Mini Task Ag81
User Manual: mini-task-ag81
Open the PDF directly: View PDF 
.
| Download | |
| Open PDF In Browser | View PDF |
NOTICE: This document contains references to Varian.
Please note that Varian, Inc. is now part of Agilent
Technologies. For more information, go to
www.agilent.com/chem.
Mini-TASK AG81
Model 969-9180
Model 969-9181
Model 969-9182
(I)
MANUALE DI ISTRUZIONI
(D)
BEDIENUNGSHANDBUCH
(F)
NOTICE DE MODE D’EMPLOI
(E)
MANUAL DE INSTRUCCIONES
(P)
MANUAL DE INSTRUÇÕES
(NL) BEDRIJFSHANDLEIDING
(DK) INSTRUKSTIONSBOG
(S)
BRUKSANVISNING
(N)
INSTRUKSJON MANUAL
(FIN) OHJEKÄSIKIRJA
(GR) ODHGIES CRHSEWS
(H)
FELHASZNÁLÓI KÉZIKÖNYV
(PL)
PODRECZNIK INSTRUKCJI
(CZ) NÁVOD K POUŽITÍ
(SK)
NÁVOD NA OBSLUHU
(SLO) PRIROČNIK ZA NAVODILA
(GB) INSTRUCTION MANUAL
87-901-003-01(A)
APRIL 2008
Mini-TASK AG81
ISTRUZIONI PER L’USO ...................................................................................................................................1
GEBRAUCHSANLEITUNG ................................................................................................................................5
MODE D’EMPLOI ...............................................................................................................................................9
INSTRUCCIONES DE USO .............................................................................................................................13
INSTRUÇÕES PARA O USO...........................................................................................................................17
GEBRUIKSAANWIJZINGEN............................................................................................................................21
BRUGSANVISNING .........................................................................................................................................25
BRUKSANVISNING..........................................................................................................................................29
BRUKERVEILEDNING .....................................................................................................................................33
KÄYTTÖOHJEET .............................................................................................................................................37
PDHGIES CRHSEWS ...........................................................................................................................................41
HASZNÁLATI UTASÍTÁS .................................................................................................................................45
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA........................................................................................................................49
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ.....................................................................................................................................53
NÁVOD K POUŽITIU........................................................................................................................................57
NAVODILA ZA UPORABO...............................................................................................................................61
INSTRUCTIONS FOR USE..............................................................................................................................65
TECHNICAL INFORMATION ...........................................................................................................................69
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81.................................................................................69
Turbopump Description .....................................................................................................69
Controller Description ........................................................................................................70
Diaphragm Forepump Description.....................................................................................70
Control Panel Description ..................................................................................................70
TECHNICAL SPECIFICATION ....................................................................................................70
MINI-TASK AG81 OUTLINE ........................................................................................................71
INLET SCREEN INSTALLATION ................................................................................................73
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION....................................................................................73
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION...................................................................................73
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS.................................................74
INTERCONNECTIONS................................................................................................................75
Input power connector .......................................................................................................75
P1 – Vent ...........................................................................................................................75
J5 – Gauge Connector.......................................................................................................76
Pressure Display Module...................................................................................................76
J1 – IN-OUT.......................................................................................................................76
Signal description ..............................................................................................................77
J2 - Serial...........................................................................................................................79
RS 232/RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION ..................................................................80
Communication Format .....................................................................................................80
Serial Communication Descriptions...................................................................................80
WINDOW PROTOCOL ................................................................................................................80
Description .........................................................................................................................80
Window Meanings .............................................................................................................82
ORDERABLE PARTS ..................................................................................................................84
ISTRUZIONI PER L'USO
Indicazioni di Sicurezza
per
Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata
quantità di energia cinetica dovuta alla alta velocità di rotazione in unione alla massa
specifica dei loro rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una
rottura del rotore, l'energia di rotazione potrebbe essere rilasciata.
PERICOLO!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte
nel presente manuale!
1/84
87-901-003-01(A)
ISTRUZIONI PER L'USO
Durante l'operazione di disimballaggio, prestare particolare
attenzione a non lasciar cadere il Mini-TASK AG81 e a non
sottoporlo ad urti o vibrazioni.
Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399
per la tutela dell'ambiente.
INFORMAZIONI GENERALI
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla
Varian prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Varian si ritiene
sollevata da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza
totale o parziale delle istruzioni, ad uso improprio da parte di
personale non addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso
contrario alle normative nazionali specifiche.
Il Mini-TASK AG81 è un sistema integrato costituito da una
pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto
vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria. Il
sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di
composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di liquidi
o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad
elevata velocità (80000 giri/min. max) mossa da un motore
elettrico trifase ad alto rendimento. Il Mini-TASK AG81 è
totalmente privo di agenti contaminanti, ed è quindi adatto per
applicazioni che richiedono un vuoto "pulito".
Il Mini-TASK AG81 ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i
quali è possibile comandare la valvola di vent, pilotarlo da
remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale.
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni
necessarie a garantire la sicurezza dell'operatore durante
l'utilizzo dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono
fornite nell'appendice “Technical information”.
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
!ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le
mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto.
Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata.
PERICOLO!
I messaggi di pericolo attirano l'attenzione dell'operatore su una
procedura o una pratica specifica che, se non eseguita in modo
corretto, potrebbe provocare gravi lesioni personali.
NOTA
!ATTENZIONE!
Il Mini-TASK AG81 non può essere danneggiato rimanendo
semplicemente esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di
mantenere chiusa la pompa fino al momento dell'installazione
sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere.
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure
che, se non osservate, potrebbero causare danni all'apparecchiatura.
INSTALLAZIONE
NOTA
!ATTENZIONE!
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal
testo.
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al
momento del collegamento della turbopompa al sistema.
IMMAGAZZINAMENTO
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità dei
sistemi di pompaggio Varian, devono essere osservate le
seguenti prescrizioni:
• durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento
delle pompe non devono essere superate le seguenti
condizioni ambientali:
• temperatura: da –20 °C a 70 °C
• umidità relativa: da 0 a 95% (non condensante)
• il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel
modo Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la
prima volta
• il tempo di immagazzinamento di una pompa
turbomolecolare è di 10 mesi dalla data di spedizione.
!ATTENZIONE!
PREPARAZIONE PER L'INSTALLAZIONE
Non installare e/o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad
agenti atmosferici (pioggia, gelo, neve), polveri, gas aggressivi,
in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
− pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
− temperatura: da + 5 °C a +35 °C
− umidità relativa: 0 - 95% (non condensante).
Il Mini-TASK AG81 viene fornito in un imballo protettivo
speciale; se si presentano segni di danni, che potrebbero
essersi verificati durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite
locale.
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere
protetta tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice
"Technical Information" per ulteriori dettagli.
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è
superiore, occorre reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni
informazione, si prega di contattare il locale rappresentante
della Varian.
2/84
87-901-003-01(A)
ISTRUZIONI PER L'USO
Il Mini-TASK AG81 può essere installato in qualsiasi posizione.
Fissare il Mini-TASK AG81 in posizione stabile collegando la
flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa
capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio
asse.
La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti
singoli. La seguente tabella descrive, per ogni tipo di morsetto,
il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio
stringerli.
FLANGIA
ISO 63
TIPO DI
MORSETTO
Morsetto doppio
con filettatura M10
Morsetto singolo
con filettatura M8
4
COPPIA DI
SERRAGGIO
22 Nm
4
11 Nm
N.
Accensione ed Uso del Mini-TASK AG81
Per accendere il Mini-TASK AG81 è sufficiente fornire la tensione
di alimentazione e mettere in posizione ON l'interruttore esterno
(luce rossa accesa). Il controller incorporato riconosce
automaticamente la presenza dell’alimentazione ed avvia la
pompa.
Alla prima accensione è bene adottare la modalità "Soft Start"
attivandola sul controller, per gli avvii successivi si consiglia di
disabilitare la modalità "Soft Start". Per la procedura di attivazione
della modalità "Soft Start" far riferimento al paragrafo "Signal
Description" nel capitolo "Technical Information".
Il LED blu “STATUS” posto sul pannello della base del MiniTASK AG81 indica, con la frequenza del suo lampeggio, le
condizioni operative del sistema:
− acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
− lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il
sistema è in stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di
“Waiting for interlock”;
− lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms):
condizione di errore.
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere
fissata alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria
meccanica Varian. Per ulteriori dettagli vedere l'appendice
"Technical Information".
Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del
Mini-TASK AG81 vedere l'appendice "Technical Information".
NOTA
Il Mini-TASK AG81 non può essere fissato tramite la sua base.
Arresto del Mini-TASK AG81
Per l'installazione degli accessori opzionali, vedere "Technical
Information".
Per arrestare il Mini-TASK AG81 è sufficiente mettere in
posizione OFF l'interruttore esterno (luce rossa spenta). Il
controller incorporato arresta immediatamente la pompa.
USO
Arresto di Emergenza
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure
operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 120 °C.
Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini-TASK AG81
occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete, o
spostare l'interruttore esterno in posizione OFF.
MANUTENZIONE
Il Mini-TASK AG81 non richiede alcuna manutenzione.
Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale
autorizzato.
PERICOLO!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è
collegata alla camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di
chiusura.
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo
l'apposita valvola, attendere fino al completo arresto del rotore
ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia
inferiore a 50°C.
PERICOLO!
Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante
le operazioni di riscaldamento. L'elevata temperatura può
causare lesioni alle persone.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di
riparazione Varian.
PERICOLO!
NOTA
Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero
verificarsi danni alle persone o alle cose.
Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni, è
indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite
la scheda "Sicurezza e Salute" allegata al presente manuale di
istruzioni. Copia della stessa deve essere inserita nell'imballo
del sistema prima della spedizione.
!ATTENZIONE!
Per la mandata all'aria della pompa utilizzare gas inerte esente
da polvere, particelle o umidità (es. Azoto). La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2
bar (oltre la pressione atmosferica).
PERICOLO!
Qualora un sistema dovesse essere rottamato, procedere alla
sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali
specifiche.
PERICOLO!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas
tossici, infiammabili o radioattivi, seguire le appropriate
procedure tipiche di ciascun gas.
Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
3/84
87-901-003-01(A)
ISTRUZIONI PER L'USO
SMALTIMENTO
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette
Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla
direttiva CE denominata "WEEE".
Questo simbolo (valido solo per i paesi della Comunità
Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o
industriali, ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta
differenziata.
Si invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del
dispositivo, sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare
il processo di raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica
dei termini e condizioni contrattuali di vendita.
4/84
87-901-003-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
Sicherheitshinweise
für
Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen
verfügen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder
durch einen Rotorbruch, könnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden.
GEFAHR!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
5/84
87-901-003-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
Modell Mini-TASK AG81 ist vorsichtig auszupacken, wobei es vor
dem Herunterfallen und vor Stößen und Vibrationen zu schützen
ist.
Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemäß zu entsorgen.
Es ist vollständig recyclebar und entspricht der Richtlinie
85/399/EWG für Umweltschutz.
ALLGEMEINE INFORMATIONEN
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt.
Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle
weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen.
Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen, unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal,
nicht autorisierten Eingriffen und Mißachtung der nationalen einschlägigen Normen übernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung. Modell Mini-TASK AG81 ist ein integriertes System, das
aus einer Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen, integriert mit einem entsprechenden Controller
und der Primärpumpe, besteht. Das System eignet sich für die
Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen,
nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine
(max. 80000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Modell Mini-TASK AG81 enthält keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern. Modell Mini-TASK AG81 verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse, über die das Entlüftungsventil gesteuert oder die
Vorrichtung von einem Host Computer über eine serielle Leitung
gesteuert werden kann. In den folgenden Abschnitten sind alle
erforderlichen Informationen für die Sicherheit des Bedieners bei
der Anwendung des Geräts aufgeführt. Detaillierte technische
Informationen sind im Anhang "Technical Information" enthalten.
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
!ACHTUNG!
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem
Vakuum in Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen
angefaßt werden. Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere
Schutzmittel zu verwenden.
GEFAHR!
Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
HINWEIS
Modell Mini-TASK AG81 kann durch die Umgebung an sich
keine Schäden erleiden. Es sollte jedoch bis zur Installation an
der Anlage geschlossen bleiben, um Verunreinigungen durch
Staub zu vermeiden.
!ACHTUNG!
INSTALLATION
Die Warnhinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
!ACHTUNG!
HINWEIS
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluß
der Turbopumpe an das System abnehmen.
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem
Text hervorgehoben werden.
LAGERUNG
Zur Garantie der höchsten Funktionstüchtigkeit und Zuverlässigkeit der Varian – Pumpsysteme müssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden:
• Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht
überschritten werden:
• Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
• Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95% (nicht kondensierend)
• Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start ingangzusetzen.
• Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10
Monate ab dem Speditionsdatum.
Die Pumpe darf nicht in Umgebungen, die ungeschützt vor
Wetter (Regen, Frost, Schnee), Staub und aggressiven Gasen
sind, sowie auch nicht in explosionsfähigen oder erhöht brandgefährdeten Umgebungen installiert und/oder benutzt werden.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden:
- Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
- Temperatur: von +5°C bis +35°C
- Relative Luftfeuchtigkeit: 0 - 95% (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die
Pumpe entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
Modell Mini-TASK AG81 kann in jeder beliebigen Position installiert werden. Modell Mini-TASK AG81 ist stabil zu befestigen, indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen
festen Gegenflansch angeschlossen wird, der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist.
!ACHTUNG!
Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gründen die genannte Frist überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk
zurückzusenden. Für Informationen wenden Sie sich bitte an
den örtlichen Varian Vertreter.
VOR DER INSTALLATION
Modell Mini-TASK AG81 wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen örtlichen Verkaufsstelle zu melden.
6/84
87-901-003-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
Turbopumpen mit einem ISO-Eingangsflansch sind mittels
doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkammer anzuschließen. In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment für die Schellenarten angegeben.
FLANSCH
ISO 63
KLEMMSCHELLE
ANZ.
Doppelschelle mit 4
Gewinde M10
Einzelschelle mit 4
Gewinde M8
Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini-TASK
AG81
Zur Einschaltung des Mini-TASK AG81 ist der Netzstecker anzuschließen und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu
stellen (rote Kontrollleuchte eingeschaltet). Der eingebaute Controller erfaßt automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe.
Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart "Soft Start"
über den Controller eingestellt werden, bei darauffolgenden
Ingangsetzungen wird empfohlen, die Betriebsart "Soft Start"
zu deaktivieren. Um den Modus "Soft Start" einzustellen, bitte
den Absatz "Signal Description", im Kapitel "Technical Information", nachschlagen.
Die blauen LEDs “STATUS” an der Bodenplatte von Modell
Mini-TASK AG81 gibt mit der Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
ANZUGSMOMENT
22 Nm
11 Nm
Turbopumpen mit ConFlat-Eingangsflansch sind mit dem speziellen Varian-Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer
anzuschließen. Für ausführliche Informationen siehe im Anhang "Technical Information".
HINWEIS
-
Modell Mini-TASK AG81 kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
-
Für die Installation der Optionsteile siehe im Anhang "Technical
Information".
-
GEBRAUCH
Für eine detaillierte Erläuterung der Bedienblende des MiniTASK AG81 siehe im Anhang "Technical Information".
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen
und pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der
eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120°C nicht überschreiten.
Stoppen von Modell Mini-TASK AG81
Zur Stillsetzung des Mini-TASK AG81 ist der externe Schalter
auf die Schaltstellung OFF zu schalten (rote Kontrollleuchte
ausgeschaltet). Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen Pumpenstopp.
GEFAHR!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen
oder nicht mit dem Verschlußflansch verschlossen ist.
Not-Aus
Zur Notstillsetzung des Mini-TASK AG81 ist der Netzstecker zu
ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu
schalten.
GEFAHR!
WARTUNG
Während des Aufheizens dürfen weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es besteht Verbrennungsgefahr.
Modell Mini-TASK AG81 erfordert keine Wartung. Eventuelle
Eingriffe dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt
werden.
GEFAHR!
GEFAHR!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die
Pumpe über Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und
abwarten, bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50°C abgesunken ist.
Die Turbopumpe darf während des Betriebes keinen Stößen
oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden. Die Lager
könnten beschädigt werden und Personen oder Gegenständen
Schaden zugefügt werden.
Bei Defekten kann der Varian Service.
!ACHTUNG!
HINWEIS
Für die Belüftung der Pumpe staub-, partikel- und feuchtigkeitsfreies Inertgas (z.B. Stickstoff) verwenden. Der Eingangsdruck
am Belüftungsanschluß soll unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen.
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet
sich entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder
“Waiting for Interlock”.
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
Bevor Fa. Varian ein System zur Reparatur, das diesem Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
GEFAHR!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das
jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu
befolgen.
Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
7/84
87-901-003-01(A)
GEBRAUCHSANLEITUNG
ENTSORGUNG
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten
Das folgende Symbol ist in Übereinstimmung mit der EURichtlinie WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment)
angebracht.
Dieses Symbol (nur in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass
das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsmüll
entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem
zugeführt werden muss.
Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts d.h. die Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die
Verkaufsbedingungen geprüft hat.
8/84
87-901-003-01(A)
MODE D’EMPLOI
Normes de sécurité
pour
Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel d'Instructions suivant ont une
énergie cinétique élevée due à la grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique
de leurs rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre rotor et stator ou
d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation pourrait être libérée.
DANGER!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
9/84
87-901-003-01(A)
MODE D’EMPLOI
Ne pas abandonner l'emballage dans la nature. Le matériel est
entièrement recyclable et conforme à la directive CEE 85/399
en matière de protection de l'environnement.
INDICATIONS GÉNÉRALES
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation
professionnelle. Avant toute utilisation de l'appareil, il est
conseillé à l'utilisateur de lire attentivement cette notice
d'instructions ainsi que toute autre indication supplémentaire
fournie par Varian qui décline par conséquent toute
responsabilité en cas de non-respect total ou partiel des
instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire
aux réglementations nationales spécifiques. Le Mini-TASK
AG81 est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé
et ultrapoussé et dotée d'un contrôleur et d'une pompe
primaire. Le système est à même de pomper tous les types de
gaz et de composés gazeux mais il n'est pas adapté au
pompage de liquides ou de particules solides. L'effet de
pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée (80000 tr/min max.), mue par un moteur électrique
triphasé à haut rendement. Le Mini-TASK AG81 est totalement
exempt d'agents polluants et il est par conséquent indiqué pour
toutes les applications exigeant un vide "propre". Le Mini-TASK
AG81 est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant
de commander la soupape de ventilation, de le piloter à
distance à l'aide d'un ordinateur host connecté par ligne
sérielle. Les paragraphes suivants fournissent toutes les
indications nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur
pendant l'utilisation de l'appareillage. Des renseignements plus
détaillés se trouvent dans l'appendice "Technical Information".
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
! ATTENTION !
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à
mains nues, les éléments devant être exposés au vide. Mettre
toujours des gants ou toute autre protection appropriée.
NOTE
DANGER!
Le Mini-TASK AG81 ne peut s'endommager en restant
simplement exposé à l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter
toute pollution due à la poussière, il est conseillé de le garder
dans son emballage clos jusqu'au moment de l'installation.
Les messages de danger attirent l'attention de l'opérateur sur
une procédure ou une manœuvre spéciale qui, effectuée de
façon impropre, risque de provoquer de graves lésions
! ATTENTION !
INSTALLATION
Les messages d'attention apparaissent avant certaines
procédures dont le non-respect pourrait endommager
sérieusement l'appareillage.
! ATTENTION !
NOTE
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection
qu'au moment de brancher la turbopompe au système.
Les notes contiennent
extrapolés du texte.
des
renseignements
importants,
STOCKAGE
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des
systèmes de pompage Varian, il est indispensable de respecter
les instructions suivantes :
• Le transport, la manutention et le stockage des pompes,
doivent impérativement avoir lieu dans les conditions
ambiantes suivantes:
• température: de –20 °C à +70 °C
• humidité relative: de 0 à 95% (non condensante)
• A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires
doivent toujours être mises en marche en mode soft-Start
• Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est
de 10 mois à compter de la date d'expédition.
Ne pas installer et/ou utiliser la pompe dans des milieux
exposés aux agents atmosphériques (pluie, gel, neige), à la
poussière, aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux
explosifs ou à fort risque d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes :
- pression max.: 2 bars au-delà de la pression
atmosphérique
- température: de +5°C° à +35°C
- humidité relative: 0 - 95% (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être
protégée à l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre
renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical Information".
Le Mini-TASK AG81 peut être installée dans n'importe quelle
position. Le fixer dans une position stable, en reliant la bride
d'entrée de la turbopompe à une contre-bride fixe pouvant
supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe.
! ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage, la pompe doit
être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Varian de zone.
PRÉPARATION POUR L'INSTALLATION
Le Mini-TASK AG81 est livré dans un emballage de protection
spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être
produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le Mini-TASK AG81 et
à ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration.
10/84
87-901-003-01(A)
MODE D’EMPLOI
La turbopompe à bride d'entrée ISO doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide de colliers doubles ou simples. Le
tableau suivant décrit, pour chaque type de collier, le nombre
de colliers nécessaires ainsi que le couple de serrage prescrit.
BRIDE
ISO 63
TYPE DE
COLLIER
Collier double
à filet M10
Collier simple
à filet M8
N.
4
COUPLE DE
SERRAGE
22 Nm
4
11 Nm
Mise en marche et utilisation du Mini-TASK
AG81
Pour allumer le Mini-TASK AG81, il suffit de le brancher au
réseau et de placer l'interrupteur extérieur sur ON (lumière
rouge
allumée).
Le
contrôleur
incorporé
reconnaît
automatiquement la présence de l'alimentation et met la pompe
en marche.
