Tcp380_2 Tcp380
User Manual: tcp380
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Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d´emploi TCP 380 Antriebselektronik Electronic Drive Unit Commande électronique PM 800 188 BN/E (9810) - - _. . Inhalt Contents Allgemeines 2 2.1 Technische Daten Technische Daten/Optionen 2 2.1 Technical Data Technical Data, Options 3 Einsatzarten Einsatz ohne Pumpstandsteuerung Einsatz mit Pumpstandsteuergerat TCS 303 Einsatz mit Pumpstandsteuergerat TCS 304/304R 3 Types of Application Application without Pumping Unit Control Application with Pumping Unit Control TCS 303 Application with Pumping Unit Coctrol TCS 304/304R AnschlUsse Netz Belegung der Netzsteckerleiste X4 Turbopumpe Luftkuhlung Flutventil Heizung Turbopumpe Remotestecker Serielle Schnittstelle (Option) Pumpstandsteuergerat TCS 303 und 304 4 4.1 4.1.1 3.1 3.2 3.3 4 4.1 4.1 .1 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 5 5.1 5.1.1 5.2 6 6.1 6.2 7 7.1 7.2 7.3. 7.4 7.5 7.6 7.7 7.8 8 8.1 8.2 9 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 Contenu General 3.1 3.2 3.3 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 Uberwachung Uberwachungsrelais K2 yerriegelung K2 Uberwachungsrelais K 1 5 Bedienungselemente und LC-Anzeigefeld Bed ienungselemente LC-Anzeigefeld 6 Betrieb Einschalten Fernbedienung Stand-by Reset Funktion der DIL-Schalter Ausschalten Verzogertes Fluten mit Flutsteuergerat TCF Andern der Anzeige und der Parameter 7 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6 7.7 Weitere Betriebsarten Remote-Betrieb Betrieb uber Schnittstellen (Option) 8 Fehlersuche Selbsttest Fehlerliste Ausgewertete Analogspannungen beim Selbsttest Erweiterte Testmoglichkeiten Gestorter Betrieb Einsendung zur Reparatur ins Service Center 9 5.1 5.1 .1 5.2 6.1 6.2 7.8 8.1 8.2 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 Connections Mains Pin Assignment of Mains Connectar X4 Turbo Pump Air Cooling Venting Valve Heater for Turbo Pump Remote Plug Serial Interface (Option) Pumping Unit Control TCS 303 and 304 Monitoring Monitoring Relay K2 Interlock K2 Monitoring Relay Kl Generalites 2 2.1 Caracteristiques techniques Caracteristiques techniques optionnelles 3 3.1 Utilisations possibles Utilisation sans commande de groupe de pompage Utilisation avec commande de groupe de pompage TCS 303 Utilisation avec commande de groupe de pompage TCS 304/ 304R 3.2 3.3 4 4.1 4.1.1 4.2 4.3 4.4 4.5 4.6 4.7 4.8 5 5.1 5.1. 5.2 Control Elements and LC Display Panel Control Elements LC Display Panel 6 Operation Switching on Remote Control Stand-by Reset Function of the OIL Switches Switch i ng off Delayed Venting using Venting Control Unit TCF Changing the Display and Parameters 7 7.1 7.2 7.3 7.4 7.5 7.6 7.7 Further Operating Modes Remote Operation Operation via Interfaces (Option) Trouble-Shooting Self-Testing List of Errors Analyzed Analogue Voltages during Self-Testing Extended Testing Possibilities Defective Operation Returning to Service Center for Repair 10 Ersatzteile 10 Spare Parts 11 11 .1 Schaltpliine Legende zu den Schaltplanen 11 11 .1 Wiring Diagrams Legend for wiring diagrams 12 Zubehor 12 Accessories Bestell-Nr. / Order nr. / Numero de commande: PM COl 490 6.1 6.2 7.8 8 8.1 8.2 9 9.1 9.2 9.3 9.4 9.5 9.6 Raccordements Branchement secteur Affectation des broches du connecteur X4 Pompe turbomoleculaire Refroidissement par air Vanne de remise I'air Chaufferette de la pompe turbo Connecteur de telecommande Interface serie (Option) Commandes de groupe de pompage TCS 303 et 304 a Surveillance Relais de surveillance K2 Verrouillage K2 Relais de surveillance K 1 Elements de manoeuvre et panneau d'affichage LCD Elements de manoeuvre Panneau d'affichage LCD Service Mise en marche Telecommande Stand-by Reset Fonction des commutateurs DIP Arret Remise I'air temporisee avec commande TCF Alteration des parametres et de I'affichage a Autres modes d' operation Operation a distance (Remote) Operation par interfaces (Option) Depistage d'erreurs Auto-test Liste des messages d'erreurs Tensions analogiques evaluees lars de I'auto-test Autres possibilites de tests Service en "derangement Renvoi au Centre de Service Apres-Vente pour reparation 10 Pieces de rechange 11 11 .1 Schemas de connexions Legende pour les schemas de connexions 12 Accessoires Betriebsanweisung fur Antriebselektronik rep 380 Operating Instructions for Electronic Drive Unit rep 380 Instruction de service de la commande electronique rep 380 Wichtige Hinweise Important Information Directives importantes Prufen Sie sotort nach dem Auspakken, ob die Sendung mit den Angaben auf dem Lieferschein ubereinstimmt. Please check immediately after unpacking whether the