INFORMAZIONI GENERALI Mini Task

User Manual: mini-task

Open the PDF directly: View PDF PDF.
Page Count: 73

Mini-TASK
Model 969-9170
Model 969-9171
Model 969-9172
87-900-962-01(A)
OCTOBER 2004
MANUALE DI ISTRUZIONI
BEDIENUNGSHANDBUCH
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
MANUAL DE INSTRUCCIONES
MANUAL DE INSTRUÇÕES
BEDRIJFSHANDLEIDING
INSTRUKSTIONSBOG
BRUKSANVISNING
INSTRUKSJON MANUAL
OHJEKÄSIKIRJA
ODHGIES CRHSEWS
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
PODRECZNIK INSTRUKCJI
NÁVOD K POUŽITÍ
NÁVOD NA OBSLUHU
PRIROČNIK ZA NAVODILA
INSTRUCTION MANUAL
Mini-TASK
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................4
MODE D’EMPLOI...............................................................................................................................................7
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................10
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................13
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................16
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................19
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................22
BRUKERVEILEDNING.....................................................................................................................................25
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................28
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................31
HASZNÁLATI UTASÍTÁS.................................................................................................................................34
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................37
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................40
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................43
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................46
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................49
TECHNICAL INFORMATION...........................................................................................................................52
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK...........................................................................................52
Turbopump Description .....................................................................................................52
Controller Description ........................................................................................................53
Diaphragm Forepump Description.....................................................................................53
Control Panel Description..................................................................................................53
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................53
MINI-TASK OUTLINE ..................................................................................................................54
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................56
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................56
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................56
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................57
INTERCONNECTIONS................................................................................................................58
Input power connector (Line type) .....................................................................................58
P3 - Vent ............................................................................................................................58
P5 – External fan ...............................................................................................................58
J5 - IN-OUT........................................................................................................................58
Signal description ..............................................................................................................58
J6 - Serial...........................................................................................................................61
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION..................................................................61
Communication Format .....................................................................................................61
Communication Protocol....................................................................................................61
Window Meanings .............................................................................................................63
USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS.............................................................................65
ORDERABLE PARTS..................................................................................................................65
ISTRUZIONI PER L'USO
1 87-900-962-01(A)
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una
rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
ISTRUZIONI PER L'USO
2 87-900-962-01(A)
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il Mini-TASK è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto
integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (75000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Il Mini-TASK è totalmente
privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni
che richiedono un vuoto "pulito".
Il Mini-TASK ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è
possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da remoto
tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
!ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparec-
chiatura.
NOTA
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità
delle pompe Turbomolecolari Varian, devono essere osservate
le seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni
informazione, si prega di contattare il locale rappresentante
della Varian.
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Il Mini-TASK viene fornito in un imballo protettivo speciale; se si
presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale.
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK e a non sottoporlo
ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
NOTA
Il Mini-TASK non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
INSTALLAZIONE
!ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
ISTRUZIONI PER L'USO
3 87-900-962-01(A)
Il Mini-TASK può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il Mini-TASK in posizione stabile collegando la flangia
di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace
di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,
il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.
FLANGIA TIPO DI
MORSETTO N. COPPIA DI
SERRAGGIO
ISO 63 Morsetto doppio
con filettatura M10
4 22 Nm
Morsetto singolo
con filettatura M8
4 11 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
NOTA
Il Mini-TASK non può essere fissato tramite la sua base.
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
USO
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
!ATTENZIONE!
Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando è
in funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi.
!ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Accensione ed Uso del Mini-TASK
Per accendere il Mini-TASK è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno
(luce rossa accesa). Il controller incorporato riconosce
automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la
pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di
attivazione della modalità "Soft Start" far riferimento al
paragrafo "Signal Description" nel capitolo "Technical
Information".
Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del Mini-TASK
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni
operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
“Waiting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del
Mini-TASK vedere l'appendice "Technical Information".
Arresto del Mini-TASK
Per arrestare il Mini-TASK è sufficiente mettere in posizione
OFF l'interruttore esterno (luce rossa spenta). Il controller
incorporato arresta immediatamente la pompa.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini-TASK occorre
staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o spostare
l'interruttore esterno in posizione OFF.
MANUTENZIONE
Il Mini-TASK non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
PERICOLO!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è
indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite
la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo
del sistema prima della spedizione.
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
GEBRAUCHSANLEITUNG
4 87-900-962-01(A)
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
GEBRAUCHSANLEITUNG
5 87-900-962-01(A)
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie
alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu
lesen. Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen An-
weisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes
Personal, nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der na-
tionalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian
keinerlei Haftung. Modell Mini-TASK ist ein integriertes System,
das aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstva-
kuum-anwendungen, integriert mit einem entsprechenden
Controller und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet
sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen
Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen
oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtou-
rige Turbine (max. 75.000 1/min) erreicht, die von einem Hoch-
leistungs-drehstrommotor angetrieben wird. Modell Mini-TASK
enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich
deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum
erfordern. Modell Mini-TASK verfügt des weiteren über Zusatz-
anschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die
Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Lei-
tung gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind
alle erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedie-
ners bei der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte
technische Informationen sind im Anhang "Technical Informati-
on" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie-
ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungswei-
se, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen her-
vorrufen könnten.
!ACHTUNG!
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
HINWEIS
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Varian
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einla-
gerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensie-
rend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp-
fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in-
gangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die ge-
nannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell Mini-TASK wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
Modell Mini-TASK ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem
Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS
Modell Mini-TASK kann durch die Umgebung an sich keine
Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an der
Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
INSTALLATION
!ACHTUNG!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß
der Turbopumpe an das System abnehmen.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brand-
gefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen ein-
gehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
GEBRAUCHSANLEITUNG
6 87-900-962-01(A)
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informa-
tionen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Mini-TASK kann in jeder beliebigen Position installiert
werden. Modell Mini-TASK ist stabil zu befestigen, indem der
Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen-
flansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50
Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam-
mer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die An-
zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schel-
lenarten angegeben.
FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ. ANZUGSMOMENT
ISO 63 Doppelschelle mit
Gewinde M10
4 22 Nm
Einzelschelle mit
Gewinde M8
4 11 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem spe-
ziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im An-
hang "Technical Information".
HINWEIS
Modell Mini-TASK kann nicht mittels seines Sockels befestigt
werden.
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
GEBRAUCH
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera-
tur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
GEFAHR!
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch even-
tuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbren-
nungsgefahr.
!ACHTUNG!
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden, da die Lager
beschädigt werden könnten.
!ACHTUNG!
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeits-
freies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphäri-
schen Druck) betragen.
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflamm-
baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfä-
higen Gasen verwendet werden.
Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK
Zur Einschaltung des Mini-TASK ist der Netzstecker anzuschlie-
ßen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen
(rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Controller
erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die
Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Informa-
tion", nachschlagen.
Die grüne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Mini-TASK
gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen
des System an:
- Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Be-
trieb.
- Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
- Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des Mini-
TASK siehe im Anhang "Technical Information".
Stoppen von Modell Mini-TASK
Zur Stillsetzung des Mini-TASK ist der externe Schalter auf die
Schaltstellung OFF zu schalten (rote Kontrollleuchte ausge-
schaltet). Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen
Pumpenstopp.
Not-Aus
Zur Notstillsetzung des Mini-TASK ist der Netzstecker zu zie-
hen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
WARTUNG
Modell Mini-TASK erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe
dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera-
tur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Varian Service.
HINWEIS
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Hand-
buch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu sen-
den. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver-
sand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein-
schlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
MODE D’EMPLOI
7 87-900-962-01(A)
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
MODE D’EMPLOI
8 87-900-962-01(A)
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le Mini-TASK est
un système intégré, constitué d'une pompe turbomoléculaire
conçue pour des applications de vide poussé et ultrapoussé et
dotée d'un contrôleur et d'une pompe primaire. Le système est
à même de pomper tous les types de gaz et de composés
gazeux mais il n'est pas adapté au pompage de liquides ou de
particules solides. L'effet de pompage est obtenu grâce à une
turbine tournant à vitesse élevée (75000 tr/min max.), mue par
un moteur électrique triphasé à haut rendement. Le Mini-TASK
est totalement exempt d'agents polluants et il est par
conséquent indiqué pour toutes les applications exigeant un
vide "propre". Le Mini-TASK est en outre doté de connecteurs
auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation,
de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host connecté
par ligne sérielle. Les paragraphes suivants fournissent toutes
les indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur
pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus
détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants :
DANGER!
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
! ATTENTION !