Lors de la première mise en marche, il est conseillé d'adopter
le mode "Soft Start" en l'activant sur le contrôleur; pour les
démarrages suivants, il est conseillé de désactiver le mode
"Soft Start". Pour la procédure d’activation de la modalité "Soft
Start", se référer au paragraphe "SIGNAL DESCRIPTION"
dans le chapitre "Technical Information".
La LED bleu "STATUS" placée sur le panneau de la base du
Mini-TASK AG81 indique, par sa fréquence de clignotement,
les conditions opérationnelles du système :
- allumée fixe : la pompe est en rotation normale ;
- clignote lentement (période d'environ 400 ms) : le système
est en état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente
interlock.
- clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la
chambre à vide à l'aide des éléments mécaniques Varian
prévus à cet effet. Pour tout autre détail, se reporter à
l'appendice "Technical Information".
NOTE
Le Mini-TASK AG81 ne peut être fixé par sa base.
Pour l'installation des accessoires en option, se reporter à
"Technical Information".
UTILISATION
Pour une description détaillée du panneau de contrôle du MiniTASK AG81, consulter l'appendice "Technical Information".
Ce paragraphe présente les principales procédures
opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de
la chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit
pas dépasser 120°C.
Arrêt du Mini-TASK AG81
Pour arrêter le Mini-TASK AG81, il suffit de placer l'interrupteur
extérieur sur OFF (lumière rouge éteinte). Le contrôleur
incorporé arrête immédiatement la pompe.
DANGER!
Arrêt d'urgence
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est
pas reliée à la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec
la bride de fermeture.
Pour arrêter le Mini-TASK AG81 en condition d'urgence,
débrancher le cordon d'alimentation de la prise ou placer
l'interrupteur extérieur sur OFF.
ENTRETIEN
DANGER!
Le Mini-TASK AG81 n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
Éviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires
éventuels pendant les opérations de chauffage. La température
élevée peut être à l'origine de lésions graves.
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler
l'air de la pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet,
attendre jusqu'à l'arrêt complet du rotor et jusqu'à ce que la
température superficielle de la pompe soit inférieure à 50°C.
DANGER!
Éviter tout choc ou déplacement de la turbopompe lorsqu'elle
est en marche. Cela pourrait endommager les paliers et
provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service
réparations Varian.
! ATTENTION !
NOTE
Pour le "refoulement à l'air" de la pompe, utiliser un gaz inerte
dépourvu de poussière, particules ou humidité (Ex. azote). La
pression d'entrée à travers la porte prévue à cet effet doit être
inférieure à 2 bars (au-delà de la pression atmosphérique).
DANGER!
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation,
remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre région la
fiche "Sécurité et Santé" jointe au présent manuel
d'instructions. Une copie de cette fiche devra être mise dans
l'emballage de la pompe avant l'expédition.
DANGER!
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son
élimination conformément aux réglementations nationales
concernant la gestion des déchets.
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz
toxiques, inflammables ou radioactifs, suivre les procédures
typiques de chaque gaz.
Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
11/84
87-901-003-01(A)
MODE D’EMPLOI
MISE AU REBUT
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes
Le symbole ci-dessous est appliqué conformément à la
directive CE nommée "WEEE".
Ce symbole (uniquement valide pour les pays de la
Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il
est appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures
ménagères ou les déchets industriels ordinaires, mais passer
par un système de collecte sélective.
Après avoir vérifié les termes et conditions du contrat de vente,
l’utilisateur final est donc prié de contacter le fournisseur du
dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en œuvre le
processus de collecte et mise au rebut.
12/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
Indicaciones de Seguridad
para
Bombas Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen
una elevada cantidad de energía cinética debido a la alta velocidad de rotación en
combinación a la masa específica de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o
por una rotura del rotor, la energía de rotación podría ser liberada.
¡PELIGRO!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
13/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que no se
caiga el Mini-TASK AG81 y de no someterlo a golpes o
vibraciones.
No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El material es
completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la
directiva CEE 85/399 para la preservación del medio ambiente.
INFORMACIÓN GENERAL
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier
otra información suplementaria facilitada por Varian antes de
usar el aparato. Varian se considera libre de posibles
responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de
las instrucciones, al uso impropio por parte de personal no
preparado, a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a
las normas nacionales específicas.
El Mini-TASK AG81 es un sistema integrado compuesto por
una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto
vacío integrada por el respectivo controlador y la bomba
primaria. El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de
composición gaseosa, pero no es adecuado para bombear
líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se obtiene
mediante una turbina rotativa de alta velocidad (80000 r.p.m.
máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto
rendimiento. El Mini-TASK AG81 no posee absolutamente
ningún agente contaminante, por lo que es adecuado para
aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”. Asimismo, el
Mini-TASK AG81 posee conectores auxiliares con los que se
puede gobernar la válvula de ventilación y pilotearlo a distancia
mediante un ordenador host conectado a través de línea serial.
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el
anexo “Technical Information” se facilita información más
detallada.
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
! ¡ATENCIÓN!
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las
manos desnudas los componentes destinados a exponerse al
vacío. Utilizar siempre guantes u otra protección adecuada.
¡PELIGRO!
Los mensajes de peligro atraen la atención del operador sobre
un procedimiento o una ejecución específica que, de no
realizarse correctamente, podría provocar graves lesiones
personales.
NOTA
El Mini-TASK AG81 no puede dañarse permaneciendo
simplemente expuesto a la atmósfera. De todas formas, se
aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la
instalación en el sistema para evitar su posible contaminación
por polvo.
! ¡ATENCIÓN!
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos
que, de no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
INSTALACIÓN
NOTA
! ¡ATENCIÓN!
Las notas contienen información importante extraída del texto.
ALMACENAMIENTO
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo en el
momento de conectar la turbobomba al sistema.
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de
los sistemas de bombeo Varian, deberán aplicarse las
siguientes instrucciones:
• durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento
de las bombas no deberán superarse las siguientes
condiciones ambientales:
• temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
• humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
• el cliente deberá activar siempre las bombas
turbomoleculares en modalidad Soft-Start al recibirlas y
ponerlas en funcionamiento por primera vez;
• el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de
envío al cliente.
No instalar ni/o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes
atmosféricos (lluvia, hielo y nieve), polvo y gases agresivos, ni en
ambientes sujetos a riesgo de explosión o incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
- presión máxima: 2 bares por encima de la presión
atmosférica
- temperatura: de +5ºC a +35ºC
- humedad relativa: 0-95% (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas adecuadas. Para más detalles
véase por favor el anexo “Technical Information”.
El Mini-TASK AG81 puede ser instalado en cualquier posición.
Fijar el Mini-TASK AG81 en posición estable conectando la
brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz
de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje.
! ¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo
permitido de almacenamiento, será necesario devolver la
bomba al fabricante. Para mayores informaciones al respecto,
se ruega contactar con el representante local de Varian.
PREPARACIÓN PARA LA INSTALACIÓN
El Mini-TASK AG81 se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse
producido durante el transporte, ponerse en contacto con la
oficina local de ventas.
14/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la cámara
de vacío mediante mordazas dobles o mordazas sencillas. La
tabla siguiente describe, por cada tipo de mordaza, el número de
mordazas necesarias y con qué par de apriete apretarlas.
Encendido y Uso del Mini-TASK AG81
Para instalar los accesorios opcionales, véase “Technical
Information”.
Para encender el Mini-TASK AG81 basta conectar la tensión de
alimentación y disponer el interruptor externo en posición ON (luz roja
encendida). El controlador incorporado reconoce automáticamente la
presencia de la alimentación y pone en marcha la bomba.
Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad
"Soft Start" activándola en el controller, mientras que para las
sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad
"Soft Start". Para el procedimiento de activación de la
modalidad “Soft Start” consultar el punto “Signal Description”
del capítulo “Technical Information”.
El LED azul “STATUS” situado en el panel de la base del MiniTASK AG81 indica, con la frecuencia de su parpadeo, las
condiciones operativas del sistema:
− encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
− parpadea
lentamente
(período
de
400
ms
aproximadamente): el sistema está en estado de rampa, o
de frenado, o de stop, o de “waiting for iterlock” ;
− parpadea
rápidamente
(período
de
200
ms
aproximadamente): situación de error.
Una descripción detallada del panel de control del Mini-TASK
AG81 aparece en el apéndice "Technical Information".
USO
Parada del Mini-TASK AG81
En este apartado se citan los procedimientos operativos
principales. Antes de usar el sistema realizar todas las
conexiones eléctricas y neumáticas. Durante el posible
calentamiento de la cámara de vacío, la temperatura de la
brida de entrada no ha de ser superior a 120ºC.
Para detener el Mini-TASK AG81 basta disponer el interruptor
externo en posición OFF (luz roja apagada). El controlador
incorporado detiene inmediatamente la bomba.
BRIDA
ISO 63
TIPO DE
MORDAZA
Mordaza doble con
rosca M10
Mordaza sencilla con
rosca M8
N.
4
PAR DE
APRIETE
22 Nm
4
11 Nm
La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la
cámara de vacío mediante los accesorios mecánicos
específicos Varian. Para más detalles véase el anexo
“Technical Information”.
NOTA
El Mini-TASK AG81 no puede fijarse utilizando su base.
Parada de Emergencia
Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el
funcionamiento del Mini-TASK AG81, se deberá desenchufar el
cable de alimentación de la toma de red o disponer el
interruptor externo en posición OFF.
¡PELIGRO!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no
está conectada a la cámara de vacío o no está cerrada con la
brida de cierre.
MANTENIMIENTO
El Mini-TASK AG81 no necesita ningún mantenimiento. Toda
intervención deberá ser realizada por personal autorizado.
¡PELIGRO!
No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las
operaciones de calentamiento. La alta temperatura puede
provocar lesiones a las personas.
¡PELIGRO!
Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba
cuando está en marcha. Los rodamientos se podrían dañar y
se podrían verificar daños a las personas o a las cosas.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación
Varian.
! ¡ATENCIÓN!
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación, es
imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente
manual de instrucciones. Una copia de la misma se deberá
introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo.
Para el "envío al aire" de la bomba utilizar gas inerte exento de
polvo, partículas y humedad (por ej.: nitrógeno). La presión de
entrada a través de la respectiva puerta debe ser inferior a 2
bares (por encima de la presión atmosférica).
¡PELIGRO!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema,
desconectarlo de la alimentación, disponer la bomba en
presión atmosférica abriendo la válvula respectiva y esperar
hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura
superficial de la bomba se reduzca a menos de 50ºC.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
¡PELIGRO!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos,
inflamables o radioactivos, seguir los procedimientos
apropiados típicos de cada gas. No usar la bomba cuando
haya gases explosivos.
15/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCCIONES DE USO
ELIMINACIÓN
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas.
El símbolo que se indica a continuación, es aplicado en
observancia de la directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido sólo para los países miembros de la
Comunidad Europea) indica que el producto sobre el cual ha
sido aplicado, NO debe ser eliminado junto con los residuos
comunes sean éstos domésticos o industriales, y que, por el
contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de recogida
diferenciada.
Por lo tanto, se invita al usuario final, a ponerse en contacto
con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es la casa
fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida y
eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de
venta.
16/84
87-901-003-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
Indicações de Segurança
para
Bombas Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruções têm uma alta
quantidade de energia cinética devida à alta velocidade de rotação unida à massa
específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o
estator ou uma ruptura do rotor, a energia de rotação pode ser liberada.
PERIGO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
17/84
87-901-003-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
Não depositar a embalagem no meio ambiente. O material é
completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
INFORMAÇÕES GERAIS
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve
ler atentamente o presente manual de instruções e todas as
informações adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a
aparelhagem. A Varian não se responsabiliza pela inobservância
total ou parcial das instruções, pelo uso indevido por parte de
pessoas não treinadas, por operações não autorizadas ou pelo
uso contrário às normas nacionais específicas.
O Mini-TASK AG81 é um sistema integrado, constituído por
uma bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto
vácuo, equipado com os respectivos controller e bomba
primária. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de gás
ou de composto gasoso, mas não é apropriado para bombear
líquidos ou partículas sólidas.
O efeito da bomba é obtido através de uma turbina rotativa de
alta velocidade (80000 r.p.m. máx.) movida por um motor
eléctrico trifásico de alto rendimento. O Mini-TASK AG81 é
totalmente isento de agentes contaminadores e, portanto, é
adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, o Mini-TASK AG81 tem conectores auxiliares
através dos quais é possível alimentar uma válvula de vent,
accioná-lo por um controlo remoto através de um computer
host conectado por meio de linha serial. Nos seguintes
parágrafos estão descritas todas as informações necessárias
para garantir a segurança do operador durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no
apêndice "Technical Information".
Este manual utiliza as seguintes convenções:
"
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as
mãos os componentes destinados à exposição do vácuo.
Utilizar sempre luvas ou outra protecção adequada.
PERIGO!
As mensagens de perigo chamam a atenção do operador para
um procedimento ou uma prática específica que, se não
efectuada correctamente, pode provocar graves lesões
pessoais.
"
ATENÇÃO!
NOTA
Mini-TASK AG81 não pode ser danificado permanecendo
simplesmente exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto,
manter a bomba fechada até o momento da instalação no
sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
ATENÇÃO!
INSTALAÇÃO
As mensagens de atenção são visualizadas antes de
procedimentos que, se não efectuados correctamente, podem
causar danos à aparelhagem.
"
ATENÇÃO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção
somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema.
NOTA
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
ARMAZENAGEM
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade
dos sistemas de bombagem Varian, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
• durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem
das bombas as condições ambientais devem ser as
seguintes:
• temperatura: de –20 °C a 70 °C
• umidade relativa: de 0 a 95% (não condensante)
• ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez,
o cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
• o tempo máximo de armazenagem de uma bomba
turbomolecular é de 10 meses a contar da data da
expedição.
Não instalar e/ou usar a bomba em ambientes expostos a
agentes atmosféricos (chuva, gelo, neve), poeiras, gases
agressivos, em ambientes com possibilidade de explosão ou
com elevado risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas
as seguintes condições ambientais:
- pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
- temperatura: de + 5ºC a + 35ºC
- humidade relativa: 0 - 95% (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores
detalhes, consultar o apêndice "Technical Information".
Mini-TASK AG81 pode ser instalado em qualquer posição.
Fixar a aparelhagem em posição estável ligando o flange de
entrada da turbobomba a um contra-flange fixo capaz de
resistir a um torque de 50 Nm ao redor do próprio eixo.
A turbobomba com flange de entrada ISO, deve ser fixada à
câmara de vácuo através de grampos duplos ou simples. A
"ATENÇÃO!
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for
superior, será necessário enviar outra vez a bomba para o
fabricante. Para mais informações, contatar o representante
local da Varian.
PREPARAÇÃO PARA A INSTALAÇÃO
O Mini-TASK AG81 é fornecido numa embalagem protectora
especial; se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter
ocorrido durante o transporte, entrar em contacto com o
escritório de vendas local.
Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o Mini-TASK AG81 e para não submetê-lo a
choques ou vibrações.
18/84
87-901-003-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
tabela a seguir indica, para todos os tipos de grampos, o
número de grampos e o torque de aperto necessários.
FLANGE
ISO 63
TIPO DE GRAMPO
N.
TORQUE DE
APERTO
Grampo duplo
com rosca M10
Grampo simples
com rosca M8
4
22 Nm
4
11 Nm
Acendimento e Utilização do Mini-TASK AG81
Para ligar o Mini-TASK AG81 é suficiente conectá-lo à rede de
alimentação e colocar o interruptor exterior na posição de ON
(luz vermelha acesa). O controller incorporado detecta
automaticamente a corrente de alimentação e acciona a bomba.
Quando ligar o aparelho pela primeira vez é aconselhável
utilizar a modalidade "Soft Start" activando-a através do
controller. Posteriormente aconselha-se a desactivar a
modalidade "Soft Start". Para o procedimento de ativação da
modalidade “Soft Start” usar como referência o parágrafo
“Signal Description” no capítulo “Technical Information”.
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de parafusos específicos da
mecânica Varian. Para ulteriores detalhes, consultar o
apêndice "Technical Information".
A luz piloto azul “STATUS”, posicionada no painel da base do
Mini-TASK AG81, indica, através da frequência de
intermitência, as condições operacionais do sistema:
- acesa fixa: a bomba funciona normalmente;
- intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema
está em estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop,
ou de “waiting for interlock”.
- intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição
de erro.
NOTA
O Mini-TASK AG81 não pode ser fixado por intermédio da sua
própria base.
Para a instalação dos
"Technical Information".
acessórios
opcionais,
consultar
Para informações mais detalhadas sobre o painel de comando
do Mini-TASK AG81, consultar o apêndice "Technical
Information".
UTILIZAÇÃO
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as
ligações eléctricas e pneumáticas. Durante o aquecimento da
câmara a vácuo, a temperatura no flange de entrada não deve
ser superior a 120 ºC.
Paragem do Mini-TASK AG81
Para parar o Mini-TASK AG81 é suficiente colocar o interruptor
exterior na posição OFF (luz vermelha apagada). O controller
incorporado pára imediatamente a bomba.
Paragem de Emergência
PERIGO!
Para parar em condições de emergência o Mini-TASK AG81 é
necessário desligar o cabo de alimentação da tomada da rede
de alimentação, ou colocar o interruptor exterior na posição
OFF.
Nunca activar a bomba se o flange de entrada não estiver
ligado à câmara de vácuo ou não estiver fechado com o flange
de fecho.
MANUTENÇÃO
PERIGO!
O Mini-TASK AG81 não requer qualquer manutenção. Todas
as operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
Não tocar a turbobomba e os seus eventuais acessórios
durante as operações de aquecimento. A elevada temperatura
pode causar lesões às pessoas.
PERIGO!
PERIGO!
Evitar colisões ou deslocamentos bruscos da turbobomba
quando está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos
e poderia verificar-se lesões às pessoas ou às coisas.
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
rede de alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula
específica, aguardar até a completa paragem do rotor e até
que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
"ATENÇÃO!
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de
assistência Varian.
Para a "saída de ar" da bomba, utilizar gás inerte sem poeiras,
partículas ou humidade (p. ex.: Azoto). A pressão de entrada
através da porta específica deve ser inferior a 2 bars (além da
pressão atmosférica).
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as
reparações, é indispensável preencher e enviar ao escritório de
vendas local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente
manual de instruções. A cópia da mesma deve ser colocada na
embalagem do sistema antes da expedição.
PERIGO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos,
inflamáveis ou radioactivos, seguir os procedimentos
adequados típicos para cada gás. Não usar a bomba na
presença de gases explosivos.
Caso uma bomba deva ser eliminada, actue em conformidade
com as normas nacionais específicas.
19/84
87-901-003-01(A)
INSTRUÇÕES PARA O USO
ELIMINAÇÃO
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos.
O símbolo abaixo indicado é aplicado de acordo com a
directiva CE denominada "WEEE".
Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO
deve ser eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou
industriais comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de
recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor
do dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a
oportuna verificação dos termos e condições do contrato de
venda.
20/84
87-901-003-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Veiligheidsinstructies
voor
Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote
hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke
massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en
de stator of doordat de rotor breekt, kan de rotatie-energie vrijkomen.
GEVAAR!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
21/84
87-901-003-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini-TASK AG81 niet kan
vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt.
Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de
EEG milieurichtlijn 85/399.
ALGEMENE INFORMATIE
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De
gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle
overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het
apparaat in gebruik te nemen. Varian acht zich niet aansprakelijk
voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving. De MiniTASK AG81 is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire
pomp
voor
hoge
en
ultrahoge
vacuümtoepassingen en een primaire pomp bestaat. Het systeem
is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet
geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het
pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine
(max. 80000 toeren/min.) die aangedreven wordt door een
elektrische draaistroommotor met hoog rendement. De Mini-TASK
AG81 is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt
voor toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De MiniTASK AG81 is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee
de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd, en waarmee het
systeem d.m.v. een serieel aangesloten host computer op afstand
kan worden bediend.
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de
veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de
apparatuur te verzekeren. Gedetailleerde informatie is te
vinden in de bijlage "Technical information.
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen
gebruik:
!ATTENTIE!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de
componenten die met het vacuüm in aanraking komen niet met
de blote handen aangeraakt worden. Gebruik altijd
handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
GEVAAR!
De Mini-TASK AG81
kan niet beschadigd worden door
eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden. Toch
wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang
deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat eventuele
vervuiling door stof wordt voorkomen.
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator
vestigt op een speciale procedure of methode die, indien niet
correct uitgevoerd, ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken.
!ATTENTIE!
INSTALLATIE
Bij dit symbool staat tekst met procedures die, indien niet
opgevolgd, schade aan apparatuur kunnen veroorzaken.
!ATTENTIE!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem
wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop
verwijderd worden.
OPMERKING
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst
is gelicht.
OPSLAG
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
pompsystemen van Varian te garanderen, moeten de volgende
voorschriften in acht worden genomen:
• tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet
aan de volgende omgevingscondities worden voldaan:
• temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
• relatieve vochtigheid: van 0 tot 95% (niet
condenserend)
• de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de
Soft-Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor
de eerste keer in werking worden gesteld
• de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
De pomp mag niet geïnstalleerd en/of gebruikt worden in
ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden
(regen, vorst, sneeuw), stof, agressieve gassen, of in ruimten
met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities
aanwezig zijn
- max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
- temperatuur: van +5°C tot +35°C
- relatieve vochtigheid: 0 - 95% (niet condenserend).
In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie
De Mini-TASK AG81 moet op een primaire pomp aangesloten
zijn (zie schema in "Technical information").
De Mini-TASK AG81 kan in alle standen worden geïnstalleerd.
Bevestig de Mini-TASK AG81 in een stabiele positie en verbind
de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die
een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen.
De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuümkamer
worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige
!ATTENTIE!
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet
de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer
informatie wordt verzocht contact op te nemen met de
plaatselijke vertegenwoordiger van Varian.
