C humedad relativa: 0 90 % (no condensante).
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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4 Instrucciones de Uso Montaje de la TwisTorr 305 FS
Montaje de la TwisTorr 305 FS
¡ADVERTENCIA! El incumplimiento de las presentes instrucciones podría causar que la bomba se despegue del sistema en el caso de un fallo del rotor, lo que podría causar daños a la propiedad o lesiones graves o la muerte.
La TwisTorr 305 FS puede ser instalada en cualquier posición. Fije la TwisTorr 305 FS en una posición estable, montando la brida de entrada de la turbobomba en el sistema de la contrabrida, con una conexión capaz de soportar una torsión de 1000 Nm alrededor de su eje. La turbobomba con brida de entrada ConFlat e ISO K debe estar fijada a la cámara de vacío mediante las herramientas adecuadas de Agilent. Para más detalles consulte la sección "Installation of ConFlat and ISO K".
¡PRECAUCIÓN! La TwisTorr 305 FS no puede ser fijada en su base
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Conexión de la brida de alto vaciado
Conexión de la brida de alto vaciado
Si el rotor se detiene de repente, la torsión resultante debe ser absorbida por las herramientas que fijan la brida de vacío alto. Los tornillos y herramientas deben cumplir la siguiente especificación.
¡ADVERTENCIA!
Es obligatorio conecta la bomba de manera que pueda soportar la torsión especificada en la sección "INSTRUCCIONES DE USO". Preste especial atención al diseño de la pinza, los materiales de las pinzas y tornillos y la torsión de fijación del tornillo. Utilice solo pinzas (o tornillos) de clase de resistencia alta 8.8.
¡ADVERTENCIA!
Si la bomba está fijada a una cámara de vacío con bridas diferentes a las recomendadas por Agilent, es posible que la 305 FS se tuerza o se rompa si el rotor se detiene de repente. La combinación de diferentes tipos de bridas no está permitida. Agilent no aceptará ninguna responsabilidad por daños resultantes de una sujeción incorrecta.
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4 Instrucciones de Uso Instalación de la brida ISO-K
Instalación de la brida ISO-K
Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con el modelo de pinzas IC63250DCMZ o equivalente, como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente).
Figura 3 Utilice el número de pinzas de garra requerido: 4 para brida ISO 100 4 para brida ISO 160 Apriete las pinzas de garra con una torsión de 22 Nm.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Instalación de la brida ConFlat
Instalación de la brida ConFlat
Para las conexiones de brida ISO-K, sujete las dos bridas con los tornillos como se muestra en la figura siguiente (se puede utilizar una pantalla de protección opcionalmente).
Figura 4 Utilice el número de tornillos requerido: 16 para CFF 6" 20 para CFF 8" Fije las unidades y apriete cada tornillo a su vez. Vuelva a apretar en secuencia hasta que las caras de la brida se encuentren. Apriete los tornillos con una torsión de 20 Nm. Para la brida ConFlat le recomendamos que use solo tornillos de acero de alta resistencia. Para facilitar el montaje y desmontaje es opcional aplicar lubricante de alta temperatura Felpro C-100 a las roscas de los tornillos que sobresalgan de la brida y entre las roscas y la brida. En algunos casos, las conexiones solo pueden hacerse con el tornillo en la cara inferior.
¡PRECAUCIÓN! Tenga cuidado cuando apriete las tuercas y tornillos para evitar abollar la envoltura.
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4 Instrucciones de Uso Conexión de la bomba pre-vaciado
Conexión de la bomba pre-vaciado
La conexión de prevacío debe hacerse utilizando la brida KF 16 NW proporcionada en la TwisTorr 305 FS. La conexión a la bomba prevacío puede hacerse mediante una manguera o tubo apropiada para vacío. Si se utiliza un tubo rígido, cualquier vibración generada por la bomba mecánica debe ser amortiguada a través del uso de fuelles.
NOTA
La TwisTorr 305 FS está caracterizada por su tasa de compresión alta y por sus vapores de aceite. Cuando utilice una bomba mecánica sellada con aceite, es aconsejable instalar un colector adecuado entre la turbobomba y la bomba de prevacío para evitar que se salga el aceite o el particulado de las bombas secas.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instrucciones de Uso 4 Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS
Puesta en marcha y funcionamiento de TwisTorr 305 FS
NOTAS
Para encender el TwisTorr 305 FS a través de los controladores abordo o los mandos a distancia, conecte la bomba al controlador, proporcione la tensión de alimentación correcta al controlador y actúe en las señales "START" e "INTERLOCK" (situadas en la interfaz del controlador). Una vez estas señales sean reconocidas el controlador iniciará la bomba.
Consulte los manuales de instrucción correspondientes del controlador para:
(1) Encontrar la ubicación de la entrada de alimentación y la tensión de entrada de alimentación (Mando a distancia: Capítulo Technical Information; On Board: Chapter Technical Information).
(2) Encuentre la ubicación de las clavijas de entrada de START/STOP e INTERLOCK así como las clasificaciones eléctricas relacionadas (Mando a distancia: Capítulo Technical Information; On Board: Chapter Technical Information).
(3) Para más detalles sobre cómo conectar las señales START/STOP e INTERLOCK (Mando a distancia: Capítulo Technical Information; On Board: Chapter Technical Information).
MPN del controlador
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
Descripción del controlador
Twistorr 305 FS onboard 24V Twistorr 305 FS onboard 110/230V Twistorr 305 FS AG Remote RS232/485 Twistorr 305 FS AG Remote Profibus
Ref. Manual de Instrucciones
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
¡ADVERTENCIA! El arranque inicial de la bomba estará en modo " Arranque suave"; para más información sobre este modo, consulte la sección dedicada en la página 124.
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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4 Instrucciones de Uso Parada de la TwisTorr 305 FS
Parada de la TwisTorr 305 FS
Para detener la bomba mientras está en funcionamiento, es necesario actuar sobre la unidad de control que está accionando la bomba y que está conectada a ella.
Es posible detener la bomba mediante los comandos seriales comm. así como a través de las señales a distancia I/O.
Consulte los manuales de instrucción correspondientes del controlador para encontrar las instrucciones adecuadas (Mando a distancia: Chapter Technical Information - Controller Connection & Window Meanings; On Board: Chapter Technical Information - Interconnections & Window Meanings).
Parada de emergencia
La parada de emergencia puede conseguirse extrayendo la fuente de alimentación.
¡ADVERTENCIA!
Este modo debe ser utilizada solo en caso de emergencia. El uso de este modo de parada podría llevar a fallos y/o daños en la bomba. El uso indebido de este modo de parada podría anular la garantía.
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Instrucciones de Uso 4 Mantenimiento
Mantenimiento
La TwisTorr 305 FS no requiere ningún mantenimiento. Cualquier trabajo debe ser realizado por personal autorizado.
¡ADVERTENCIA!
Antes de realizar cualquier trabajo en el sistema, desconecte de la fuente de alimentación, descargue la bomba con la válvula de descarga, espere hasta que el rotor esté completamente detenido y espere hasta que la temperatura de la superficie de la bomba esté por debajo de 50ºC.
NOTA
Si la bomba falla, puede utilizar el servicio de reparación de Agilent o el "servicio de intercambio avanzado de Agilent", que le proporcionará un sistema refabricado para sustituir el sistema averiado. El cambio de 305 FS será enviado cuando se realice el pedido. Entonces tendrá que devolver la 305 FS averiada en la caja en la que venga la 305 FS nueva.