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
NOTE
Les notes contiennent des renseignements importants,
extrapolés du texte.
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
pompes turbomoléculaires Varian, il est indispensable de
respecter les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes :
• température : de –20 °C à +70 °C
• humidité relative : de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start.
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le Mini-TASK est livré dans un emballage de protection spécial; en
cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être produit
pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le Mini-TASK et à ne
lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
! ATTENTION !
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
Le Mini-TASK ne peut s'endommager en restant simplement
exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution
due à la poussière, il est conseillé de le garder dans son
emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
INSTALLATION
! ATTENTION !
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la
poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes :
- pression max.: 2 bars au-delà de la pression
atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre
renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information".
Le Mini-TASK peut être installée dans n'importe quelle position.
Le fixer dans une position stable, en reliant la bride d'entrée de
la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant supporter un
couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
MODE D’EMPLOI
9 87-900-962-01(A)
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
BRIDE TYPE DE
COLLIER
N. COUPLE DE
SERRAGE
ISO 63 Collier double
à filet M10
4 22 Nm
Collier simple
à filet M8
4 11 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
NOTE
Le Mini-TASK ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILISATION
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
DANGER!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
DANGER!
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
! ATTENTION!
Éviter tout choc ou déplacement brusques de la turbopompe
lorsqu'elle est en marche. Cela pourrait endommager les
paliers
! ATTENTION !
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
DANGER!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mise en marche et utilisation du Mini-TASK
Pour allumer le Mini-TASK, il suffit de le brancher au réseau et
de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière rouge
allumée). Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement la
présence de l'alimentation et met la pompe en marche.
Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter
le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur ; pour les
démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode
"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft
Start", se référer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION" dans
le chapitre "Technical Information".
La LED verte LD1 placée sur le panneau de la base du Mini-
TASK indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions
opérationnelles du système :
- allumée fixe : la pompe est en rotation normale ;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
- clignote rapidement (période d'environ 200 ms) : condition
d'erreur.
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du Mini-
TASK, consulter l'appendice "Technical Information".
Arrêt du Mini-TASK
Pour arrêter le Mini-TASK, il suffit de placer l'interrupteur
extérieur sur OFF (lumière rouge éteinte). Le contrôleur
incorporé arrête immédiatement la pompe.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le Mini-TASK en condition d'urgence, débrancher
le cordon d'alimentation de la prise ou placer l'interrupteur
extérieur sur OFF.
ENTRETIEN
Le Mini-TASK n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
DANGER!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,
remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la
fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel
d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
INSTRUCCIONES DE USO
10 87-900-962-01(A)
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
INSTRUCCIONES DE USO
11 87-900-962-01(A)
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El Mini-TASK es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas.
El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa
de alta velocidad (75000 r.p.m. máx.) movida por un motor
eléctrico trifásico de alto rendimiento. El Mini-TASK no posee
absolutamente ningún agente contaminante, por lo que es
adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, el Mini-TASK posee conectores auxiliares con los
que se puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a
distancia mediante un ordenador host conectado a través de
línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
! ¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los
procedimientos que, de no cumplirse, podrían provocar daños
al aparato.
NOTA
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
las bombas turbomoleculares Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
! ¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Mini-TASK se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no
se caiga el Mini-TASK y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
! ¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
NOTA
El Mini-TASK no puede dañarse permaneciendo simplemente
expuesto a la atmósfera. De todas formas, se aconseja
mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalación
en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
INSTALACIÓN
! ¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases
agresivos, ni en ambientes sujetos a riesgo de explosión o
incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas adecuadas. Para más detalles
véase por favor el anexo “Technical Information”.
INSTRUCCIONES DE USO
12 87-900-962-01(A)
El Mini-TASK puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el Mini-TASK en posición estable conectando la brida de
entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de
resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante mordazas dobles o mordazas
sencillas. La tabla siguiente describe, por cada tipo de
mordaza, el número de mordazas necesarias y con qué par de
apriete apretarlas.
BRIDA TIPO DE
MORDAZA
N. PAR DE
APRIETE
ISO 63 Mordaza doble con
rosca M10
4 22 Nm
Mordaza sencilla con
rosca M8
4 11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El Mini-TASK no puede fijarse utilizando su base.
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
USO
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la
brida de cierre.
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
! ¡ATENCIÓN!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar.
! ¡ATENCIÓN!
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de
polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de
entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2
bares (por encima de la presión atmosférica).
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando
haya gases explosivos.
Encendido y Uso del Mini-TASK
Para encender el Mini-TASK basta conectar la tensión de
alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz
roja encendida). El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de la alimentación y pone en
marcha la bomba.
Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad
"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las
sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad
"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la
modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”
del capítulo “Technical Information”.
El LED verde LD1 situado en el panel de la base del Mini-TASK
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones
operativas del sistema:
− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
− parpadea lentamente (período de 400 ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
− parpadea rápidamente (período de 200 ms
aproximadamente): situación de error.
Una descripción detallada del panel de control del Mini-TASK
aparece en el apéndice "Technical Information".
Parada del Mini-TASK
Para detener el Mini-TASK basta disponer el interruptor externo
en posición OFF (luz roja apagada). El controlador incorporado
detiene inmediatamente la bomba.
Parada de Emergencia
Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el
funcionamiento del Mini-TASK, se deberá desenchufar el cable
de alimentación de la toma de red o disponer el interruptor
externo en posición OFF.
MANTENIMIENTO
El Mini-TASK no necesita ningún mantenimiento. Toda
intervención deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema,
desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en
presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar
hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura
superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es
imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente
manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá
introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
INSTRUÇÕES PARA O USO
13 87-900-962-01(A)
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
INSTRUÇÕES PARA O USO
14 87-900-962-01(A)
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O Mini-TASK é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba
primária.
O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás ou de
composto gasoso, mas não é apropriado para bombear
líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (75000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O Mini-TASK é totalmente
isento de agentes contaminadores e, portanto, é adequado
para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o Mini-TASK tem conectores auxiliares através dos
quais é possível alimentar uma válvula de vent, accioná-lo por
um controlo remoto através de um computer host conectado
por meio de linha serial. Nos seguintes parágrafos estão
descritas todas as informações necessárias para garantir a
segurança do operador durante o uso da aparelhagem.
Informações detalhadas são fornecidas no apêndice "Technical
Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
" ATENÇÃO!
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
das bombas Turbomoleculares Varian, devem ser observadas
as seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
"ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O Mini-TASK é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o Mini-TASK e para não submetê-lo a choques
ou vibrações.
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
" ATENÇÃO!
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
NOTA
Mini-TASK não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
INSTALAÇÃO
" ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
INSTRUÇÕES PARA O USO
15 87-900-962-01(A)
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
Mini-TASK pode ser instalado em qualquer posição. Fixar a
aparelhagem em posição estável ligando o flange de entrada
da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de resistir a um
torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o
número de grampos e o torque de aperto necessários.
FLANGE TIPO DE GRAMPO N. TORQUE DE
APERTO
ISO 63 Grampo duplo
com rosca M10
4 22 Nm
Grampo simples
com rosca M8
4 11 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
NOTA
O Mini-TASK não pode ser fixado por intermédio da sua própria
base.
Para a instalação dos acessórios opcionais, consultar
"Technical Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
PERIGO!
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
PERIGO!
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
"ATENÇÃO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer
danos.
"ATENÇÃO!
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
Acendimento e Utilização do Mini-TASK
Para ligar o Mini-TASK é suficiente conectá-lo à rede de
alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON
(luz vermelha acesa). O controller incorporado detecta
automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.
Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável
utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do
controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a
modalidade "Soft Start". Para o procedimento de ativação da
modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo
“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.
A luz piloto verde LD1, posicionada no painel da base do Mini-
TASK, indica, através da frequência de intermitência, as
condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando
do Mini-TASK, consultar o apêndice "Technical Information".
Paragem do Mini-TASK
Para parar o Mini-TASK é suficiente colocar o interruptor
exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller
incorporado pára imediatamente a bomba.
Paragem de Emergência
Para parar em condições de emergência o Mini-TASK é
necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede
de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição
OFF.
MANUTENÇÃO
O Mini-TASK não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
PERIGO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de
vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente
manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
16 87-900-962-01(A)
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
17 87-900-962-01(A)
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens
het apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet
aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in
acht nemen van de aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik
door niet hiervoor opgeleid personeel, reparaties waarvoor
geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de
specifieke nationale wetgeving. De Mini-TASK is een
geïntegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor
hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen en een primaire pomp
bestaat. Het systeem is in staat om elk type gas of
gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect
wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max.