UITPAKKEN
De Mini-TASK AG81 wordt in een speciale beschermende
verpakking geleverd; als er schade wordt geconstateerd die
tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen
contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor.
22/84
87-901-003-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
Inschakeling en gebruik van de Mini-TASK AG81
klemmen. De volgende tabel beschrijft, voor elke of klemtype,
het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee
ze vastgezet moeten worden.
FLENS
ISO 63
KLEMTYPE
NR.
Dubbele klem met
M10 schroefdraad
Enkelvoudige
klem
met M8 schroefdraad
4
AANHAALKOPPEL
22 Nm
4
11 Nm
Om de Mini-TASK AG81 in te schakelen is het voldoende om
voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
stand ON te zetten (rood lichtje brandt). De ingebouwde
controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en
start de pomp. Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om
de "Soft Start" modaliteit te gebruiken, door deze op de
controller te activeren. Voor de volgende inschakelingen wordt
aangeraden om de "Soft Start" modaliteit te inactiveren. Voor
het activeren van de "Soft Start" procedure zie paragraaf
"Signal Description" uit het hoofdstuk "Technical Information".
De blauwe “STATUS” LED op het paneel van de basis van de
Mini-TASK AG81geeft door de frequentie van zijn knipperen,
de werkcondities van het systeem aan:
- brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
- knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem
is in de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
- knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de
vacuümpomp worden bevestigd met behulp van de speciale
mechanische bevestigingselementen van Varian. Zie voor meer
informatie de bijlage "Technical information".
OPMERKING
De Mini-TASK AG81 kan niet met behulp van zijn eigen basis
worden bevestigd.
Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het
bedieningspaneel van de Mini-TASK AG81 de bijlage
"Technical Information".
Zie “Technical Information” voor installatie van accessoires die
als optie verkrijgbaar zijn.
GEBRUIK
Afzetten van de Mini-TASK AG81
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld.
Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand
alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 120° C bedragen.
Om de Mini-TASK AG81 uit te schakelen is het voldoende om
de externe schakelaar in de stand OFF te zetten (rode lichtje
uit). De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp.
Noodstop
Om de Mini-TASK AG81 onder noodomstandigheden uit te
schakelen, moet de voedingskabel uit de contactstop worden
gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden
gezet.
GEVAAR!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de
vacuümkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is.
ONDERHOUD
De
Mini-TASK
AG81
is
onderhoudsvrij.
Eventuele
werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden
uitgevoerd.
GEVAAR!
Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het
verwarmen aan. De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel
veroorzaken.
GEVAAR!
Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de
turbopomp in werking is. De lagers kunnen beschadigen en er
kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen
worden veroorzaakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van
Varian.
! ATTENTIE!
OPMERKING
Gebruik voor de "luchttoevoer" naar de pomp inert gas zonder
stof, vaste deeltjes of vocht (bijv.: stikstof). De inlaatdruk via de
hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar (boven de
atmosferische druk) bedragen.
GEVAAR!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de
stekker verwijderen, de pomp met behulp van de hiervoor
bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig
stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een
temperatuur van 50 °C is gezakt.
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te
sturen, volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor
worden gestuurd. Een kopie van deze kaart moet vóór
versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd.
Mocht het systeem gesloopt worden, ga dan overeenkomstig
de specifieke nationale wetgeving te werk.
GEVAAR!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van
brandbare, giftige of radioactieve gassen, moeten de
procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn
opgesteld.
Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen.
23/84
87-901-003-01(A)
GEBRUIKSAANWIJZINGEN
AFVALVERWERKING
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten.
Het
onderstaande
symbool
wordt
aangebracht
in
overeenstemming met de EG-richtlijn "WEEE".
Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is
aangebracht, NIET mag worden afgevoerd samen met
mormaal huisvuil of industrieel afval, maar gescheiden moet
worden ingezameld.
De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met
de leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde
termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben
gecontroleerd.
24/84
87-901-003-01(A)
BRUGSANVISNING
Sikkerhedsanvisninger
for
Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende brugsanvisning, har en stor
kinetisk energi, der skyldes den høje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers
specifikke vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt mellem rotor og stator,
eller fordi rotoren går i stykker, kan omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i
denne brugsanvisning!
25/84
87-901-003-01(A)
BRUGSANVISNING
GENEREL INFORMATION
FORBEREDELSE FØR INSTALLATION
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren
bør læse denne brugsanvisning og anden yderligere
information fra Varian, før udstyret anvendes. Varian tager ikke
ansvar for skader helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af
disse instruktioner, fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt
kendskab, ukorrekt anvendelse af udstyret eller håndtering, der
strider imod gældende lokale regler.
Mini-TASK AG81 systemet omfatter en turbomolekylær pumpe
til høje eller meget høje vakuumtilpasninger og aktuel
styreenhed og hovedpumpe. Systemet er i stand til at pumpe
en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter,
men systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af
faste partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine
(80000 omdr./min.). Turbinen drives af en elektrisk
trefasemotor med høj effekt. Mini-TASK AG81 er ikke fremstillet
af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse, der
kræver “rent” vakuum.
Mini-TASK AG81 har endvidere hjælpestik, der gør det muligt
at styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjælp af en
værtscomputer gennem seriel forbindelse.
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er
nødvendige for at garantere sikkerhed for operatøren i
forbindelse med anvendelse af udstyret. Bilaget “Teknisk
Information” indeholder detaljerede oplysninger.
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
Mini-TASK AG81 leveres i en speciel beskyttende emballage.
Kontakt den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på
skader, der kan være opstået under transporten.
Sørg for, at Mini-TASK AG81 ikke tabes eller udsættes for stød
ved udpakningen.
Smid ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og
opfylder EU-direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
!VIGTIGT!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres
med bare hænder, idet der er risiko for afgasning. Anvend altid
handsker eller anden lignende beskyttelse.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en
speciel procedure eller en vis type arbejde skal udføres præcist
efter anvisningerne. I modsat fald er der risiko for svære
personskader.
!VIGTIGT!
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade Mini-TASK
AG81. Det anbefales dog, at opbevare pumpen i en lukket
kasse, indtil den skal installeres. Herved forhindres, at der
kommer støv i pumpen.
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal
følges nøje for ikke at risikere maskinskader.
BEMÆRK
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
INSTALLATION
OPBEVARING
!VIGTIGT!
For at sikre maksimal sikkerhed og driftssikkerhed af Varian
pumpe-systemerne er det nødvendigt at overholde følgende
forskrifter:
• Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af
pumperne:
• temperatur: fra –20 °C til +70 °C,
• relativ fugtighed: fra 0 til 95% (ikke kondenserende).
• Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved
hjælp af Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af
pumperne for første gang.
• De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder
fra forsendelsesdatoen.
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen
tilsluttes systemet.
!VIGTIGT!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere,
er det nødvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken.
Yderligere oplysninger fås ved henvendelse til den lokale
Varian repræsentant.
Installér og anvend ikke pumpen i miljøer, der udsættes for
påvirkninger fra atmosfæren (regn, sne, is), damp, aggressive
gasser, og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljø.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
- max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
- temperatur: fra +5°C til + 35°C
- relativ luftfugtighed: 0 - 95% (ikke kondenserende)
26/84
87-901-003-01(A)
BRUGSANVISNING
Start og anvendelse af Mini-TASK AG81
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske
felter, skal den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for
yderligere oplysninger. Mini-TASK AG81 kan installeres i en
hvilken som helst position. Fastgør Mini-TASK AG81 i en stabil
position ved at slutte turbopumpens indløbsflange til en fast
kontraflange, der tåler et moment på 50 Nm omkring akselen.
Turbopumpen
med
ISO-indløbsflange
skal
tilsluttes
vakuumkammeret ved hjælp af dobbelte eller enkelte klemmer.
Den nedenstående tabel viser det nødvendige antal af klemmer
samt drejningsmoment afhængig klemmetypen.
FLANGE
ISO 63
KLEMMETYPE
ANT.
Dobbelt klemme med
M10 gevind
Enkelt klemme med
M8 gevind
4
DREJNINGSMOMENT
22 Nm
4
11 Nm
Tænding af Mini-TASK AG81 sker ved blot at tilslutte strømmen
og indstille den udvendige afbryder i position ON (rød
kontrollampe tændt). Den indbyggede styreenhed registrerer
øjeblikkeligt tilslutningen, og pumpen startes.
Benyt "Soft Start", når apparatet tændes første gang. Dette
sker ved at aktivere funktionsmåden på kontrolenheden. Det
anbefales at frakoble funktionsmåden "Soft Start" i forbindelse
med de efterfølgende starter. Hvad angår fremgangsmåden til
tilkobling af “Soft Start”, henvises der til afsnittet “Signal
Description” i kapitlet “Technical Information”.
Den blu "STATUS" LED, der er anbragt på panelet på MiniTASK AG81’s fundament, angiver systemets funktion ved blink:
- konstant tændt: pumpen er i normal rotation
- langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i
stilling for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for
interlock”
- hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
Turbopumpen med ConFlat indløbsflange skal tilsluttes på
vakuumkammeret ved hjælp af Varian monteringsudstyret. I
bilaget “Teknisk Information” findes yderligere detaljer.
Vedrørende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i MiniTASK AG81 henvises til bilaget "Teknisk information".
Stop af Mini-TASK AG81
BEMÆRK
Afbrydelse af Mini-TASK AG81 sker ved blot at indstille den
udvendige afbryder i position OFF (rød kontrollampe slukket).
Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen.
Mini-TASK AG81 kan ikke fastgøres i fundamentet.
Der henvises til bilaget “Teknisk Information” for oplysninger
vedrørende installation af ekstraudstyret.
Nødstop
Nødstop af Mini-TASK AG81 sker ved at fjerne strømkablet fra
stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position
OFF.
ANVENDELSE
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer.
Inden anvendelse af systemet, bør samtlige elektriske og
pneumatiske tilslutninger udføres. I forbindelse med
opvarmning af vakuumkammeret må indløbsflangens
temperatur ikke overstige 120° C.
VEDLIGEHOLDELSE
Mini-TASK AG81 behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er
tilsluttet vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved
hjælp af lukkeflangen.
ADVARSEL!
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Varian
reparationsværksted.
Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i
skade på personer.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal
strømmen først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at
åbne ventilen. Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er
standset, og til temperaturen på pumpens overflade er under
50°C.
BEMÆRK
Inden systemet sendes til reparationsværkstedet skal
“Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt denne
instruktionsmanual, udfyldes. En kopi af dette dokument skal
indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
ADVARSEL!
Undgå stød eller pludselige bevægelser af turbopumpen, mens
den er aktiveret. Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det
kan medføre skader på personer eller ting.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
!VIGTIGT!
Til pumpens luftafløb anvendes inaktiv luftart, der er fri for støv,
partikler eller fugtighed (eksempelvis kvælstof). Indgangstrykket
gennem den særlige åbning skal være under 2 bar (over det
atmosfæriske tryk).
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive
gasser, følges fremgangsmåden for den enkelte gastype.
Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser.
27/84
87-901-003-01(A)
BRUGSANVISNING
BORTSKAFFELSE
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne.
Nedenstående symbol anvendes i overensstemmelse med det
såkaldte EU-direktiv "WEEE".
Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at produktet,
som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med affald fra
private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres
på en godkendt affaldsstation.
Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandøren af
anordningen, enten fabrikken eller en forhandler, for
igangsættelse af afhentnings- og bortskaffelsesprocessen efter
nøje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten.
28/84
87-901-003-01(A)
BRUKSANVISNING
Säkerhetsanvisningar
för
Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en hög kinetisk energi
beroende på den höga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan rotor och stator eller
om rotorn skulle skadas, kan det hända att rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas
på operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
29/84
87-901-003-01(A)
BRUKSANVISNING
ALLMÄN INFORMATION
! VIKTIGT!
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning.
Användaren bör läsa denna bruksanvisning, samt övrig
dokumentation från Varian före användning av utrustningen.
Varian tar inget ansvar för skador som helt eller delvis beror på
åsidosättande av instruktionerna, olämplig användning av
person utan tillräcklig kunskap, obehörigt bruk av utrustningen
eller hantering som strider mot gällande lokala föreskrifter.
Systemet Mini-TASK AG81 består av en turbomolekylär pump
för höga och mycket höga vakuumtillämpningar, en styrenhet
och en huvudpump. Systemet kan användas för pumpning av
alla typer av gas eller gasföreningar. Dock lämpar sig inte
systemet för pumpning av vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max
80000 varv/minut) som drivs av en elektrisk trefas
högeffektmotor. Inga tillsatsämnen används i Mini-TASK AG81,
som därför passar för tillämpningar som kräver ett "rent"
vakuum.
Mini-TASK AG81 har dessutom hjälpkontakter som gör det
möjligt att kontrollera avluftningsventilen, och att fjärrstyra den
med hjälp av en host-dator som är ansluten genom seriell
förbindelse.
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för
att garantera operatörens säkerhet under användningen.
Detaljerade uppgifter finns i bilagan "Technical information".
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
Komponenter som ska utsättas för vakuum får inte hanteras
med bara händer p g a kontamineringsrisken. Använd alltid
handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
VARNING!
Normal påverkan från atmosfären kan inte skada Mini-TASK
AG81. Trots det är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills
den har installerats i systemet, för att förhindra att det kommer
in damm eller annat i den.
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en
speciell procedur eller en viss typ av arbete måste utföras exakt
enligt anvisningarna. I annat fall finns risk för svåra
personskador.
! VIKTIGT!
INSTALLATION
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som
måste följas exakt för att inte risk för maskinskada ska uppstå.
! VIKTIGT!
OBSERVERA
Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen först när turbopumpen
ska anslutas till systemet.
Detta visar på viktig information i texten.
FÖRVARING
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal
prestanda och driftsäkerhet för Varian turbomolekylära pumpar:
• Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
• Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
• Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
• Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna
när de mottas och sätts i drift för första gången.
• De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader
från leveransdatumet.
Installera och använd inte pumpen i miljöer som utsätts för
påverkan från atmosfären (regn, snö, is), damm, aggressiva
gaser, och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljö.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
- maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
- temperatur: från +5°C till +35°C
- relativ luftfuktighet: 0 - 95% (utan kondens)
! VIKTIGT !
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen
skickas tillbaka till fabriken. Var god och kontakta den lokala
Varian-återförsäljaren för ytterligare information.
FÖRBEREDELSER FÖR INSTALLATIONEN
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med en särskild
skärm. Se bilagan “Technical information“ för ytterligare
upplysningar. Mini-TASK AG81 måste anslutas till en
huvudpump (se schemat i "Technical information").
Mini-TASK AG81 kan installeras i valfri position. Fäst pumpen i
ett stabilt läge genom att ansluta pumpens intagsfläns till en
fast fläns som måste tåla ett vridmoment på 50 Nm kring sin
axel.
Mini-TASK AG81 levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar
tecken på skador som kan ha uppstått under transporten.
Se till att Mini-TASK AG81 inte tappas eller utsätts för stötar vid
uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är
återvinningsbart till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om
miljöskydd.
30/84
87-901-003-01(A)
BRUKSANVISNING
Start och användning av Mini-TASK AG81
Turbopumpen
med
ISO-intagsfläns
ska
fästas
vid
vakuumkammaren med hjälp av dubbla eller enkla klamrar.
Den följande tabellen beskriver olika typer av klamrar,
nödvändigt antal klamrar och åtdragningsmoment.
Mini-TASK AG81-systemet kan inte fastspännas med sin egen
bas.
Starta Mini-TASK AG81 genom att slå till strömmen och
placera den externa brytaren i läge ON (den röda
kontrollampan tänds). Den inbyggda styrenheten känner
automatiskt av strömtillförseln och sätter igång pumpen.
Vid den första starten rekommenderas det att aktivera
funktionssättet ”Soft Start” på kontrollenheten. För efterföljande
starter rekommenderas det att deaktivera funktionssättet ”Soft
Start”. För att sedan aktivera detta läge “Soft Start” hänvisar vi
till paragrafen “Signal description” i kapitlet “Technical
Information”.
Den blå lysdioden ”STATUS” på underdelen av Mini-TASK
AG81 anger, genom frekvensen av dess blinkningar, hur
systemet fungerar:
- fast sken: pumpen roterar normalt;
- långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i
läge för acceleration, bromsning, Stop eller “Waiting for
interlock”;
- hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
Installation av
Information".
Se bilagan ”Technical Information” för en detaljerad beskrivning
av kontrollpanelen för Mini-TASK AG81.
FLÄNS
ISO 63
TYP AV KLAMMER
ANT. ÅTDRAGNINGS
-MOMENT
Dubbel klammer, gänga
M10
Enkel klammer, gänga
M8
4
22 Nm
4
11 Nm
Turbopumparna med intagsfläns ConFlat ska fästas vid
vakuumkammaren med hjälp av Varian fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga “Technical Information”.
OBSERVERA
tillbehörsutrustning
beskrivs
i
"Technical
Att stänga av Mini-TASK AG81
ANVÄNDNING
Stäng av Mini-TASK AG81 genom att placera den externa
brytaren i läge OFF (den röda kontrollampan slocknar). Den
inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion.
Anvisningar för riktig användning finns i styrenhetens
bruksanvisning.
Innan du använder systemet ska du utföra alla elektriska och
pneumatiska anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får
temperaturen vid inloppet aldrig överstiga 120°C.
Nödstopp
Stäng av Mini-TASK AG81 vid en nödsituation genom att dra ut
elkabeln från eluttaget eller genom att placera den externa
brytaren i läge OFF.
VARNING!
UNDERHÅLL
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad
till vakuumkammaren eller är blockerad på plats med
låsflänsen.
VARNING!
Vidrör inte turbopumpen eller några
uppvärmningen för att undvika brännskador.
Mini-TASK AG81 är underhållsfritt. Allt servicearbete måste
utföras av auktoriserad personal.
tillbehör
under
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens
strömförsörjning avbrytas och pumpen luftas genom att den
aktuella ventilen öppnas. Vänta sedan tills rotorn stannat samt
tills pumpens yttemperatur är lägre än 50ºC.
VARNING!
Om pumpen havererar, kontakta Varian reparationsverkstad.
Undvik stötar eller plötsliga rörelser av pumpen under drift.
Lagren skulle kunna förstöras och skador på personer eller på
föremål kan inträffa.
OBSERVERA
! VIKTIGT!
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation, måste
"hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga
dessutom en kopia av bladet med systemet.
Använd ädelgas, fri från damm, partiklar och fukt (t.ex. kväve)
för luftning av pumpen. Trycket vid inloppet får vara högst 2 bar
(över atmosfäriskt tryck).
VARNING!
Skrotning av systemet ska ske enligt gällande lagstiftning.
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga
eller radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda
anvisningarna för varje enskild gas. Använd ej pumpen i
närheten av explosiva gaser.
31/84
87-901-003-01(A)
BRUKSANVISNING
BORTSKAFFNING
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna.
Symbolen som visas nedan har tillämpats i enlighet med CDdirektivet som har betecknats som "WEEE".
Den här symbolen (gäller endast i de länder som tillhör den
Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans
med vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas.
Vi rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
32/84
87-901-003-01(A)
BRUKERVEILEDNING
Sikkerhetsanvisninger
for
Turbomolekylær Pumper
Turbomolekylær pumpene som er beskrevet i den følgende Bruksanvisningen har et høyt
kinetisk energinivå som skyldes den høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke
massen til pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller
brudd på rotoren, kan roteringsenergien bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utsyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen følges nøye!
33/84
87-901-003-01(A)
BRUKERVEILEDNING
GENERELL INFORMASJON
!FORSIKTIG!
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere.
Brukeren bør lese denne brukerveiledningen og all annen
informasjon fra Varian før utstyret tas i bruk. Varian kan ikke
holdes ansvarlig for hendelser som skjer på grunn av
manglende oppfølging av disse instruksjonene, selv delvis,
feilaktig bruk av utrent personell, ikke autoriserte endringer av
utstyret eller handlinger som på noen måte er i strid med
nasjonale bestemmelser.
Mini-TASK AG81 systemet består av en turbo-molekulær
pumpe for bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg, en
styreenhet og en hovedpumpe. Systemet kan pumpe nesten
alle typer gass eller gassforening. Det er ikke beregnet for å
pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 80000
opm) koplet til en trefaset elektrisk motor. Mini-TASK AG81 har
ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med
behov for "rene" vakuum.
Mini-TASK AG81 har dessuten hjelpekontakter som gir
muligheter for styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av
systemet med en serietilkoplet vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er
nødvendig for å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer
detaljert bruk vises det til tillegget "Teknisk informasjon".
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal
utsettes for vakuum håndteres med bare hendene. Bruk alltid
hansker eller andre og passende verneutstyr.
ADVARSEL!
MERK
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet
til en spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke
følges, kan medføre alvorlige skader.
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge MiniTASK AG81. Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den
er montert i systemet, slik at den ikke forurenses eller utsettes
for nedstøving.
!FORSIKTIG!
INSTALLASJON
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom
de ikke følges, kan føre til at utstyret skades.
!FORSIKTIG!
MERK
Tapen og beskyttelsesproppen
turbopumpen koples til systemet.
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra
teksten.
skal
fjernes
først
når
LAGRING
For å garantere maksimalt nivå for funksjonalitet og
driftssikkerhet til pumpesystemet Varian, må en følge
forskriftene nedenfor:
• Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke
følgende miljøforhold overstiges:
• Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
• Relativ fuktighet: fra 0 til 95% (uten kondensering).
• Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene
når de mottas og startes opp første gang.
• Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder
fra sendedato.
Ikke installer eller bruk systemet i miljøer som utsettes for regn,
snø eller is, støv, aggressive gasser, eksplosjonsfarlige miljøer
eller miljøer med stor brannfare.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
- maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
- temperatur: fra +5°C til +35°C
- relativ fuktighet: 0 - 95% (uten kondens)
!FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger må
pumpen returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale
Varian-forhandleren for informasjon.
