INFORMAZIONI GENERALI Mini Task
User Manual: mini-task
Open the PDF directly: View PDF 
.
Page Count: 73
| Download | |
| Open PDF In Browser | View PDF |
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
Mini-TASK
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
Model 969-9170
Model 969-9171
Model 969-9172
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
87-900-962-01(A)
OCTOBER 2004
INSTRUCTION MANUAL
Mini-TASK
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4
MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................7
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................10
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................13
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................16
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................19
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................22
BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................25
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................28
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................31
HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................34
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................37
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................40
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................43
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................46
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................49
TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................52
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK ...........................................................................................52
Turbopump Description .....................................................................................................52
Controller Description ........................................................................................................53
Diaphragm Forepump Description.....................................................................................53
Control Panel Description ..................................................................................................53
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................53
MINI-TASK OUTLINE ..................................................................................................................54
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................56
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................56
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................56
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................57
INTERCONNECTIONS................................................................................................................58
Input power connector (Line type) .....................................................................................58
P3 - Vent ............................................................................................................................58
P5 – External fan ...............................................................................................................58
J5 - IN-OUT........................................................................................................................58
Signal description ..............................................................................................................58
J6 - Serial...........................................................................................................................61
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................61
Communication Format .....................................................................................................61
Communication Protocol....................................................................................................61
Window Meanings .............................................................................................................63
USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS.............................................................................65
ORDERABLE PARTS ..................................................................................................................65
ISTRUZIONI PER L'USO
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una
rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
1
87-900-962-01(A)
ISTRUZIONI PER L'USO
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK e a non sottoporlo
ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il Mini-TASK è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (75000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Il Mini-TASK è totalmente
privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni
che richiedono un vuoto "pulito".
Il Mini-TASK ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è
possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto
tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA
Il Mini-TASK non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
!ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
INSTALLAZIONE
NOTA
!ATTENZIONE!
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità
delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate
le seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
!ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni
informazione, si prega di contattare il locale rappresentante
della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Il Mini-TASK viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
2
87-900-962-01(A)
ISTRUZIONI PER L'USO
Il Mini-TASK può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il Mini-TASK in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,
il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.
FLANGIA
ISO 63
TIPO DI
MORSETTO
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M8
4
COPPIA DI
SERRAGGIO
22 Nm
4
11 Nm
N.
Accensione ed Uso del Mini-TASK
Per accendere il Mini-TASK è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno
(luce rossa accesa). Il controller incorporato riconosce
automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la
pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di
attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al
paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical
Information".
Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del Mini-TASK
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni
operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
“Waiting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
NOTA
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del
Mini-TASK vedere l'appendice "Technical Information".
Il Mini-TASK non può essere fissato tramite la sua base.
Arresto del Mini-TASK
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
Per arrestare il Mini-TASK è sufficiente mettere in posizione
OFF l'interruttore esterno (luce rossa spenta). Il controller
incorporato arresta immediatamente la pompa.
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini-TASK occorre
staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare
l'interruttore esterno in posizione OFF.
MANUTENZIONE
Il Mini-TASK non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian.
!ATTENZIONE!
NOTA
Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è
in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è
indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite
la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo
del sistema prima della spedizione.
!ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
3
87-900-962-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
4
87-900-962-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
VOR DER INSTALLATION
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung. Modell Mini-TASK ist ein integriertes System,
das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden
Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet
sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen
Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen
oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine (max. 75.000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Modell Mini-TASK
enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich
deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum
erfordern. Modell Mini-TASK verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die
Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind
alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte
technische Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
Modell Mini-TASK wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Modell Mini-TASK ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
HINWEIS
!ACHTUNG!
Modell Mini-TASK kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
INSTALLATION
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
!ACHTUNG!
LAGERUNG
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß
der Turbopumpe an das System abnehmen.
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
5
87-900-962-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Mini-TASK kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Mini-TASK ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50
Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schellenarten angegeben.
FLANSCH
ISO 63
KLEMMSCHELLE
ANZ.
Doppelschelle mit 4
Gewinde M10
Einzelschelle mit 4
Gewinde M8
Zur Einschaltung des Mini-TASK ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen
(rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Controller
erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die
Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Information", nachschlagen.
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Mini-TASK
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
ANZUGSMOMENT
22 Nm
-
11 Nm
-
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
-
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des MiniTASK siehe im Anhang "Technical Information".
HINWEIS
Stoppen von Modell Mini-TASK
Modell Mini-TASK kann nicht mittels seines Sockels befestigt
werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
Zur Stillsetzung des Mini-TASK ist der externe Schalter auf die
Schaltstellung OFF zu schalten (rote Kontrollleuchte ausgeschaltet). Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen
Pumpenstopp.
GEBRAUCH
Not-Aus
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Zur Notstillsetzung des Mini-TASK ist der Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
WARTUNG
Modell Mini-TASK erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe
dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
GEFAHR!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Bei Defekten kann der Varian Service.
HINWEIS
!ACHTUNG!
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden könnten.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
!ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
6
87-900-962-01(A)
MODE D’EMPLOI
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
7
87-900-962-01(A)
MODE D’EMPLOI
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le Mini-TASK est
un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire
conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et
dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le système est
à même de pomper tous les types de gaz et de composés
gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de
particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une
turbine tournant à vitesse élevée (75000 tr/min max.), mue par
un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le Mini-TASK
est totalement exempt d'agents polluants et il est par
conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un
vide "propre". Le Mini-TASK est en outre doté de connecteurs
auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation,
de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté
par ligne sérielle. Les paragraphes suivants fournissent toutes
les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur
pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus
détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants :
! ATTENTION !
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
DANGER!
NOTE
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
Le Mini-TASK ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
! ATTENTION !
INSTALLATION
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
! ATTENTION !
NOTE
Les notes contiennent
extrapolés du texte.
des
renseignements
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
importants,
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de
respecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes :
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la
poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes :
- pression max.: 2 bars au-delà de la pression
atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre
renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information".
Le Mini-TASK peut être installée dans n'importe quelle position.
Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de
la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un
couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le Mini-TASK est livré dans un emballage de protection spécial; en
cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit
pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le Mini-TASK et à ne
lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
8
87-900-962-01(A)
MODE D’EMPLOI
Mise en marche et utilisation du Mini-TASK
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
BRIDE
ISO 63
TYPE DE
COLLIER
Collier double
à filet M10
Collier simple
à filet M8
N.
4
COUPLE DE
SERRAGE
22 Nm
4
11 Nm
Pour allumer le Mini-TASK, il suffit de le brancher au réseau et
de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière rouge
allumée). Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la
présence de l'alimentation et met la pompe en marche.
Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter
le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur ; pour les
démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode
"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft
Start", se référer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION" dans
le chapitre "Technical Information".
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du MiniTASK indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions
opérationnelles du système :
- allumée fixe : la pompe est en rotation normale ;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
- clignote rapidement (période d'environ 200 ms) : condition
d'erreur.
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
NOTE
Le Mini-TASK ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du MiniTASK, consulter l'appendice "Technical Information".
UTILISATION
Arrêt du Mini-TASK
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
Pour arrêter le Mini-TASK, il suffit de placer l'interrupteur
extérieur sur OFF (lumière rouge éteinte). Le contrôleur
incorporé arrête immédiatement la pompe.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le Mini-TASK en condition d'urgence, débrancher
le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur
extérieur sur OFF.
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
ENTRETIEN
Le Mini-TASK n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
! ATTENTION!