75.000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Mini-
TASK is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook
geschikt voor toepassingen die een "schoon" vacuüm
verlangen. De Mini-TASK is bovendien van hulpconnectors
voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden
aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel
aangesloten host computer op afstand kan worden bediend.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information.
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
GEVAAR!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!ATTENTIE!
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen, moeten
de volgende voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen
moet aan de volgende omgevingscondities worden
voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Mini-TASK wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het
transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact
opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK niet kan vallen
en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
!ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De Mini-TASK kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang
deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele
vervuiling door stof wordt voorkomen.
INSTALLATIE
!ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
18 87-900-962-01(A)
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De Mini-TASK moet op een primaire pomp aangesloten zijn
(zie schema in "Technical information").
De Mini-TASK kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Mini-TASK in een stabiele positie en verbind de
inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een
koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype,
het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee
ze vastgezet moeten worden.
FLENS KLEMTYPE
NR. AANHAAL-
KOPPEL
ISO 63 Dubbele klem met
M10 schroefdraad
4 22 Nm
Enkelvoudige klem
met M8 schroefdraad
4 11 Nm
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De Mini-TASK kan niet met behulp van zijn eigen basis worden
bevestigd.
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten
is.
GEVAAR!
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
! ATTENTIE!
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. Hierdoor kunnen de lagers namelijk
schade oplopen.
! ATTENTIE!
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
Inschakeling en gebruik van de Mini-TASK
Om de Mini-TASK in te schakelen is het voldoende om
voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
stand ON te zetten (rood lichtje brandt). De ingebouwde
controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en
start de pomp.
Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de "Soft Start"
modaliteit te gebruiken, door deze op de controller te activeren.
Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de
"Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor het activeren van de
"Soft Start" procedure zie paragraaf "Signal Description" uit het
hoofdstuk "Technical Information".
De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Mini-
TASKgeeft door de frequentie van zijn knipperen, de
werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het
bedieningspaneel van de Mini-TASK de bijlage "Technical
Information".
Afzetten van de Mini-TASK
Om de Mini-TASK uit te schakelen is het voldoende om de
externe schakelaar in de stand OFF te zetten (rode lichtje uit).
De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
Noodstop
Om de Mini-TASK onder noodomstandigheden uit te
schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden
gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden
gezet.
ONDERHOUD
De Mini-TASK is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor
worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór
versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
BRUGSANVISNING
19 87-900-962-01(A)
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
BRUGSANVISNING
20 87-900-962-01(A)
GENEREL INFORMATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
Mini-TASK systemet omfatter en turbomolekylær pumpe til høje
eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og
hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som
helst form for gas eller gaslignende luftarter, men systemet kan
ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(75000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk
trefasemotor med høj effekt. Mini-TASK er ikke fremstillet af
skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der kræver
“rent” vakuum.
Mini-TASK har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at styre
ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en
værtscomputer gennem seriel forbindelse.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er
nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i
forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk
Information” indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker :
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
!VIGTIGT!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
OPBEVARING
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære
pumper fra Varian:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
!VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
Mini-TASK leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt
den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader,
der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at Mini-TASK ikke tabes eller udsættes for stød ved
udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade Mini-TASK. Det
anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil
den skal installeres. Herved forhindres, at der kommer støv i
pumpen.
INSTALLATION
!VIGTIGT!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
BRUGSANVISNING
21 87-900-962-01(A)
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger. Mini-TASK kan installeres i en hvilken
som helst position. Fastgør Mini-TASK i en stabil position ved
at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast kontraflange,
der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen.
Turbopumpen med ISO-indløbsflange skal tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig klemmetypen.
FLANGE KLEMMETYPE ANT. DREJNINGS-
MOMENT
ISO 63 Dobbelt klemme med
M10 gevind
4 22 Nm
Enkelt klemme med
M8 gevind
4 11 Nm
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
BEMÆRK
Mini-TASK kan ikke fastgøres i fundamentet.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL!
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
!VIGTIGT!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Dette kan beskadige lejerne.
!VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk).
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
Start og anvendelse af Mini-TASK
Tænding af Mini-TASK sker ved blot at tilslutte strømmen og
indstille den udvendige afbryder i position ON (rød kontrollampe
tændt). Den indbyggede styreenhed registrerer øjeblikkeligt
tilslutningen, og pumpen startes.
Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette
sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det
anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse
med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til
tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal
Description” i kapitlet “Technical Information”.
Den grønne LED LD1, der er anbragt på panelet på Mini-
TASK’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i Mini-
TASK henvises til bilaget "Teknisk information".
Stop af Mini-TASK
Afbrydelse af Mini-TASK sker ved blot at indstille den
udvendige afbryder i position OFF (rød kontrollampe slukket).
Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen.
Nødstop
Nødstop af Mini-TASK sker ved at fjerne strømkablet fra
stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position
OFF.
VEDLIGEHOLDELSE
Mini-TASK behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal
“Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne
instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal
indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
BRUKSANVISNING
22 87-900-962-01(A)
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
BRUKSANVISNING
23 87-900-962-01(A)
ALLMÄN INFORMATION
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet Mini-TASK består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet och
en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av alla
typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet
för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
75000 varv/minut) som drivs av en elektrisk trefas
högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Mini-TASK, som
därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
Mini-TASK har dessutom hjälpkontakter som gör det möjligt att
kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp
av en host-dator som är ansluten genom seriell förbindelse.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
! VIKTIGT!
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
! VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
Mini-TASK levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att Mini-TASK inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
! VIKTIGT!
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från atmosfären kan inte skada Mini-TASK.
Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den
har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer in
damm eller annat i den.
INSTALLATION
! VIKTIGT!
Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. Mini-TASK måste anslutas till en huvudpump (se
schemat i "Technical information").
Mini-TASK kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i ett
stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en fast
fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin axel.
BRUKSANVISNING
24 87-900-962-01(A)
Turbopumpen med ISO-intagsfläns ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar,
nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
FLÄNS TYP AV KLAMMER ANT. ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
ISO 63 Dubbel klammer, gänga
M10
4 22 Nm
Enkel klammer, gänga
M8
4 11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
OBSERVERA
Mini-TASK-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.
Installation av tillbehörsutrustning beskrivs i "Technical
Information".
ANVÄNDNING
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några tillbehör under
uppvärmningen för att undvika brännskador.
! VIKTIGT!
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift. I
annat fall kan lagren skadas.
! VIKTIGT!
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i
närheten av explosiva gaser.
Start och användning av Mini-TASK
Starta Mini-TASK genom att slå till strömmen och placera den
externa brytaren i läge ON (den röda kontrollampan tänds).
Den inbyggda styrenheten känner automatiskt av
strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Vid den första starten rekommenderas det att aktivera
funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande
starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft
Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi
till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical
Information”.
Den gröna lysdioden LD1 på underdelen av Mini-TASK anger,
genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:
- fast sken: pumpen roterar normalt;
- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for
interlock”;
- hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning
av kontrollpanelen för Mini-TASK.
Att stänga av Mini-TASK
Stäng av Mini-TASK genom att placera den externa brytaren i
läge OFF (den röda kontrollampan slocknar). Den inbyggda
styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Nödstopp
Stäng av Mini-TASK vid en nödsituation genom att dra ut
elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa
brytaren i läge OFF.
UNDERHÅLL
Mini-TASK är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras av
auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga
dessutom en kopia av bladet med systemet.
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
BRUKERVEILEDNING
25 87-900-962-01(A)
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylær Pumper
Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
BRUKERVEILEDNING
26 87-900-962-01(A)
GENERELL INFORMASJON
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Mini-TASK systemet består av en turbo-molekulær pumpe for
bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en styreenhet og en
hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller
gassforening. Det er ikke beregnet for å pumpe væsker eller
faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 75000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Mini-TASK har ingen
forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov
for "rene" vakuum.
Mini-TASK har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for
styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av systemet med en
serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
!FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
LAGRING
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Varian
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
!FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Mini-TASK leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten,
må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Mini-TASK pakkes ut, må du se til at det ikke slippes ned
eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
!FORSIKTIG!
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
MERK
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge Mini-
TASK. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er
montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes for
nedstøving.
INSTALLASJON
!FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når
turbopumpen koples til systemet.
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Mini-TASK må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk
informasjon").
Mini-TASK kan monteres i en valgfri stilling. Fest Mini-TASK i
en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast
koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt aksen.