Antes de devolver la bomba para ser reparada o para el servicio de intercambio avanzado al fabricante, es esencial completar y enviar el formulario "Solicitud de Cambio" adjunto al presente manual de instrucciones a la oficina de ventas local. Se deberá insertar una copia del mismo en el paquete del sistema antes de enviarlo.
Si un sistema debe ser descartado, asegúrese de que se cumplen las normativas locales para la eliminación adecuada.
Vida del rotor
La resistencia a la fatiga del rotor de bomba turbomolecular 305 FS resultante de la evaluación teórica de 405000 ciclos de aceleración desde parada y parada de nuevo. Como medida de precaución, considerando el uso típico de la bomba y teniendo en cuenta los límites de seguridad, Agilent recomienda devolver la bomba después de 17 años de uso para mantenimiento.
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4 Instrucciones de Uso Arranque suave
Arranque suave
¡ADVERTENCIA! Para asegurar la lubricación correcta de los cojinetes de la bomba, en la primera aceleración, la bomba debe iniciarse en modo de arranque suave. Esta modalidad de inicio (Arranque Suave) asegura que la bomba alcanza la velocidad de manera uniforme y permite una lubricación adecuada de los cojinetes. La unidad de control conectada a la bomba ya está configurada por defecto para hacer funcionar la bomba (sólo en la primera puesta en marcha de la unidad de control). En caso de utilizar una bomba nueva con una unidad de control usada, recuerde configurar manualmente el modo de arranque suave. El modo de arranque suave tardará más tiempo comparado con el arranque normal; el usuario debe esperar a que la bomba haya alcanzado la velocidad completamente antes de detener la bomba. Después del primer arranque, la unidad de control no iniciará la bomba en el modo de arranque suave de nuevo.
Después de un periodo de inactividad largo (60 días o más), para permitir de nuevo la redistribución correcta de la grasa presente en los cojinetes, es necesario arrancar la bomba mediante el modo de arranque suave de nuevo.
¡ADVERTENCIA! Consulte los manuales de instrucción correspondientes del controlador para encontrar las instrucciones adecuadas para activar el modo de arranque
suave (Mando a distancia: Chapter Technical Information Controller
Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information
Interconnections & Window Meanings).
Limpieza
La superficie exterior de la 305 FS puede ser limpiada con detergente suave solamente.
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Instrucciones de Uso 4 Eliminación
Eliminación
Significado del logotipo "WEEE" encontrado en las etiquetas El siguiente símbolo se aplica de acuerdo con la Directiva CE WEE (Equipo de Desecho Eléctrico y Electrónico). Este símbolo (válido solo en países de la Comunidad Europea) indica que el producto al que se aplica NO debe eliminar junto con desechos domésticos o industriales normales, sino que debe ser enviado a un sistema de recolección de desechos diferenciada. El usuario final deberá contactar con el proveedor del dispositivo, ya sea la Empresa matriz o un minorista, para iniciar el proceso de recolección y eliminación después de comprobar los términos contractuales y las condiciones de venta.
Para más información consulte: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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4 Instrucciones de Uso Servicio
Servicio
Si un cliente necesita un servicio de intercambio avanzado o reparación, contacte con un distribuidor local o contacte por correo a: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com Es obligatorio completar la Solicitud de Devolución para devolver su bomba a Agilent para mantenimiento (proporcionada al final del presente manual).
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5
TwisTor 305 FS ISO-K ConFlat TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS
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5 TwisTorr 305 FS
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/""
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TwisTorr 305 FS
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J1
CE
CSA
RoHS
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2006/42/EC (Agilent Technologies)
(Agilent Technologies) (Agilent Technologies)
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"
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EN 347
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EN 420
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-40 °C 70 °C 090%
12
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TwisTorr 305 FS 60600 rpm "" ""
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TwisTorr 305 FS
305 FS 305 FS
100% EEC94/62
TwisTorr 305 FS
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5
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5
142/258
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
5
2 bar +5 °C +35 °C 0 ~ 90 %
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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5 TwisTor 305 FS
TwisTor 305 FS
TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS 1000 Nm
ConFlat ISO K " ConFlat ISO K"
TwisTorr 305 FS
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5
"" = 8.8
305 FS
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5 ISO-K
ISO-K
ISO-KIC63250DCMZ
4 ISO 100 4 ISO 160 22 Nm
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
5 ConFlat
ConFlat
ConFlat
16 CFF 6" 20 CFF 8" 20 Nm ConFlat Felpro C-100
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5
TwisTorr 305 FS KF 16 NW
TwisTorr 305 FS
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5 TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS "START"" INTERLOCK"
(1);
(2)/START/STOP INTERLOCK ;
(3) /START/STOP INTERLOCK ;
MPNs
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
TwisTorr 305 FS 24V TwisTorr 305 FS 110/230V TwisTorr 305 FS AG RS232/485 TwisTorr 305 FS AG Profibus
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
""; 152
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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5 TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
I/O
-;-
/
150/258
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5
TwisTorr 305 FS
50°C
"" 305 FS 305 FS
""
305 FS 405000 17
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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5
!
""
;
60
!
"" -;-
305 FS
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5
"WEEE" EC WEEE
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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5
vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
TwisTorr 305 FS 6
6
157
157
158
158
159
161
161
162
163
165
166
167
168
168
170
TwisTorr 305 FS
172
173
ISO-K
174
ConFlat
175
176
TwisTorr 305 FS
178
178
179
179
180
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6 TwisTorr 305 FS
180
181
182
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6
TwisTorr 305 FS
/
1. TwisTorr
305 FS
2. /
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
157/258
6
!!
!
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6
TwisTorr 305 FS
CE
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6
J1
NFC
()
CE
CSA
EU RoHS
RoHS
EU WEEE
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6
Machinery Directive 2006 / 42/ EC
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6
TwisTorr 305 FS
162/258
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6
305 FS
!
!
20 kg EN 347
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6
!
/ EN 420
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6
t
!
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165/258
6
-40 °C 70 °C 0 90 % 12 60
!
166/258
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
6
TwisTorr 305 FS
60600 rpm
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
167/258
6
TwisTorr 305 FS
305 FS
100% EEC94/62
!
TwisTorr 305 FS
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6 TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6
!
170/258
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
6
2 +5 °C +35 °C 0 90 %
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6 TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
!
!
TwisTorr 305 FS TwisTorr 305 FS 1000 Nm
ConFlat ISO K ConFlatISO K
TwisTorr 305 FS
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
6
!
8.8
!
305 FS
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6 ISO-K
ISO-K
ISO-K IC63250DCMZ 2
ISO 100 4 ISO 160 4 22 Nm
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
6 ConFlat
ConFlat
ConFlat 2
!
CFF 6" 16 CFF 8" 20
·
20 Nm ConFlat Felpro C-100
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6
TwisTorr 305 FS KF 16 NW
TwisTorr 305 FS
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6
TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
(1)
(2)/
(3) /
MPNs
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
TwisTorr 305 FS 24V TwisTorr 305 FS 110/230V TwisTorr 305 FS AG RS232/485 TwisTorr 305 FS AG Profibus
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
!
180
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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6 TwisTorr 305 FS
TwisTorr 305 FS
I/O
( & & )
!
/
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6
TwisTorr 305 FS
!
50° C
305 FS 305 FS 305 FS
305 FS 405000 17
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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!
60
!