Éviter tout choc ou déplacement brusques de la turbopompe
lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les
paliers
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian.
! ATTENTION !
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,
remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la
fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel
d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
NOTE
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
9
87-900-962-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
10
87-900-962-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el Mini-TASK y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El Mini-TASK es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (75000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Mini-TASK no posee
absolutamente ningún agente contaminante, por lo que es
adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el Mini-TASK posee conectores auxiliares con los
que se puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a
distancia mediante un ordenador host conectado a través de
línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
!
¡ATENCIÓN!
NOTA
El Mini-TASK no puede dañarse permaneciendo simplemente
expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja
mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación
en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
INSTALACIÓN
!
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
!
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Mini-TASK se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas adecuadas. Para más detalles
véase por favor el anexo “Technical Information”.
11
87-900-962-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
El Mini-TASK puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el Mini-TASK en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de
resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
sencillas. La tabla siguiente describe, por cada tipo de
mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de
apriete apretarlas.
BRIDA
ISO 63
TIPO DE
MORDAZA
Mordaza doble con
rosca M10
Mordaza sencilla con
rosca M8
N.
4
PAR DE
APRIETE
22 Nm
4
11 Nm
Encendido y Uso del Mini-TASK
Para encender el Mini-TASK basta conectar la tensión de
alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz
roja encendida). El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de la alimentación y pone en
marcha la bomba.
Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad
"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las
sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad
"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la
modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”
del capítulo “Technical Information”.
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del Mini-TASK
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones
operativas del sistema:
− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
− parpadea
lentamente
(período
de
400
ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
− parpadea
rápidamente
(período
de
200
ms
aproximadamente): situación de error.
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
Una descripción detallada del panel de control del Mini-TASK
aparece en el apéndice "Technical Information".
NOTA
El Mini-TASK no puede fijarse utilizando su base.
Parada del Mini-TASK
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
Para detener el Mini-TASK basta disponer el interruptor externo
en posición OFF (luz roja apagada). El controlador incorporado
detiene inmediatamente la bomba.
USO
Parada de Emergencia
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el
funcionamiento del Mini-TASK, se deberá desenchufar el cable
de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor
externo en posición OFF.
MANTENIMIENTO
¡PELIGRO!
El Mini-TASK no necesita ningún mantenimiento. Toda
intervención deberá ser realizada por personal autorizado.
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la
brida de cierre.
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
!
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian.
¡ATENCIÓN!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar.
!
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es
imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente
manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá
introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
¡ATENCIÓN!
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de
polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de
entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2
bares (por encima de la presión atmosférica).
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema,
desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en
presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar
hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura
superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando
haya gases explosivos.
12
87-900-962-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
13
87-900-962-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
INFORMAÇÕES GERAIS
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O Mini-TASK é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba
primária.
O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de
composto gasoso, mas não é apropriado para bombear
líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (75000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O Mini-TASK é totalmente
isento de agentes contaminadores e, portanto, é adequado
para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o Mini-TASK tem conectores auxiliares através dos
quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por
um controlo remoto através de um computer host conectado
por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos estão
descritas todas as informações necessárias para garantir a
segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
O Mini-TASK é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o Mini-TASK e para não submetê-lo a choques
ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
"
ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
"
ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
Mini-TASK não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
INSTALAÇÃO
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
"
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
"ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
14
87-900-962-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
Mini-TASK pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a
aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o
número de grampos e o torque de aperto necessários.
FLANGE
ISO 63
TIPO DE GRAMPO
N.
TORQUE DE
APERTO
Grampo duplo
com rosca M10
Grampo simples
com rosca M8
4
22 Nm
4
11 Nm
Acendimento e Utilização do Mini-TASK
Para ligar o Mini-TASK é suficiente conectá-lo à rede de
alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON
(luz vermelha acesa). O controller incorporado detecta
automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.
Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável
utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do
controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a
modalidade "Soft Start". Para o procedimento de ativação da
modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo
“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do MiniTASK, indica, através da frequência de intermitência, as
condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando
do Mini-TASK, consultar o apêndice "Technical Information".
NOTA
Paragem do Mini-TASK
O Mini-TASK não pode ser fixado por intermédio da sua própria
base.
Para a instalação dos
"Technical Information".
acessórios
opcionais,
Para parar o Mini-TASK é suficiente colocar o interruptor
exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller
incorporado pára imediatamente a bomba.
consultar
Paragem de Emergência
Para parar em condições de emergência o Mini-TASK é
necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede
de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição
OFF.
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
MANUTENÇÃO
O Mini-TASK não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian.
NOTA
"ATENÇÃO!
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de
vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente
manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.
"ATENÇÃO!
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
15
87-900-962-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
16
87-900-962-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK niet kan vallen
en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving. De Mini-TASK is een
geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor
hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp
bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of
gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect
wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max.
75.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De MiniTASK is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook
geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen. De Mini-TASK is bovendien van hulpconnectors
voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden
aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel
aangesloten host computer op afstand kan worden bediend.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information.
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
!ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
OPMERKING
De Mini-TASK
kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang
deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele
vervuiling door stof wordt voorkomen.
!ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
INSTALLATIE
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
!ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Mini-TASK wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
17
87-900-962-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De Mini-TASK moet op een primaire pomp aangesloten zijn
(zie schema in "Technical information").
De Mini-TASK kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Mini-TASK in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype,
het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee
ze vastgezet moeten worden.
FLENS
ISO 63
KLEMTYPE
NR.
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
Enkelvoudige
klem
met M8 schroefdraad
4
AANHAALKOPPEL
22 Nm
4
11 Nm
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de Mini-TASK
Om de Mini-TASK in te schakelen is het voldoende om
voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
stand ON te zetten (rood lichtje brandt). De ingebouwde
controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en
start de pomp.
Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de "Soft Start"
modaliteit te gebruiken, door deze op de controller te activeren.
Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de
"Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de
"Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het
hoofdstuk "Technical Information".
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de MiniTASKgeeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De Mini-TASK kan niet met behulp van zijn eigen basis worden
bevestigd.
Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het
bedieningspaneel van de Mini-TASK de bijlage "Technical
Information".
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
Afzetten van de Mini-TASK
GEBRUIK
Om de Mini-TASK uit te schakelen is het voldoende om de
externe schakelaar in de stand OFF te zetten (rode lichtje uit).
De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
Noodstop
Om de Mini-TASK onder noodomstandigheden uit te
schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden
gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden
gezet.
GEVAAR!
ONDERHOUD
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is.
De Mini-TASK is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
! ATTENTIE!
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian.
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. Hierdoor kunnen de lagers namelijk
schade oplopen.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor
worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór
versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
! ATTENTIE!
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
18
87-900-962-01(A)
BRUGSANVISNING
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
19
87-900-962-01(A)
BRUGSANVISNING
GENEREL INFORMATION
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
Mini-TASK systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til høje
eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og
hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som
helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan
ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(75000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk
trefasemotor med høj effekt. Mini-TASK er ikke fremstillet af
skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver
“rent” vakuum.
Mini-TASK har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at styre
ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en
værtscomputer gennem seriel forbindelse.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er
nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i
forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk
Information” indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker :
Mini-TASK leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt
den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader,
der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at Mini-TASK ikke tabes eller udsættes for stød ved
udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
!VIGTIGT!