BRUKERVEILEDNING
27 87-900-962-01(A)
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
FLENS TYPE KLEMME ANT. STRAMME-
MOMENT
ISO 63 Dobbel klemme,
gjenge M10
4 22 Nm
Enkel klemme,
gjenge M8
4 11 Nm
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
MERK
Mini-TASK må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av tilleggsutstyr vises det til "Teknisk
informasjon".
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
!FORSIKTIG!
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Dette kan føre til at lagrene skades.
!FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Starte og bruke Mini-TASK
For å slå på Mini-TASK er det nok å kople til strømmen og
dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den
innebygde styreenheten detekterer strømforsyningen
automatisk, og sørger for å starte pumpen.
Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen
på styreenheten. For følgende starter anbefales det å
deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople
inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical
Information” under paragrafen “Signal Description”.
Den grønne lysdioden LD1 på Mini-TASK basepanel angir
systemets funksjon ved hjelp av blink:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Se vedlegget "Teknisk informasjon" for en detaljert beskrivelse
av Mini-TASKs kontrollpanel.
Stoppe Mini-TASK
For å stoppe Mini-TASK er det nok å dreie den utvendige
bryteren til OFF (rødt lys slukkes). Den innebygde styreenheten
stanser pumpen umiddelbart.
Nødstopp
For å stoppe Mini-TASK i en nødsituasjon er det nødvendig å
trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller dreie den
utvendige bryteren til OFF.
VEDLIKEHOLD
Mini-TASK er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun
utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det
vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til
det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges
systemet som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
KÄYTTÖOHJEET
28 87-900-962-01(A)
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
KÄYTTÖOHJEET
29 87-900-962-01(A)
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä tai osittaisesta laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Mini-TASK on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla
ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean
ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee
pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (75000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Mini-TASK -
järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu
myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Mini-TASK -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden
avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
VAARA!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
"HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
HUOM
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Varian turbomolekyylinen
pumppu toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - 70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
"HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varian-
edustajalta.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Mini-TASK toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli
siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita,
ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Mini-
TASK:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-
direktiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
"HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
Mini-TASK ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa
(auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se
asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen mahdollinen
pölysaastuminen.
ASENNUS
"HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun
turbopumppu kytketään järjestelmään.
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C.
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”
-liitteestä.
Mini-TASK voidaan asentaa mihin tahansa asentoon. Kiinnitä
Mini-TASK tukevaan asentoon kytkemällä turbopumpun kiinteä
sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan, joka kestää 50 Nm:n
momentin oman akselinsa ympäri.
KÄYTTÖOHJEET
30 87-900-962-01(A)
Turbopumppu ISO-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden
vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
LAIPPA KIINNIKE MÄÄRÄ KIRISTYS-
MOMENTTI
ISO 63 Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
4 22 Nm
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys M8
4 11 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
HUOM
Mini-TASK:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta.
Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
KÄYTTÖ
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
"HUOMIO!
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voivat vahingoittua.
"HUOMIO!
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa
ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi).
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle
alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine).
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
Mini-TASK:n käynnistys ja käyttö
Käynnistä Mini-TASK kytkemällä sähkö päälle ja asettamalla
ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy).
Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran
ja käynnistää pumpun.
Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" -
tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa
käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” -
käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal
Description” kappaleessa “Technical Information”.
Vihreä LED LD1, joka sijaitsee Mini-TASK:n perustan
paneelissa, osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”-
tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Ks. Mini-TASKin ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus
liitteestä "Tekniset tiedot".
Mini-TASK:n pysäyttäminen
Pysäytä Mini-TASK asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon
(punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää
pumpun välittömästi.
Hätäpysäytys
Hätätilassa pysäytä Mini-TASK irrottamalla sähköjohto
pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
HUOLTO
Mini-TASK ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet
tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” -
kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
ODHGIES CRHSHS
31 87-900-962-01(A)
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας περιέχουν ένα
µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος
για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα / επαγωγέα ή ακόµη και σε
περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
ODHGIES CRHSHS
32 87-900-962-01(A)
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den
f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn
odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou
proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den
sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To Mini-TASK e∂nai ◊na
oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apè m∂a strobilomoriakÿ
antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ kenoÚ,
oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktÿ (controller) kai apè thn
prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlÿsei
opoiodÿpote e∂doj aer∂ou ÿ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (75000 str.§lept. max.)
kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè hlektrikè kinhtÿra uyhlèn
epidèsewn. To Mini-TASK stere∂tai pantelèj rupantikèn
paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè.
To Mini-TASK ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetÿrej diam◊sou twn
opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent), h
kaqodÿghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host
sundem◊nou m◊sw seiriakÿj grammÿj.
Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
("Technical Information")
Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj
èrouj¿
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
! PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuÿ.
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apè to ke∂meno.
APOQHKEUSH
Gia na egguhqe∂ to M◊gisto ep∂pedo leitourgikÒthtaj kai
axiopist∂aj twn Strobilomoriakèn antlièn Varian, pr◊pei na
throÚntai oi exÿj prodiagraf◊j¿
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j
sunqÿkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C
• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10
mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.
! PROSOCH
E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete
me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To Mini-TASK promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafÿ me to topikè tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Mini-TASK
kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
!PROSOCH
Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenè.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a.
SHMEIWSH
To
Mini-TASK Navigator
den bl£ptetai apl£ param◊nontaj
ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na
diathre∂te kleistÿ thn antl∂a m◊cri th stigmÿ thj egkat£stashj
sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè
skènh
.
EGKATASTASH
! PROSOCH
Xekollÿste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki
mèno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,
p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj èpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akèlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikÿ p∂esh
- qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissèterej leptom◊reiej.
To Mini-TASKpr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a prwteÚousa
antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø). To Mini-
TASK mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote q◊sh. Stereèste to
Mini-TASK se staqerÿ q◊sh enènontaj th fl£ntza eisèdou thj
tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ kèntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei
se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè ton £xon£ thj.
ODHGIES CRHSHS
33 87-900-962-01(A)
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh
tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto
ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na
sfictoÚn.
FLANTZA EIDOS DAGKANHS N. ZEUGOS
BIDWMATOS
ISO 63 Diplÿ dagk£nh me
el∂kwsh M10 4 22 Nm
Monÿ dagk£nh me
el∂kwsh M8 4 11 Nm
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
SHMEIWSH
To
Mini-TASK
den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj tou.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
CRHSH
Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
KINDUNOS!
Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisèdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
!PROSOCH
Na apofeÚgontai ctupÿmata ÿ apètomej metakinÿseij thj
tourmpoantl∂aj ètan e∂nai se leitourg∂a. Qa mporoÚsan na
dhmiourghqoÚn bl£bej sta roulem£n.
!PROSOCH
Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste
adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c.
vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ
prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn
atmosfairikhv pivesh).
KINDUNOS!
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
/Enaush kai Crÿsh tou Mini-TASK
Για το άναµµα του Mini-TASK αρκεί να παρέχετε την τάση
τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη
(ανάβει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj elegktÿj anagnwr∂zei
autom£twj thn parous∂a thj trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh
thn antl∂a.
Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start"
ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις
συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη
διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε
στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο
κεφάλαιο "Τechnical Information".
To pr£sino LED LD1 to opo∂o br∂sketai sto pla∂sio thj b£shj
tou Mini-TASK endeiknÚei, me th sucnèthta pou anabosbÿnei, tij
epiceirhsiak◊j sunqÿkej tou sustÿmatoj:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ:
- anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai
se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ "Waiting
for interlock".
- anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqÿkh.
Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του Mini-TASK
βλέπε την προσθήκη "Technical Information".
Stam£thma tou Mini-TASK
Για την κράτηση του Mini-TASK αρκεί να θέσετε στη θέση OFF τον
εξωτερικό διακόπτη (σβήνει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj
elegktÿj stamat£ am◊swj thn antl∂a.
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του Mini-TASK
χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την πρίζα του
ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό διακόπτη στη
θέση OFF.
SUNTHRHSH
To Mini-TASK de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh. Opoiadÿpote
ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apè eidikeum◊no proswpikè.
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei
tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian.
SHMEIWSH
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ
,
enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto
topikè Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø
sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou
entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin
apè thn apostolÿ.