& &
305 FS
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WEEE EC WEEE
http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
181/258
6
vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
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TwisTorr 305 FS User Manual 7
7 Instructions for Use
About this manual
185
Validity
185
Definitions and terminology
186
Warning Symbols
187
Proper Use
189
Improper Use
190
Protective equipment
191
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
193
Transport & Storage
194
Product description
195
Installation
196
Preparation for Installation
196
Set-up
198
TwisTorr 305 FS Mounting
200
Connection of the High Vacuum Flange
201
Installation of ISO-K Flange
202
Installation of ConFlat Flange
203
Connection of the Fore-Vacuum Pump
204
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS
205
Stopping the TwisTorr 305 FS
206
Emergency stop
206
Maintenance
207
Rotor life
207
Soft Start
208
Cleaning
208
Disposal
209
Service
210
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7 TwisTorr 305 FS User Manual
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
About this manual
Instructions for Use 7 About this manual
Validity
This manual lists the instructions for the users of the TwisTorr 305 FS, with particular reference to the notions relating to safety, operation and first level maintenance, limited to maintenance operations for which the user is responsible.
The maintenance operations, illustrated in the specific sections, with specific provisions relating to the higher level of maintenance (personnel specifically trained for maintenance operations) must not be carried out by the user.
For a correct installation and start/stop, please refer to "Installation" chapter.
For more detailed technical use, please refer to "Operations" chapter.
NOTE
1. This manual contains useful information so that all personnel using the TwisTorr 305 FS can operate it safely and guarantee perfect efficiency, for for its entire life span.
2. Keep this manual, together with all the related publications, in an accessible place known to all operators/maintenance personnel.
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7 Instructions for Use About this manual
Definitions and terminology
Definition of Caution, Warning and Note Some important references of this manual are highlighted and framed in contrasting colour.
WARNING!! Warning messages draw the operator's attention to a specific procedure or practice which, if not performed correctly, could result in serious personal injury.
CAUTION! Caution messages are displayed before procedures which, if not observed, could cause damage to the equipment.
NOTE
Notes are intended to call attention to important information and provide more detail regarding specific steps.
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Instructions for Use 7 Warning Symbols
Warning Symbols
The following is a list of symbols that appear in conjunction with warnings on the TwisTorr 305 FS. The hazard they describe is also shown. A triangular symbol indicates a warning. The meanings of the symbols that may appear alongside warnings in the documentation or on the instrument itself are as follows:
Current
Direct Do Not Touch
Generic hazard
Manufacturing Site
European Declaration of Conformity
Power OFF
Power ON
Protective Ground Terminal
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7 Instructions for Use Warning Symbols
The following symbol may be used on warning labels attached to the instrument. When you see this symbol, refer to the relevant operation or service manual for the correct procedure referred to by that warning label.
The following symbols appear on the instrument for your information.
Protective Ground Terminal
Do Not Touch
J1
Main connector
CE certification
CSA certification
Restriction of Hazardous Substances certification
RoHS China certification
Waste Electrical and Electronic Equipment
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Instructions for Use 7 Safety
Safety
This section contains the information, prescribed by the Machinery Directive 2006/42/EC, which is essential for the compliance and observance of the safety regulations both generally and in relation to the specific use of the machine. Failure to comply with these instructions and the other instructions contained in this manual may render the safety conditions envisaged in the design phase inefficient and cause accidents to those operating the machine. Agilent Technologies declines all responsibility for damage to the machine or for the physical safety of the operator or third parties deriving from the nonobservance of the safety rules indicated in the technical documentation.
Proper Use
This manual contains important warnings and safety instructions to be observed in order for the unit to work safely. The product described in this manual is intended exclusively for the area of application specified in the instructions. The manual also provides indications regarding the essential requirements for the application and operation of the product as well as the safety measures that can be adopted to guarantee regular operation. Agilent Technologies does not provide any guarantee or assume any responsibility for applications other than those described in this manual or in which the essential requirements and safety measures are not respected. The product must only be used by qualified personnel who are able to take the necessary safety measures under conditions that do not cause damage or injury. Any accessories and equipment used with the product must be supplied or approved by Agilent Technologies. Any adjustment or maintenance operation must be performed by a professional technician informed about the risks.
Repairs on the product must be carried out exclusively by Agilent authorized personnel.
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7 Instructions for Use Proper Use
Improper Use
Agilent Technologies declines all responsibility, deriving from the improper use of the TwisTorr 305 FS. Improper use will cause all claims for liability and warranties to be forfeited. Improper use is defined as: installation of the pump with unspecified mounting material pumping corrosive and oxidizing gases w/o proper purge flow (see section "Pump used
with corrosive and oxidizing gases") pumping of explosive gases pumping of condensing vapors pumping of liquids pumping dust operation with improper high gas throughput operation with improper high fore-vacuum pressures Operation with selected gas modality different from the gas actually used operation with improper high levels of insulated heat input operation in improper high magnetic fields venting with improper high venting rates use of the vacuum pump to generate pressure operation of the device in areas with ionizing radiation operation in potentially explosive areas use of the device in systems in which impact-like stress and vibrations or periodic forces
affect the device.
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Instructions for Use 7 Proper Use
Protective equipment
The protective equipment of the operators who are operating or executing the maintenance of the pumping system must always be adequate for the type of operation being executed. Furthermore, it must comply with the safety requirements of the legislation in force in the country in which the machine is used.
In general, the operator must wear accident-prevention shoes while handling the 305 FS and during installation.
WARNING!
Danger to health by hazardous substances during maintenance or installation Depending on the process peculiarity, vacuum pumps, components or operating fluids can be contaminated by toxic, reactive or radioactive substances.
Wear adequate protective equipment during maintenance and repairs or in case of reinstallation.
WARNING!
Risk of injury through falling objects When transporting vacuum pumps by hand, there is a danger through loads slipping and falling down.
Carry small and mid-size vacuum pumps two-handed. Any equipment heavier than 20 kg should be trasnported
using a suitable lifting device. Wear safety shoes with steel toe cap according to
directive EN 347.
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7 Instructions for Use Proper Use
CAUTION!
Risk of injury through sharp edges Rotor and stator disks of turbopumps have very sharp edges.
Before servicing the pump or before any mounting/ dismounting action of the pump from the system, wait for the complete standstill of the pump.
Do not operate directly inside the high vacuum flange. If necessary wear protective gloves according to EN 420.
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Instructions for Use 7 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high Rotation Speed in combination with the specific mass of their rotors. In case of malfunctioning of a mechanical part of the pump the rotational energy may be released to whatever the pump is fixed to.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed!
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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7 Instructions for Use Transport & Storage
Transport & Storage
In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines must be followed to avoid condensation: when shipping, moving and storing pumps, the following environmental
specifications should not be exceeded: temperature range: -40 °C to 70 °C relative humidity range: 0 to 90 % (non condensing).
the shelf life of a turbomolecular pump is 12 months from the shipping date.
the turbomolecular pumps must be always soft-started when received and operated for the first time by the customer.
the turbomolecular pumps must be always soft-started after a period of 60 days of inactivity of the pump.
CAUTION!
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for information.
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Instructions for Use 7 Product description
Product description
This equipment is intended for professional use and to be used by professionals.
The TwisTorr 305 FS is a turbomolecular pump for high and ultrahigh vacuum applications which is able to pump any type of non corrosive and oxidizing gas or gas compound.
The pumping action is obtained through a high speed turbine (max. 60600 rpm) driven by a high-performance electric motor. It is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
Detailed information is supplied in the "Technical Information" section.