BEMÆRK
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade Mini-TASK. Det
anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil
den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i
pumpen.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
INSTALLATION
OPBEVARING
!VIGTIGT!
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
!VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
20
87-900-962-01(A)
BRUGSANVISNING
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger. Mini-TASK kan installeres i en hvilken
som helst position. Fastgør Mini-TASK i en stabil position ved
at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange,
der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen.
Turbopumpen
med
ISO-indløbsflange
skal
tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig klemmetypen.
FLANGE
ISO 63
KLEMMETYPE
ANT.
Dobbelt klemme med
M10 gevind
Enkelt klemme med
M8 gevind
4
DREJNINGSMOMENT
22 Nm
4
11 Nm
Start og anvendelse af Mini-TASK
Tænding af Mini-TASK sker ved blot at tilslutte strømmen og
indstille den udvendige afbryder i position ON (rød kontrollampe
tændt). Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt
tilslutningen, og pumpen startes.
Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette
sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det
anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse
med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til
tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal
Description” i kapitlet “Technical Information”.
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på MiniTASK’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i MiniTASK henvises til bilaget "Teknisk information".
BEMÆRK
Stop af Mini-TASK
Mini-TASK kan ikke fastgøres i fundamentet.
Afbrydelse af Mini-TASK sker ved blot at indstille den
udvendige afbryder i position OFF (rød kontrollampe slukket).
Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
Nødstop
Nødstop af Mini-TASK sker ved at fjerne strømkablet fra
stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position
OFF.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
VEDLIGEHOLDELSE
Mini-TASK behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
ADVARSEL!
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted.
BEMÆRK
!VIGTIGT!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Dette kan beskadige lejerne.
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal
“Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne
instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal
indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
!VIGTIGT!
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk).
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
21
87-900-962-01(A)
BRUKSANVISNING
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
22
87-900-962-01(A)
BRUKSANVISNING
ALLMÄN INFORMATION
! VIKTIGT!
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet Mini-TASK består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och
en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla
typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet
för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
75000 varv/minut) som drivs av en elektrisk trefas
högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Mini-TASK, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
Mini-TASK har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt att
kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp
av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
OBSERVERA
Normal påverkan från atmosfären kan inte skada Mini-TASK.
Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den
har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in
damm eller annat i den.
! VIKTIGT!
INSTALLATION
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå.
! VIKTIGT!
OBSERVERA
Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
! VIKTIGT !
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Mini-TASK levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att Mini-TASK inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. Mini-TASK måste anslutas till en huvudpump (se
schemat i "Technical information").
Mini-TASK kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
23
87-900-962-01(A)
BRUKSANVISNING
Start och användning av Mini-TASK
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
ska
fästas
vid
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar,
nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
Mini-TASK-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.
Starta Mini-TASK genom att slå till strömmen och placera den
externa brytaren i läge ON (den röda kontrollampan tänds).
Den
inbyggda
styrenheten
känner
automatiskt
av
strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Vid den första starten rekommenderas det att aktivera
funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande
starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft
Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi
till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical
Information”.
Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av Mini-TASK anger,
genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:
- fast sken: pumpen roterar normalt;
- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for
interlock”;
- hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Installation av
Information".
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning
av kontrollpanelen för Mini-TASK.
FLÄNS
ISO 63
TYP AV KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
Dubbel klammer, gänga
M10
Enkel klammer, gänga
M8
4
22 Nm
4
11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
OBSERVERA
tillbehörsutrustning
beskrivs
i
"Technical
Att stänga av Mini-TASK
ANVÄNDNING
Stäng av Mini-TASK genom att placera den externa brytaren i
läge OFF (den röda kontrollampan slocknar). Den inbyggda
styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
Nödstopp
Stäng av Mini-TASK vid en nödsituation genom att dra ut
elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa
brytaren i läge OFF.
VARNING!
UNDERHÅLL
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
Mini-TASK är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av
auktoriserad personal.
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några
uppvärmningen för att undvika brännskador.
tillbehör
under
! VIKTIGT!
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad.
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
OBSERVERA
! VIKTIGT!
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga
dessutom en kopia av bladet med systemet.
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i
närheten av explosiva gaser.
24
87-900-962-01(A)
BRUKERVEILEDNING
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylær Pumper
Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
25
87-900-962-01(A)
BRUKERVEILEDNING
GENERELL INFORMASJON
!FORSIKTIG!
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Mini-TASK systemet består av en turbo-molekulær pumpe for
bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og en
hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller
gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller
faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 75000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Mini-TASK har ingen
forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov
for "rene" vakuum.
Mini-TASK har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for
styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en
serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
ADVARSEL!
MERK
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge MiniTASK. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
!FORSIKTIG!
INSTALLASJON
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
!FORSIKTIG!
MERK
Tapen og beskyttelsesproppen
turbopumpen koples til systemet.
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
skal
fjernes
først
når
LAGRING
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
!FORSIKTIG!
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Mini-TASK må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk
informasjon").
Mini-TASK kan monteres i en valgfri stilling. Fest Mini-TASK i
en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast
koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen.
Mini-TASK leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Mini-TASK pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
26
87-900-962-01(A)
BRUKERVEILEDNING
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
FLENS
ISO 63
TYPE KLEMME
Dobbel klemme,
gjenge M10
Enkel klemme,
gjenge M8
ANT.
4
STRAMMEMOMENT
22 Nm
4
11 Nm
Starte og bruke Mini-TASK
For å slå på Mini-TASK er det nok å kople til strømmen og
dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den
innebygde
styreenheten
detekterer
strømforsyningen
automatisk, og sørger for å starte pumpen.
Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen
på styreenheten. For følgende starter anbefales det å
deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople
inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical
Information” under paragrafen “Signal Description”.
Den grønne lysdioden LD1 på Mini-TASK basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
MERK
Mini-TASK må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon
informasjon".
av
Se vedlegget "Teknisk informasjon" for en detaljert beskrivelse
av Mini-TASKs kontrollpanel.
tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
Stoppe Mini-TASK
For å stoppe Mini-TASK er det nok å dreie den utvendige
bryteren til OFF (rødt lys slukkes). Den innebygde styreenheten
stanser pumpen umiddelbart.
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
Nødstopp
For å stoppe Mini-TASK i en nødsituasjon er det nødvendig å
trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den
utvendige bryteren til OFF.
ADVARSEL!
VEDLIKEHOLD
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Mini-TASK er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun
utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
!FORSIKTIG!
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians.
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Dette kan føre til at lagrene skades.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det
vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til
det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges
systemet som sendes tilbake.
!FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
27
87-900-962-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
28
87-900-962-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
YLEISIÄ TIETOJA
"HUOMIO!
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä
tai
osittaisesta
laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista
toimenpiteistä
tai
kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Mini-TASK on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla
ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean
ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee
pumppaamaan
kaiken
tyyppisiä
kaasuja
tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (75000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Mini-TASK järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu
myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Mini-TASK -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden
avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
Mini-TASK ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa
(auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se
asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen
pölysaastuminen.
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
ASENNUS
"HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi
turbopumppu kytketään järjestelmään.
"HUOMIO!
vasta,
kun
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - 70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C.
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
"HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta.
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”
-liitteestä.