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
34 87-900-962-01(A)
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
35 87-900-962-01(A)
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A Mini-Task egy integrált rendszer turbómolekuláris szivattyúval
nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a megfelelő
vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 75000 fordulat/perc)
biztosítja. A Mini-TASK szennyezőanyagoktól mentes, és ezért
alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A Mini-TASK fel van szerelve segédcsatlakozókkal a ventillátor
szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell vezérelni
soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések a szövegből vett fontos információt
tartalmaznak.
TÁROLÁS
A Varian Turbomolecular szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő
útmutatásokat kell követni:
• szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
• hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
• relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
• A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
• Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
!FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A Mini-TASK-ot különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha
ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet,
forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
!FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
Mini-TASK-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe való
telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
TELEPÍTÉS
!FIGYELEM
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot a
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A Mini-TASK-ot bármely helyzetben lehet telepíteni. Rögzítse a
Mini-TASK-ot stabil helyzetben, a turbószivattyú bemeneti
karimáját egy rögzített ellenkarimára csatlakoztatva, amely
képes ellenállni 50 Nm tengely körüli nyomatéknak.
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
36 87-900-962-01(A)
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
KARIMA RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
N. RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
ISO 63 M10 kapcsok 4 22 Nm
M8 kapcsok 4 11 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ”.
MEGJEGYZÉS
Amini-TASK nem rögzíthető az alapján keresztül.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.
HASZNÁLAT
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
VIGYÁZAT!
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
VIGYÁZAT!
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
!FIGYELEM
Kerülje a szivattyú ütését vagy durva mozgatását üzem közben.
A csapágyak megsérülhetnek.
!FIGYELEM
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
A Mini-TASK bekapcsolása és használata
A Mini-TASK bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni
(piros lámpa ég). Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a
tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Műszaki
információ” fejezetben.
A Mini-TASK-on elhelyezett zöld LD1 LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
A Mini-TASK vezérlőpanel részletes leírásáért lásd „Műszaki
információ” függelék.
A Mini-TASK kikapcsolása
A Mini-TASK kikapcsolásához elegendő a külső kapcsolót KI
állásba kapcsolni (piros fény kialszik). A beépített vezérlő
azonnal leállítja a szivattyút.
Vészleállítás
A Mini-TASK vészhelyzetben való azonnali leállításához el kell
távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
KARBANTARTÁS
A Mini-TASK nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett
bármely munkát jogosult személyzetnek kell elvégeznie.
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a
rendszercsomagba.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
37 87-900-962-01(A)
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
38 87-900-962-01(A)
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję
każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian
przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od
jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub
całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku
zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Mini TASK jest zintegrowanym systemem składającym się z
pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra
wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy.
System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub
mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania
płynów lub stałych cząstek.
Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotową turbinę
o wysokiej prędkości (max. 75000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. System
Mini TASK jest całkowicie bez czynników zanieczyszczających,
i dlatego też jest to system odpowiedni do zastosowań gdzie
jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.
Poza tym, Mini TASK posiada pomocnicze konektory poprzez
które można sterować wentylator vent, pilotować go zdalnie
poprzez główny komputer podłączony przez port szeregowy.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia :
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
! UWAGA !
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalnego
i niezawodności pomp turbomolekularnych Varian , muszą być
przestrzegane następujące zalecenia:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp,
nie mogą być przekroczone następujące warunki
środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do 70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% ( bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
! UWAGA !
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System Mini TASK jest dostarczany w specjanym ochronnym
opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których
mogłoby dojść podczas transportu, należy skontaktować się z
miejscowym biurem sprzedaży.
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK ani
nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
! UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
INFORMACJA
System Mini-TASK, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
INSTALACJA
! UWAGA !
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz,
śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych
lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
39 87-900-962-01(A)
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura: od +5 °C do +35 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie.
W celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz
dodatek “Informacje Techniczne”
Mini-TASK może być zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Zamocować Mini-TASK w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz
wejściowy turbopompy do kołnierza stałego wytrzymałego na
obciążenie 50 Nm wokół własnej osi.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez podwójne lub
pojedyncze zaciski. W niniejszej tabeli przedstawione zostały,
dla każdego typu zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment
dokręcenia ich.
KOŁNIERZ TYP
ZACISKU Nr. MOMENT
DOKRĘCENIA
ISO 63 Podwójny zacisk
z gwintem M10
4 22 Nm
Pojedynczy zacisk
z gwintem M8
4 11 Nm
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”
INFORMACJA
System Mini-TASK nie może być mocowany poprzez własną
podstawę.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.
UŻYTKOWANIE
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów
podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może
spowodować uszkodzenia ciała na osobach.
! UWAGA !
Unikać uderzeń, lub gwałtownych przesunięć turbopompy
podczas jej działania. Mogą uszkodzić się łożyska.
! UWAGA !
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez
pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2
barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne).
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
Włączenie i obsługa systemu Mini-TASK
Aby włączyć Mini-TASK wystarczy dostarczyć napięcie zasilania i
ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona lampka
zaświeci się). Wbudowany sterownik tzw. kontroler
automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę.
Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft
Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych
uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla
procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się
z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Informacje
Techniczne”.
Zielona dioda led LD1 znajdująca się na panelu podstawy Mini-
TASK wskazuje z częstotliwością własnego migania, stan
operacyjny systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego Mini-TASK
należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje Techniczne”.
Zatrzymanie Mini-TASK
Aby zatrzymać Mini-TASK wystarczy ustawić wyłącznik
zewnętrzny na pozycji OFF (czerwona lampka wyłączona).
Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie alarmowym system Mini-TASK, należy
wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub ustawić
zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF.
KONSERWACJA
System Mini-TASK nie wymaga żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez
upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego firmy Varian.
INFORMACJA
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy
obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do
niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być
włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
40 87-900-962-01(A)
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
41 87-900-962-01(A)
VŠEOBECNÉ INFORMACE
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
Mini-TASK je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 75000 ot/min.) poháněná
vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Mini-TASK
neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro
aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Mini-TASK je vybaven pomocnými konektory pro ovládání
odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově pomocí
hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
!VAROVÁNÍ
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
USKLADNĚNÍ
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Varian, musíte dodržovat
následující pokyny:
• Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
• Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
• Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
• turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
• skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
!VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
!VAROVÁNÍ
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Mini-TASK nemůže poškodit.
Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude
nainstalována do systému a tím se ochránila před jakýmkoli
znečištěním a prachem.
INSTALACE
!VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěvu Mini-TASK lze instalovat v libovolné poloze. Vývěvu
Mini-TASK upevněte v nějaké stabilní poloze a vstupní přírubu
turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která snese torzní
moment 50 Nm kolem své osy.
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
42 87-900-962-01(A)
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
PŘÍRUBA PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ POČET UTAHOVACÍ
MOMENT
ISO 63 Spony M10 4 22 Nm
Příchytky M8 4 11 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Vývěvu Mini-TASK nelze připevnit pomocí její podstavy.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
POUŽITÍ
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
!VAROVÁNÍ
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a
prudkými pohyby. Mohly by se poškodit ložiska.
!VAROVÁNÍ
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK
Vývěvu Mini-TASK stačí zapojit do sítě a pak zapnout venkovní
vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný regulátor
automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a spustí
vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technické
informace".
Zelená kontrolka LD1 umístěná na čelním panelu základny
vývěvy Mini-TASK indikuje provozní stavy systému blikáním:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy Mini-TASK
v příloze "Technické informace.
Vypnutí vývěvy Mini-TASK
Vývěvu Mini-TASK stačí vypnout externím vypínačem, který
přepnete do vypnuté polohy (červená kontrolka zhasne).
Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy Mini-TASK v nouzové situaci je
třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky, nebo
vypnout síťový vypínač.
ÚDRŽBA
Vývěva Mini-TASK nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce
na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
POZNÁMKA
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
NÁVOD K POUŽITIU
43 87-900-962-01(A)
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť prísne
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
NÁVOD K POUŽITIU
44 87-900-962-01(A)
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi, zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Mini-TASK je integrovaný systém s turbovývevou pre určený
pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké vákuum,
spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou
primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ
plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie
tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi
rýchla turbína (max. 75000 otáčok/minútu), poháňaná
vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie
Mini-TASK neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá, a preto sa
hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie Mini-TASK je vybavené prídavnými konektormi pre
kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové ovládanie z
osobného počítača pripojeného sériovou linkou.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
!UPOZORNENIE
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
POZNÁMKA
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Varian
podávali maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujú-
ce pokyny:
• neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
• rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
• rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
• zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej
vývevy vždy postupovať pomaly a postupne
• skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
!UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie Mini-Task je dodané v špeciálnom ochrannom
obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad
počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
!UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Mini-task
poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
INŠTALÁCIA
!UPOZORNENIE
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie Mini-TASK môže byť nainštalované v ľubovoľnej
polohe. Upevnite Mini-Task do stabilnej polohy pripojením
vstupnej príruby turbovývevy k pevnej prírube, upevnenej tak,
aby vydržala namáhanie krútiacim momentom 50 Nm okolo
svojej osi.