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7 Instructions for Use Installation
Installation
Preparation for Installation
The TwisTorr 305 FS is supplied in a special protective packaging. If this shows signs of damage which may have occurred during transport, contact your local sales office.
Avoid sudden impacts to the 305 FS that would be caused by dropping it. Be aware to maintain the packaging box in order to reuse it in case of storage for a long period of time or in case of shipping.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies with EEC Directive 94/62 and subsequent amendments.
CAUTION!
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the TwisTorr 305 FS. Nevertheless, it is advisable to keep it sealed in its plastic bag until until it is installed in the system, thus preventing any form of pollution by dust.
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Instructions for Use 7 Installation
Figure 1 TwisTorr 305 FS packaging
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7 Instructions for Use Set-up
Set-up
CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap until you are ready to install the turbopump to the system.
Figure 2
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Instructions for Use 7 Set-up
Install this device indoors only, and do not use the pump in an environment exposed to atmospheric agents (rain, ice, snow), dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must be complied with in order to avoid condensation:
maximum ambient pressure: 2 bar above atmospheric pressure
temperature: from +5 °C to +35 °C
relative humidity: 0 90 % (non-condensing).
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7 Instructions for Use TwisTorr 305 FS Mounting
TwisTorr 305 FS Mounting
WARNING!
Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure, which could cause property damage or serious injury or death.
The TwisTorr 305 FS can be installed in any position. Fix the TwisTorr 305 FS in a stable position, mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter-flange, with a connection capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis.
The turbopump with ConFlat and ISO K inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. For further details see the "Installation of ConFlat and ISO K" section.
CAUTION! The TwisTorr 305 FS cannot be fixed by means of its base
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Instructions for Use 7 Connection of the High Vacuum Flange
Connection of the High Vacuum Flange
If the rotor stops suddenly, the resulting torque must be absorbed by the hardware fastening the high vacuum flange. Bolts or hardware must meet the specification below.
WARNING!
It is mandatory to connect the pump in such a way to withstand the torque specified in the "INSTRUCTION FOR USE" section. Specifically pay attention to clamp design, material of clamps and bolts and bolt fixing torque. Use only high resistance class clamps (or bolts) 8.8.
WARNING!
If the pump is fastened on a vacuum chamber with flanges different from those recommended by Agilent, there is the chance of the 305 FS twisting or tearing-off in case the rotor suddenly stops. The combination of different flange types is not allowed. Agilent will not accept any liability for all damages resulting from improper fastening.
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7 Instructions for Use Connection of the High Vacuum Flange
Installation of ISO-K Flange
For ISO-K flange connections, fix the two flanges with the clamps model IC63250DCMZ or equivalent, as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used).
Figure 3 Use the required number of claw clamps: 4 for ISO 100 flange 4 for ISO 160 flange Tighten the claw clamps with a torque of 22 Nm.
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Instructions for Use 7 Connection of the High Vacuum Flange
Installation of ConFlat Flange
For ConFlat flange connections, fix the two flanges with the screws as shown in the following figure (a protective screen can optionally be used).
Figure 4 Use the required number of screws: 16 for CFF 6" 20 for CFF 8" Attach the units and tighten each screw in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces meet. Tighten the screws with a torque of 20 Nm. For ConFlat flange we recommend the usage of high strength steel bolts only. To facilitate assembly and dismantling, it is optional to apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange. In some cases, the connections can be made only with the bolt in the lower side.
CAUTION! Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope.
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7 Instructions for Use Connection of the Fore-Vacuum Pump
Connection of the Fore-Vacuum Pump
The foreline connection should be made using the KF 16 NW flange provided on the TwisTorr 305 FS. The connection to the foreline pump can be made by a vacuum rated hose or pipe. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the mechanical pump must be damped through the use of bellows.
NOTE
The TwisTorr 305 FS is characterized by its high compression ratio also for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in order to prevent back streaming oil or particulate from dry pumps.
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Instructions for Use 7 Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS
Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS
To turn on the TwisTorr 305 FS via the on board controllers or the remote controllers, connect the pump to the controller, supply the controller with the proper supply voltage and then act on the "START" and "INTERLOCK" signals (which are located on the controller's interface). Once these signals are recognized the controller will start the pump.
NOTES
Please refer to the controller's relevant instruction manuals in order to:
(1) Find the location of the power supply inlet as well as the mains input voltage admitted values (Remote: Chapter Technical Information; On Board: Chapter Technical Information).
(2) Find the location of the START/STOP and INTERLOCK input pins as well as the related electrical ratings (Remote: Chapter Technical Information; On Board: Chapter Technical Information)
(3) Find details about how to connect the START/STOP and the INTERLOCK signals (Remote: Chapter Technical Information; On Board: Chapter Technical Information).
Controller MPNs
Controller Descritpion
X3507-64130 X3507-64131 X3506-64130 X3506-64131
Twistorr 305 FS onboard 24V Twistorr 305 FS onboard 110/230V Twistorr 305 FS AG Remote RS232/485 Twistorr 305 FS AG Remote Profibus
Ref.Instruction Manual
87-901-060-01 87-901-060-01 87-901-059-01 87-901-059-01
WARNING! The initial startup of the pump will be in "SOFT START" mode; for detailed information on this mode refer to the dedicated section on page 208.
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7 Instructions for Use Startup and Operation of the TwisTorr 305 FS
Stopping the TwisTorr 305 FS
To stop the pump while it is running, in is necessary to act on the control unit which is driving the pump and which is connected to it.
It is possible to stop the pump via serial comm. commands as well as via Remote I/O signals.
Please refer to the controller's relevant instruction manuals in order to find the appropriate set of instructions (Remote: Chapter Technical Information Controller Connection & Window Meanings; On Board: Chapter Technical Information - Interconnections & Window Meanings).
Emergency stop
Emergency stop can be achieved by removing the power supply.
WARNING!
This mode is to be used only in an emergency. The use of this stop mode could lead to faults and/or damages at the pump. Improper use of this stop mode could void the warranty.
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Instructions for Use 7 Maintenance
Maintenance
The TwisTorr 305 FS does not require any maintenance. Any work must be carried out by authorized personnel.
WARNING! Before carrying out any work on the system, disconnect it from the power supply, vent the pump with the vent valve, wait until the rotor is completely stopped and wait until the surface temperature of the pump is below 50° C.
NOTE
In the event the pump fails, you can use the Agilent repair service or the "Agilent advanced exchange service", which gets you a remanufactured system to replace the failed system. The exchange 305 FS is shipped when the order is placed. You then return the failed 305 FS in the box that the exchange 305 FS comes in.
Before returning a pump for repair or advanced exchange service to the manufacturer, it is essential to complete and send to the local sales office the "Request for Return" form attached to this instruction manual. Copy of the same must be inserted in the packaging of the system before shipping.
If a system needs to be scrapped, ensure that local regulations are followed for appropriate disposal.
Rotor life
The fatigue resistance of 305 FS turbomolecular pump rotor resulting from theoretical evaluation is 405000 cycles of ramp up from stop to full speed and back to stop. As a precautionary measure, considering the typical usage of the pump and taking into account safety limits, Agilent recommends to return the pump after 17 years of use for maintenance.
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7 Instructions for Use Soft Start
Soft Start
WARNING!
To ensure proper lubrication of the bearings the pump, at the first ramp-up, the pump has to be started in "soft start" mode. This starting modality (Soft Start) ensures a smooth up to speed of the pump and it allows a proper lubrication of the bearings.