KLARGJØRE TIL INSTALLASJON
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede
skjermer. Se “Teknisk informasjon” for detaljer.
Mini-TASK AG81 må koples til en hovedpumpe (se skjema i
"Teknisk informasjon").
Mini-TASK AG81 kan monteres i en valgfri stilling. Fest MiniTASK AG81 i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot
en fast koplingsflens med et dreiemoment på 50 Nm rundt
aksen.
Mini-TASK AG81 leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje.
Viser denne tegn på skader som kan ha oppstått under
transporten, må du ta kontakt med det lokale salgskontoret.
Når Mini-TASK AG81 pakkes ut, må du se til at det ikke slippes
ned eller utsettes for noen form for støt.
Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399
om miljøbeskyttelse.
34/84
87-901-003-01(A)
BRUKERVEILEDNING
Starte og bruke Mini-TASK AG81
Turbopumpene med ISO innløpsflens skal festes til
vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer.
Følgende tabell angir det nødvendige antall klemmer og det
relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer.
FLENS
ISO 63
TYPE KLEMME
Dobbel klemme,
gjenge M10
Enkel klemme,
gjenge M8
ANT.
4
STRAMMEMOMENT
22 Nm
4
11 Nm
For å slå på Mini-TASK AG81 er det nok å kople til strømmen
og dreie den utvendige bryteren til ON (rødt lys tennes). Den
innebygde
styreenheten
detekterer
strømforsyningen
automatisk, og sørger for å starte pumpen.
Ved første start svarer det seg å aktivere "Soft Start" modusen
på styreenheten. For følgende starter anbefales det å
deaktivere "Soft Start" modusen. Fremgangsmåten for å kople
inn “Soft Start”-modus er beskrevet i kapittelet ”Technical
Information” under paragrafen “Signal Description”.
Det blå LED ”STATUS” som befinner seg på basen til MiniTASK AG81 indikerer ved hjelp av frekvensen på blinkingen,
den operative situasjonen til systemet:
- den lyser fast: pumpen roterer normalt
- den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i
stilling for akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for
interlock”
- den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til
vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle låsedelene fra
Varian. For detaljer henvises det til “Teknisk informasjon”.
MERK
Mini-TASK AG81 må ikke festes gjennom fundamentet.
For installasjon av
informasjon".
tilleggsutstyr vises
det
til
Se vedlegget "Teknisk informasjon" for en detaljert beskrivelse
av Mini-TASK AG81s kontrollpanel.
"Teknisk
Stoppe Mini-TASK AG81
For å stoppe Mini-TASK AG81 er det nok å dreie den utvendige
bryteren til OFF (rødt lys slukkes). Den innebygde styreenheten
stanser pumpen umiddelbart.
BRUK
Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Les nøye gjennom denne manualen før systemet tas i bruk.
Mens oppvarmingen av kammeret pågår må temperaturen ved
inngangsflensen ikke overskride 120°C.
Nødstopp
For å stoppe Mini-TASK AG81 i en nødsituasjon er det
nødvendig å trekke strømkabelen ut av stikkontakten, eller
dreie den utvendige bryteren til OFF.
ADVARSEL!
VEDLIKEHOLD
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen.
Mini-TASK AG81 er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må
kun utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Ikke berør turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under
oppvarmingen. De høye temperaturene kan føre til
brannskader.
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples tilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter
vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er
lavere enn 50°C.
ADVARSEL!
Dersom systemet stanser, må du ta kontakt med Varians.
Unngå støt eller brå bevegelser av turbopumpen når den er i
bruk. Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppstå
skade på personer eller gjenstander.
MERK
Før systemet returneres til produsenten for reparasjon, må det
vedlagte skjemaet "Helse og sikkerhet" fylles inn og sendes til
det lokale salgskontoret. En kopi av dette arket må vedlegges
systemet som sendes tilbake.
!FORSIKTIG!
Bruk fukt-, støv- og partikkelfri inaktiv gass (f. eks kvelstoff) ved
forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen må ikke være
mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk).
ADVARSEL!
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til
nasjonale bestemmelser.
ADVARSEL!
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller
radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte
gasstypene følges.
Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
35/84
87-901-003-01(A)
BRUKERVEILEDNING
ELIMINERING
Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene.
Symbolet nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til ECdirektiv kalt "WEEE".
Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering.
Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen
å henvende seg til leverandøren av anordningen, som kan
være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i
kjøpekontrakten.
36/84
87-901-003-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
Turbomolekyylipumppujen
Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea määrä kineettistä
energiaa, joka aiheutuu korkeasta pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien
massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin
rikkoutuessa, pyörimisenergia saattaa vapautua.
VAARA!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
37/84
87-901-003-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali
voidaan kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EYdirektiiviä 85/399 ympäristön suojelusta.
YLEISIÄ TIETOJA
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen
laitteen käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti
ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lisätiedot. Varian ei ota
vastuuta seurauksista, jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden
täydellisestä
tai
osittaisesta
laiminlyönnistä,
ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen käytöstä,
valtuuttamattomista
toimenpiteistä
tai
kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
Mini-TASK AG81 on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu
valvojalla ja pääpumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta
korkean ja ultrakorkean tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä
kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisiä kaasuja tai
kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden
hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (80000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. Mini-TASK
AG81 -järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se
soveltuu myös "puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Mini-TASK AG81 -järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä,
joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla.
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
"HUOMIO!
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin
osiin tule koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai
muuta sopivaa suojausta.
HUOM
VAARA!
Mini-TASK AG81 ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman
kanssa (auki). On kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna,
kunnes se asennetaan järjestelmään. Siten vältetään laitteen
mahdollinen pölysaastuminen.
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen
käyttö- tai toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi
johtaa vakaviin henkilövaurioihin.
ASENNUS
"HUOMIO!
"HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi
johtaa laitteen vahingoittumiseen.
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi
turbopumppu kytketään järjestelmään.
HUOM
vasta,
kun
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
VARASTOINTI
Noudata
seuraavassa
annettuja
ohjeita
Varian
pumppausjärjestelmien parhaan ja luotettavan toiminnan
takaamiseksi:
• Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan,
seuraavia ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
• lämpötila: -20 °C - 70 °C.
• suhteellinen kosteus: 0 - 95% (ei tiivistävä).
• Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen
pumppu soft-start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja
käyttäessään sitä ensimmäisen kerran.
• Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
Pumppua ei tule asentaa ja/tai käyttää ympäristössä, missä se
joutuu kosketuksiin säätekijöiden (sateen, jään tai lumen),
pölyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on
olemassa räjähdys- tai tulipalovaara.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
- maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
- lämpötila: + 5°C - +35°C.
- suhteellinen kosteus: 0 - 95 % (ei tiivistävä)
"HUOMIO!
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee
palauttaa tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Varianedustajalta.
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot”
-liitteestä.
Mini-TASK AG81 voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Kiinnitä Mini-TASK AG81 tukevaan asentoon kytkemällä
turbopumpun kiinteä sisääntulolaippa kiinteään vastalaippaan,
joka kestää 50 Nm:n momentin oman akselinsa ympäri.
VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN
Mini-TASK AG81 toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa;
mikäli siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita
vaurioita, ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti MiniTASK AG81:n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai
tärinöitä.
38/84
87-901-003-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
Mini-TASK AG81:n käynnistys ja käyttö
Turbopumppu
ISO-sisääntulolaipalla
tulee
kiinnittää
tyhjiökammioon kaksois- tai yksinkertaisilla kiinnikkeillä.
Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit, kiinnikkeiden
vaadittava määrä ja kiristysmomentti.
LAIPPA
ISO 63
KIINNIKE
MÄÄRÄ
Kaksoiskiinnike,
kierteitys M10
Yksinkertainen
kiinnike, kierteitys M8
4
KIRISTYSMOMENTTI
22 Nm
4
11 Nm
Käynnistä Mini-TASK AG81 kytkemällä sähkö päälle ja
asettamalla ulkokatkaisin ON-asentoon (punainen valo syttyy).
Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti sähkövirran
ja käynnistää pumpun.
Ensimmäisessä käynnistyksessä on hyvä käyttää "Soft Start" tapaa. Käynnistä se säätimestä. Kytke seuraavissa
käynnistyksissä "Soft Start" -tapa pois. “Soft Start” käynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan "Signal
Description” kappaleessa “Technical Information”.
Mini-TASK AG81 perustan paneeliin sijoitettu sininen
”STATUS” led ilmoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän
toimintaolosuhteet:
- palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
- vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on
kiihdytys-, jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”tilassa;
- vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden
avulla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
HUOM
Mini-TASK AG81:ä ei voida kiinnittää perustansa kautta.
Ks. “Tekniset tiedot” -liitettä lisävarusteiden asentamista varten.
Ks. Mini-TASK AG81in ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus
liitteestä "Tekniset tiedot".
KÄYTTÖ
Mini-TASK AG81: n pysäyttäminen
Pysäytä Mini-TASK AG81 asettamalla ulkokatkaisin OFFasentoon (punainen valo syttyy). Sisäänrakennettu valvoja
pysäyttää pumpun välittömästi.
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 120°C:tta.
Hätäpysäytys
Hätätilassa pysäytä Mini-TASK AG81 irrottamalla sähköjohto
pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF-asentoon.
VAARA!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla.
HUOLTO
Mini-TASK AG81 ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset
toimenpiteet tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAARA!
Älkää koskeko turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen
aikana. Korkea lämpötila saattaa aiheuttaa henkilöiden
loukkaantumisia.
VAARA!
Välttäkää turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen äkkinäistä
liikuttamista sen ollessa käynnissä. Laakerit voisivat
vahingoittua,
joka
saattaisi
johtaa
henkilötai
omaisuusvahinkoihin.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Varianin
korjauspalvelua.
HUOM
Ennen järjestelmän lähettämistä valmistajalle korjausta tai
vaihtopalvelua varten on ehdottomasti täytettävä ja toimitettava
paikalliseen myyntitoimistoon "Turvallisuus ja Terveys” kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen kaavakkeen
kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen
lähettämistä.
"HUOMIO!
Päästettäessä pumppuun ilmaa tulee käyttää jalokaasua, jossa
ei ole pölyä, hiukkasia tai kosteutta (esim. typpi).
Sisäänjohtavan paineen siihen sopivan aukon läpi täytyy olle
alle 2 baaria (paitsi atmosfäärinen paine).
VAARA!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä
kytkekää se irti sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa
avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin
täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän jälkeen pumpun
pintalämmön laskea alle 50ºC:en.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
VAARA!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai
radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa
jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa.
Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen lähellä.
39/84
87-901-003-01(A)
KÄYTTÖOHJEET
HÄVITTÄMINEN
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys
Alla näkyvä merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEEdirektiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen.
Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan keräys- ja
hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan, olipa
se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
40/84
87-901-003-01(A)
ODHGIES CRHSHS
Οδηγίες για Ασφάλεια
για
Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι µοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο εγχειρίδιο λειτουργίας
περιέχουν ένα µεγάλο ποσό κινητικής ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής
σε συνδυασµό µε το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήµατος, για παράδειγµα επαφής ρότορα /
επαγωγέα ή ακόµη και σε περίπτωση καταστροφής του ρότορα, η ενέργεια περιστροφής
µπορεί να ελευθερωθεί.
KINDUNOS!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισµού και για την
πρόληψη τραυµατισµών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης,
όπως δίνονται στο παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
41/84
87-901-003-01(A)
ODHGIES CRHSHS
Mhn egkatale∂pete th suskeuas∂a sto perib£llon. To ulikè
anakuklèènetai plÿrwj kai antapokr∂netai sthn Odhg∂a thj
E.O.K. 85/399 gia th diafÚlaxh tou perib£llontoj.
GENIKES PLHROFORIES
Autÿ h suskeuÿ proor∂zetai gia epaggelmatikÿ crÿsh. O crÿsthj
qa pr◊pei na diab£sei prosektik£ tij odhg∂ej tou parèntoj
egceir∂diou kai opoiadÿpote £llh prèsqeth plhrofor∂a pou d∂nei h
Varian, prin apè th crhsimopo∂hsh thj suskeuÿj. H Varian den
f◊rei kamm∂a euqÚnh èson afor£ thn olikÿ ÿ merikÿ aq◊thsh twn
odhgièn, thn akat£llhlh crÿsh ek m◊rouj anekpa∂deutou
proswpikoÚ, mh exousiodothm◊nej epemb£seij ÿ crÿsh pou den
sumfwne∂ me tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij. To Mini-TASK AG81
e∂nai ◊na oloklhrwm◊no sÚsthma apoteloÚmeno apè m∂a
strobilomoriakÿ antl∂a gia efarmog◊j uyhloÚ kai uper - uyhloÚ
kenoÚ, oloklhrwm◊no apè to scetikè elegktÿ (controller) kai apè
thn prwteÚousa antl∂a. To sÚsthma e∂nai ikanè na antlÿsei
opoiodÿpote e∂doj aer∂ou ÿ aerioÚco proi>èn, all£ den e∂nai
kat£llhlo gia thn £ntlhsh ugrèn ÿ stereèn swmat∂diwn.
H en◊rgeia £ntlhshj epitugc£netai diam◊sou m∂aj tourmp∂naj pou
peristr◊fetai se uyhlÿ tacÚthta (80000 str.§lept. max.)
kinoÚmenh apè ◊nan trifasikè hlektrikè kinhtÿra uyhlèn
epidèsewn. To Mini-TASK AG81 stere∂tai pantelèj rupantikèn
paragèntwn, opète e∂nai kat£llhlo gia efarmog◊j oi opo∂ej
apaitoÚn ◊na økaqarèø kenè.
To Mini-TASK AG81 ◊cei ep∂shj bohqhtikoÚj sundetÿrej diam◊sou
twn opo∂wn e∂nai dunatèj o ◊legcoj thj balb∂daj aerismoÚ (vent),
h kaqodÿghsh apè apèstash diam◊sou enèj computer host
sundem◊nou m◊sw seiriakÿj grammÿj.
Stij epèmenej paragr£fouj anaf◊rontai èlej oi apara∂thtej
plhrofor∂ej pou egguoÚntai thn asf£leia tou ceiristÿ kat£ th
di£rkeia thj crhsimopo∂hshj thj suskeuÿj. Leptomere∂j
plhrofor∂ej d∂nontai sto par£rthma "Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
("Technical Information")
Autè to egceir∂dio crhsimopoie∂ touj akèlouqouj sumbatikoÚj
èrouj¿
!PROSOCH
Gia na apofÚgete problÿmata apagwgÿj aer∂ou, mhn agg∂zete me
gumn£ c◊ria ta sustatik£ pou e∂nai proorism◊na na ekteqoÚn sto
kenè.
Crhsimopoie∂te ta g£ntia ÿ £llh kat£llhlh prostas∂a.
KINDUNOS!
Oi ende∂xeij kindÚnou elkÚoun thn prosocÿ tou ceiristÿ se m∂a
diadikas∂a ÿ se m∂a eidikÿ ergas∂a h opo∂a an den ekteleste∂
swst£, qa mporoÚse na prokal◊sei sobar◊j proswpik◊j bl£bej.
SHMEIWSH
To Mini-TASK AG81 Navigator den bl£ptetai apl£ param◊nontaj
ekteqeim◊no sto perib£llon. EntoÚtoij sumbouleÚetai na
diathre∂te kleistÿ thn antl∂a m◊cri th stigmÿ thj egkat£stashj
sto sÚsthma èste na apofeugcqe∂ m∂a endecèmenh rÚpansh apè
skènh.
! PROSOCH
Oi ende∂xeij prosocÿj emfan∂zontai prin apè tij diadikas∂ej oi
opo∂ej, an den thrhqoÚn, qa mporoÚsan na prokal◊soun bl£bej sth
suskeuÿ.
EGKATASTASH
! PROSOCH
SHMEIWSH
Oi shmeièseij peri◊coun shmantik◊j plhrofor∂ej pou ◊coun
apospaste∂ apè to ke∂meno.
Xekollÿste to autokèllhto kai bg£lte to prostateutikè kap£ki
mèno th stigmÿ thj sÚndeshj thj tourmpoantl∂aj sto sÚsthma.
APOQHKEUSH
Για να εγγυηθούµε το µέγιστο επίπεδο λειτουργικότητας και
αξιοπιστίας των συστηµάτων άντλησης Varian, πρέπει να
επισηµανθούν ται ακόλουθα:
• kat£ th metafor£, th diak∂nhsh kai thn apoqÿkeush twn
antlièn den pr◊pei na uperba∂nontai oi exÿj periballontik◊j
sunqÿkej¿
• qermokras∂a¿ apÒ -20 °C ◊wj 70 °C
• scetikÿ ugras∂a¿ apÒ 0 ◊wj 95% (mh sumpuknèsimh)
• o pel£thj pr◊pei na an£bei tij strobilomoriak◊j antl∂ej me
ton trÒpo Soft-Start Òtan paralamb£nontai kai q◊tontai se
leitourg∂a gia prèth for£
• o crÒnoj apoqÿkeushj m∂aj strobilomoriakÿj antl∂aj e∂nai 10
mÿnej apÒ thn hmeromhn∂a apostolÿj.
H antl∂a de qa pr◊pei na egkatastaqe∂ kai§ÿ na crhsimopoihqe∂
se cèrouj ekteqeim◊nouj se atmosfairikoÚj par£gontej (brocÿ,
p£go, cièni), skènej, chmik£ a◊ria, se cèrouj èpou up£rcei
k∂ndunoj ◊krhxhj ÿ k∂ndunoj purkagi£j.
Kat£ th di£rkeia thj leitourg∂aj pr◊pei na throÚntai oi
akèlouqej sunqÿkej perib£llontoj:
- m◊gisth p∂esh: 2 bar p£nw apè thn atmosfairikÿ p∂esh
qermokras∂a: apè + 5°C m◊cri + 35°C
- scetikÿ ugras∂a: 0 - 95 % (asumpÚknwth).
Se parous∂a hlektromagnhtikèn ped∂wn h antl∂a pr◊pei na
prostateÚetai me kat£llhla prokalÚmmata. Bl◊pe to par£rthma
øTecnik◊j Plhrofor∂ejø gia perissèterej leptom◊reiej.
To Mini-TASK AG81pr◊pei na e∂nai sundedem◊no se m∂a
prwteÚousa antl∂a (bl◊pe scÿma stij øTecnik◊j Plhrofor∂ejø).
To Mini-TASK AG81 mpore∂ na egkatastaqe∂ se opoiadÿpote
q◊sh. Stereèste to Mini-TASK AG81 se staqerÿ q◊sh enènontaj
th fl£ntza eisèdou thj tourmpoantl∂aj me m∂a staqerÿ
kèntrofl£ntza ikanÿ na ant◊xei se ◊na zeÚgoj 50 Nm gÚrw apè
ton £xon£ thj.
! PROSOCH
E£n, gia opoiodÿpote lÒgo, o crÒnoj apoqÿkeushj e∂nai
megalÚteroj, crei£zetai na epistr◊yete thn antl∂a sto
ergost£sio. Gia k£qe plhrofor∂a, parakaloÚme na epikoinwnÿsete
me thn topikÿ antiproswpe∂a thj Varian.
PROETOIMASIA GIA THN EGKATASTASH
To Mini-TASK AG81 promhqeÚetai se m∂a eidikÿ prostateutikÿ
suskeuas∂a: an up£rcoun ende∂xeij bl£bhj pou qa mporoÚsan na
◊coun proklhqe∂ kat£ th di£rkeia thj metafor£j, ◊rceste se
epafÿ me to topikè tmÿma pwlÿsewn.
Kat£ th di£rkeia tou ano∂gmatoj thj suskeuas∂aj, dèste
idia∂terh prosocÿ èste na mhn afeqe∂ kai p◊sei to Mini-TASK
AG81 kai na mhn uposte∂ ctupÿmata ÿ donÿseij.
42/84
87-901-003-01(A)
ODHGIES CRHSHS
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ISO pr◊pei na sterewqe∂
ston q£lamo kenoÚ m◊sw diplèn ÿ monèn dagk£nwn. H akèlouqh
tamp◊lla perigr£fei, gia k£qe e∂doj dagk£nhj, ton apara∂thto
ariqmè dagk£nwn kai me poio zeÚgoj bidèmatoj pr◊pei na
sfictoÚn.
FLANTZA
EIDOS DAGKANHS
ISO 63
Diplÿ
el∂kwsh
Monÿ
el∂kwsh
dagk£nh
M10
dagk£nh
M8
N.
me 4
ZEUGOS
BIDWMATOS
22 Nm
me 4
11 Nm
/Enaush kai Crÿsh tou Mini-TASK AG81
Για το άναµµα του Mini-TASK AG81 αρκεί να παρέχετε την τάση
τροφοδότησης και να θέσετε στη θέση ON τον εξωτερικό διακόπτη
(ανάβει το κόκκινο φως). O enswmatwm◊noj elegktÿj anagnwr∂zei
autom£twj thn parous∂a thj trofodèthshj kai q◊tei se k∂nhsh
thn antl∂a.
Στο πρώτο άναµµα είναι καλό να υιοθετήσετε τον τρόπο "Soft Start"
ενεργοποιώντας τον ίδιο στον controller, για τις επόµενες εκκινήσεις
συνιστάται να απενεργοποιήσετε τον τρόπο "Soft Start". Για τη
διαδικασία ενεργοποίησης της λειτουργίας “Soft Start” ανατρέξτε
στην παράγραφο “Signal Description” (Περιγραφή σήµατος) στο
κεφάλαιο "Τechnical Information".