Mini-TASK voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä
Mini-TASK tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä
sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n
momentin oman akselinsa ympäri.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Mini-TASK toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli
siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita,
ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti MiniTASK:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EYdirektiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
29
87-900-962-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
Turbopumppu
ISO-sisääntulolaipalla
tulee
kiinnittää
tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden
vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
LAIPPA
ISO 63
KIINNIKE
MÄÄRÄ
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys M8
4
KIRISTYSMOMENTTI
22 Nm
4
11 Nm
Mini-TASK:n käynnistys ja käyttö
Käynnistä Mini-TASK kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla
ulkokatkaisin
ON-asentoon
(punainen
valo
syttyy).
Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran
ja käynnistää pumpun.
Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa
käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal
Description” kappaleessa “Technical Information”.
Vihreä LED LD1, joka sijaitsee Mini-TASK:n perustan
paneelissa,
osoittaa
vilkkumistiheydellään
järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
HUOM
Mini-TASK:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta.
Ks. Mini-TASKin ohjaustaulun
liitteestä "Tekniset tiedot".
Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
KÄYTTÖ
yksityiskohtainen
kuvaus
Mini-TASK:n pysäyttäminen
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
Pysäytä Mini-TASK asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon
(punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää
pumpun välittömästi.
Hätäpysäytys
Hätätilassa pysäytä Mini-TASK irrottamalla sähköjohto
pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
HUOLTO
Mini-TASK ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet
tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
"HUOMIO!
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua.
"HUOMIO!
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa
ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi).
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle
alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine).
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
VAARA!
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
30
87-900-962-01(A)
ODHGIES CRHSHS
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα
µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος
για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα / επαγωγέα ή ακόµη και σε
περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
31
87-900-962-01(A)
ODHGIES CRHSHS
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den
f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn
odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou
proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den
sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To Mini-TASK e∂nai ◊na
oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apè m∂a strobilomoriakÿ
antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ kenoÚ,
oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktÿ (controller) kai apè thn
prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlÿsei
opoiodÿpote e∂doj aer∂ou ÿ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (75000 str.§lept. max.)
kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè hlektrikè kinhtÿra uyhlèn
epidèsewn. To Mini-TASK stere∂tai pantelèj rupantikèn
paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè.
To Mini-TASK ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetÿrej diam◊sou twn
opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h
kaqodÿghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host
sundem◊nou m◊sw seiriakÿj grammÿj.
Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
("Technical Information")
Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj
èrouj¿
!PROSOCH
Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenè.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a.
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
SHMEIWSH
To Mini-TASK Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj
ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na
diathre∂te kleistÿ thn antl∂a m◊cri th stigmÿ thj egkat£stashj
sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè
skènh.
! PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuÿ.
EGKATASTASH
! PROSOCH
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apè to ke∂meno.
Xekollÿste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki
mèno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
APOQHKEUSH
Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai
axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na
throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j
sunqÿkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C
• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10
mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.
H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,
p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj èpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akèlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikÿ p∂esh
qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissèterej leptom◊reiej.
To Mini-TASKpr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa
antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To MiniTASK mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Stereèste to
Mini-TASK se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisèdou thj
tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ kèntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei
se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè ton £xon£ thj.
! PROSOCH
E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete
me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To Mini-TASK promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafÿ me to topikè tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Mini-TASK
kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
32
87-900-962-01(A)
ODHGIES CRHSHS
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh
tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto
ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na
sfictoÚn.
FLANTZA
EIDOS DAGKANHS
ISO 63
Diplÿ
el∂kwsh
Monÿ
el∂kwsh
dagk£nh
M10
dagk£nh
M8
N.
me 4
ZEUGOS
BIDWMATOS
22 Nm
me 4
11 Nm
/Enaush kai Crÿsh tou Mini-TASK
Για το άναµµα του Mini-TASK αρκεί να παρέχετε την τάση
τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη
(ανάβει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj elegktÿj anagnwr∂zei
autom£twj thn parous∂a thj trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh
thn antl∂a.
Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start"
ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις
συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη
διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε
στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο
κεφάλαιο "Τechnical Information".
To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj
tou Mini-TASK endeiknÚei, me th sucnèthta pou anabosbÿnei, tij
epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ:
- anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai
se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ "Waiting
for interlock".
- anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqÿkh.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
SHMEIWSH
To Mini-TASK den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
CRHSH
Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του Mini-TASK
βλέπε την προσθήκη "Technical Information".
Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
Stam£thma tou Mini-TASK
Για την κράτηση του Mini-TASK αρκεί να θέσετε στη θέση OFF τον
εξωτερικό διακόπτη (σβήνει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj
elegktÿj stamat£ am◊swj thn antl∂a.
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
KINDUNOS!
Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του Mini-TASK
χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα του
ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό διακόπτη στη
θέση OFF.
Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisèdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
SUNTHRHSH
To Mini-TASK de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote
ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apè eidikeum◊no proswpikè.
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
!PROSOCH
Na apofeÚgontai ctupÿmata ÿ apètomej metakinÿseij thj
tourmpoantl∂aj ètan e∂nai se leitourg∂a. Qa mporoÚsan na
dhmiourghqoÚn bl£bej sta roulem£n.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian.
!PROSOCH
Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste
adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c.
vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ
prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn
atmosfairikhv pivesh).
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei
tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ,
enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto
topikè Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø
sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou
entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin
apè thn apostolÿ.
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
33
87-900-962-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
34
87-900-962-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A Mini-Task egy integrált rendszer turbómolekuláris szivattyúval
nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő
vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 75000 fordulat/perc)
biztosítja. A Mini-TASK szennyezőanyagoktól mentes, és ezért
alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A Mini-TASK fel van szerelve segédcsatlakozókkal a ventillátor
szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell vezérelni
soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
!FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
Mini-TASK-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való
telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
TELEPÍTÉS
!FIGYELEM
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések
tartalmaznak.
a
szövegből
vett
fontos
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
információt
a
TÁROLÁS
A
Varian
Turbomolecular
szivattyúk
maximális
teljesítményszintjének
garantálására
a
következő
útmutatásokat kell követni:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
!FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A Mini-TASK-ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a
Mini-TASK-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A Mini-TASK-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha
ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
35
87-900-962-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
A Mini-TASK bekapcsolása és használata
Amini-TASK nem rögzíthető az alapján keresztül.
A Mini-TASK
bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni
(piros lámpa ég). Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a
tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Műszaki
információ” fejezetben.
A Mini-TASK-on elhelyezett zöld LD1 LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.
A Mini-TASK vezérlőpanel részletes leírásáért lásd „Műszaki
információ” függelék.
HASZNÁLAT
A Mini-TASK kikapcsolása
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
A Mini-TASK kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI
állásba kapcsolni (piros fény kialszik). A beépített vezérlő
azonnal leállítja a szivattyút.
KARIMA
ISO 63
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
M10 kapcsok
M8 kapcsok
N.
4
4
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
22 Nm
11 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ”.
MEGJEGYZÉS
Vészleállítás
A Mini-TASK vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell
távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
KARBANTARTÁS
A Mini-TASK nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett
bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie.
VIGYÁZAT!
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
!FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését vagy durva mozgatását üzem közben.
A csapágyak megsérülhetnek.
!FIGYELEM
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
MEGJEGYZÉS
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a
rendszercsomagba.
VIGYÁZAT!
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
36
87-900-962-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
37
87-900-962-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
OGÓLNE INFORMACJE
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję
każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian
przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od
jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub
całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku
zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Mini TASK jest zintegrowanym systemem składającym się z
pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra
wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy.