NÁVOD K POUŽITIU
45 87-900-962-01(A)
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca
tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet
svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment.
PRÍRUBA UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS POČET UPEVŇOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
ISO 63 svorky M10 4 22 Nm
kleštiny M8 4 11 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
POZNÁMKA
Mini-TASK nemožno upevniť pomocou jej základnej dosky.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
POUŽITIE
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 şC.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
VAROVANIE!
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
!UPOZORNENIE
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená
nárazom, alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť
ložiská.
!UPOZORNENIE
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu,
častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí
byť nižší než 2 bary (pretlakové).
VAROVANIE!
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
Zapnutie a použitie zariadenia Mini-TASK
Pre zapnutie Mini-TASKu stačí pripojenie k sieti a prepnutie
vonkajšieho vypínača do polohy ON (svieti červená kontrolka).
Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná pripojenie k
sieti a zapne vývevu.
Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý
sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa
odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní
režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole
“Technické informácie”.
Zelená LED dióda LD1 na základnom čelnom paneli zariadenia
Mini-TASK ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti
systému:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
Podrobné informácie o kontrolnom paneli Mini-TASKu sa
nachádzajú v dodatku „Technické informácie“.
Vypnutie Mini-TASKu
Pre vypnutie Mini-TASKu stačí prepnutie vonkajšieho vypínača
do polohy OFF (červená kontrolka zhasne). Zabudovaný
kontrolný modul vývevu okamžite zastaví.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie Mini-TASK okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky
zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy
OFF.
ÚDRŽBA
Zariadenie Mini-TASK nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek
úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný personál.
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Varian.
POZNÁMKA
Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník
„Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
NAVODILA ZA UPORABO
46 87-900-962-01(A)
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
NAVODILA ZA UPORABO
47 87-900-962-01(A)
SPLOŠNE INFORMACIJE
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Mini-TASK je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za
visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je povezana s
pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko. Sistem lahko
črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za črpanje
tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre turbine
(maks. 75000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni električni
motor. Mini-TASK ne vsebuje onesnaževalnih agentov in je
primeren za »čisto« vakuumiranje.
Mini-TASK je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor na
odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomočjo
gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske
povezave.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
! POZOR
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
OPOMBA
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Varian
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
• Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
• temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
• območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
• Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
• Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
! POZOR
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
Mini-TASK je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
! POZOR
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati Mini-
TASK-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je
ne namestite v sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s
prahom.
MONTAŽA
! POZOR
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati
naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: od +5 °C od +35 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije" .
Mini-TASK lahko namestite v poljuben položaj. Mini-TASK
namestite v stabilem položaj tako, da povežete vhodno
prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki lahko
prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
NAVODILA ZA UPORABO
48 87-900-962-01(A)
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval
ter potreben navor za pritrjevanje.
PRIROBNICA NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE N. NAVOR
ISO 63 M10 držala 4 22 Nm
M8 pritrjevalo 4 11 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
OPOMBA
Mini-TASK-a ni moč pritrditi s svojo osnovo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
OPOZORILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
OPOZORILO!
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
! POZOR
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom
črpalke tekom delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo.
! POZOR
Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu,
delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti
manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
Vklop in uporaba Mini-TASK-a
Za vklop Mini-TASK-a je dovolj, da priključite napetost in
premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).
Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in
zažene črpalko.
Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki
ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je
priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo
načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju
»Tehnične informacije«.
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči Mini-TASK-a,
s hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Tehničnih
informacij«.
Izklop Mini-TASK-a
Za izklop Mini-TASK-a je dovolj, da premaknete zunanje stikalo
v položaj OFF (rdeča lučka ugasne). Vgrajen kontroler takoj
zaustavi črpalko.
Zaustavitev v sili
Za takojšenj izklop Mini-TASK-a v sili je potrebno odstraniti
dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v položaj OFF.
VZDRŽEVANJE
Mini-TASK ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo na
sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino,
počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska
temperatura črpalke pade pod 50 °C.
V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni
center.
OPOMBA
Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati
»Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter
ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate
kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
INSTRUCTIONS FOR USE
49 87-900-962-01(A)
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
INSTRUCTIONS FOR USE
50 87-900-962-01(A)
GENERAL INFORMATION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The Mini-TASK is an integrated system with a turbo-molecular
pump for high and ultra-high vacuum applications associated
with its relevant controller and its primary pump. The system
can pumps any type of gas or gas compound. It is not suitable
for pumping liquids or solid particles. The pumping action is
obtained through a high speed turbine (max. 75000 rpm) driven
by a high-performance 3-phase electric motor. The Mini-TASK
is free of contaminating agents and, therefore, is suitable for
applications requiring a "clean" vacuum.
The Mini-TASK is equipped with auxiliary connectors to control
the vent valve, to be controlled from a remote site by means of
an host computer connected through a serial line.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
!CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian Turbomolecular pumps, the following
guidelines must be followed:
• when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
• temperature range: -20 °C to 70 °C
• relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
• the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the
customer
• the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
!CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The Mini-TASK is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
!CAUTION
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the Mini-
TASK. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is
installed in the system, thus preventing any form of pollution by
dust.
INSTALLATION
!CAUTION
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical
Information" for detailed information.
The Mini-TASK can be installed in any position. Fix the Mini-
TASK in a stable position connecting the inlet flange of the
turbopump to a fixed counter-flange capable of withstanding a
torque of 50 Nm around its axis.
INSTRUCTIONS FOR USE
51 87-900-962-01(A)
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each fixing device, the necessary number of
clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE FIXING
DEVICE N. FIXING
TORQUE
ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm
M8 claws 4 11 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
NOTE
The Mini-TASK cannot be fixed by means of its base.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
USE
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not
connected to the vacuum chamber or is not blanked.
WARNING!
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
!CAUTION
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation. The bearings may become damaged.
!CAUTION
Use inert gas free from dust, particles or humidity (like
Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port
must be less than 2 bar (above atmospheric pressure).
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
Switching on and Use of Mini-TASK
To switch on the Mini-TASK it is sufficient to supply the mains
and then move the external switch to ON position (red light on).
The integrated controller automatically recognizes the mains
presence and start up the pump.
At the first start up it is recommended to use the "Soft Start"
mode by enabling it on the controller. For the following start ups
it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the
"Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph
"Signal Description" in the chapter "Technical Information".
The green LED LD1 located on the Mini-TASK base front panel
indicates with its flashing frequency the system operating
conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
See the appendix "Technical Information" for a detailed
description of the Mini-TASK control panel.
Mini-TASK Switching off
To switch off the Mini-TASK it is sufficient to move the external
switch to OFF position (red light off). The integrated controller
immediately stops the pump.
Emergency Stop
To immediately stop the Mini-TASK in an emergency condition
it is necessary to remove the supply cable from the mains plug
or moving the external switch to OFF position.
MAINTENANCE
The Mini-TASK does not require any maintenance. Any work
performed on the system must be carried out by authorized
personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, the
"Health and Safety" sheet attached to this instruction manual
must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the
sheet must be inserted in the system package before shipping.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
TECHNICAL INFORMATION
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK
The Mini-TASK pumping system consists of a
pump with an integrated controller and a forepump
and is available in three models which differ only in
the high vacuum flange.
The four models are:
− Model 969-9170 with KF 40 high vacuum
flange;
− Model 969-9171 with ISO 63 high vacuum
flange;
− Model 969-9172 with ConFlat 4.5” external di-
ameter high vacuum flange.
The following figures show the three models.
Turbopump Description
The turbopump consists of a high frequency motor
driving a turbine fitted with 10 bladed stages and 4
Macrotorr stages. The turbine rotates in an anti-
clockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light alumin-
ium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have five different
angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages
are in the form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-
bricated high precision ceramic ball bearings in-
stalled on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accu-
rately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-
positioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are fabricated in aluminium al-
loy
During normal operation, the motor functions with
a power feed at 54 Vac three-phase at 1250 Hz.
To reduce losses during start-up to a minimum,
the frequency increases according to a ramp with
a higher initial voltage/frequency ratio.