Το µπλε led «STATUS» που βρίσκεται στο πάνελ της βάσης του
Mini-TASK AG81 δείχνει, µε συχνότητα αναλαµπών, τη λειτουργική
κατάσταση του συστήµατος:
- staqer£ anam◊no¿ h antl∂a e∂nai se kanonikÿ peristrofÿ:
- anabosbÿnei arg£ (per∂odoj per∂pou 400 ms): To sÚsthma e∂nai
se kat£stash an£bashj, ÿ epibr£dunshj, ÿ stop, ÿ "Waiting
for interlock".
- anabosbÿnei grÿgora (per∂odoj per∂pou 400 ms): esfalm◊nh
sunqÿkh.
H tourmpoantl∂a me fl£ntza eisèdou ConFlat pr◊pei na sterewqe∂
sto q£lamo kenoÚ m◊sw twn kat£llhlwn mhcanikèn exarthm£twn
Varian. Gia perissèterej leptom◊reiej bl◊pe to par£rthma
"Tecnik◊j Plhrofor∂ej".
SHMEIWSH
To Mini-TASK AG81 den mpore∂ na sterewqe∂ diam◊sou thj b£shj
tou.
Gia thn egkat£stash twn proairetikèn axesou£r, bl◊pe "Tecnik◊j
Plhrofor∂ej".
Για µία λεπτοµερή περιγραφή του πίνακα ελέγχου του Mini-TASK
AG81 βλέπε την προσθήκη "Technical Information".
CRHSH
Se autÿn thn par£grafo anaf◊rontai oi kurièterej epiceirhsiak◊j
diadikas∂ej.
Prin na crhsimopoiÿsete to sÚsthma pragmatopoie∂te èlej tij
hlektrik◊j kai pneumatik◊j sund◊seij. Kat£ th di£rkeia thj
endecèmenhj q◊rmanshj tou qal£mou kenoÚ, h qermokras∂a sth
fl£ntza eisèdou den pr◊pei na xepern£ei touj 120°C.
Stam£thma tou Mini-TASK AG81
Για την κράτηση του Mini-TASK AG81 αρκεί να θέσετε στη θέση
OFF τον εξωτερικό διακόπτη (σβήνει το κόκκινο φως). O
enswmatwm◊noj elegktÿj stamat£ am◊swj thn antl∂a.
Stam£thma /Ektakthj An£gkhj
Για την κράτηση σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης του Mini-TASK
AG81 χρειάζεται να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από την
πρίζα του ηλεκτρικού δικτύου, ή να µετατοπίσετε τον εξωτερικό
διακόπτη στη θέση OFF.
KINDUNOS!
Mhn afÿnete pot◊ na leitourge∂ h antl∂a an h fl£ntza eisèdou
den e∂nai sundem◊nh sto q£lamo kenoÚ ÿ den e∂nai kleistÿ me th
fl£ntza kleis∂matoj.
SUNTHRHSH
To Mini-TASK AG81
de crei£zetai kamm∂a suntÿrhsh.
Opoiadÿpote ep◊mbash pr◊pei na g∂netai apè eidikeum◊no
proswpikè.
KINDUNOS!
Mhn agg∂zete thn tourmpoantl∂a kai ta endecèmena exartÿmat£
thj kat£ tij ergas∂ej q◊rmanshj. H uyhlÿ qermokras∂a mpore∂ na
prokal◊sei proswpik◊j bl£bej.
KINDUNOS!
Αποφύγετε συγκρούσεις ή µετατοπίσεις της αντλίας στροβίλου όταν
είναι σε λειτουργία. Τα ρουλεµάν µπορούν να φθαρούν και
ενδέχεται να παρουσιαστούν βλάβες σε άτοµα ή αντικείµενα.
Se per∂ptwsh bl£bhj mpore∂te na apeuqunqe∂te sto service thj
Varian.
!PROSOCH
SHMEIWSH
Gia thn "prosagwghv aevra" thÇ antlivaÇ crhsimopoihvste
adranevÇ aevrio cwrivÇ skovnh, swmativdia hv ugrasiva (p.c.
vAzwto). H pivesh eisovdou diamevsou thÇ eidikhvÇ povrtaÇ
prevpei na eivnai katwvterh apov 2 bar (pavnw apov thn
atmosfairikhv pivesh).
KINDUNOS!
Prin epiceirÿsete opoiadÿpote ep◊mbash sto sÚsthma,
aposund◊ste to apè thn trofodos∂a, k£nte exa◊rwsh sthn antl∂a
ano∂gontaj thn eidikÿ balb∂da, perim◊nete m◊cri na stamatÿsei
tele∂wj o rètor kai anam◊nete h epifaneiakÿ qermokras∂a thj
antl∂aj na e∂nai katèterh apè 50°C.
Prin epistr◊yete ston kataskeuastÿ thn antl∂a gia episkeuÿ,
enai apara∂thto na sumplhrèsete kai na parousi£sete sto
topikè Grafe∂o Pwlÿsewn, to ◊ntupo øSigouri£ kai Uge∂aø
sunhmm◊no sto parèn egceir∂dio odhgièn. Ant∂grafo tou ∂diou
entÚpou pr◊pei na up£rcei m◊sa sth suskeuas∂a thj antl∂aj prin
apè thn apostolÿ.
KINDUNOS!
Otan pl◊on ◊na sÚsthma pr◊pei na dialuqe∂, procwre∂te sthn
exoudet◊rwsÿ tou thrèntaj tij eidik◊j eqnik◊j diat£xeij.
Otan h antl∂a crhsimopoie∂tai gia thn £ntlhsh toxikèn,
eÚflektwn ÿ radienergèn aer∂wn, akolouqe∂te tij kat£llhlej
carakthrhstik◊j diadikas∂ej tou k£qe aer∂ou.
Mh crhsimopoie∂te thn antl∂a parous∂a ekrhktikèn aer∂wn.
43/84
87-901-003-01(A)
ODHGIES CRHSHS
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.
Το παρακάτω σύµβολο εφαρµόζεται σύµφωνα µε την ντιρεκτίβα Ε.Κ.
που ονοµάζεται "WEEE".
Αυτό το σύµβολο (που ισχύει µόνο για τις χώρες της Ευρωπαϊκής
Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι εφαρµοσµένο,
∆ΕΝ πρέπει να πεταχτεί µαζί µε κοινά οικιακά ή βιοµηχανικά
σκουπίδια, αλλά µε διαφοροποιηµένο τρόπο.
Γι΄αυτό, παρακαλούµε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή µε τον
πωλητή της συσκευής ή µε το εργοστάσιο σχετικά µε την εκκίνηση
της διαδικασίας διαφοροποιηµένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης
του συµβολαίου πώλησης.
44/84
87-901-003-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Biztonsági útmutató
Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A turbómolekuláris szivattyúk – ahogy a következő gépkönyvben le van írva – nagy
mozgási energiával rendelkeznek a nagy forgási sebességük és a rotorok fajlagos tömege
miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor/állórész érintkezési hibája vagy akár a
forgórész széttörése – esetén a forgási energia felszabadulhat.
VIGYÁZAT!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
45/84
87-901-003-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Ne ártalmatlanítsa a csomagoló anyagokat nem megengedett
módon. Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel az
EEC 85/399-es direktívának.
ÁLTALÁNOS INFORMÁCIÓ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték.
A felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell
olvasnia ezt a gépkönyvet és a Varian által biztosított bármely
információt. A Varian nem vonható felelősségre olyan
eseményekért, amelyek az ezen utasításoknak való akár
részbeni meg nem felelés, szakképzetlen személyek általi nem
megfelelő használat, a berendezésbe való jogosulatlan
beavatkozás vagy a konkrét nemzeti szabványokkal ellentétes
bármely művelet miatt történtek.
A Mini-TASK AG81 egy integrált rendszer turbómolekuláris
szivattyúval nagy és rendkívül nagy vákuumalkalmazásokhoz a
megfelelő vezérlőjével. A rendszer bármely típusú gázt vagy
gázkeveréket képes szivattyúzni. Nem alkalmas folyadékok
vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A szivattyúzási
műveletet egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 80000 fordulat/perc)
biztosítja. A Mini-TASK AG81 szennyezőanyagoktól mentes, és
ezért alkalmas „tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A Mini-TASK AG81 fel van szerelve segédcsatlakozókkal a
ventillátor szelepének vezérléséhez, amit távoli helyről kell
vezérelni soros vonalon csatlakoztatott gazdagépen keresztül.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő
biztonságának garantálásához szükséges összes információt
tartalmazzák. Részletes információt talál a „Műszaki
információ” függelékben.
Ez a kézikönyv a következő szabványos protokollt
használja:
!FIGYELEM
Gázkivonási problémák elkerülésére ne használjon puszta
kezeket vákuumnak kitett komponensek kezelésére. Mindig
használjon kesztyűt vagy más alkalmas védelmet.
MEGJEGYZÉS
A környezetnek való normál kitettség nem tudja károsítani a
Mini-TASK AG81-ot. Mégis ajánlatos zárva tartani a rendszerbe
való telepítésig, így megakadályozva a por általi szennyeződés
bármely formáját.
VIGYÁZAT!
A figyelmeztető üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy
konkrét eljárásra vagy gyakorlatra, amit ha nem követnek
megfelelően, súlyos sérüléshez vezethet.
!FIGYELEM
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg,
amelyeket ha nem követnek, a berendezés károsodását
okozhatják.
TELEPÍTÉS
!FIGYELEM
MEGJEGYZÉS
A megjegyzések
tartalmaznak.
a
szövegből
vett
fontos
Ne távolítsa el az öntapadó és védőkupakot
turbószivattyúnak a rendszerhez való csatlakoztatása előtt.
információt
a
TÁROLÁS
A Varian szivattyú-rendszerek maximális működési szintjének
és megbízhatóságának biztosításához tartsa be a következő
előírásokat:
•
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a
következő környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
•
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
•
relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
•
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi és először üzemelteti.
•
Egy turbonukleáris szivattyú raktározhatási ideje 10 hónap
a szállítás dátumától.
Ne telepítse, valamint ne használja a szivattyút atmoszférikus
közegeknek kitett környezetben (eső, hó, jég), porban,
agresszív gázokban, illetve robbanó vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti
feltételeket kell biztosítani:
− maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
− hőmérséklet: +5 °C-tól +35 °C-ig
− relatív páratartalom: 0 – 95% (nem kondenzáló)
!FIGYELEM
Ha valamilyen okból a raktározhatási időt túllépik, a szivattyút
vissza kell vinni a gyárba. Kérem, információért forduljon a helyi
Varian vákuumkereskedelmi és szolgáltatási képviselethez.
Mágneses mezők jelenlétében a szivattyút védeni kell
ferromágneses pajzs segítségével. Részletes információért
lásd „Műszaki információ”.
A Mini-TASK AG81-ot bármely helyzetben lehet telepíteni.
Rögzítse a Mini-TASK AG81-ot stabil helyzetben, a
turbószivattyú bemeneti karimáját egy rögzített ellenkarimára
csatlakoztatva, amely képes ellenállni 50 Nm tengely körüli
nyomatéknak.
ELŐKÉSZÍTÉS TELEPÍTÉSRE
A Mini-TASK AG81-ot különleges védőcsomagolásban
szállítják. Ha ez sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben
felmerülhet, forduljon a helyi szolgáltatási irodához.
A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy ne ejtse le,
és kerülje annak bármilyen hirtelen ütését vagy rázkódását.
46/84
87-901-003-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
Az ISO bemeneti karimás turbószivattyút kapcsokkal vagy
peckekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához. A következő
táblázat mindegyik rögzítő eszközhöz megmutatja a kapcsok
vagy peckek szükséges számát és a hozzátartozó rögzítő
nyomatékot.
KARIMA
ISO 63
RÖGZÍTŐ
ESZKÖZ
M10 kapcsok
M8 kapcsok
N.
4
4
A Mini-TASK AG81 bekapcsolása és
használata
A Mini-TASK AG81 bekapcsolásához elegendő rákapcsolni a
tápfeszültséget, majd a külső kapcsolót BE állásba kapcsolni
(piros lámpa ég). Az integrált vezérlő automatikusan felismeri a
tápfeszültség jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
Első indításkor ajánlatos a „Soft Start” módot használni ennek a
vezérlőn való engedélyezésével. A következő indításokhoz
ajánlatos letiltani a „Soft Start” módot. A „Soft Start” mód
aktiválási eljárásához lásd a „Jelleírás bekezdés” a „Műszaki
információ” fejezetben.
A kék “STATUS” kijelző a Mini-TASK-AG81 alján a villogás
sűrűségével jelzi a rendszer működési állapotát.
• nem villogásnál: a szivattyú rendesen forog;
• lassan villog (kb. 400 ms periódus): a rendszer
emelkedőben, fékezésben, állás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
• gyorsan villog (kb. 200 ms periódus): hibafeltétel.
RÖGZÍTŐ
NYOMATÉK
22 Nm
11 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Varian
hardverrel kell rögzíteni a vákuumkamrához. Részletes leírásért
lásd „Műszaki információ”.
MEGJEGYZÉS
AMini-TASK AG81 nem rögzíthető az alapján keresztül.
Opcionális tartozékok telepítéséhez válassza a „Műszaki
információt”.
A Mini-TASK AG81 vezérlőpanel részletes leírásáért lásd
„Műszaki információ” függelék.
HASZNÁLAT
A Mini-TASK AG81 kikapcsolása
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat.
Végezze el az összes elektromos és pneumatikus
csatlakoztatást a rendszer használata előtt.
A vákuumkamra melegítése közben a bemeneti szelep
hőmérséklete nem haladhatja meg a 120 °C-ot.
A Mini-TASK AG81 kikapcsolásához elegendő a külső
kapcsolót KI állásba kapcsolni (piros fény kialszik). A beépített
vezérlő azonnal leállítja a szivattyút.
Vészleállítás
VIGYÁZAT!
A Mini-TASK AG81 vészhelyzetben való azonnali leállításához
el kell távolítani a tápkábelt a hálózati dugaszból, vagy a külső
kapcsolót KI állásba kell kapcsolni.
Soha ne használja a turbószivattyút, amikor a bemeneti karima
nincs csatlakoztatva a vákuumkamrához vagy nincs kiiktatva.
KARBANTARTÁS
VIGYÁZAT!
A Mini-TASK AG81 nem igényel karbantartást. A rendszeren
végzett bármely munkát jogosult személyzetnek kell
elvégeznie.
Ne érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a
melegítési folyamat közben. Magas hőmérséklet égést okozhat.
VIGYÁZAT!
Ne mozdítsa el, és vigyázzon, ne ütközzön semmi a
turbószivattyúhoz
működés
közben!
A
csapágyak
megsérülhetnek, és anyagi kár vagy személyi sérülés történhet.
!FIGYELEM
Meghibásodás esetén forduljon a Varian szervizközponthoz.
Használjon portól, szemcséktől vagy nedvességtől mentes
semleges gázt (pl. nitrogént) a szivattyú szellőztetéséhez. A
szellőző porton lévő nyomásnak 2 barnál kisebbnek kell lennie
(a légköri nyomás fölött).
VIGYÁZAT!
A rendszeren bármely munka végzése előtt válassza le azt a
tápfeszültségről, szellőztesse a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a
szivattyú felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
gépkönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” lapot ki kell
tölteni és el kell küldeni a helyi kereskedelmi irodához. A lap
egy másolatát szállítás előtt be kell illeszteni a
rendszercsomagba.
VIGYÁZAT!
Amikor a szivattyút mérgező, gyúlékony vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kérem, kövesse az egyes gázok
ártalmatlanításához szükséges eljárásokat.
Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében.
Ha a rendszert le kell selejtezni, azt ártalmatlanítani kell a
konkrét nemzeti szabványoknak megfelelően.
47/84
87-901-003-01(A)
HASZNÁLATI UTASÍTÁS
MEGSEMMISÍTÉS
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése.
Az alább látható szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű
irányelvével összhangban kerül alkalmazásra.
Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen
megtalálható, NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari
hulladékkal együtt megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív
hulladékgyűjtő rendszerbe kell továbbítani.
A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési eljárás
beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy
egy viszonteladó.
48/84
87-901-003-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa
dla
Pomp Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi posiadają wysoką energię
kinetyczną spowodowaną bardzo wysoką prędkością obrotów razem z masą właściwą
wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu między wirnikiem a
stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika, energia obrotowa może być zwolniona.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zalecenia dotyczące
instalacji opisane w niniejszej instrukcji obsługi!
49/84
87-901-003-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Podczas operacji rozpakowywania, należy zwrócić szczególną
uwagę aby nie spowodować upadku systemu Mini-TASK AG81
ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom.
Nie porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje
się całkowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektywą UE
855/399 dotyczącej ochrony środowiska.
OGÓLNE INFORMACJE
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego.
Użytkownik musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję
każdą dodatkową informację dostarczoną przez firmę Varian
przed użytkowaniem aparatury. Firma Varian uchyla się od
jakiejkolwiek odpowiedzialności w przypadku częściowego lub
całkowitego braku przestrzegania instrukcji, w przypadku
niewłaściwego użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w
przypadku nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku
zastosowania odpowiednich norm krajowych.
Mini-TASK AG81 jest zintegrowanym systemem składającym się z
pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra
wysokich próżni , odpowiedniego sterownika i z głównej pompy.
System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub mieszanki
gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania płynów lub
stałych cząstek. Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez
obrotową turbinę o wysokiej prędkości (max. 80000 obr./min)
napędzaną przez elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej
wydajności. System Mini-TASK ag81 jest całkowicie bez czynników
zanieczyszczających, i dlatego też jest to system odpowiedni do
zastosowań gdzie jest wymagana tzw.”czysta” próżnia.Poza tym,
Mini-TASK AG81 posiada pomocnicze konektory poprzez które
można sterować wentylator vent, pilotować go zdalnie poprzez
główny komputer podłączony przez port szeregowy.
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe
informacje zostały przedstawione w dodatku dotyczącym
informacji technicznych „Informacje Techniczne”.
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne
znaczenia:
!
UWAGA !
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać
gołymi rękoma części przeznaczonych do próżni. Należy
zawsze stosować odpowiednie rękawice ochronne lub
odpowiednie zabezpieczenie.
INFORMACJA
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
System Mini-TASK AG81, nie może być uszkodzony poprzez
wystawienie go na działanie atmosfery. Mimo to zaleca się aby
pompa do momentu jej instalacji na systemie, pozostała
zamknięta w celu uniknięcia zanieczyszczenia jej pyłem.
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora
co do danej procedury lub danego postępowania którego
nieprawidłowe wykonanie mogłoby spowodować poważne
uszkodzenia ciała.
!
INSTALACJA
!
UWAGA !
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed
procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania, może
dojść do uszkodzenia aparatury.
UWAGA !
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający tylko w
momencie połączenia pompy do systemu.
INFORMACJA
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
MAGAZYNOWANIE
By zagwarantować maksymalny poziom funkcjonalności i
działania systemów pompujących Varian, powinny być
przestrzegane następujące zasady:
• podczas transportu, przesunięcia i magazynowania pomp, nie
mogą być przekroczone następujące warunki środowiskowe:
• temperatura: od -20 °C do 70 °C
• względna wilgoć od 0 do 95% (bez opar)
• klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić w sposób
Soft-Start
• czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej
wynosi 10 miesięcy od daty wysyłki.
!
Nie instalować i / lub użytkować pompy w otoczeniach
wystawionych na czynniki atmosferyczne (deszcz, mróz,
śnieg), pyły, gazy chemiczne, w środowiskach wybuchowych
lub z wysokim zagrożeniem pożaru.
Podczas działania obowiązkowo należy przestrzegać
następujące warunki otoczenia:
− maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem
atmosferycznym
− temperatura: od +5 °C do +35 °C
− względna wilgoć 0 -95% (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być
odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W
celu szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek
“Informacje Techniczne”. Mini-TASK AG81 może być
zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji. Zamocować Mini-TASK
AG81 w stabilnej pozycji, łącząc kołnierz wejściowy turbopompy do
kołnierza stałego wytrzymałego na obciążenie 50 Nm wokół
własnej osi.
UWAGA !
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest
dłuższy, należy odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek
informacji, prosimy skontaktować się z miejscowym
przedstawicielem firmy Varian.
PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI
System Mini-TASK AG81 jest dostarczany w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do
których
mogłoby dojść
podczas
transportu,
należy
skontaktować się z miejscowym biurem sprzedaży.
50/84
87-901-003-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ISO musi być zamocowana
do komory próżniowej poprzez podwójne lub pojedyncze zaciski.
W niniejszej tabeli przedstawione zostały, dla każdego typu
zacisku, ilość potrzebnych zacisków i moment dokręcenia ich.
KOŁNIERZ
ISO 63
TYP
ZACISKU
Podwójny zacisk
z gwintem M10
Pojedynczy zacisk
z gwintem M8
4
MOMENT
DOKRĘCENIA
22 Nm
4
11 Nm
Nr.
Włączenie i obsługa systemu Mini-TASK AG81
Aby włączyć Mini-TASK AG81 wystarczy dostarczyć napięcie
zasilania i ustawić wyłącznik zewnętrzny w pozycji On (czerwona
lampka zaświeci się). Wbudowany sterownik tzw. kontroler
automatycznie rozpozna obecność zasilania i uruchomi pompę.
Przy pierwszym uruchomieniu należy zastosować tryb “Soft
Start” uruchamiając go na kontrolerze, dla dalszych
uruchomień zaleca się wyłączenie trybu „Soft Start”. Dla
procedury uruchomienia trybu “Soft Start” należy zapoznać się
z paragrafem „Opis Sygnałów” w rozdziale „Informacje
Techniczne”.
Niebieska LAMPKA “STATUS” umieszczona na panelu
podstawy urządzenia Mini-TASK AG81 częstotliwością swego
migania określa operatywne warunki systemu:
− zaświecona na stałe: pompa znajduje się w stanie
normalnych obrotów;
− miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
− miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
zamocowana do komory próżniowej poprzez odpowiednie
drobne układy mechaniczne firmy Varian. W celu dodatkowych
informacji należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”
INFORMACJA
System Mini-TASK AG81 nie może być mocowany poprzez
własną podstawę.