System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub
mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania
płynów lub stałych cząstek.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę
o wysokiej prędkości (max. 75000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System
Mini TASK jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających,
i dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie
jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.
Poza tym, Mini TASK posiada pomocnicze konektory poprzez
które można sterować wentylator vent, pilotować go zdalnie
poprzez główny komputer podłączony przez port szeregowy.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia :
System Mini TASK jest dostarczany w specjanym ochronnym
opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których
mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z
miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK ani
nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
!
UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
!
UWAGA !
INFORMACJA
System Mini-TASK, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
INSTALACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
!
MAGAZYNOWANIE
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego
i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian , muszą być
przestrzegane następujące zalecenia:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,
nie mogą być przekroczone następujące warunki
środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do 70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
!
UWAGA !
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
UWAGA !
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz,
śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych
lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
38
87-900-962-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
−
−
−
maksymalne ciśnienie: 2 bary
atmosferycznym
temperatura: od +5 °C do +35 °C
względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
ponad
ciśnieniem
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek “Informacje Techniczne”
Mini-TASK może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować Mini-TASK w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 50 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez podwójne lub
pojedyncze zaciski. W niniejszej tabeli przedstawione zostały,
dla każdego typu zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment
dokręcenia ich.
KOŁNIERZ
ISO 63
TYP
ZACISKU
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Pojedynczy zacisk
z gwintem M8
4
MOMENT
DOKRĘCENIA
22 Nm
4
11 Nm
Nr.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
Włączenie i obsługa systemu Mini-TASK
Aby włączyć Mini-TASK wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i
ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona lampka
zaświeci się).
Wbudowany sterownik tzw. kontroler
automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę.
Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft
Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych
uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla
procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się
z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Informacje
Techniczne”.
Zielona dioda led LD1 znajdująca się na panelu podstawy MiniTASK wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan
operacyjny systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”
Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego Mini-TASK
należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne”.
Zatrzymanie Mini-TASK
INFORMACJA
System Mini-TASK nie może być mocowany poprzez własną
podstawę.
Aby zatrzymać Mini-TASK wystarczy ustawić wyłącznik
zewnętrzny na pozycji OFF (czerwona lampka wyłączona).
Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.
Zatrzymanie Alarmowe
UŻYTKOWANIE
Aby zatrzymać w stanie alarmowym system Mini-TASK, należy
wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić
zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF.
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia
elektryczne
i
pneumatyczne.
Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
KONSERWACJA
System Mini-TASK nie
Jakakolwiek interwencja
upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego firmy Varian.
INFORMACJA
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy
obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do
niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być
włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką.
UWAGA !
Unikać uderzeń, lub gwałtownych przesunięć turbopompy
podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
!
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów
podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może
spowodować uszkodzenia ciała na osobach.
!
wymaga żadnej konserwacji.
musi być wykonana przez
UWAGA !
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez
pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2
barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne).
39
87-900-962-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
40
87-900-962-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VŠEOBECNÉ INFORMACE
!VAROVÁNÍ
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
Mini-TASK je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 75000 ot/min.) poháněná
vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Mini-TASK
neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro
aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Mini-TASK je vybaven pomocnými konektory pro ovládání
odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí
hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Mini-TASK nemůže poškodit.
Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude
nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli
znečištěním a prachem.
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
!VAROVÁNÍ
INSTALACE
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
!VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
do
systému
USKLADNĚNÍ
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:
•
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
•
Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
•
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
•
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
•
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
!VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěvu Mini-TASK lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Mini-TASK upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu
turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní
moment 50 Nm kolem své osy.
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
41
87-900-962-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA
ISO 63
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
Spony M10
Příchytky M8
POČET
4
4
Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK
Vývěvu Mini-TASK stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní
vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný regulátor
automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí
vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technické
informace".
Zelená kontrolka LD1 umístěná na čelním panelu základny
vývěvy Mini-TASK indikuje provozní stavy systému blikáním:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
UTAHOVACÍ
MOMENT
22 Nm
11 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu Mini-TASK nelze připevnit pomocí její podstavy.
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy Mini-TASK
v příloze "Technické informace.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
Vypnutí vývěvy Mini-TASK
POUŽITÍ
Vývěvu Mini-TASK stačí vypnout externím vypínačem, který
přepnete do vypnuté polohy (červená kontrolka zhasne).
Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy Mini-TASK v nouzové situaci je
třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo
vypnout síťový vypínač.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
ÚDRŽBA
Vývěva Mini-TASK nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce
na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
!VAROVÁNÍ
POZNÁMKA
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
VÝSTRAHA!
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
42
87-900-962-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
43
87-900-962-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom
súlade,
s týmito
pokynmi,
zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Mini-TASK je integrovaný systém s turbovývevou pre určený
pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum,
spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou
primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ
plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie
tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi
rýchla turbína (max. 75000 otáčok/minútu), poháňaná
vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie
Mini-TASK neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa
hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie Mini-TASK je vybavené prídavnými konektormi pre
kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové ovládanie z
osobného počítača pripojeného sériovou linkou.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
!UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Mini-task
poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
!UPOZORNENIE
INŠTALÁCIA
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
!UPOZORNENIE
POZNÁMKA
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:
•
neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
•
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
•
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
•
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej
vývevy vždy postupovať pomaly a postupne
•
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie Mini-TASK môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite Mini-Task do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo
svojej osi.
!UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie Mini-Task je dodané v špeciálnom ochrannom
obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
44
87-900-962-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca
tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet
svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment.
Zapnutie a použitie zariadenia Mini-TASK
Mini-TASK nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
Pre zapnutie Mini-TASKu stačí pripojenie k sieti a prepnutie
vonkajšieho vypínača do polohy ON (svieti červená kontrolka).
Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná pripojenie k
sieti a zapne vývevu.
Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý
sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa
odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní
režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole
“Technické informácie”.
Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli zariadenia
Mini-TASK ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti
systému:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
Podrobné informácie o kontrolnom paneli Mini-TASKu sa
nachádzajú v dodatku „Technické informácie“.
POUŽITIE
Vypnutie Mini-TASKu
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 şC.
Pre vypnutie Mini-TASKu stačí prepnutie vonkajšieho vypínača
do polohy OFF (červená kontrolka zhasne). Zabudovaný
kontrolný modul vývevu okamžite zastaví.
PRÍRUBA
ISO 63
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET
svorky M10
kleštiny M8
4
4
UPEVŇOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
22 Nm
11 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
POZNÁMKA
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie Mini-TASK okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky
zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy
OFF.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
ÚDRŽBA
VAROVANIE!
Zariadenie Mini-TASK nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek
úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál.
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
!UPOZORNENIE
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť
ložiská.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Varian.
!UPOZORNENIE
POZNÁMKA
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu,
častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí
byť nižší než 2 bary (pretlakové).
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník
„Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
VAROVANIE!
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
45
87-900-962-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
46
87-900-962-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
SPLOŠNE INFORMACIJE
!
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Mini-TASK je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za
visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s
pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko
črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje
tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine
(maks. 75000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni
motor. Mini-TASK ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je
primeren za »čisto« vakuumiranje.
Mini-TASK je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor na
odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomočjo
gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske
povezave.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
POZOR
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati MiniTASK-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je
ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s
prahom.
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
!
POZOR
MONTAŽA
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
!