The control unit which is connected to the pump is already set-up by default to run the pump (only at the first control unit start-up). In case of use of a new pump with an used control unit, remember to set manually the soft start mode. The soft start mode will take a longer time compared to the standard startup; the user must wait that the pump is completely up to speed before stopping the pump. After the first start, the pump won't be started in soft start mode again by the control unit.
After 60 days or more of inactivity, in order to allow again the correct redistribution of the grease present in the bearings, it is necessary to start the pump via soft start mode again.
WARNING!
Please refer to the controller's relevant instruction manuals in order to find the appropriate set of instructions to activate the "soft start" modality (Remote: Chapter Technical Information Controller Connection & Window Meanings ; On Board: Chapter Technical Information Interconnections & Window Meanings).
Cleaning
The exterior surface of the 305 FS may be cleaned with mild detergent only.
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Instructions for Use 7 Disposal
Disposal
Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in countries of the European Community) indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system. The end user is therefore invited to contact the supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale.
For more information refer to: http://www.agilent.com/environment/product/index.shtml
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7 Instructions for Use Service
Service
Should a customer need an advanced exchange or repair service, please contact local distributor or directly mail to: vpt-customercare@agilent.com vpl-customercare@agilent.com
Completion of the Request for Return form is required to return your pump to Agilent for service (provided at the end of this manual).
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Technical Information 8
8 Technical Information
Description of the TwisTorr 305 FS
213
Technical Specification
219
TwisTorr 305 FS Outline
222
Interconnections
233
Earth (Ground) Connection
233
Pump Operations
234
Inlet screen installation
234
Air Cooling Kit Installation
237
Water Cooling Kit Connection (only for
water cooling pumps)
239
Vent Accessories
242
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases
245
Purge Valve Installation
247
Pump Used in Presence of Magnetic Fields Vibration 248
Isolator Installation
248
Controller Operations
249
Accessories and Spare Parts
250
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8 Technical Information
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TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Technical Information 8 Description of the TwisTorr 305 FS
Description of the TwisTorr 305 FS
The TwisTorr 305 FS consists of a high frequency induction motor driving a turbine fitted with 8 bladed stages and 3 TwisTorr drag stages. The turbine rotates in a counterclockwise direction when viewed from the high vacuum flange end. The turbine is made of high strength aluminum alloy, machined from a single block. The TwisTorr stages are in the form of three disks. The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the fore-vacuum side of the pump. The static blades of the stator are made of stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings. The TwisTorr stators are in the form of selfpositioning machined disks. On each disk there are parallel spiral pumping channels designed to pump in centrifugal direction on one side and in centripetal direction on the other side. These are made of an aluminum alloy. During normal operation, the motor is driven at 1010 Hz.
WARNING! Always ensure the pump is receiving proper cooling during operations. Improper cooling could result in damage to the pump.
According to the list in the following page, different P/Ns are available for:
Air cooling (air cooling kit X3500-68010 or X3500-68011 are recommended).
Water cooling (water cooling kit 9699337 is recommended).
The pump is protected from overheating by a thermistor mounted inside the pump. The signal from the thermistor is continuously monitored by the pump's electronic control unit. If the thermistor reading exceeds the predefined maximum level threshold or it is lower than the minimum level threshold, the 305 FS stops with 2 different error cordes (see controller paragraph). The pump can operate in any position but is required to be supported by the high vacuum flange. The connection of the fore-vacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange (KF25 optional).
The TwisTorr 305 FS is available in various models that differ in the high vacuum flange.
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8 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS
The TwisTorr 305 FS models are:
X3513-64008 X3513-64009 X3513-64010 X3513-64011 X3513-64012 X3513-64013 X3513-64014 X3513-64015
TWISTORR 305-K FS ISO100K STD AIR COOLING TWISTORR 305-K FS CFF6" STD AIR COOLING TWISTORR 305-K FS ISO160K STD AIR COOLING TWISTORR 305-K FS CFF8" STD AIR COOLING TWISTORR 305-K FS ISO100K STD WATER COOLING TWISTORR 305-K FS CFF6" STD WATER COOLING TWISTORR 305-K FS ISO160K STD WATER COOLING TWISTORR 305-K FS CFF8" STD WATER COOLING
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Technical Information 8 Description of the TwisTorr 305 FS
The following figures shows the 8 models. The optional air cooling fan is shown in the drawings.
Figure 5 Model X3513-64008
Figure 6 Model X3513-64009 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS
Figure 7 Model X3513-64010
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Figure 8 Model X3513-64011 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Technical Information 8 Description of the TwisTorr 305 FS
Figure 9 Model X3513-64012
Figure 10 Model X3513-64013 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information Description of the TwisTorr 305 FS
Figure 11 Model X3513-64014
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Figure 12 Model X3513-64015 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
Technical Information 8 Technical Specification
Technical Specification
Tab. 1
Pumping speed N2 He H2 Ar
Max gas flow rate (N2):
Technical Specification
ISO 100/ CF 6" / ISO 160 / CF 8" 250 l/s 255 l/s 220 l/s 250 l/s
250 sccm
Note: value refer to water-cooling pump version with: · water temperature between 15°C and 20°C (non condensing, refer to Figure 13) · backing pump with pumping speed equal or above 5 m3/h
Compression ratio N2 He H2 Ar
Max foreline pressure tolerance N2
>1 1011 >1 108 1.5 106 > 1 1011
12 mbar
Note: foreline Tolerance defined as the pressure at which the turbopump still produces a compression of 100. For continuous operation, water cooling is recommended (water temperature between 15°C and 20°C).
Base pressure with recommended forepump
Inlet flange Foreline flange
1 x 10-10 mbar ( 1 x 10-10 Torr) (According to standard DIN 28 428, the base pressure is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after the completion of test dome bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended prevacuum pump)
CFF 8" O.D.
ISO 160
CFF 6" O.D.
ISO 100
KF16 NW (KF25 optional)
Max Rotation Speed
60600 rpm (1010 Hz driving frequency)
Start-up time Recommended forepump
Operating position
3 minutes (it can be longer in case of soft start active) Mechanical pump: DS102, DS302 Dry Pump: IDP-3 (no gas flow), IDP-7, IDP10 Any
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8 Technical Information Technical Specification
Operating ambient temperature Relative humidity of air Bakeout temperature
Lubricant Air cooling requirements Coolant water
Noise Pressure level
+5 °C to +35 °C
From graph in Figure 13 (non condensing) **
ISO flange: 75°C at inlet flange max CFF flange: 100°C at inlet flange max Note: Measure a point close to the sealing element. Permanent lubrication Natural convection (only with no gas load) Forced air (5- 35 °C ambient temperature) Minimum flow: 50 l/h (0.22 GPM) Temperature: +15 °C to +30 °C Max pressure: 5 bar (75 psi) 41 dB(A) at 1 meter
Note: mean values based on a significative sample (Ar and N2 compression ratio estimated); standard deviation per test: pumping speed: below ± 7%; noise pressure level: ± 10%" (only pump).