Aby zainstalować opcjonalne akcesoria, należy zapoznać się z
„Informacje Techniczne”.
Dla szczegółowego opisu panelu sterowniczego Mini-TASK
AG81 należy zapoznać się z dodatkiem “Informacje
Techniczne”.
UŻYTKOWANIE
Zatrzymanie Mini-TASK AG81
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operacyjne.
Przed zastosowaniem systemu należy wykonać wszystkie
połączenia
elektryczne
i
pneumatyczne.
Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 120 °C.
Aby zatrzymać Mini-TASK AG81 wystarczy ustawić wyłącznik
zewnętrzny na pozycji OFF (czerwona lampka wyłączona).
Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie alarmowym system Mini-TASK AG81,
należy wyłączyć kabel zasilania z gniazda sieciowego, lub
ustawić zewnętrzny wyłącznik na pozycję OFF.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nigdy nie należy uruchomić pompę w przypadku kiedy kołnierz
wejściowy nie jest podłączony do komory lub nie jest zamknięty
z kołnierzem zamknięcia.
KONSERWACJA
System Mini-TASK AG81 nie wymaga żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez
upoważniony personel.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Nie dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów
podczas operacji nagrzewania. Wysoka temperatura może
spowodować uszkodzenia ciała na osobach.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Podczas funkcjonowania turbopompy należy unikać uderzeń i
jej przemieszczania. Łożyska mogą ulec uszkodzeniu i może
dojść do uszkodzenia Osób lub rzeczy.
!
W przypadku uszkodzenia możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego firmy Varian.
INFORMACJA
UWAGA !
Przed wysyłką do konstruktora systemu do naprawy, należy
obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do
niniejszej instrukcji. Jeden egzemplarz –kopia- karty musi być
włożony do opakowania systemu przed jego wysyłką.
Dla wlotu do powietrza pompy zastosować obojętny gaz bez
pyłu lub innych cząstek i bez wilgoci (np.: Azot). Ciśnienie
wejściowe poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2
barów ( ponad ciśnienie atmosferyczne).
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie,
należy odłączyć go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór
dla wlotu powietrza, odczekać aż do całkowitego zatrzymania
wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni pompy będzie
wynosiła poniżej 50°C.
Jeżeli system musi być poddany rozbiórce, należy przystąpić
do jego eliminacji zgodnie z obowiązującymi krajowymi
normami w meritum sprawy.
NIEBEZPIECZEŃSTWO!
Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazów
toksycznych, łatwo palnych lub radioaktywnych, należy
wykonać odpowiednie procedury typowe dla każdego z gazów.
Nie stosować pompy w obecności gazów wybuchowych.
51/84
87-901-003-01(A)
INSTRUKCJA UZYTKOWANIA
PRZETWORSTWO ODPADOW
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo
“WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia
“WEEE” Unii Europejskiej.
Symbol
ten
(prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony
NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi
domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany
w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki
zroznicowanej .
Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej
weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie
sprzedazy, nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca
urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu.
52/84
87-901-003-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
Bezpečnostní návod
pro
Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím návodu, obsahují velké
množství kinetické energie díky vysoké otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem
jejich rotorů.
V případě systémové nefukčnosti, např. kontaktu rotoru anebo statoru nebo při zhroucení
rotoru může dojít k uvolnění rotační energie.
VÝSTRAHA!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány
za účelem prevence zranění obsluhy!
53/84
87-901-003-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
VŠEOBECNÉ INFORMACE
!VAROVÁNÍ
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další
informace dodané firmou Varian. Firma Varian neodpovídá za
jakékoli nehody, které vzniknou následkem i částečného
nedodržení těchto pokynů, nesprávným používáním neznalými
osobami, neoprávněným zásahem do zařízení nebo jakoukoli
činností, která je v rozporu s pokyny uvedenými v příslušných
státních normách.
Mini-TASK AG81 je integrovaný systém pro aplikace vyžadující
vysoké a velmi vysoké vakuum vybavený hlavní
turbomolekulární vývěvou a příslušným regulátorem. Zařízení
může odčerpávat libovolný plyn nebo plynnou směs. Není
vhodné na čerpání tekutin nebo pevných částic. Čerpání
zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 80000 ot/min.) poháněná
vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Mini-TASK
AG81 neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí pro
aplikace vyžadující "čisté" vakuum.
Mini-TASK AG81 je vybaven pomocnými konektory pro
ovládání odvzdušňovacího ventilu, který se má ovládat dálkově
pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou.
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání tohoto zařízení. Podrobné
informace jsou uvedeny v příloze "Technické informace".
Tento manuál používá následující standardní protokol:
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte
holé ruce při manipulaci s komponenty, které budou vystaveny
vakuu. Vždy používejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA
V normálním prostředí se vývěva Mini-TASK AG81 nemůže
poškodit. Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou,
dokud nebude nainstalována do systému a tím se ochránila
před jakýmkoli znečištěním a prachem.
VÝSTRAHA!
Výstražná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý
postup nebo činnosti, které by v případě nedodržení mohly
způsobit vážný úraz.
!VAROVÁNÍ
INSTALACE
Varovná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě
nedodržení mohly poškodit zařízení.
!VAROVÁNÍ
Před připojením turbomolekulární vývěvy
nesundávejte adhezní a ochranné víko.
POZNÁMKA
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
do
systému
USKLADNĚNÍ
Pro zaručení maximální úrovně funkčnosti a spolehlivosti
vývěvových systémů Varian je třeba respektovat následující
předpisy:
•
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste
neměli překračovat následující technické podmínky
prostředí:
•
Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
•
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95% (bez srážení)
•
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a
poprvé vždycky spouštět pozvolně
•
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode
dne doručení.
Vývěvu neinstalujte v prostředí, které je vystaveno
atmosférickým vlivům (déšť, sníh, led), prachu, agresivním
plynům, ve výbušném prostředí nebo v prostředí s vysokým
nebezpečím požáru. Za provozu je třeba dodržovat následující
podmínky dané prostředím:
− maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relativní vlhkost: 0 -95% (bez srážení)
!VAROVÁNÍ
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty,
vývěvu musíte vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního
zástupce pro prodej a servis vývěv firmy Varian.
PŘÍPRAVA K INSTALACI
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
"Technické informace".
Vývěvu Mini-TASK AG81 lze instalovat v libovolné poloze.
Vývěvu Mini-TASK AG81 upevněte v nějaké stabilní poloze a
vstupní přírubu turbovývěvy připojte k pevné protipřírubě, která
snese torzní moment 50 Nm kolem své osy.
Vývěva Mini Task se dodává ve speciálním ochranném obalu.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo
dojít během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku.
Při vybalování dávejte pozor, aby zařízení nespadlo a chraňte
jej před všemi nenadálými nárazy, otřesy nebo vibracemi.
Balicí materiál nelikvidujte nedovoleným způsobem. Tento
materiál lze 100% recyklovat a splňuje požadavky směrnice
EEC 85/399.
54/84
87-901-003-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ISO se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušných spon a
příchytek. Následující tabulka uvádí nezbytný počet spon a
příchytek pro každé příchytné zařízení a příslušný utahovací
moment.
Zapnutí a používání vývěvy Mini-TASK AG81
Vývěvu Mini-TASK AG81 nelze připevnit pomocí její podstavy.
Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí zapojit do sítě a pak zapnout
venkovní vypínač (rozsvítí se červená kontrolka). Vestavěný
regulátor automaticky rozezná přítomnost síťového napětí a
spustí vývěvu.
Při prvním uvedení do provozu se doporučuje nastavit na
regulátoru "měkký start". U dalších spuštění se doporučuje
"měkký start" zrušit. Chcete-li informace k aktivaci "měkkého
startu", viz odstavec "Popis signálu" v kapitole "Technické
informace".
Modrá LED kontrolka „STATUS“ na panelu základny modelu
Mini-TASK AG81 ukazuje prostřednictvím rychlosti svého
blikání operační stav systému:
• bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
• pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna
rozbíhá nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu “čekání na
blokování”;
• rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
Chcete-li informace o doplňkovém příslušenství, viz "Technické
informace".
Viz podrobný popis ovládacího panelu vývěvy Mini-TASK AG81
v příloze "Technické informace.
POUŽITÍ
Vypnutí vývěvy Mini-TASK AG81
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních
postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a
pneumatická připojení.
Při zahřívání vakuové komory teplota vstupní příruby nesmí
překročit 120 °C.
Vývěvu Mini-TASK AG81 stačí vypnout externím vypínačem,
který přepnete do vypnuté polohy (červená kontrolka zhasne).
Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
PŘÍRUBA
ISO 63
PŘÍCHYTNÉ
ZAŘÍZENÍ
Spony M10
Příchytky M8
POČET
4
4
UTAHOVACÍ
MOMENT
22 Nm
11 Nm
Turbomolekulární vývěva se vstupní přírubou ConFlat se musí
připevnit k vakuové komoře použitím příslušného materiálu
firmy Varian. Viz podrobný popis v příloze "Technické
informace".
POZNÁMKA
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy Mini-TASK AG81 v nouzové
situaci je třeba vytáhnout napájecí kabel ze síťové zásuvky,
nebo vypnout síťový vypínač.
VÝSTRAHA!
Turbovývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li vstupní příruba
připojená k vakuové komoře.
ÚDRŽBA
Vývěva Mini-TASK AG81 nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré
práce na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
VÝSTRAHA!
Během zahřívání se turbovývěvy ani jejího příslušenství
nedotýkejte. Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
VÝSTRAHA!
Předcházejte nárazům či posunům turbomolekulární vývěvy
během jejího chodu. Mohlo by dojít k poškození ložisek a také
ke zranění osob či škodám na věcech.
V případě poruchy kontaktujte vaše místní servisní středisko
společnosti Varian.
!VAROVÁNÍ
POZNÁMKA
Pro odvětrání vývěvy používejte inertní plyn bez prachu, částic
a vlhkosti (např. dusík). Tlak při odvětrávacím otvoru musí být
menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem).
VÝSTRAHA!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte
jej od sítě, odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu,
počkejte, až se rotor přestane otáčet a počkejte, dokud
povrchová teplota vývěvy neklesne pod 50 °C.
Než vrátíte zařízení výrobci na opravu nebo výměnu za
repasované zařízení,musíte vyplnit list "Health and Safety“
(Zdraví a bezpečnost) přiložený k tomuto návodu a zaslat jej
místní prodejní kanceláři. Před odesláním zařízení musíte
k zařízení přibalit kopii tohoto listu.
VÝSTRAHA!
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu
s konkrétními státními normami.
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro
likvidaci každého plynu.
Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
55/84
87-901-003-01(A)
PŘÍRUČKA K POUŽITÍ
LIKVIDACE
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku.
Níže uvedený symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným
"WEEE". Tento symbol (platný jen pro státy Evropské Unie)
určuje, že výrobek, který je takto označen NESMÍ být likvidován
společně s ostatními domácími nebo průmyslovými odpady, ale
je nutno ho předat do patřičných provozních sběren, kde musí
být tříděn a likvidován odděleně od městského odpadu.
Uživateli, který míní výrobek likvidovat doporučujeme, aby se
nakontaktoval přímo s výrobcem nebo prodejcem, který se po
patřičném prověření termínů a smluvních podmínek postará o
kompletní likvidaci uvedeného výrobku.
56/84
87-901-003-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Bezpečnostný návod
pre
Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, ak sú následovne popisované, obsahujú veĺké množstvo
kinetickej energie vďaka vysokej otáčavej rýchlosti v kombinácii s konkretným objemom ich
rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontaktu rotora/statora alebo pri zrúcaniu rotora sa
može uvolniť rotačná energia.
VAROVANIE!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia
dodržované za účelom prevencie zranenia obsluhy!
57/84
byť
prísne
87-901-003-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Obalový materiál zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál
je 100% recyklovateľný a spĺňa požiadavky smernice EEC
85/399.
VŠEOBECNÉ INFORMÁCIE
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov.
Skôr než začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na
použitie a všetky ďalšie pokyny spoločnosti Varian. Spoločnosť
Varian nenesie žiadnu zodpovednosť za akékoľvek udalosti,
zapríčinené postupom, ktorý nie je v súlade, dokonca ani
v čiastočnom
súlade,
s týmito
pokynmi,
zapríčinené
nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými osobami,
neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými štandardmi danej
krajiny.
Mini-TASK AG81 je integrovaný systém s turbovývevou pre
určený pre aplikácie používajúce vysoké, alebo veľmi vysoké
vákuum, spojený s príslušným kontrolným modulom a vývevou
primárneho vákua. Systém dokáže vyčerpať ľubovoľný typ
plynu alebo zmesi plynov. Nie je vhodný na vyčerpávanie
tekutín alebo pevných častí. Vyčerpávanie zabezpečuje veľmi
rýchla turbína (max. 80000 otáčok/minútu), poháňaná
vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým motorom. Zariadenie
Mini-TASK AG81 neobsahuje žiadne kontaminačné činidlá,
a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce „čisté“ vákuum.
Zariadenie Mini-TASK AG81 je vybavené prídavnými
konektormi pre kontrolu výpustný ventil, ako aj pre diaľkové
ovládanie z osobného počítača pripojeného sériovou linkou.
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so
zariadením. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
!UPOZORNENIE
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte
komponenty, ktoré budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy
používajte rukavice alebo inú vhodnú ochranu.
POZNÁMKA
Bežné vystavenie okolitým podmienkam nemôže Mini-TASK
AG81 poškodiť. Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo
zabalené až do inštalácie kvôli prevencii kontaminácie
prachom.
VAROVANIE!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý
postup alebo činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže
spôsobiť vážne zranenie.
!UPOZORNENIE
INŠTALÁCIA
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže
spôsobiť poškodenie zariadenia.
!UPOZORNENIE
POZNÁMKA
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný kryt skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie z textu.
UCHOVÁVANIE
Aby sa zaistila maximálna funkčnosť a spoľahlivosť čerpacích
sústav Varian, je potrebné dodržiavať nasledujúce pokyny:
•
neprekračujte nasledujúce špecifikácie prostredia počas
prevozu, prenášania a uchovávania vývev:
•
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
•
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95% (bez
kondenzácie)
•
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej
vývevy vždy postupovať pomaly a postupne
•
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov
odo dňa dodania.
Vývevu neinštalujte ani nepoužívajte v prostredí vystavenom
vonkajším vplyvom (dážď, sneh, ľad), prach, korozívne plyny,
ani vo výbušných prostrediach alebo tam, kde existuje vysoké
riziko požiaru. Počas činnosti zariadenia je potrebné
zabezpečiť tieto vlastnosti prostredia:
− maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
− teplota: od +5 °C do +35 °C
− relatívna vlhkosť: 0 -95% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
feromagnetickým štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú
v dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie Mini-TASK AG81 môže byť nainštalované
v ľubovoľnej polohe. Upevnite Mini-TASK AG81 do stabilnej
polohy pripojením vstupnej príruby turbovývevy k pevnej
prírube, upevnenej tak, aby vydržala namáhanie krútiacim
momentom 50 Nm okolo svojej osi.
!UPOZORNENIE
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti
zariadenia, vráťte vývevu do závodu, v ktorom bola vyrobená.
Informácie získate u miestneho zastúpenia spoločnosti Varian
pre predaj a servis.
PRÍPRAVA NA INŠTALÁCIU
Zariadenie Mini-TASK AG81 je dodané v špeciálnom
ochrannom obale. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať
napríklad počas prepravy), obráťte sa na zastúpenie
spoločnosti Varian.
Počas vybaľovania systému dbajte na to, aby zariadenie
nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo prudkému otrasu,
alebo vibráciám.
58/84
87-901-003-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
Turbovýveva so vstupnou prírubou ISO musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou svoriek alebo kleštín. Nasledujúca
tabuľka ukazuje pre každý spôsob upevnenia potrebný počet
svoriek alebo kleštín a príslušný upevňovací krútiaci moment.
PRÍRUBA
ISO 63
UPEVŇOVACÍ
MECHANIZMUS
POČET
svorky M10
kleštiny M8
4
4
Zapnutie a použitie zariadenia Mini-TASK AG81
Pre zapnutie Mini-TASK AG81u stačí pripojenie k sieti a
prepnutie vonkajšieho vypínača do polohy ON (svieti červená
kontrolka). Zabudovaný kontrolný modul automaticky rozpozná
pripojenie k sieti a zapne vývevu.
Pri prvom zapnutí sa odporúča použiť režim "Soft Start" , ktorý
sa dá aktivovať na kontrolnom module. Pre ďalšie zapnutia sa
odporúča režim "Soft Start" zablokovať. Viac o aktivovaní
režimu "Soft Start" nájdete v odstavci “Popis signálu” v kapitole
“Technické informácie”.
Modrá LED “STATUS”, umiestnená na paneli zariadenia MiniTASK AG81, signalizuje frekvenciou blikania operatívne
podmienky, v ktorých sa nachádza systém:
• žiadne blikanie: výveva normálne rotuje;
• pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: stúpanie/klesanie, brzdenie, Stop alebo v
režime „Čakanie na spojenie“;
• rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
UPEVŇOVACÍ
KRÚTIACI
MOMENT
22 Nm
11 Nm
Turbovýveva so vstupnou prírubou ConFlat musí byť pripojená
k vákuovej komore pomocou vhodného hardware značky
Varian. Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku
„Technické informácie“.
POZNÁMKA
Mini-TASK AG81 nemožno upevniť pomocou jej základnej
dosky.
Podrobné informácie o kontrolnom paneli Mini-TASK AG81u sa
nachádzajú v dodatku „Technické informácie“.
O inštalácia doplnkovej výbavy pozri príručku “Technické
Informácie”.
Vypnutie Mini-TASK AG81u
POUŽITIE
Pre vypnutie Mini-TASK AG81u stačí prepnutie vonkajšieho
vypínača do polohy OFF (červená kontrolka zhasne).
Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví.
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia.
Skôr než začnete systém používať, zapojte všetky elektrické
a pneumatické pripojenia.
Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej komory
nesmie prekročiť 120 şC.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie Mini-TASK AG81 okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte alebo vytiahnuť kábel napájania zo zástrčky
zdroja napájania, alebo prepnúť vonkajší vypínač do polohy
OFF.
VAROVANIE!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je
pripojená k vákuovej komore, alebo nie je zablendovaná.
ÚDRŽBA
Zariadenie Mini-TASK AG81 nevyžaduje žiadnu údržbu.
Akékoľvek úpravy a opravy systému musí vykonať autorizovaný
personál.
VAROVANIE!
V priebehu zahrievania sa nikdy nedotýkajte turbovývevy ani
žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty môžu spôsobiť
popáleniny
VAROVANIE!
Nepremiestňujte turbovývevu, ak je v činnosti, a chráňte ju pred
nárazmi, aby nedošlo k poškodeniu ložísk, čo my mohlo viesť
k úrazom alebo k majetkovým škodám.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Varian.
!UPOZORNENIE
POZNÁMKA
Pre výplach vývevy používajte inertný plyn zbavený prachu,
častíc a vlhkosti (napr. dusík) Tlak na ventilačnom vstupe musí
byť nižší než 2 bary (pretlakové).
VAROVANIE!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od
zdroja napájania, vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný
ventil, počkajte, kým sa rotor neprestane otáčať a kým teplota
povrchu vývevy neklesne pod 50 şC.
Pred odoslaním zariadenia výrobcovi treba vyplniť dotazník
„Zdravie a Bezpečnosť“ pripojený k návodu na použitie a
odoslať miestnemu predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka
so systémom a odošlite spolu s ním.
VAROVANIE!
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
Ak vývevu používate na vyčerpávanie toxických, horľavých
alebo rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované
postupy pre likvidáciu jednotlivých plynov.
Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných plynov.
59/84
87-901-003-01(A)
NÁVOD K POUŽITIU
LIKVIDÁCIA
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch.
Aplikovanie doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s
názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená,
že výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s
bežným domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí
odstrániť ako delený odpad.
Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa skontaktoval s
dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo predajca za
účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok predaja.
60/84
87-901-003-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
Varnostna navodila
za
Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko količino kinetične
energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku rotorja/statorja ali poškodbe
rotorja se lahko sprosti rotacijska energija.
OPOZORILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja
morate natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
61/84
87-901-003-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
SPLOŠNE INFORMACIJE
!
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo
mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne
informacije, ki mu jih je posredoval Varian. Varian ni odgovoren
za dogodke, ki bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil,
nepravilne uporabe in nepooblaščenega poseganja v opremo
ali kakršnega koli dejanja, ki niso v skladu s standardi.
Mini-TASK AG81 je integriran sistem s turbomolekularno
črpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo, ki je
povezana s pripadajočim upravljalcem in primarno črpalko.
Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni
primeren za črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se
izvaja preko hitre turbine (maks. 80000 rpm), ki jo vodi visoko
učinkovit 3-fazni električni motor. Mini-TASK AG81 ne vsebuje
onesnaževalnih agentov in je primeren za »čisto«
vakuumiranje.
Mini-TASK AG81 je opremlje z auksiliarnimi priključki za nadzor
na odprtino, ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s
pomočjo gostiteljskega računalnika, povezanega preko serijske
povezave.
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za
varnost tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije
lahko najdete v prilogi »Tehnične informacije«.
Navodila so napisana po naslednjem standardnem
protokolu:
POZOR
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z
golimi rokami, saj boste tako preprečili probleme puščanja.
Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati MiniTASK AG81-a Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta
dokler je ne namestite v sistem. S tem boste preprečili
onesnaženje s prahom.
OPOZORILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na
določene postopke pri katerih lahko pride do resnih poškodb,
če se jih ne drži.
!
POZOR
MONTAŽA
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do
poškodbe opreme.
!
OPOMBA
POZOR
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete
turbo črpalko na sistem.
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
SHRANJEVANJE
Da bi jamčili največji možni nivo uporabnosti in zanesljivosti
črpalnih sistemov Varian, je potrebno upoštevati sledeča
pravila:
•
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
•
temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
•
območje relativne vlažnosti: 0 do 95% (brez
kondenza)
•
Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo
zmerja zagnati mehko.
•
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev
od datum pošiljanja.
!
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je
ne nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske
agente (dež, sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer
obstaja nevarnost požara. Tekom delovanja je treba spošotvati
naslednje pogoje:
− Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
− temperatura: od +5 °C od +35 °C
− Relativna vlažnost: 0 -95% (brez kondenza)
POZOR
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je
treba črpalko vrniti v tovarno. Za dodatne informacije
kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za
Varian Vacuum.
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije".
Mini-TASK AG81 lahko namestite v poljuben položaj. MiniTASK AG81 namestite v stabilem položaj tako, da povežete
vhodno prirobnico turbočrpalke na pritrjeno števno prirobnico, ki
lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi.
PRIPRAVA ZA MONTAŽO
Mini-TASK AG81 je dobavljen v posebni zaščitni embalaži. Če
je embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno
pisarno.
Pri odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne
stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
62/84
87-901-003-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
Turbo črpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Naslednja tabela prikazuje število potrebnih držal in pritrjeval
ter potreben navor za pritrjevanje.
PRIROBNICA
ISO 63
NAPRAVA ZA
PRITRJEVANJE
M10 držala
M8 pritrjevalo
N.
4
4
Vklop in uporaba Mini-TASK AG81-a
Za vklop Mini-TASK AG81-a je dovolj, da priključite napetost in
premaknete zunanje stikalo v položaj ON (rdeča lučka sveti).
Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in
zažene črpalko.
Pri prvem vklopu je priporočljivo uporabiti način »Soft Start«, ki
ga lahko omogočite na upravljalcu. Za naslednje vklope je
priporočljivo, da način »Soft Start« onemogočite. Za aktivacijo
načina »Soft Start«, glej odstavek »Opis signalov« v poglavju
»Tehnične informacije«.
Plava lučka "STATUS", ki se nahaja na osnovni plošči MiniTASK AG81 kaže, preko frekvence lastnega utripa, operativne
pogoje sistema:
• Brez utripanja: Črpalka je normalno vrti;
• Počasno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v
stanju ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for
interloc«;
• Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
NAVOR
22 Nm
11 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Varian strojne opreme.
Za dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" .
OPOMBA
Mini-TASK AG81-a ni moč pritrditi s svojo osnovo.
Za namestitev opcijski dodatkov, glej »Tehnične informacije«.
Za podroben opis nadzorne plošče glej prilogo »Tehničnih
informacij«.
UPORABA
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo.
Pred uporabo sistema povežite vse električne in pnevmatske
povezave.
Pri segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne
prirobnice ne sme preseči 120 °C.
Izklop Mini-TASK AG81-a
Za izklop Mini-TASK AG81-a je dovolj, da premaknete zunanje
stikalo v položaj OFF (rdeča lučka ugasne). Vgrajen kontroler
takoj zaustavi črpalko.
OPOZORILO!
Zaustavitev v sili
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni
priključena na vakuumsko ležišče.
Za takojšenj izklop Mini-TASK AG81-a v sili je potrebno
odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v
položaj OFF.
OPOZORILO!
VZDRŽEVANJE
Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne dotikajte.
Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
Mini-TASK AG81 ne potrebuje vzdrževanja. Kakršno koli delo
na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
OPOZORILO!
Preprečiti udarce ali premike turbočrpalke, ko le-ta deluje.
Ležaji se namreč lahko poškodujejo, kar lahko povzroči škodo
človeku in predmetom.
!
POZOR
V primeru napake, kontaktirajte vaš lokalni Varian servisni
center.
Za prezračevanje črpalke uporabljajte čist plin, brez prahu,
delčkov ali vlažnosti (kot dušik). Pritisk na oddušniku mora biti
manjši od 2 bara (nad pritiskom atmosfere).
OPOZORILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti,
prečistite črpalko tako, da odprete primerno odprtino,
počakajte, da se rotor ustavi an počakajte, da površinska
temperatura črpalke pade pod 50 °C.
OPOMBA
Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati
»Health and Safety« obrazec, ki je priložen tem navodilom ter
ga poslati v lokalno prodajno pisarno. Pred pošiljanjem morate
kopijo obrazca vstaviti v embalažo sistema.
OPOZORILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite
zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina.
Črpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov.
Sistem je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
63/84
87-901-003-01(A)
NAVODILA ZA UPORABO
ODLAGANJE OPADKOV
Pomen znamke "WEEE" na etiketah.
Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod
imenom "WEEE".
Ta simbol (ki velja samo v državah Evropske Skupnosti)
pomeni, da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi
komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki, temveč morate
poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali
pa pri prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve
odpadkov, šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili
kupopordajne pogodbe.
64/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
Safety Guideline
for
Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large
amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific
mass of their rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator contact or even a rotor crash
the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating
personnel the installation instructions as given in this manual should be
strictly followed!
65/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
GENERAL INFORMATION
!CAUTION
This equipment is destined for use by professionals. The user
should read this instruction manual and any other additional
information supplied by Varian before operating the equipment.
Varian will not be held responsible for any events occurring due
to non-compliance, even partial, with these instructions,
improper use by untrained persons, non-authorized
interference with the equipment or any action contrary to that
provided for by specific national standards.
The Mini-TASK AG81 is an integrated system with a turbomolecular pump for high and ultra-high vacuum applications
associated with its relevant controller and its primary pump.
The system can pump any type of gas or gas compound. It is
not suitable for pumping liquids or solid particles. The pumping
action is obtained through a high speed turbine (max. 80000
rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The
Mini-TASK AG81 is free of contaminating agents and,
therefore, is suitable for applications requiring a "clean"
vacuum.
The Mini-TASK AG81 is equipped with auxiliary connectors to
control the vent valve, to be controlled from a remote site by
means of an host computer connected through a serial line.
The following paragraphs contain all the information necessary
to guarantee the safety of the operator when using the
equipment. Detailed information is supplied in the appendix
"Technical Information".
This manual uses the following standard protocol:
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands
to handle components which will be exposed to vacuum.
Always use gloves or other appropriate protection.
NOTE
Normal exposure to the environment cannot damage the MiniTASK AG81. Nevertheless, it is advisable to keep it closed until
it is installed in the system, thus preventing any form of
pollution by dust.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the
operator to a particular procedure or practice which, if not
followed correctly, could lead to serious injury.
INSTALLATION
!CAUTION
!CAUTION
The caution messages are displayed before procedures which,
if not followed, could cause damage to the equipment.
Do not remove the adhesive and protective cap before
connecting the turbopump to the system.
NOTE
The notes contain important information taken from the text.
STORAGE
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Varian pumping systems, the following guidelines
must be followed:
•
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
•
temperature range: -20 °C to 70 °C
•
relative humidity range: 0 to 95% (non condensing)
•
the turbomolecular pumps must be always soft-started
when received and operated for the first time by the
customer
•
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from
the shipping date.
Do not install or use the pump in an environment exposed to
atmospheric agents (rain, snow, ice), dust, aggressive gases,
or in explosive environments or those with a high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must
be respected:
− maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
− temperature: from +5 °C to +35 °C
− relative humidity: 0 - 95% (non-condensing)
!CAUTION
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has
to be returned to the factory. Please contact the local Varian
Vacuum Sales and Service representative for informations.
In the presence of magnetic fields the pump must be protected
using a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical
Information" for detailed information.
The Mini-TASK AG81 can be installed in any position. Fix the
Mini-TASK AG81 in a stable position connecting the inlet flange
of the turbopump to a fixed counter-flange capable of
withstanding a torque of 50 Nm around its axis.
PREPARATION FOR INSTALLATION
The Mini-TASK AG81 is supplied in a special protective
packing. If this shows signs of damage which may have
occurred during transport, contact your local sales office.
When unpacking the system, be sure not to drop it and avoid
any kind of sudden impact or shock vibration to it.
Do not dispose of the packing materials in an unauthorized
manner. The material is 100% recyclable and complies with
EEC Directive 85/399.
66/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of clamps or claws. The following
table shows, for each fixing device, the necessary number of
clamps or claws and the relevant fixing torque.
FLANGE
ISO 63
FIXING
DEVICE
M10 clamps
M8 claws
N.
4
4
Switching on and Use of Mini-TASK AG81
To switch on the Mini-TASK AG81 it is sufficient to supply the
mains and then move the external switch to ON position (red
light on). The integrated controller automatically recognizes the
mains presence and start up the pump.
At the first start up it is recommended to use the "Soft Start"
mode by enabling it on the controller. For the following start ups
it is recommended to disable the "Soft Start" mode. For the
"Soft Start" mode activation procedure, see the paragraph
"Signal Description" in the chapter "Technical Information".
The blue LED “STATUS” located on the Mini-TASK AG81 base
front panel indicates with its flashing frequency the system
operating conditions:
• with no flashing: the pump is normally rotating;
• slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in
ramp, or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock”
status;
• fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
FIXING
TORQUE
22 Nm
11 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Varian
hardware. See the appendix "Technical Information" for a
detailed description.
NOTE
The Mini-TASK AG81 cannot be fixed by means of its base.
For installation of optional accessories, see "Technical
Information".
See the appendix "Technical Information" for a detailed
description of the Mini-TASK AG81 control panel.
USE
Mini-TASK AG81 Switching off
This paragraph details the fundamental operating procedures.
Make all electrical an pneumatic connections before the use of
the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 120 °C.
To switch off the Mini-TASK AG81 it is sufficient to move the
external switch to OFF position (red light off). The integrated
controller immediately stops the pump.
Emergency Stop
WARNING!
To immediately stop the Mini-TASK AG81 in an emergency
condition it is necessary to remove the supply cable from the
mains plug or moving the external switch to OFF position.
Never use the turbopump when the inlet flange is not
connected to the vacuum chamber or is not blanked.
MAINTENANCE
WARNING!
The Mini-TASK AG81 does not require any maintenance. Any
work performed on the system must be carried out by
authorized personnel.
Do not touch the turbopump or any of its accessories during the
heating process. The high temperatures may cause burns.
WARNING!
Avoid impacts or harsh movements of the pump when in
operation. The bearings may become damaged and damages
to the persons or the things could be taken place.
!CAUTION
In the case of breakdown, contact your local Varian service
center.
Use inert gas free from dust, particles or humidity (like
Nitrogen) for venting the pump. The pressure at the vent port
must be less than 2 bar (above atmospheric pressure).
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from
the mains, vent the pump by opening the appropriate valve,
wait until the rotor has stopped turning and wait until the
surface temperature of the pump falls below 50 °C.
NOTE
Before returning the system to the constructor for repairs, the
"Health and Safety" sheet attached to this instruction manual
must be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the
sheet must be inserted in the system package before shipping.
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or
radioactive gases, please follow the required procedures for
each gas disposal.
Do not use the pump in presence of explosive gases.
If a system is to be scrapped, it must be disposed of in
accordance with the specific national standards.
67/84
87-901-003-01(A)
INSTRUCTIONS FOR USE
DISPOSAL
Meaning of the "WEEE" logo found in labels
The following symbol is applied in accordance with the EC
WEEE (Waste Electrical and Electronic Equipment) Directive.
This symbol (valid only in countries of the European
Community) indicates that the product it applies to must NOT
be disposed of together with ordinary domestic or industrial
waste but must be sent to a differentiated waste collection
system.
The end user is therefore invited to contact the supplier of the
device, whether the Parent Company or a retailer, to initiate the
collection and disposal process after checking the contractual
terms and conditions of sale.
68/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
DESCRIPTION OF THE MINI-TASK AG81
The Mini-TASK AG81 pumping system consists of
a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ
only in the high vacuum flange.
The four models are:
− Model 969-9180 with KF 40 high vacuum
flange;
− Model 969-9181 with ISO 63 high vacuum
flange;
Model 969-9180
− Model 969-9182 with ConFlat 4.5” external diameter high vacuum flange.
The following figures show the three models.
Turbopump Description
The turbopump consists of a high frequency motor
driving a turbine fitted with 10 bladed stages and 3
Macrotorr stages. The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high
vacuum flange end.
The turbine is made of high-strength, light aluminium alloy, and is machined from a single block of
aluminium. The turbine blades have five different
angles, from 44° to 12°, while the Macrotorr stages
are in the form of discs.
The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump.
The static blades of the stator are fabricated in
stainless steel. These are supported and accurately positioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of selfpositioning machined discs with pumping channels
and an opening restricted by the corresponding
rotor discs. These are fabricated in aluminium alloy.
During normal operation, the motor functions with
a power feed at 54 Vac three-phase at 1330 Hz.
To reduce losses during start-up to a minimum,
the frequency increases according to a ramp with
a higher initial voltage/frequency ratio.
A thermistor sensor is mounted near the upper
bearing to prevent the pump from overheating.
The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0.01 µm.
Model 969-9181
Model 969-9182
69/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Controller Description
The integrated controller is a solid-state frequency
converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3-phase AC output,
analog and input/output section, microprocessor
and digital section. The controller recognizes the
mains presence and converts the single phase AC
mains supply into a 3-phase, medium frequency
output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host
computer via the serial connection.
Control Panel Description
The following picture shows the Mini-TASK AG81
control panel; the associated table lists the available commands. For a detailed description see the
following paragraphs.
DESCRIPTION
Input-output connector to remote control
the Mini-TASK AG81
J2 SERIAL
Serial input-output connector to control
the Mini-TASK AG81 via an RS 232 or
RS 485 connection
STATUS
Blue LED to show the system operating
condition
P1 VENT
Connector to control the optional vent
valve
J5 GAUGE
Connector to control external EyeSys
Gauge
ON-OFF red
switch with integrated light
(not shown in the
picture)
It is located on the other side of the system (with respect to the illustrated control
panel). It is the power supply switch. The
integrated red light shows the power
supply status: it lights when the power
supply is applied to the Mini-TASK AG81
Pumping speed (l/s)
NOTE
A diaphragm pump cleaning from the humidity is
recommended to improve the system performance
using dry air or nitrogen. It is recommended to
open manually the vent valve after every start
command for about 30 seconds.
J1 IN-OUT
DESCRIPTION
TECHNICAL SPECIFICATION
Diaphragm Forepump Description
The pump consists of an electric DC motor driving
an eccentric which moves an elastic diaphragm.
The pump has four heads.
The compression chamber is hermetically separated from the drive mechanism by means of the
diaphragm.
The pump transfers, evacuates and compresses
completely oil-free.
The motor is supplied with a voltage of 24 Vdc.
CONTROL NAME
CONTROL NAME
With CF 4.5” or
ISO 63:
N2: 60 l/s
He: 55 l/s
H2: 40 l/s
-8
With
KF 40 NW:
N2: 40 l/s
He: 45 l/s
H2: 36 l/s
-8
Base pressure*
5 x 10 mbar (3.75 x 10 Torr)
Inlet flange
CF 4.5" O.D.; ISO63; KF 40 NW
Rotational speed
80000 RPM
Start-up time
< 2 minutes
Operating position
any
Operating ambient
temperature
+ 5° C to + 35° C
Bakeout
temperature
120° C at inlet flange max. (CF flange)
80° C at inlet flange max. (ISO flange)
Noise level
55 dB (A) at 1 meter
Lubricant
permanent lubrication
Power supply
(Line type):
Input voltage:
Input frequency:
Max input power:
Stand-by power:
100 – 240 Vac
50 – 60 Hz
220 VA
10 W
Protection fuse
2.5 A
Compliance with:
UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN 55011 (Class A Group 1)
EN 61000/3/2
EN 61000/3/3
EN 61000/4/2
EN 61000/4/3
EN 61000/4/4
EN 61010-1
EN 1012-2
Installation category
II
Pollution degree
2
Power cable
With European, USA or UK plug
2 meters long
Serial communication (kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male
connector and a 9-pin D type female
connector, and software (optional)
Storage temperature
- 20° C to + 70° C
Weight kg (lbs)
ISO and KF: 7.5 (16)
CFF: 8.3 (18)
* According to standard DIN 28 428, the base pressure
is that measured in a leak-free test dome, 48 hours after
the completion of test dome bake-out, with a Turbopump
fitted with a ConFlat flange.
70/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
MINI-TASK AG81 OUTLINE
The following figure shows the Mini-TASK AG81
outline.
NOTE
When the Mini-TASK AG81 has been stored at a temperature less than 5°C, wait until the Mini-TASK AG81
has reached the above mentioned temperature.
71/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Graph of pumping speed vs inlet pressure
Graph of pressure vs time (with a pump down volume of 1 litre)
72/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on
pump with ISO flange (on the left side) and pump
with 4.5” CFF flange (on the right side).
INLET SCREEN INSTALLATION
The inlet screens mod. 969-9300 and 969-9309
prevent the blades of the pump from being damaged by dust greater than 0.7 mm diameter.
The inlet screen, however, does reduce the pumping speed by about 10%.
The inlet screen is fitted in the upper part of the
pump, as shown in the figure.
VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION
A vibration damper (model 969-9375 for ISO 63
and 969-9376 for CFF 4.5’) is available as accessory.
It typically reduces the vibration transmitted from
the Turbo pump to the system by a factor of 20.
Please refer to the relevant instruction manual.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION
To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange,
remove the outer ring and position the centering
ring as shown in the figure.
The screen can be mounted on either pump series
and is supplied with a small tab for easy removal
(see figure).
Then fix the two flanges with the clamps or claws
as shown in the figure.
73/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
To facilitate assembly and dismantling, apply Felpro C-100 high temperature lubricant to the screw
threads protruding from the flange and between
the nuts and flange. Note that the 2.75” CF flange
has six blind holes.
Attach the units and tighten each one in turn. Repeat the sequential tightening until the flange faces
meet.
!
CAUTION
Exercise care when tightening nuts and bolts to
avoid creating dents in the envelope as this may
cause the pump rotor to lock.
For ConFlat flange connections we recommend
using Varian hardware.
HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS
74/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
INTERCONNECTIONS
P1 – Vent
Input power connector
The following figure show the input power connector.
Vent Connector
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the
optional vent valve (available on request).
The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line.
Vent Valve Diagram in “Auto” mode
75/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
J5 – Gauge Connector
Mini-TASK AG81 is equipped with new generation
gauge reading card able to drive/read a Varian
“EyeSys Mini-IMG” gauge.
The EyeSys Mini-IMG is a vacuum measurement
instrument based on the inverted magnetron ion
gauge design (see orderable parts table).
The gauge pressure operation range goes from
6.6x10-3 mbar [5x10-3 Torr] to 6.6x10-9 mbar
[5x10-9 Torr] and its operation temperature range
goes from 0°C to 50°C [32°-122°F].
Pressure data is available on three independent
reading channels:
1.
On-board display (data expressed in mbar,
Torr or Pa) – (see Pressure Display Module
picture)
2.
Serial communication line (Win 224)
3.
Analogical output.
EyeSys Mini-IMG gauge
Pressure gauge can be connected/disconnected
from the Mini-TASK AG81 during normal operation.
Gauge Connector
NOTE
The Mini-IMG gauge is intended for high vacuum
use, so with pressure above 50 mTorr the signal is
misinterpreted and a “false” pressure is displayed.
Use a transition gauge to understand if the reading
is really under 50 mTorr or not.
EyeSys Mini-IMG gauge dimensions
Pressure Display Module
PRESSURE
J1 – IN-OUT
mBar
Torr
x10
Pa
Pressure display module
This connector carries all the input and output signals to remote control the Mini-TASK AG81.
It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in the table, the following paragraphs describe the signal characteristics and use.
76/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
INPUT/
OUTPUT
1
START/STOP (+)
IN
2
START/STOP (-)
IN
3
INTERLOCK (+)
IN
4
INTERLOCK (-)
IN
5
SPEED SETTING (+)
IN
6
SPEED SETTING (-)
IN
7
SOFT START (+)
IN
8
SOFT START (-)
IN
9
+24 Vdc
10
NORMAL OUTPUT (relay)
Vmax = 125V
11
Imax = 30 mA
NORMAL OUTPUT
OUT
13
FAULT OUTPUT
OUT
14
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (+)
OUT
•
GROUND
•
PROGRAMMABLE ANALOG
SIGNAL (-)
1300
1250
1200
1150
1100
1050
30
40
50
60
70
80
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage (from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or power
or Temperature or Pressure) set by the user. The
default setting is the frequency (see the following
example diagram).
Imax = 200 mA
12
1350
Duty Cycle [%]
OUT
OUT
1400
20
OUT
PROGRAMMABLE SET POINT
15
Excitation Frequency [Hz]
SIGNAL NAME
Output: Frequency setting
1350
1200
OUT
1050
Frequency (Hz)
PIN N.
900
750
600
450
300
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the
pump. Without the supplied cover connector the
turbomolecular pump automatically starts, if you
want to stop the turbo-pump from outside, you
have to connect the START/STOP (+) signal to the
+24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the
GROUND pin (this is the default configuration of
the cover connector).
150
0
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
7
8
9
7
8
9
10
Voltage (V)
Output: Power setting
100
90
80
Power (W)
70
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the supplied cover connector the INTERLOCK (+) signal is connected to the +24 Vdc
pin and the INTERLOCK (-) signal to the
GROUND pin; in this condition the pump is
stopped.
60
50
40
30
20
10
0
0
1
2
3
4
5
6
10
Voltage (V)
SOFT START: this input is used to provide a "soft
start" to the pump; in this condition the ramp-up
time could be up to 20 min.