OPOMBA
POZOR
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
•
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
•
temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
•
območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
•
Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
•
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
!
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati
naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: od +5 °C od +35 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
POZOR
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
Mini-TASK je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije" .
Mini-TASK lahko namestite v poljuben položaj. Mini-TASK
namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno
prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko
prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
47
87-900-962-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval
ter potreben navor za pritrjevanje.
PRIROBNICA
ISO 63
NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
M10 držala
M8 pritrjevalo
N.
4
4
Vklop in uporaba Mini-TASK-a
Za vklop Mini-TASK-a je dovolj, da priključite napetost in
premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).
Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in
zažene črpalko.
Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki
ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je
priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo
načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju
»Tehnične informacije«.
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Mini-TASK-a,
s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
NAVOR
22 Nm
11 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
OPOMBA
Mini-TASK-a ni moč pritrditi s svojo osnovo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Tehničnih
informacij«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
Izklop Mini-TASK-a
Za izklop Mini-TASK-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo
v položaj OFF (rdeča lučka ugasne). Vgrajen kontroler takoj
zaustavi črpalko.
Zaustavitev v sili
OPOZORILO!
Za takojšenj izklop Mini-TASK-a v sili je potrebno odstraniti
dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF.
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
VZDRŽEVANJE
OPOZORILO!
Mini-TASK ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na
sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
!
POZOR
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
!
POZOR
V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni
center.
Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu,
delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti
manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino,
počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska
temperatura črpalke pade pod 50 °C.
OPOMBA
Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati
»Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter
ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate
kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
48
87-900-962-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
49
87-900-962-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
GENERAL INFORMATION
!CAUTION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The Mini-TASK is an integrated system with a turbo-molecular
pump for high and ultra-high vacuum applications associated
with its relevant controller and its primary pump. The system
can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable
for pumping liquids or solid particles. The pumping action is
obtained through a high speed turbine (max. 75000 rpm) driven
by a high-performance 3-phase electric motor. The Mini-TASK
is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for
applications requiring a "clean" vacuum.
The Mini-TASK is equipped with auxiliary connectors to control
the vent valve, to be controlled from a remote site by means of
an host computer connected through a serial line.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the MiniTASK. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is
installed in the system, thus preventing any form of pollution by
dust.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
INSTALLATION
!CAUTION
!CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following
guidelines must be followed:
•
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
•
temperature range: -20 °C to 70 °C
•
relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
•
the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the
customer
•
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
!CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical
Information" for detailed information.
The Mini-TASK can be installed in any position. Fix the MiniTASK in a stable position connecting the inlet flange of the
turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a
torque of 50 Nm around its axis.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The Mini-TASK is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
50
87-900-962-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each fixing device, the necessary number of
clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE
ISO 63
FIXING
DEVICE
M10 clamps
M8 claws
N.
4
4
Switching on and Use of Mini-TASK
To switch on the Mini-TASK it is sufficient to supply the mains
and then move the external switch to ON position (red light on).
The integrated controller automatically recognizes the mains
presence and start up the pump.
At the first start up it is recommended to use the "Soft Start"
mode by enabling it on the controller. For the following start ups
it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the
"Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph
"Signal Description" in the chapter "Technical Information".
The green LED LD1 located on the Mini-TASK base front panel
indicates with its flashing frequency the system operating
conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
FIXING
TORQUE
22 Nm
11 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
NOTE
The Mini-TASK cannot be fixed by means of its base.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
See the appendix "Technical Information" for a detailed
description of the Mini-TASK control panel.
USE
Mini-TASK Switching off
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
To switch off the Mini-TASK it is sufficient to move the external
switch to OFF position (red light off). The integrated controller
immediately stops the pump.
Emergency Stop
WARNING!
To immediately stop the Mini-TASK in an emergency condition
it is necessary to remove the supply cable from the mains plug
or moving the external switch to OFF position.
Never use the turbopump when the inlet flange is not
connected to the vacuum chamber or is not blanked.
MAINTENANCE
WARNING!
The Mini-TASK does not require any maintenance. Any work
performed on the system must be carried out by authorized
personnel.
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
!CAUTION
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation. The bearings may become damaged.
!CAUTION
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center.
Use inert gas free from dust, particles or humidity (like
Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port
must be less than 2 bar (above atmospheric pressure).
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, the
"Health and Safety" sheet attached to this instruction manual
must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the
sheet must be inserted in the system package before shipping.
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
51
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK
The Mini-TASK pumping system consists of a
pump with an integrated controller and a forepump
and is available in three models which differ only in
the high vacuum flange.
The four models are:
− Model 969-9170 with KF 40 high vacuum
flange;
− Model 969-9171 with ISO 63 high vacuum
flange;
Model 969-9170
− Model 969-9172 with ConFlat 4.5” external diameter high vacuum flange.
The following figures show the three models.
Turbopump Description
The turbopump consists of a high frequency motor
driving a turbine fitted with 10 bladed stages and 4
Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have five different
angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages
are in the form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are fabricated in aluminium alloy
During normal operation, the motor functions with
a power feed at 54 Vac three-phase at 1250 Hz.
To reduce losses during start-up to a minimum,
the frequency increases according to a ramp with
a higher initial voltage/frequency ratio.
The external body of the pump is fitted with fins
which allow the pump itself to function with natural
convection air cooling.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm.
Model 969-9171
Model 969-9172
52
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Controller Description
The integrated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output,
analog and input/output section, microprocessor
and digital section. The controller recognizes the
mains presence and converts the single phase AC
mains supply into a 3-phase, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection.
Control Panel Description
The following picture shows the Mini-TASK control
panel; the associated table lists the available
commands. For a detailed description see the following paragraphs.
DESCRIPTION
Connector to control the optional vent
valve
P5 FAN
Connector to supply the optional fan
LD1 STATUS
Green LED to show the system operating condition
J6 SERIAL
Serial input-output connector to control
the Mini-TASK via an RS 232 or RS 485
connection
J5 IN-OUT
Input-output connector to remote control
the Mini-TASK
ON-OFF red
switch with integrated light
(not shown in the
picture)
It is located on the other side of the system (with respect to the illustrated control
panel). It is the power supply switch. The
integrated red light shows the power
supply status: it lights when the power
supply is applied to the Mini-TASK
Pumping speed (l/s)
NOTE
A diaphragm pump cleaning from the humidity is
recommended to improve the system performance
using dry air or nitrogen. It is recommended to
open manually the vent valve after every start
command for about 30 seconds.
P3 VENT
DESCRIPTION
TECHNICAL SPECIFICATION
Diaphragm Forepump Description
The pump consists of an electric DC motor driving
an eccentric which moves an elastic diaphragm.
The pump has four heads.
The compression chamber is hermetically separated from the drive mechanism by means of the
diaphragm.
The pump transfers, evacuates and compresses
completely oil-free.
The motor is supplied with a voltage of 24 Vdc.