The external body of the pump is fitted with fins
which allow the pump itself to function with natural
convection air cooling.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a resid-
ual vibration amplitude less than 0.01 µm.
Model 969-9170
Model 969-9171
Model 969-9172
52 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Controller Description
The integrated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip micro-
computer and is composed of a PCB which in-
cludes a power supply with a 3-phase AC output,
analog and input/output section, microprocessor
and digital section. The controller recognizes the
mains presence and converts the single phase AC
mains supply into a 3-phase, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection.
Diaphragm Forepump Description
The pump consists of an electric DC motor driving
an eccentric which moves an elastic diaphragm.
The pump has four heads.
The compression chamber is hermetically sepa-
rated from the drive mechanism by means of the
diaphragm.
The pump transfers, evacuates and compresses
completely oil-free.
The motor is supplied with a voltage of 24 Vdc.
NOTE
A diaphragm pump cleaning from the humidity is
recommended to improve the system performance
using dry air or nitrogen. It is recommended to
open manually the vent valve after every start
command for about 30 seconds.
Control Panel Description
The following picture shows the Mini-TASK control
panel; the associated table lists the available
commands. For a detailed description see the fol-
lowing paragraphs.
CONTROL NAME DESCRIPTION
P3 VENT Connector to control the optional vent
valve
P5 FAN Connector to supply the optional fan
LD1 STATUS Green LED to show the system operat-
ing condition
J6 SERIAL Serial input-output connector to control
the Mini-TASK via an RS 232 or RS 485
connection
J5 IN-OUT Input-output connector to remote control
the Mini-TASK
CONTROL NAME DESCRIPTION
ON-OFF red
switch with inte-
grated light
(not shown in the
picture)
It is located on the other side of the sys-
tem (with respect to the illustrated control
panel). It is the power supply switch. The
integrated red light shows the power
supply status: it lights when the power
supply is applied to the Mini-TASK
TECHNICAL SPECIFICATION
Pumping speed (l/s) With CF 4.5” or
ISO 63:
N2: 60 l/s
He: 55 l/s
H2: 40 l/s
With
KF 40 NW:
N2: 40 l/s
He: 45 l/s
H2: 36 l/s
Base pressure* 5 x 10-8 mbar (3.75 x 10-8 Torr)
Inlet flange CF 4.5" O.D.; ISO63; KF 40 NW
Rotational speed 75000 RPM
Start-up time < 2 minutes
Operating position any
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Noise level 55 dB (A) at 1 meter
Lubricant permanent lubrication
Power supply
(Line type):
Input voltage:
Input frequency:
Max input power:
Stand-by power:
100 – 240 Vac
50 – 60 Hz
220 VA
10 W
Protection fuse 2.5 A
Compliance with: UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011 (Class A Group 1)
EN 61000/3/2
EN 61000/3/3
EN 61000/4/2
EN 61000/4/3
EN 61000/4/4
EN 61010-1
EN 1012-2
Installation category II
Pollution degree 2
Power cable With European, USA or UK plug
2 meters long
Serial communica-
tion (kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male
connector and a 9-pin D type female
connector, and software (optional)
Storage temperature - 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs) ISO and KF: 7.5 (16)
CFF: 8.3 (18)
* According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange.
53 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
NOTE
When the Mini-TASK has been stored at a tempera-
ture less than 5°C, wait until the Mini-TASK has
reached the above mentioned temperature.
MINI-TASK OUTLINE
The following figure shows the Mini-TASK outline.
54 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of pumping speed vs inlet pressure
Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
55 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309
prevent the blades of the pump from being dam-
aged by debris greater than 0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pump-
ing speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
The screen can be mounted on either pump series
and is supplied with a small tab for easy removal
(see figure).
The following figure shows the overall flange di-
mensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange (on the left side) and pump
with 4.5” CFF flange (on the right side).
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION
A vibration damper model 969-9340 for ISO 63
inlet flange version pump is available as accesso-
ries.
It typically reduces the vibration transmitted from
the Turbo pump to the system by a factor of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
56 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
To facilitate assembly and dismantling, apply Fel-
pro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange. Note that the 2.75” CF flange
has six blind holes.
Attach the units and tighten each one in turn. Re-
peat the sequential tightening until the flange faces
meet.
! CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS
57 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
INTERCONNECTIONS
Input power connector (Line type)
The following figure show the input power connec-
tor.
P3 - Vent
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve.
P5 – External fan
This is a dedicated 24 Vdc connector to supply an
external fan.
J5 - IN-OUT
This connector carries all the input and output sig-
nals to remote control the Mini-TASK.
It is a 15-pins D type connector; the available sig-
nals are detailed in the table, the following para-
graphs describe the signal characteristics and use.
PIN N. SIGNAL NAME INPUT/
OUTPUT
1 START/STOP (+) IN
2 START/STOP (-) IN
3 INTERLOCK (+) IN
4 INTERLOCK (-) IN
5 SPEED SETTING (+) IN
6 SPEED SETTING (-) IN
7 SOFT START (+) IN
8 SOFT START (-) IN
9 +24 Vdc OUT
10 SPARE
11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT
12 SPARE
13 FAULT OUTPUT OUT
14 PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
15 • GROUND (24 Vdc)
• PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. Without the supplied cover connector, if you
want to stop the turbo-pump from outside, you
have to connect the START/STOP (+) signal to the
+24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin (this is the default configuration of
the cover connector).
INTERLOCK: input signal to control the pump ro-
tation. With the supplied cover connector the IN-
TERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND
pin: in this condition the pump is stopped.
58 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
• ampitude: 0 - 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
corresponding to a pump speed from 250 Hz
(25%) to 1250 Hz (75%) linearly.
If any signal isn’t applied (no connection) the pump
speed is set to “High Speed” (1250 Hz max and
settable by window “120”).
If a continuous signal is applied (pin 5 fixed at +24
V and pin 6 fixed to ground) the pump speed is set
to “Low Speed”.
The Low Speed frequency is settable by window
“117” (see “RS232/RS485 Communication De-
scription”).
SOFT START: input signal to control the Soft Start
operating mode. To enable the "Soft Start" mode it
is necessary to supply a +24 Vdc signal to the
SOFT START (+) pin and to connect the SOFT
START (-) pin to ground.
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this out-
put signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) linearly
proportional to a reference quantity (frequency or
power) set by the user (0V = 0W or 0Hz; 10V =
100W or 1250Hz). The default setting is the fre-
quency.
FAULT: this open collector output signal is closed
when a controller fault condition is detected.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collec-
tor output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, current or time) is
higher than the set threshold. The signal can be
"high level active" (that is the output is normally at
0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated), or
"low level active" (that is the output is normally at
24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated).
Moreover, if the reference quantity is the fre-
quency or the current, it is possible to set the hys-
teresis (in % of the threshold value) to avoid
bouncing.
For example:
− reference quantity: frequency
− threshold: 500 Hz
− hysteresis: 1%
− activation type: "high level"
− mask time: 10 sec
The set point output stays at 0 Vdc until the fre-
quency becomes higher than 505 Hz (that is 500
Hz + 1% of 500 Hz), then the output goes at 24
Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be-
comes lower than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of
500 Hz). It is possible to mask the set point check-
ing for a programmable mask time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has
the following default settings:
− reference quantity: frequency
− thereshold: 1125 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: high level
− mask time: 0 second
NOTE
The Software (optional) allows the operator to set
all the programmable feature.
When no external input-output device is available
this connector must be opened. So you don't have
to connect the supplied mating connector.
59 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the open collector to the
controller’s input
Here below there are the typical connections of the
input of Mini-TASK to an external device. Two
cases are considered:
1. the customer supplies the 24 Vdc
2. the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 60
mA voltage, a GROUND signal and the open col-
lector pin are available.
Case 1
Case 2 with relay utilisation
Case 2 with transistor utilisation
60 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may
be connected e.g. a LED, a computer, etc., and
the related simplified circuit of the controller. The
figure example refers to the programmable set
point signal on pins 11 and 9.
Typical output connection
J6 - Serial
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
Mini-TASK.
PIN N. SIGNAL NAME
1 +5 V (OUT)
2 TX (RS232)
3 RX (RS232)
4 A+ (RS422 Optional)
5 GND
6 A + (RS485)
7 B - (RS422 Optional)
8 B - (RS485)
9 RESERVED
Note that the vent valve can also be controlled by
means of the serial connection.
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation software is available (optional).
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector P2. The communication
protocol is the same (see the structure below), but
only the RS 485 manages the address field.