Output: Temperature setting
100
90
80
Temperature (°C)
SPEED SETTING: PWM input signal to set the
pump speed. The PWM signal characteristics must
be the following:
• frequency: 100 Hz +/-20%
• amplitude: 24 V max
• duty cycle range: from 25% to 75%
• corresponding to a pump speed from 1100Hz
to 1350Hz (see the following diagram).
70
60
50
40
30
20
10
0
0
1
2
3
4
5
6
10
Voltage (V)
77/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
NOTE
The Navigator Software (optional) allows the operator to set all the programmable feature.
Output: Pressure setting
1,0E-01
1,0E-02
Pressure (Torr)
1,0E-03
1,0E-04
1,0E-05
How to connect the open collector input of the
controller
1,0E-06
1,0E-07
Here below there are the typical connections of the
open collector input of Mini-TASK AG81 to an external system. Two cases are considered:
1,0E-08
1,0E-09
0
1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
Voltage (V)
FAULT: this open collector output signal is ON
when a system fault condition is detected.
1.
the customer supplies the 24 Vdc
2.
the customer does not supply the 24 Vdc.
Please note that on the connector a 24 Vdc, 30
mA voltage, a GROUND signal and the open collector pin are available.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is enabled when the reference
quantity chosen (frequency, power or time or pressure or normal) is higher than the set threshold.
The signal can be "high level active" (that is the
output is normally OFF and becomes ON when activated), or "low level active" (that is the output is
normally ON and becomes OFF when activated).
Moreover, if the reference quantity is the frequency
or the power or pressure drawn, it is possible to
set the hysteresis (in % of the threshold value) to
avoid bouncing.
For example:
− reference quantity: frequency
− threshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: "high level"
Case 1
It is possible to delay the set point checking for a
programmable delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the
following default settings:
− reference quantity: frequency
− thereshold: 867 Hz
− hysteresis: 2%
− activation type: high level
− delay time: 0 second
78/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output
connection (relay coil) but any other device may be
connected e.g. a LED, a computer, etc., and the
related simplified circuit of the controller. The figure example refers to the programmable set point
signal on pins 11 and 9.
Typical output connection 1
J2 - Serial
Case 2 with relay utilisation
This is a 9 pin D-type serial input/output connector
to control via an RS 232 or RS 485 connection the
Mini-TASK AG81.
PIN N.
SIGNAL NAME
1
+5 V (OUT)
2
TX (RS232)
3
RX (RS232)
4
Not used
5
GND
6
A + (RS485)
7
Not used
8
B - (RS485)
9
Not used
A serial communication kit with a serial cable and
the Navigation Software is available (optional).
Case 2 with transistor utilisation
79/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
The communication port mating connector is supplied with the RS232 PCB (AMP/Cannon or
equivalent 15-pin “D” type male connector).
RS 232/RS 485 COMMUNICATION
DESCRIPTION
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are
available on the connector J2.
The communication protocol is the same (see the
structure below), but only the RS 485 manages the
address field. Therefore to enable the RS 485 is
necessary to select the type of communication as
well as the device address by means of the software.
For example, the Transmit data signal from controller (pin 2) must be connected to the host computer’s receive data line (pin 2) and vice versa.
Consult the host computer’s instruction manual for
its serial port connections.
NOTE
Varian cannot guarantee compliance with FCC
regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded, with the shield being terminated to the metal shround on the 0-subconnector.
The cable should be secured to the connector with
screws.
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable
Serial Communication Descriptions
This unit can communicate by two different protocol:
− protocol (old system) “letter”
− “Window” protocol (new system).
These two protocols can be used as well with 232
or 485 media.
NOTE
Please use “Window” protocol for new development.
RS 232 Connection
WINDOW PROTOCOL
Description
Communication Format
• 8 data bit
• no parity
• 1 stop bit
• baud rate: 600/1200/2400/4800/9600 programmable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE
type where:
• Host = MASTER
• Controller = SLAVE
The communication is performed in the following
way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC
to the controller (SLAVE);
2.
RS 485 Connection
the controller answer with an ANSWER + CRC
to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
++++++
80/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
where:
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’)
it means that the indicated data is the corresponding ASCII character.
DATA TYPE
(Start of transmission) = 0x02
− (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
(Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS 485)
− (Window) = a string of 3 numeric character indicating the window number (from ‘000’
to ‘999’); for the meaning of each window see
the relevant paragraph.
− (Command) = 0x30 to read the window,
0x31 to write into the window
− = an alphanumeric ASCII string with
the data to be written into the window. In case
of a reading command this field is not present.
The field length is variable according to the
data type as per the following table:
FIELD
LENGTH
VALID
CHARACTERS
Logic (L)
1
‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N)
6
‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right justified
with ‘0’
Alphanumeric (A)
10
from blank to ‘_’ (ASCII)
− (End of transmission) = 0x03
− = XOR of all characters subsequent to
and including the terminator.
The value is hexadecimal coded and indicated
by two ASCII character.
The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE
type.
When the MESSAGE is a reading command, the
SLAVE will respond transmitting a string with the
same structure of the MESSAGE.
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure
remains identical to the one used for the RS 232
interface, the only difference being that the value
assigned to the ADDRESS .
The controller can answer with the following response types;
RESPONSE
LENGTH
RESPONSE
VALUE
Logic
1 byte
-
After a read instruction of a logic window
Numeric
6 bytes
-
After a read instruction of a numeric window
Alphanumeric
10 bytes
-
After a read instruction of an alphanumeric window
ACK
1 byte
(0x6)
The command execution has been successfully completed
NACK
1 byte
(0x15)
The command execution has been failed
Unknown Window
1 byte
(0x32)
The specified window in the command is not a valid window
Data Type Error
1 byte
(0x33)
The data type specified in the command (Logic, Numeric or Alphanumeric) is
not accorded with the specified Window
Out of Range
1 byte
(0x34)
The value expressed during a write command is out of range value of the
specified window
Win Disabled
1 byte
(0x35)
The specified window is Read Only or temporarily disabled (for example) you
can’t write the Soft Start when the Pump is running)
RESPONSE TYPE
DESCRIPTION
Examples:
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02
80
30
STX ADDR
30
02
30
WINDOW
31
31
03
WR
ON
ETX
42
33
80
06
03
STX ADDR ACK ETX
30
30
30
WINDOW
31
WR
30
03
OFF ETX
42
32
CRC
CRC
Source: Controller
Destination: PC
Source: Controller
Destination: PC
02
80
STX ADDR
02
38
35
80
06
03
STX ADDR ACK ETX
38
35
CRC
CRC
81/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02
80
31
STX ADDR
30
30
WINDOW
31
31
03
42
WR
ON
ETX
02
80
06
03
38
80
31
STX ADDR
30
WINDOW
31
WR
30
03
42
OFF ETX
33
80
06
03
38
STX ADDR ACK ETX
02
83
ADDR
32
30
35
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
83
STX ADDR WINDOW
DATA (STATUS)
ETX
Command: READ SERIAL TYPE
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3 in 485
mode)
02
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
03
RD
ETX
38
02
83
STX
ADDR
35
30
34
WINDOW
30
31
03
RD DATA ETX
42
R1 Set Point
type
0 = Frequency
1 = Power
2 = Time
3 = Normal
4 =Pressure
(default = 0)
102
R/W
N
R1 Set Point
valve
(expressed in
Hz, W or s)
(default = 867)
103
R/W
N
Set Point delay: time between the
pump start and
the set point
check (seconds)
0 to 999999
Set Point signal activation
type: the signal
can be "high
level active" or
"low level active"
0 = high level active
1 = low level active
Set point
hysteresis
(in % of value)
0 to 100
R/W
L
R/W
N
Data
Type
Description
Admitted
Values
000
R/W
L
Start/Stop
(in remote/
mode the window is a read
only)
Start = 1
Stop = 0
Low Speed
Activation (in
remote/ mode
the window is
a read only)
No = 0
Yes = 1
(default = 0)
(default = 0)
(default = 2)
R/W
L
Water cooling
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
107
R/W
L
Active Stop
(write only in
stop)
0 = NO
1 = YES
Baud rate
600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
(default = 0)
108
R/W
N
109
W
L
Pump life/
cycle time/
cycle number
reset
To reset write ‘1’
110
R/W
L
Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
111
R/W
L
Analog output type:
output voltage signal
proportional
to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
Low Speed
frequency
(Hz)
1100 to “Maximum rotational
frequency”
(win 120)
(default = 1100)
117
82/84
(default = 0)
106
CRC
Read/
Write
L
N
30
N.
R/W
R/W
CRC
Window Meanings
001
101
31
Source: Controller
Destination: PC
(default = 1)
YES = 1
NO = 0
105
CRC
Remote = 1
Serial = 0
Soft Start
(write only
in Stop
condition)
37
37
Remote
or Serial configuration
L
104
38
Admitted
Values
R/W
CRC
32 30 35 30 30 30 30 30 30 03
Description
100
CRC
Source: Controller (with address = 3 in stop status)
Destination: PC
02
L
35
Command: READ PUMP STATUS
Source: PC
Destination: Controller (with address = 3)
STX
R/W
CRC
Source: Controller
Destination: PC
02
008
35
CRC
30
Data
Type
CRC
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02
Read/
Write
32
Source: Controller
Destination: PC
STX ADDR ACK ETX
N.
R/W
N
(default = 1)
2 = Pump
temperature
3 = Pressure
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
Admitted
Values
120
R/W
N
Rotational
frequency
setting (Hz)
1100 to 1350
(default = 1350)
122
R/W
L
Set vent
valve on/off
0 = Closed
1 = Open
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
202
R
N
Pump power
in W (pump
current x
pump voltage
203
R
N
Driving frequency in Hz
204
R
N
Pump temperature in
°C
0 to 110
Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
(default = 1)
125
126
R/W
R/W
L
N
Set the vent
valve
operation
Automatic = 0
(see note 1.)
Vent valve
opening delay
(expressed in
0.2 sec)
0 to 65535
On command = 1
(see note 2.)
155
157
161
162
R/W
R
R/W
R/W
R/W
N
N
N
N
A
Vent open
time
See “vent
connector”
paragraph
0 = infinite
1 bit = 0.2 sec
Power limit
applied
Read the
maximum
allowable
power
watt
Gas load
type
Select the
gas load to
the pump
Pressure
Reading Connection Factor
Table A1 Appendix A EyeSys Manual
1 to 65535
Ø = N2
1 = Ar
0 to 10
0=0
10 = 1 = N2
R1 Set Point
Pressure
Valve
Valid if Win.
101 = 4
Format X.X
E. XX
Where X = 0
to 9
s = + or -
(60°C = Threshold Pump
Overtemperature)
205
R
N
Pump status
206
R
N
Error code
211
R
N
Controller
Heatsink
Temperature
(°C)
0 to 110
216
R
N
Controller Air
Temperature
(°C).
0 to 70
224
R
A
Pressure
reading
Format = X.X
E XX
226
R
N
Rotation Frequency (rpm)
300
R
N
Cycle time in
minutes (zeroed by the
reset command)
0 to 999999
301
R
N
Cycle number (zeroed
by the reset
command)
0 to 9999
302
R
N
Pump life in
hours (zeroed by the
reset command)
0 to 999999
(corresponding to
0 to 13107 sec)
(default = 15)
147
Admitted
Values
Bit description:
see the following
figure
163
R/W
N
Pressure unit
of measure
0 = mBar
1 = Pa
2 = Torr
167
R/W
A
Stop speed
reading
Activates /
deactivates
the pump
speed reading after Stop
command
0 = disable
1 = enable
310
to
347
(default = 0)
400
R
A
CRC
EPROM
(QE)
QE8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
401
R
A
Boot CRC
(BL)
BL2XXXX
(where “XXXX”
are variable)
402
R
A
CRC Param.
(PA)
PA8XXXX
(where “XXXX”
are variable)
404
R
A
CRC Parameter
structure
"XXXX"
200
201
R
R
N
N
Pump current
in mA dc
Reserved to Varian service
Pump voltage in Vdc
83/84
87-901-003-01(A)
TECHNICAL INFORMATION
N.
Read/
Write
Data
Type
Description
Admitted
Values
406
R
A
Program Listing Code
"XXXXXXXXXX"
407
R
A
Parameter
Listing Code
"XXXXXXXXXX"
500
503
504
ORDERABLE PARTS
DESCRIPTION
Reserved to Varian service
R/W
N
R/W
L
RS 485 address
0 to 31
Serial type
select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
(default = 0)
NOTES
1. Automatic means that when the controller
stops, the vent valve is opened with a delay
defined by window n. 126; when the controller
starts, the vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is
opened or closed by means of window n. 122.
3. These commands remove the pump motor
supply for a short time. If they are used continuously, they can cause the pump stopping.
7
6
5
TOO HIGH LOAD
SHORT CIRCUIT
OVERVOLTAGE
4
3
2
1
PART NUMBER
European plug power cable, 2 m long
949-9396
USA plug power cable, 2 m long
949-9397
UK plug power cable, 2 m long
949-9398
Serial cable and Navigator Software
969-9883
EyeSys Mini-IMG Gauge cable (1m)
969-9943
EyeSys Mini-IMG Gauge special
R1400301
Gauge Estension cable (5m)
969-9944
Inlet screen DN40
969-9309
Inlet screen DN63
969-9300
Vibration damper, DN 63 ISO
969-9375
Vibration damper, CFF 4.5’
969-9376
Connection kit-gauge KF40
969-9185
Connection kit-gauge ISO 63
969-9186
Connection kit-gauge CFF 4.5”
969-9187
For a complete overview of Varian's extensive
product lines, please refer to the Varian catalog.
0
NO CONNECTION
PUMP OVERTEMP.
CONTROLL. OVERTEMP.
Window N. 206 Bit Description
84/84
87-901-003-01(A)
Request for Return
1.
2.
3.
4.
A Return Authorization Number (RA#) WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out,
signed and returned to Varian Customer Service.
Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations (IATA, DOT, UN).
The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian: (a) Drain any oils or
other liquids, (b) Purge or flush all gasses, (c) Wipe off any excess residues in or on the equipment, (d) Package the
equipment to prevent shipping damage, (for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit).
Make sure the shipping documents clearly show the RA# and then return the package to the Varian location nearest you.
North and South America
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Ave
Lexington, MA 02421
Phone : +1 781 8617200
Fax: +1 781 8609252
Europe and Middle East
Varian SpA
Via Flli Varian 54
10040 Leini (TO) – ITALY
Phone: +39 011 9979111
Fax: +39 011 9979330
Asia and ROW
Varian Vacuum Technologies
Local Office
CUSTOMER INFORMATION
Company name: ..………………….……..……………….………………………………..……………………...…………..….
Contact person: Name: ……………………………………..…
Tel: ……………………….…...…………….….…....
Fax: …………………………….…...…..……
E-Mail: ..……………………..…………..…..…..…..
Ship Method: …………….……....…… Shipping Collect #: ………….…..………… P.O.#: ………………….…......………..
Europe only: VAT reg. Number: ………………..……………...
Customer Ship To: ………………………….………
……………..…………………...
………………..………………...
PRODUCT IDENTIFICATION
Product Description
USA only:
Taxable
Non-taxable
Customer Bill To: …………………..……………...
..………………………………...
..………………………………...
Varian P/N
Varian S/N
TYPE OF RETURN (check appropriate box)
Paid Exchange
Paid Repair
Warranty Exchange
Credit
Shipping Error
Evaluation Return
Warranty Repair
Calibration
Purchase Reference
Loaner Return
Other ……………….
HEALTH and SAFETY CERTIFICATION
Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or
RADIOACTIVITY. Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem.
The equipment listed above (check one):
HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials
OR
HAS been exposed to any toxic or hazardous materials. In case of this selection, check boxes for any materials that
equipment was exposed to, check all categories that apply:
Toxic
Corrosive
Reactive
Flammable
Explosive
Biological
Radioactive
List all toxic or hazardous materials. Include product name, chemical name and chemical symbol or formula.
.……………………………………………………………………………………………………………………..
Print Name: ………………………………….
Customer Authorized Signature: ……………...…………………….
Print Title: …………………………………...
Date: ..…../..…../……
NOTE: If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed, the customer
will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product, and is liable for any harm or injury to Varian
employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product.
Do not write below this line
Notification (RA)#: ……………………….……….. Customer ID#: ……….…………. Equipment #: ……………………..
Request for Return
FAILURE REPORT
TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS
Does not start
Does not spin freely
Does not reach full speed
Mechanical Contact
Cooling defective
TURBOCONTROLLER ERROR
Noise
Vibrations
Leak
Overtemperature
POSITION
Vertical
Horizontal
Upside-down
Other:
………………….
PARAMETERS
Power:
Rotational Speed:
Current:
Inlet Pressure:
Temp 1:
Foreline Pressure:
Temp 2:
Purge flow:
OPERATION TIME:
MESSAGE:
ION PUMPS/CONTROLLERS
Bad feedthrough
Poor vacuum
Vacuum leak
High voltage problem
Error code on display
Other
Customer application:
VALVES/COMPONENTS
Main seal leak
Solenoid failure
Damaged sealing area
Customer application:
Bellows leak
Damaged flange
Other
LEAK DETECTORS
Cannot calibrate
Vacuum system unstable
Failed to start
Customer application:
No zero/high backround
Cannot reach test mode
Other
INSTRUMENTS
Gauge tube not working
Communication failure
Error code on display
Customer application:
Display problem
Degas not working
Other
PRIMARY PUMPS
Pump doesn’t start
Doesn’t reach vacuum
Pump seized
Customer application:
Noisy pump (describe)
Over temperature
Other
DIFFUSION PUMPS
Heater failure
Doesn’t reach vacuum
Vacuum leak
Customer application:
Electrical problem
Cooling coil damage
Other
FAILURE DESCRIPTION
(Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis):
NOTA: Su richiesta questo documento è disponibile anche in Tedesco, Italiano e Francese.
REMARQUE : Sur demande ce document est également disponible en allemand, italien et français.
HINWEIS: Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch, Italienisch und Französisch erhältlich.
Sales and Service Offices
France and Benelux
Varian s.a.
Japan
Varian Vacuum Technologies
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
Les Ulis cedex (Orsay) 91941
France
Tel: (33) 1 69 86 38 84
Fax: (33) 1 69 86 29 88
From Benelux Tel: (31) 118 67 15 70
From Benelux Fax: (31) 118 67 15 69
Sumitomo Shibaura Building, 8th Floor
4-16-36 Shibaura
Minato-ku, Tokyo 108
Japan
Tel: (81) 3 5232 1253
Fax: (81) 3 5232 1263
Toll Free: 0120 655 040
Canada
Central coordination through:
Korea
Varian Technologies Korea, Ltd
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll Free # 1 (800) 882 7426
Shinsa 2nd Bldg. 2F
966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel: (82) 2 3452 2452
Fax: (82) 2 3452 2451
Toll Free: 080 222 2452
China
Varian Technologies - Beijing
Mexico
Varian, S. de R.L. de C.V.
Rm 1648 Central Tower South Wing
Beijing Junefield Plaza
No. 10 XuanWuMenWai Street
Beijing 100052
P.R. China
Tel: (86) 10 63108550
Fax: (86) 10 63100141
Toll Free: 800 820 6556
Germany and Austria
Varian Deutschland GmbH
Alsfelder Strasse 6
Postfach 11 14 35
64289 Darmstadt
Germany
Tel: (49) 6151 703 353
Fax: (49) 6151 703 302
India
Varian India PVT LTD
101-108, 1st Floor
1010 Competent House
7, Nangal Raya Business Centre
New Delhi 110 046
India
Tel: (91) 11 28521171
Fax: (91) 11 28521173
Italy
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
03/06
Concepcion Beistegui No 109
Col Del Valle
C.P. 03100
Mexico, D.F.
Tel: (52) 5 523 9465
Fax: (52) 5 523 9472
Other Countries
Varian Inc.
Vacuum Technologies
Via F.lli Varian 54
10040 Leini, (Torino)
Italy
Tel: (39) 011 997 9 111
Fax: (39) 011 997 9 350
Customer Support & Service:
North America
Toll-Free: 1 800 882 7426
vtl.technical.support@varianinc.com
Europe
Tel: 00 800 234 234 00
vtt.technical.support@varianinc.com
China
Toll-Free: 800 820 8266
vtc.technical.support@varianinc.com
Japan
Taiwan
Varian Technologies Asia Ltd.
14F-6, No.77, Hsin Tai Wu Rd., Sec. 1
Hsi chih, Taipei Hsien
Taiwan, R.O.C.
Tel: (886) 2 2698 9555
Fax: (886) 2 2698 9678
Toll Free: 0800 051342
Toll-Free: 0120 655 040
vtj.technical.support@varianinc.com
Korea
Toll-Free: 080 222 2452
vtk.technical.support@varianinc.com
Taiwan
UK and Ireland
Varian Ltd.
6 Mead Road
Oxford Industrial Park - Yarnton
Oxford OX5 1QU - England
Tel: (44) 1865 291570
Fax: (44) 1865 291571
United States
Varian Vacuum Technologies
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421
USA
Tel: (781) 861 7200
Fax: (781) 860 5437
Toll-Free: 0 800 051 342
vtw.technical.support@varianinc.com
Worldwide Web Site, Catalog
and Order On-line:
www.varianinc.com
Representative in most countries
Source Exif Data:
ExifTool Version Number : 10.40 File Name : download Directory : /home/ubuntu/manual/scrapers/tmp/456/7457b643ac2654e0a251d363b545629b54eca5e9a13dcca94a50ce8e9c474d6d File Size : 3.9 MB File Modification Date/Time : 2018:01:22 12:14:58+00:00 File Access Date/Time : 2018:01:22 12:14:58+00:00 File Inode Change Date/Time : 2018:01:22 12:14:58+00:00 File Permissions : rw-rw-r-- Error : Unknown file typeEXIF Metadata provided by EXIF.tools