CONTROL NAME
CONTROL NAME
With CF 4.5” or
ISO 63:
N2: 60 l/s
He: 55 l/s
H2: 40 l/s
-8
With
KF 40 NW:
N2: 40 l/s
He: 45 l/s
H2: 36 l/s
-8
Base pressure*
5 x 10 mbar (3.75 x 10 Torr)
Inlet flange
CF 4.5" O.D.; ISO63; KF 40 NW
Rotational speed
75000 RPM
Start-up time
< 2 minutes
Operating position
any
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Noise level
55 dB (A) at 1 meter
Lubricant
permanent lubrication
Power supply
(Line type):
Input voltage:
Input frequency:
Max input power:
Stand-by power:
100 – 240 Vac
50 – 60 Hz
220 VA
10 W
Protection fuse
2.5 A
Compliance with:
UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011 (Class A Group 1)
EN 61000/3/2
EN 61000/3/3
EN 61000/4/2
EN 61000/4/3
EN 61000/4/4
EN 61010-1
EN 1012-2
Installation category
II
Pollution degree
2
Power cable
With European, USA or UK plug
2 meters long
Serial communication (kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male
connector and a 9-pin D type female
connector, and software (optional)
Storage temperature
- 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs)
ISO and KF: 7.5 (16)
CFF: 8.3 (18)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange.
53
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
MINI-TASK OUTLINE
The following figure shows the Mini-TASK outline.
NOTE
When the Mini-TASK has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the Mini-TASK has
reached the above mentioned temperature.
54
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of pumping speed vs inlet pressure
Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
55
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange (on the left side) and pump
with 4.5” CFF flange (on the right side).
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309
prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION
A vibration damper model 969-9340 for ISO 63
inlet flange version pump is available as accessories.
It typically reduces the vibration transmitted from
the Turbo pump to the system by a factor of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
The screen can be mounted on either pump series
and is supplied with a small tab for easy removal
(see figure).
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
56
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange. Note that the 2.75” CF flange
has six blind holes.
Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces
meet.
!
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS
57
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
J5 - IN-OUT
INTERCONNECTIONS
Input power connector (Line type)
The following figure show the input power connector.
This connector carries all the input and output signals to remote control the Mini-TASK.
It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
PIN N.
P3 - Vent
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve.
P5 – External fan
SIGNAL NAME
INPUT/
OUTPUT
1
START/STOP (+)
IN
2
START/STOP (-)
IN
3
INTERLOCK (+)
IN
4
INTERLOCK (-)
IN
5
SPEED SETTING (+)
IN
6
SPEED SETTING (-)
IN
7
SOFT START (+)
IN
8
SOFT START (-)
IN
9
+24 Vdc
10
SPARE
11
PROGRAMMABLE SET POINT
12
SPARE
13
FAULT OUTPUT
OUT
14
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
15
OUT
•
GROUND (24 Vdc)
•
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
OUT
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. Without the supplied cover connector, if you
want to stop the turbo-pump from outside, you
have to connect the START/STOP (+) signal to the
+24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin (this is the default configuration of
the cover connector).
This is a dedicated 24 Vdc connector to supply an
external fan.
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND
pin: in this condition the pump is stopped.
58
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, current or time) is
higher than the set threshold. The signal can be
"high level active" (that is the output is normally at
0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or
"low level active" (that is the output is normally at
24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated).
Moreover, if the reference quantity is the frequency or the current, it is possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid
bouncing.
• frequency: 100 Hz +/-20%
• ampitude: 0 - 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
corresponding to a pump speed from 250 Hz
(25%) to 1250 Hz (75%) linearly.
For example:
−
−
−
−
−
reference quantity: frequency
threshold: 500 Hz
hysteresis: 1%
activation type: "high level"
mask time: 10 sec
If any signal isn’t applied (no connection) the pump
speed is set to “High Speed” (1250 Hz max and
settable by window “120”).
If a continuous signal is applied (pin 5 fixed at +24
V and pin 6 fixed to ground) the pump speed is set
to “Low Speed”.
The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz (that is 500
Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24
Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of
500 Hz). It is possible to mask the set point checking for a programmable mask time.
The Low Speed frequency is settable by window
“117” (see “RS232/RS485 Communication Description”).
SOFT START: input signal to control the Soft Start
operating mode. To enable the "Soft Start" mode it
is necessary to supply a +24 Vdc signal to the
SOFT START (+) pin and to connect the SOFT
START (-) pin to ground.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has
the following default settings:
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) linearly
proportional to a reference quantity (frequency or
power) set by the user (0V = 0W or 0Hz; 10V =
100W or 1250Hz). The default setting is the frequency.
−
−
−
−
−
FAULT: this open collector output signal is closed
when a controller fault condition is detected.
reference quantity: frequency
thereshold: 1125 Hz
hysteresis: 2%
activation type: high level
mask time: 0 second
NOTE
The Software (optional) allows the operator to set
all the programmable feature.
When no external input-output device is available
this connector must be opened. So you don't have
to connect the supplied mating connector.
59
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the open collector to the
controller’s input
Here below there are the typical connections of the
input of Mini-TASK to an external device. Two
cases are considered:
1.
the customer supplies the 24 Vdc
2.
the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 60
mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available.
Case 2 with relay utilisation
Case 1
Case 2 with transistor utilisation
60
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector P2. The communication
protocol is the same (see the structure below), but
only the RS 485 manages the address field.
Therefore to enable the RS 485 is necessary to
select the type of communication as well as the
device address by means of the software.
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may
be connected e.g. a LED, a computer, etc., and
the related simplified circuit of the controller. The
figure example refers to the programmable set
point signal on pins 11 and 9.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
Typical output connection
• Host = MASTER
• Controller = SLAVE
J6 - Serial
The communication is performed in the following
way:
1.
the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC
to the controller (SLAVE);
2.
the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
Mini-TASK.
PIN N.
++++++
where:
SIGNAL NAME
1
+5 V (OUT)
2
TX (RS232)
3
RX (RS232)
4
A+ (RS422 Optional)
5
GND
6
A + (RS485)
7
B - (RS422 Optional)
8
B - (RS485)
9
RESERVED
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the corresponding ASCII character.
− (Start of transmission) = 0x02
− (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
(Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485)
− (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
Note that the vent valve can also be controlled by
means of the serial connection.
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation software is available (optional).
61
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
FIELD
LENGTH
DATA TYPE
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
VALID
CHARACTERS
Logic (L)
1
‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N)
6
‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A)
10
from blank to ‘_’ (ASCII)
02
02
02
02
03
STX ADDR ACK ETX
WR
03
OFF ETX
42
32
CRC
03
38
35
CRC
80
31
30
30
WINDOW
31
31
03
WR
ON
ETX
42
32
CRC
80
06
03
38
35
CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02
30
WINDOW
06
06
STX ADDR ACK ETX
31
31
03
WR
ON
ETX
42
CRC
31
30
30
WINDOW
31
WR
30
03
OFF ETX
42
33
CRC
Source: Controller
Destination: PC
02
38
80
STX ADDR
33
Source: Controller
Destination: PC
80
30
Source: Controller
Destination: PC
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02
80
STX ADDR
Examples:
STX ADDR
31
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS
30
30
WINDOW
STX ADDR ACK ETX
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
30
30
Source: Controller
Destination: PC
The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE
type.