Installation category Pollution degree Storage temperature Weight kg (lbs): (*) Pump ISO 100 K Pump CFF 6'' Pump ISO 160 K Pump CFF 8'' Note: versions with water cooling kit
Pwr supply : Max input pwr: Pump stand-by average pwr: Pump max oper. pwr:
II 2 -40° C to +70° C
ISO 100 K CFF 6" ISO 160 K CFF 8"
5.84 (12.87) 8.16 (17.98) 6.28 (13.84) 10.43 (22.99)
300 VA 10 W 150 W
Max operating altitude
3000 m
The maximum magnetic field strengths allowed for Agilent turbo pumps are:
· 50 Gauss (5 mT) in the transveral direction · 100 Gauss (10 mT) in the axial direction
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Compliance with:
Technical Information 8 Technical Specification
EN 61010-1 EN 61326-1 EN 1012-2 EN 12100 EN 50581 Machinery Directive 2006/42/EC Electromagnetic Compatibility Directive 2014/30/EU Directive 2011/65/EU
NOTE
When the TwisTorr 305 FS has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the system has reached the above mentioned temperature before switch the TwisTorr 305 FS on.
**
Figure 13 Maximum allowed relative humidity as a function of the air temperature for each cooling-water temperature
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
TwisTorr 305 FS Outline
The following figures show the TwisTorr 305 FS (dimensions are in mm [inches]).
Figure 14 TwisTorr 305 FS ISO 100 (X3513-64008), + AIR COOLING KIT
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Technical Information 8 TwisTorr 305 FS Outline
Figure 15 TwisTorr 305 FS CFF6, (X3513-64009), + AIR COOLING KIT
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
Figure 16 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64010) + AIR COOLING KIT
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Technical Information 8 TwisTorr 305 FS Outline
Figure 17 TwisTorr 305 FS CFF8 (X3513-64011) + AIR COOLING KIT
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
Figure 18 TwisTorr 305 FS ISO 100K (X3513-64012)
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Technical Information 8 TwisTorr 305 FS Outline
Figure 19 TwisTorr 305 FS + CFF6 (X3513-64013) TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
Figure 20 TwisTorr 305 FS ISO 160K (X3513-64014)
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Technical Information 8 TwisTorr 305 FS Outline
Figure 21 TwisTorr 305 FS + CFF8 (X3513-64015) TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
Figure 22 Graph of Pumping Speed vs. Inlet Pressure for TwisTorr 305 FS pump
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Technical Information 8 TwisTorr 305 FS Outline
Figure 23 Graph of Compression ratio vs. Foreline Pressure for TwisTorr 305 FS pump
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8 Technical Information TwisTorr 305 FS Outline
Figure 24
Graph of Iso Flow-Iso Power for TwisTorr 305 FS with Nitrogen gas (water cooling version with water temperature in range 15°C-20°C, backing pump 11.6 m3/h)
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Technical Information 8 Interconnections
Interconnections
The following figure shows the TwisTorr 305 FS interconnections.
EARTH GROUND
CONTROLLER CONNECTOR
FORELINE
Figure 25
Earth (Ground) Connection
We recommend that you fit a separate earth (ground) conductor to the TwisTorr 305 FS. Use a separate insulated green/yellow conductor, and use a M5 x 10 screw and shake proof washer (fitted to the earth hole on the pump) to secure the earth conductor to the pump. The screw must be fixed with a 2 Nm torque. The impedance between the pump-body and the earth connection point must be < 0.1 .
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8 Technical Information Pump Operations
Pump Operations Inlet screen installation
Figure 26 Model 9699302 and 9699304
Figure 27 Model X3500-68000 and X3500-68001
Inlet screens help prevent damage to the blades by preventing foreign objects from entering the pump. The following part numbers belong to the corresponding flange: 9699302 (CFF 6'') 9699304 (CFF 8'') X3500-68000 (ISO 100) X3500-68001 (ISO 160)
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Technical Information 8 Inlet screen installation
Installing an inlet screen will reduce the pumping speed by the following amount:
Reduction in pumping speed (%)
Ar
N2
He
H2
X3500-68000 X3500-68001
20%
18%
7%
5%
The inlet screen is fitted in the upper part of the pump, as shown in the figure.
Figure 28 The screen can be mounted on each pump. The screen can be removed as shown in the following figure.
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8 Technical Information Inlet screen installation
Figure 29 The overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump do not change as the inlet screen remains integrated into the center-ring.
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Technical Information 8 Inlet screen installation
Air Cooling Kit Installation
Air cooling kits are available in order to improve the air cooling efficiency of the TwisTorr pump. The cooling kit have to be selected in accordance to the controller that has been selected to operate the pump (refer to Accessories and Spare Parts chapter). Fan specifications: air flow: 147 m3/h input voltage: 24 Vdc dimensions: 119 x 119 x 32 mm (4.7 x 4.7 x 1.3 in.) power: 2.6 W
Figure 30 The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump.
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8 Technical Information Inlet screen installation
To fix the fan to the TwisTorr 305 FS case execute the following procedure (see the following figure):
1 Fix the fan kit to the suitable bracket by means of the furnished screws 2 Fix the bracket to the pump body. 3 Connect the cooling fan connector to the appropriate supply port which is present
to the eletronic controller that drives the pump.
Figure 31 Mounting the fan on the bracket
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Technical Information 8 Water Cooling Kit Connection (only for water
cooling pumps)
Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps)
Two types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient.
The two model part numbers are: 9699337 (metallic model), and 9699347 (plastic model).
Figure 32 Model 9699337
Figure 33 Model 9699347 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information Water Cooling Kit Connection (only for water cooling pumps)
CAUTION! The items of the plastic model kit must be assembled as shown in the following figure.
Figure 34 The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended torque of 5 Nm. The metallic model is assembled as shown in the following figure.
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Figure 35
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
NOTE NOTE
Technical Information 8 Water Cooling Kit Connection (only for water
cooling pumps)
Two 6 mm (1/4") internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles.
These hoses must be held on the respective nozzles using clamps to avoid the tubes from becoming loose or disconnected during operation.
Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water, or using a closed circuit cooling system. The water temperature must be between +15 °C and +30 °C with a flow rate higher than 50 l/h (0.22 GPM). The max water inlet pressure must be lower than 5 bar.
The water electrical conductance must be 500 µs/cm. When the conductivity is higher, in closed water circuit, the use of up to 20 % of Ethyl-Glycole is recommended.
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8 Technical Information Vent Accessories
Vent Accessories
The vent valve and vent device enable an automatic vent operation. TwisTorr 305 FS compatible Vent Valve mod. 9699834 9699834M006 9699844 9699845 9699846 9699847.
Figure 36 Vent valve for Remote Controller
Figure 37 Vent valve for Onboard Controller
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Technical Information 8 Vent Accessories
This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec. This time can be increased up to about 220 min. by means of a setting of the controller software (optional). To install the vent valve, unscrew the threaded plug (see figure below).
Figure 38
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8 Technical Information Vent Accessories Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2.5 Nm.
Figure 39 The vent kit shown in the picture is the 9699834 CAUTION! Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump.
Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller.
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Technical Information 8 Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases
Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases
To prevent damage to the bearings, an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line. To supply the inert purge gas (e. g. nitrogen) to the pump through the purge port, connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump.
Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0.1 to 0.8 mbar l/s.
CAUTION!
To prevent bearing damage, Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of 10 sccm (0.17 mbar l/s). This value can be exceeded, according to the process requirements. Please contact Agilent for specific applications.
When a purge gas is used with the recommended forepump of 15 m3/h (8.82 CFM) a high vacuum pressure in the 10-8 mbar range can be achieved. The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the fore-vacuum pressure. The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points:
1 Close the corrosive gas flow into the system.
2 Leave the Turbo pump and the backing pump running and the purge gas flowing, wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system.
3 Turn off the Turbopump and the backing pump.
4 Open the Turbo vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system.
5 When the Turbo pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure, for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo pump, with the chamber or the Turbo vent valve open, to avoid system overpressures. If the vent valve can't be kept open, the backing pump should be left operating.