Therefore to enable the RS 485 is necessary to
select the type of communication as well as the
device address by means of the software.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 p
grammable
ro-
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Host = MASTER
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC
to the controller (SLAVE);
2. the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the correspond-
ing ASCII character.
− <STX> (Start of transmission) = 0x02
− <ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device num-
ber (0 to 31) (for RS 485)
− <WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-
acter indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− <COM> (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− <DATA> = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
61 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
DATA TYPE FIELD
LENGTH
VALID
CHARACTERS
Logic (L) 1 ‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)
− <ETX> (End of transmission) = 0x03
− <CRC> = XOR of all characters subsequent to
<STX> and including the <ETX> terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an AN-
SWER whose structure depends from the MESSAGE
type.
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS <ADDR>
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 31 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 30 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 31 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 30 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
62 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
02 83 32 30 35 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37
STX ADDR WINDOW DATA (STATUS) ETX CRC
Command: READ SERIAL TYPE
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485
mode)
02 83 35 30 34 30 03 38 31
STX ADDR WINDOW RD ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 83 35 30 34 30 31 03 42 30
STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC
Window Meanings
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
000 R/W L Start/Stop
(in remote
mode the
window is a
read only)
Start = 1
Stop = 0
001 R/W L Low Speed
Activation
No = 0
Yes = 1
(default = 0)
008 R/W L Remote
(default) or
Serial con-
figuration
Remote = 1
Serial = 0
(default = 1)
100 R/W L Soft Start
(write only in
Stop condi-
tion)
YES = 1
NO = 0
(default = 1 the
first time and 0
the following)
101 R/W N Set Point
type
0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
(default = 0)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
102 R/W N Set Point
threshold
(expressed in
Hz, mA or s)
(default = 1125)
103 R/W N Set Point de-
lay: time be-
tween the
pump start
and the set
point check
(seconds)
0 to 99999
(default = 0)
104 R/W L Set Point
signal activa-
tion type: the
signal can be
"high level
active" or
"low level ac-
tive"
0 = high level ac-
tive
1 = low level ac-
tive
(default = 0)
105 R/W N Set point
hysteresis
(in % of
threshold)
0 to 100
(default = 2)
106 R/W L Water cool-
ing
0 = NO
1 = YES
107 R/W L Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
108 R/W N Baud rate 600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109 W L Pump life/
cycle time/
cycle number
reset
To reset write ‘1’
110 R/W L Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
111 R/W L Analog out-
put type:
output volt-
age signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
(default = 0)
117 R/W N Low Speed
frequency
(Hz)
250 to “Maximum
rotational
frequency”
(win 121)
(default = 833)
120 R/W N Rotational
frequency
setting (Hz)
250 to “Maximum
rotational
frequency”
(win 121)
(default = 1250)
121 R/W N Maximum
rotational
frequency in
Hz (active
only in Stop
condition)
250 to 1250
(default = 1250)
63 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
122 R/W L Set vent
valve on/off
(on = closed)
On = 1
Off = 0
(default = 1)
123
124
Reserved to Varian service
125 R/W L Set the vent
valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
On command = 1
(see note 2.)
126 R/W N Vent valve
opening
delay
(expressed in
0.2 sec)
0 to 65535
(corresponding to
0 to 13107 sec)
130 Reserved to Varian service
200 R N Pump
current in mA
dc
201 R N Pump volt-
age in Vdc
202 R N Pump power
in W (pump
current x
pump voltage
duty cycle)
203 R N Driving fre-
quency in Hz
204 R N Pump tem-
perature in
°C
0 to 70
205 R N Pump status Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
206 R N Error code Bit description:
see the following
figure
210 R
(see
note
3.)
N Actual rota-
tion speed in
Hz
250 to 1250
300 R N Cycle time in
minutes (ze-
roed by the
reset com-
mand)
0 to 4x109
301 R N Cycle num-
ber (zeroed
by the reset
command)
0 to 4x109
302 R N Pump life in
hours (ze-
roed by the
reset com-
mand)
0 to 4x109
320
to
399
Reserved to Varian service
400 R A CRC
EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402 R A CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404 R A CRC Pa-
rameter
structure
"XXXX"
500 Reserved to Varian service
503 R/W N RS 485 ad-
dress
0 to 31
(default = 0)
504 R/W L Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the vent valve is opened with a delay
defined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3. These commands remove the pump motor
supply for a short time. If they are used con-
tinuously, they can cause the pump stopping.
7 6 5 4 3 2 1 0
TOO HIGH LOAD NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.
OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.
AUX FAIL POWER FAIL
Window N. 206 Bit Description
64 87-900-962-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of
a turbomolecular pump that tend to oppose to its
rotation.
The result is increased electrical power consump-
tion by the motor, most of which is dissipated in
the rotor.
In general, therefore, an increase in pump current
can be expected.
ORDERABLE PARTS
DESCRIPTION PART NUMBER
European plug power cable, 2 m
long
969-9396
USA plug power cable, 2 m long 969-9397
UK plug power cable, 2 m long 969-9398
Serial cable and Navigator
Software
969-9883
Inlet screen DN40 969-9309
Inlet screen DN63 969-9300
Vibration damper, DN 63 ISO 969-9340
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
65 87-900-962-01(A)
Request for Return
1. A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
2. Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
3. The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
4. Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..… Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..…… E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………... USA only: Taxable Non-taxable
Customer Ship To: ………………………….……… Customer Bill To: …………………..……………...
……………..…………………... ..………………………………...
………………..………………... ..………………………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description Varian P/N Varian S/N Purchase Reference
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange Paid Repair Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return
Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: …………………………………. Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………... Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
POSITION PARAMETERS
Does not start Noise Vertical Power: Rotational Speed:
Does not spin freely Vibrations Horizontal Current: Inlet Pressure:
Does not reach full speed Leak Upside-down Temp 1: Foreline Pressure:
Mechanical Contact Overtemperature Other: Temp 2: Purge flow:
Cooling defective …………………. OPERATION TIME:
TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS VALVES/COMPONENTS
Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak
Vacuum leak High voltage problem Solenoid failure Damaged flange
Error code on display Other Damaged sealing area Other
Customer application: Customer application:
LEAK DETECTORS INSTRUMENTS
Cannot calibrate No zero/high backround Gauge tube not working Display problem
Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working
Failed to start Other Error code on display Other
Customer application: Customer application:
PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS
Pump doesn’t start Noisy pump (describe) Heater failure Electrical problem
Doesn’t reach vacuum Over temperature Doesn’t reach vacuum Cooling coil damage
Pump seized Other Vacuum leak Other
Customer application: Customer application:
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
Argentina
Varian Argentina Ltd.
Sucursal Argentina
Av. Ricardo Balbin 2316
1428 Buenos Aires
Argentina
Tel: (54) 1 783 5306
Fax: (54) 1 786 5172
Benelux
Varian Vacuum Technologies
Rijksstraatweg 269 H,
3956 CP Leersum
The Netherlands
Tel: (31) 343 469910
Fax: (31) 343 469961
Brazil
Varian Industria e Comercio Ltda.
Avenida Dr. Cardoso de Mello 1644
Vila Olimpia
Sao Paulo 04548 005
Brazil
Tel: (55) 11 3845 0444
Fax: (55) 11 3845 9350
Canada
Central coordination through:
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
China
Varian Technologies - Beijing
Room 1201, Jinyu Mansion
No. 129A, Xuanwumen Xidajie
Xicheng District
Beijing 100031 P.R. China
Tel: (86) 10 6641 1530
Fax: (86) 10 6641 1534
France and Wallonie
Varian s.a.
7 avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 13
Fax: (33) 1 69 28 23 08
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
07/03
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 5548444
Fax: (91) 11 5548445
Italy
Varian Vacuum Technologies
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Japan
Varian Vacuum Technologies
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
UK and Ireland
Varian Ltd.
28 Manor Road
Walton-On-Thames
Surrey KT 12 2QF
England
Tel: (44) 1932 89 8000
Fax: (44) 1932 22 8769
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Other Countries
Varian Vacuum Technologies
via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Tel: 1 (800) 882 7426 (toll-free)
vtl.technical.support@varianinc.com
Europe
Tel: 00 (800) 234 234 00 (toll-free)
vtt.technical.support@varianinc.com
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253 (dedicated line)
vtj.technical.support@varianinc.com
Korea
Tel: (82) 2 3452 2452 (dedicated line)
vtk.technical.support@varianinc.com
Taiwan
Tel: 0 (800) 051 342 (toll-free)
vtw.technical.support@varianinc.com
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries

Navigation menu