80
30
STX ADDR
− (End of transmission) = 0x03
− = XOR of all characters subsequent to
and including the terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
02
80
80
06
03
STX ADDR ACK ETX
35
38
35
CRC
CRC
62
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
02
83
32
STX
ADDR
30
35
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
102
R/W
N
Set Point
threshold
(expressed in
Hz, mA or s)
(default = 1125)
103
R/W
N
Set Point delay: time between the
pump start
and the set
point check
(seconds)
0 to 99999
Set Point
signal activation type: the
signal can be
"high level
active" or
"low level active"
0 = high level active
1 = low level active
Set point
hysteresis
(in % of
threshold)
0 to 100
37
CRC
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
02
83
32 30 35 30 30 30 30 30 30 03
38
37
104
STX ADDR WINDOW
DATA (STATUS)
ETX
Command: READ SERIAL TYPE
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485
mode)
02
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
105
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
31
CRC
03
RD DATA ETX
L
R/W
N
31
Source: Controller
Destination: PC
02
R/W
CRC
42
30
Admitted
Values
(default = 0)
(default = 0)
(default = 2)
106
R/W
L
Water cooling
0 = NO
1 = YES
107
R/W
L
Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
108
R/W
N
Baud rate
600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
CRC
(default = 4)
109
W
L
Pump life/
cycle time/
cycle number
reset
To reset write ‘1’
110
R/W
L
Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
111
R/W
L
Analog output type:
output voltage signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
Window Meanings
N.
Read/
Write
Data
Type
000
R/W
L
Description
Admitted
Values
Start/Stop
(in remote
mode the
window is a
read only)
Start = 1
Stop = 0
001
R/W
L
Low Speed
Activation
No = 0
Yes = 1
(default = 0)
008
R/W
L
Remote
(default) or
Serial configuration
Remote = 1
Serial = 0
Soft Start
(write only in
Stop condition)
YES = 1
NO = 0
Set Point
type
0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
100
101
R/W
R/W
L
N
117
R/W
N
Low Speed
frequency
(Hz)
250 to “Maximum
rotational
frequency”
(win 121)
(default = 833)
120
R/W
N
Rotational
frequency
setting (Hz)
250 to “Maximum
rotational
frequency”
(win 121)
(default = 1250)
121
R/W
N
Maximum
rotational
frequency in
Hz (active
only in Stop
condition)
250 to 1250
(default = 1)
(default = 1 the
first time and 0
the following)
(default = 0)
63
(default = 0)
(default = 1250)
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
122
R/W
L
Set vent
valve on/off
(on = closed)
123
124
125
126
130
Admitted
Values
(default = 1)
Reserved to Varian service
R/W
R/W
L
N
Set the vent
valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
Vent valve
opening
delay
(expressed in
0.2 sec)
0 to 65535
On command = 1
(see note 2.)
(corresponding to
0 to 13107 sec)
Data
Type
Pump
current in mA
dc
201
R
N
Pump voltage in Vdc
202
R
N
Pump power
in W (pump
current x
pump voltage
duty cycle)
203
R
N
Driving frequency in Hz
204
R
N
Pump temperature in
°C
0 to 70
205
R
N
Pump status
Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
R
R
(see
note
3.)
N
N
Error code
Actual rotation speed in
Hz
Admitted
Values
400
R
A
CRC
EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402
R
A
CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404
R
A
CRC Parameter
structure
"XXXX"
500
503
N
Description
Reserved to Varian service
Reserved to Varian service
R/W
N
Reserved to Varian service
R
210
Read/
Write
320
to
399
On = 1
Off = 0
200
206
N.
504
R/W
L
RS 485 address
0 to 31
Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
(default = 0)
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the vent valve is opened with a delay
defined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3. These commands remove the pump motor
supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping.
7
6
5
4
TOO HIGH LOAD
Bit description:
see the following
figure
2
1
0
NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT
OVERVOLTAGE
AUX FAIL
250 to 1250
3
PUMP OVERTEMP.
CONTROLL. OVERTEMP.
POWER FAIL
Window N. 206 Bit Description
9
300
R
N
Cycle time in
minutes (zeroed by the
reset command)
0 to 4x10
301
R
N
Cycle number (zeroed
by the reset
command)
0 to 4x10
302
R
N
Pump life in
hours (zeroed by the
reset command)
0 to 4x10
9
9
64
87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
ORDERABLE PARTS
DESCRIPTION
The result is increased electrical power consumption by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
PART NUMBER
European plug power cable, 2 m
long
969-9396
USA plug power cable, 2 m long
969-9397
UK plug power cable, 2 m long
969-9398
Serial cable and Navigator
Software
969-9883
Inlet screen DN40
969-9309
Inlet screen DN63
969-9300
Vibration damper, DN 63 ISO
969-9340
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
65
87-900-962-01(A)
Request for Return
1.
2.
3.
4.
A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..…
Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..……
E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………...
Customer Ship To: ………………………….………
……………..…………………...
………………..………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description
USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Bill To: …………………..……………...
..………………………………...
..………………………………...
Varian P/N
Varian S/N
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Warranty Repair
Calibration
Purchase Reference
Loaner Return
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic
Corrosive
Reactive
Flammable
Explosive
Biological
Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: ………………………………….
Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………...
Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
Does not start
Does not spin freely
Does not reach full speed
Mechanical Contact
Cooling defective
TURBOCONTROLLER ERROR
Noise
Vibrations
Leak
Overtemperature
POSITION
Vertical
Horizontal
Upside-down
Other:
………………….
PARAMETERS
Power:
Rotational Speed:
Current:
Inlet Pressure:
Temp 1:
Foreline Pressure:
Temp 2:
Purge flow:
OPERATION TIME:
MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Vacuum leak
High voltage problem
Error code on display
Other
Customer application:
VALVES/COMPONENTS
Main seal leak
Solenoid failure
Damaged sealing area
Customer application:
Bellows leak
Damaged flange
Other
LEAK DETECTORS
Cannot calibrate
Vacuum system unstable
Failed to start
Customer application:
No zero/high backround
Cannot reach test mode
Other
INSTRUMENTS
Gauge tube not working
Communication failure
Error code on display
Customer application:
Display problem
Degas not working
Other
PRIMARY PUMPS
Pump doesn’t start
Doesn’t reach vacuum
Pump seized
Customer application:
Noisy pump (describe)
Over temperature
Other
DIFFUSION PUMPS
Heater failure
Doesn’t reach vacuum
Vacuum leak
Customer application:
Electrical problem
Cooling coil damage
Other
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
India
Varian India PVT LTD
United States
Varian Vacuum Technologies
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Italy
Varian Vacuum Technologies
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Customer Support & Service:
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
North America
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free)
vtt.technical.support@varianinc.com
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
China
Varian Technologies - Beijing
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 100031 P.R. China
Tel: (86) 10 6641 1530
Fax: (86) 10 6641 1534
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
France and Wallonie
Varian s.a.
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
07/03
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free)
vtl.technical.support@varianinc.com
Europe
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line)
vtj.technical.support@varianinc.com
Korea
Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line)
vtk.technical.support@varianinc.com
Taiwan
Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free)
vtw.technical.support@varianinc.com
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Source Exif Data:
File Type : PDF File Type Extension : pdf MIME Type : application/pdf PDF Version : 1.4 Linearized : Yes Has XFA : No Tagged PDF : No XMP Toolkit : Adobe XMP Core 5.6-c015 84.159810, 2016/09/10-02:41:30 Producer : Acrobat Distiller 5.0 (Windows) Create Date : 2004:10:20 13:24:21Z Modify Date : 2017:06:07 14:38-07:00 Metadata Date : 2017:06:07 14:38-07:00 Creator Tool : Acrobat PDFMaker 5.0 per Word Format : application/pdf Creator : Pierpaolo Massa Title : INFORMAZIONI GENERALI Document ID : uuid:91cc09a2-37d9-8843-916b-a73e9ffb82f4 Instance ID : uuid:c0bb1c6e-94b1-1c44-bae8-310fc959e80f Page Mode : UseOutlines Page Count : 73 Author : Pierpaolo MassaEXIF Metadata provided by EXIF.tools