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8 Technical Information Pump Used with Corrosive and Oxidizing Gases
Figure 40 Purge layout 1 Purge gas line 2 Pressure regulator 3 Gas purge valve 4 Gas purge port 5 Forevacuum pump 6 Turbopump 7 Vent valve
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Technical Information 8 Purge Valve Installation
Purge Valve Installation
A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump. To install the gas purge valve it is necessary to switch off the pump and unscrew the purge port cover as shown in the following figure.
Figure 41 and then screw the gas purge valve (with a torque of 2.5 Nm) as shown in the following figure.
Figure 42 TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
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8 Technical Information Purge Valve Installation
Pump Used in Presence of Magnetic Fields
Function not applicable as there are electronic parts on the pump.
Vibration Isolator Installation
Four vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accessories. The four model part numbers are the following: model 9699344 for ISO 100 flange; model 9699345 for ISO 160 flange; model 9699334 for CFF 6" flange; model 9699335 for CFF 8" flange. They typically reduce the vibration transmitted from the TwisTorr 305 FS to the system by a factor of 20.
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Controller Operations
Please refer to the selected controller manual.
Technical Information 8 Controller Operations
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8 Technical Information Accessories and Spare Parts
Accessories and Spare Parts
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Tab. 2
Accessories and spare parts
DESCRIPTION
Air cooling kit (for onboard controller)
Air cooling kit for remote controller
Water Cooling Kit for Turbopump
Plastic Water Cooling Kit
Vent Valve N.O. 1, 2 mm (for onboard controller only)
Vent Valve N.O. 0,5 mm (for onboard controller only)
Inlet screen ISO 100
Inlet Screen CFF 6"
Inlet Screen ISO 160
Inlet Screen CFF 8"
KF25 Foreline Flange Assy
Vibration Isolator ISO 100
Vibration Isolator CFF 6"
Vibration Isolator ISO 160
Vibration Isolator CFF 8"
Purge valve 10 SCCM NW16KF - M12
Purge valve 10 SCCM ¼ Swagelock M12
Purge valve 20 SCCM NW16KF M12
Purge valve 20 SCCM ¼ Swagelock - M12
Purge valve 10 SCCM ¼ Swagelock - ¼ Swagelock
Purge valve 20 SCCM ¼ Swagelock - ¼ Swagelock
RS232 SERIAL to B/T Adapter
Active Gauges
Mains cable NEMA Plug, 3 m long
Mains cable EU Plug, 3 m long
Turbopump extension cable (for remote controller only)
Turbopump extension cable (for remote controller only)
PART NUMBER X3500-68010 X3500-68011 9699337 9699347 9699834 9699834M006 X3500-68000 9699302 X3500-68001 9699304 X3513-68000 9699344 9699334 9699345 9699335 9699239 9699240 9699241 9699242 9699232 9699236 X3514-68003 Ask Agilent for details 9699958 9699957 9699942M007 9699942M006
TwisTorr 305 FS User Manual / 87-901-057-01 (A.00)
NOTE
Technical Information 8 Accessories and Spare Parts
DESCRIPTION Turbopump extension cable (for remote controller only) Turbopump extension cable (for remote controller only) Turbopump extension cable (for remote controller only) Small TMP air cooling kit ext cable (5 m) Vent Valve Extension cable (5 m) Vent Valve N.O. 0,5 mm Orifice (for remote controller only) Vent Valve N.O. 1,2 mm Orifice (for remote controller only) Vent Valve N.C. 0,5 mm Orifice (for remote controller only) Vent Valve N.C. 1,2 mm Orifice (for remote controller only) 5 m Turbopump extension cable (for remote controller only) Mains Cable CHINA plug (3 m long)
PART NUMBER 9699942M005 9699942M004 9699942M015 9699940 9699941 9699844 9699845 9699847 9699846 9699949 8121-0723
The communication S/W between the controller and the pump (A-Plus) is available on the Agilent website:
https://www.agilent.com/en/products/vacuum-technologies/vacuum-leakdetection-software/a-plus-software
The connection is provided through serial communication or via RS232 SERIAL to B/T Adapter (X3514-68003).
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Vacuum Products Division
Dear Customer, Thank you for purchasing an Agilent vacuum product. At Agilent Vacuum Products
Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and/or service you have purchased.
As part of our Continuous Improvement effort, we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products. On the back side you find a Corrective Action request form that you may fill out in the first part and return to us.
This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner.
Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it. You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you, with the second part of the same form, on our actions.
Your business is very important to us. Please, take the time and let us know how we can improve.
Sincerely.
Giampaolo LEVI Vice President and General Manager Agilent Vacuum Products Division
Note: Fax or mail the Customer Request for Action (see backside page) to Agilent Vacuum Products Division (Torino) Quality Assurance or to your nearest Agilent representative for onward transmission to the same address.
TO: N°: ADDRESS:
E-MAIL:
NAME
CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE / PREVENTIVE / IMPROVEMENT ACTION
AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO QUALITY ASSURANCE FAX XXXX-011-9979350 AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S.p.A. Vacuum Products Division Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì (TO) Italy
vpd-qualityassurance_pdl-ext@agilent.com
COMPANY
FUNCTION
ADDRESS:
TEL. N° :
E-MAIL: PROBLEM / SUGGESTION :
FAX N° :
REFERENCE INFORMATION (model n°, serial n°, ordering information, time to failure after installation, etc.):
CORRECTIVE ACTION PLAN / ACTUATION (by AGILENT VPD)
DATE
LOG N°
XXX = Code for dialing Italy from your country (es. 01139 from USA; 00139 from Japan, etc.)
Vacuum Products Division Instructions for returning products
Dear Customer,
Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned.
Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies (see below), taking particular care to include the completed Health and Safety declaration Section. No work can be started on your unit until we receive a completed copy of this form. After evaluating the information, Agilent Technologies will provide you with a Return Authorization (RA) number via email or fax, as requested. Note: Depending on the type of return, a Purchase Order may be required at the time the Request for Return is submitted. We will quote any necessary services (evaluation, repair, special cleaning, eg).
Product preparation o Remove all accessories from the core product (e.g. inlet screens, vent valves). o Prior to shipment and if applicable for your product, drain any oils or other liquids, purge or flush all gasses, and
wipe off any excess residue. o If ordering an Advance Exchange product, please use the packaging from the Advance Exchange to return the
defective product. o Seal the product in a plastic bag, and package product carefully to avoid damage in transit. You are responsible
for loss or damage in transit. o Include a copy of the Health and Safety Declaration in the shipping documentation on the outside of the shipping
box of your returning product. o Clearly label package with RA number. Using the shipping label provided will ensure the proper address and RA
number are on the package. Packages shipped to Agilent without a RA clearly written on the outside cannot be accepted and will be returned. o Return only products for which the RA was issued.
Shipping o Ship to the location specified on the printable label, which will be sent, along with the RA number, as soon as
we have received all of the required information. Customer is responsible for freight charges on returning product. o Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations (IATA, DOT, ADR, etc.) and carrier requirements.
RETURN THE COMPLETED REQUEST FOR RETURN FORM TO YOUR NEAREST LOCATION:
EUROPE:
Fax: Fax Free: Toll Free:
00 39 011 9979 330 00 800 345 345 00 00 800 234 234 00
vpt-customercare@agilent.com
NORTH AMERICA:
Fax:
1 781 860 9252
Toll Free: 800 882 7426, Option 3
vpl-ra@agilent.com
PACIFIC RIM:
Please visit our website for individual office information http://www.agilent.com
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Agilent VPD Request for Return
Vacuum Products Division Terms and conditions
TERMS AND CONDITIONS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale.
o Unless otherwise pre-negotiated, customer is responsible for the freight charges for the returning product. Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations (IATA, DOT, etc.) and carrier requirements.
o Agilent Technologies is not responsible for returning customer provided packaging or containers. o Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the defective, rebuildable part to Agilent
Technologies within 15 business days. Failure to do so, or returning a non-rebuildable part (crashed), will result in an invoice for the non-returned/non-rebuildable part. o Returns for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee. Please reference the original purchase order number. o Units returned for evaluation will be evaluated, and a quote for repair will be issued. If you choose to have the unit repaired, the cost of the evaluation will be deducted from the final repair pricing. A Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of quotation date. Units without a Purchase Order for repair will be returned to the customer, and the evaluation fee will be invoiced. o Products returned that have not been drained from oil will be disposed. o A Special Cleaning fee will apply to all exposed products. o If requesting a calibration service, units must be functionally capable of being calibrated.
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Agilent VPD Request for Return
Customer information Company : Address:
Equipment Product description
Failure description
Vacuum Products Division Request for Return Form
Contact Name:
Tel:
Fax:
Email:
Agilent PartNo
Agilent Serial No
Original Purchasing Reference
Type of process (for which the equipment was used)
Type of return
Non Billable Billable
Exchange
Repair
New PO # (hard copy must be submitted with this form): ______________________________________
Upgrade Demo
Calibration Evaluation
Return for Credit
Health and safety
The product has been exposed to the following substances:
(by selecting `YES' you MUST complete the table to the right)
Toxic Harmful Corrosive Reactive Flammable Explosive (*) Radioactive (*) Biological (*) Oxidizing Sensitizer Other dangerous substances
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
YES
NO
Substances (please refer to MSDS forms)
* Agilent will not accept delivery of any product that is exposed to radioactive, biological,
explosive substances or dioxins, PCB's without written evidence of decontamination.
Trade name
Chemical name
Chemical Symbol
CAS Number
Goods preparation
If you have replied YES to one of the above questions. Has the product been purged? If yes, which cleaning agent/method:
YES NO
Has the product been drained from oil? I confirm to place this declaration on the outside of the shipping box.
YES NOT APPLICABLE
I declare that the above information is true and complete to the best of my knowledge and belief. I understand and agree to the terms and conditions on page 2 of this document.
Name:
Authorized Signature:
Position:
Date:
NOTE: If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
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Agilent VPD Request for Return
United States Agilent Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington, MA 02421 - USA Ph. +1 781 861 7200 Fax: +1 781 860 5437 Toll-Free: +1 800 882 7426 vpl-customercare@agilent.com
Netherlands Agilent Technologies Netherlands B.V. Customer Contact Center Laan van Langerhuize 1, toren A-8 1186 DS Amstelveen Tel. +31 020 547 2600 Fax +31 020 654 5748 customercare_netherlands@agilent.com
Belgium Agilent Technologies Belgium S.A./N.V. Customer Contact Center Pegasus Park De Kleetlaan 12A bus 12 B-1831 Diegem Tel. +32 2 404 92 22 Fax +32 2 626 46 30 customercare_belgium@agilent.com
Brazil Agilent Technologies Brasil Avenida Marcos Penteado de Ulhoa Rodrigues, 939 - 6° andar Castelo Branco Office Park Torre Jacarandá - Tamboré Barueri, Sao Paulo CEP: 06460-040 Toll free: 0800 728 1405
China Agilent Technologies (China) Co. Ltd No.3, Wang Jing Bei Lu, Chao Yang District Beijing, 100102, China Tel: +86 (0)10 64397888 Fax: +86 (0)10 64392765 Toll free: 400 8206778 (mobile) Toll free: 800 8206778 (landline) vacuum.cnmarketing@agilent.com vpc-customerservice@agilent.com
France Agilent Technologies Parc Technopolis - Z.A. de Courtaboeuf 3, avenue du Canada - CS 90263 91978 Les Ulis cedex, France Tel: +33 (0) 1 64 53 61 15 Fax: +33 (0) 1 64 53 50 01 vpf.sales@agilent.com
Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Unit 201, Level 2 uptown 2, 2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya, Selangor, Malaysia Ph. +603 7712 6181 Fax: +603 7727 1239 Toll free: 1 800 880 805 vps-customerservice@agilent.com
Agilent RequestforReturnForm Vacuum Products Division/Sales and Service Offices
India (Sales) Agilent Technologies India Pvt. Ltd. Unit Nos 110- 116, & Part of 101 & 109 First Floor, Splendor Forum, Plot No.-3 , District Centre, Jasola New Delhi-110025 Ph. +91 11 4623 7100 Fax: +91 4623 7105 Toll Free: 1 800 180 1517
India (Service) Agilent Technologies India Pvt. Ltd. C-Block, RMZ Centennial Plot Number- 8A, 8B, 8C, 8D, Doddanakundi Industrial Area, ITPL Road, Mahadevapura Post, Bangalore- 560048 Ph. +91 80 40614000 Fax: +91 80 40148991
Italy Agilent Technologies Italia S.p.A. Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) - Italy Tel: +39 011 9979 111 Fax: +39 011 9979 350 Toll free: 00 800 234 234 00 vpt-customerservice@agilent.com
Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited No. 20 Gao-shuang Road, Ping-zhen Dist Tao-Yuan City 32450 Taiwan, R.O.C. Tel: +886 3 4959004 Toll free: 0800 018 768 vpw-customerservice@agilent.com
Japan Agilent Technologies Japan, Ltd. 9-1 Takakura-cho Hachioji-city, Tokyo, Japan Tel.: +81- 3-5232-1253 Fax: +81-120-565-154 Toll-Free: +81-120-477-111 jp-vvt-sales.pdl-ext@agilent.com
Germany and Austria Agilent Technologies Sales & Services GmbH & Co. KG Lyoner Str. 20 60 528 Frankfurt am Main GERMANY Tel: +49 69 6773 43 2230 Fax: +49 69 6773 43 2250
Singapore Agilent Technologies Singapore Pte. Ltd, 1 Yishun Avenue 7, Singapore 768923 Tel : (65) 6215 8045 Fax : (65) 6754 0574 Toll free: 1 800 2762622 vps-customerservice@agilent.com
Korea Agilent Technologies Korea, Ltd. Ilshin Builiding 4F Yongsan-gu Hannam-daero Seoul Korea 04418 Tel: +82 (0)2 2194 9449 Fax: +82 (0)2 2194 9853 Toll free: 080 222 2452 vpk-customerservice@agilent.com
Mexico Agilent Technologies Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C.P. 03100 Mexico, D.F. Tel.: +52 5 523 9465 Fax: +52 5 523 9472
Other Countries Agilent Technologies Italia S.p.A. Via F.lli Varian, 54 10040 Leini, (Torino) - Italy Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350 Toll-Free: 00 800 234 234 00 vpt-customercare@agilent.com
UK and Ireland Agilent Technologies LDA UK Limited Lakeside Cheadle Royal Business Park Cheadle, Cheshire SK8 3GR, United Kingdom Ph. +44 01865291570 Fax +44 01865291571 Toll free: 00 800 234 234 00 Toll free fax: 00 800 345 345 00 vpt-customercare@agilent.com
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