consignment conforms to the information given on the delivery note. A la reception de i'envoi, s'assurer au debal/age que Ie contenu du (des) colis corresponde bien aux articles enumeres sur Ie bon de livraison. Please read the operating instructions before you operate the unit and follow them in all respects. Avant que de mettre I'appareil en service, lire attentivement /'instruction de service et s'y conformer en taus points. Lesen Sie die Betriebsanweisung, Sie das Gerat in Betrieb nehmen. Befolgen Sie die Anweisungen in allen Punkten. - All units comply with the law concern- - Tous nos appareils repondent aux prescriptions legales § 3, relatives aux ing technical implements, Section 3. They have been designed in accorappareillages techniques. lis sont dimensionnes d'apres categorie de dance to protection grade 1. - The device has undergone a routine protection 1. test with 1500 V AC, an isolation test - L'appareil ete soumis un essai indiviwith 500 V DC and also a protective duel avec 1500 V CA, 1':1 un essai d' earthing conductor test with 25 A. isolation avec 500 V CC et un essai - If the TCP signals are used externally des conducteurs de protection avec 25A. and if double insulation is requested - Si les signclUx de In TCP sont utilises (for example DIN VDE 0411), the manufacturer must be consulted. de externe et on demande un - The operating instructions have been double isolement (suivant la DIN VDE 0411 par exemple), il faut consulprepared in accordance with DIN 8418. ter de producteur. - L'instruction de service est redigee en If you perform repair or maintenance concordance avec la norme DIN 8418. Wenn Sie selbst Reparatur- oder Wartungsarbeiten an den Geraten vornehwork on units which have come into contact with substances which are L'utilisateur procede-t-il lui-meme men, die mit gesundheitsschadlichen detrimental to health, please observe des travaux de reparation ou d'entreStoffen in Beruhrung gekommen sind, dann beachten Sie die entsprechenden the relevant regulations. tien sur des appareils qui auraient ete en contact avec des matieres toxiques, Vorschriften. If you return units to us for repair or il est alars tenu de respecter les presmaintenance work, please follow the criptions afferentes. Bei Geraten, die Sie an uns zu Reparatur- oder Wartungsarbeiten einschikinstructions below: Au renvoi de tous appareils reparer ken, beachten Sie folgendes: - contaminated units (radioactively or ou reviser, priere de tenir compte des chemically etc.) must be decontamipoints suivants: - kontaminierte Gerate (radioaktiv, chemisch etc.) sind vor der Einsendung nated in accordance with the radiation entsprechend den Strahlenschutzvorprotection regulations before they are - les appareils cantamines (radioactiveschriften zu dekontaminieren. returned. ment, chimiquement, etc.) sont preala- Units returned for repair or mainte- Zur Reparatur oder Wartung eingeblement decontaminer en vertu de la hende Gerate mussen mit deutlich nance must bear a clearly visible note legislation relative la protection "Free from harmful substances". This sichtbarem Vermerk "Frei von Schadcontre les emissions radioactives. note must also be provided on the stoffen"versehen sein. Derselbe Ver- Les appareils envoyes pour reparation delivery note and accompanying letter. merk ist auch auf dem Lieferschein ou maintenance doivent etre pourvus - "Harmful substances" are defined as: und Anschreiben anzubringen. d'une etiquette bien visible certifiant - "Schadstoffe" sind: Stoffe und Zubematerials and preparations in accorqu'ils sont "exempts de matieres taxireitungen gemafS EG-Richtlinie vom dance with the EEC Specification dated ques': La meme indication est apposer 18.09.1979, Artikel 2. 18 September 1979, Article 2. sur Ie bon de livraison et sur toute la correspondance aff9rente. - Les "matieres toxiques" sont celles Technische Anderungen behalten wir Technical modifications reserved. enumerees par I'article 2 de la presuns vor. cription de la C.E.E en date du 18 septembre 1979. - Aile Gerate entsprechen dem Gesetz uber technische Arbeitsmittel, §3. Sie sind nach Schutzklasse 1 aufgebaut. - Das Gerat wurde einer Stuckprufung mit 1500 V AC, einer Isolationsprutung mit 500 V DC und einer PrOfung der Schutzleiterverbindungen mit 25 A unterzogen. - Werden die Signale der TCP extern genutzt und wird doppelte Isolation verlangt (z.B. gemall. DIN VDE 0411) muB Rucksprache mit dem Hersteller genom men werden. - Die Betriebsanweisung ist nach DIN 841 8 erstellt. a a a a a a a a Modifications techniques reservees. PFEIFFER VACUUM Fig . 1 rep 380 1 Aligemeines - Di e Antriebselektronik TCP 380, Fig. 1, ist ein Rack- Teilein sch ubgerat der Gre!>e "6/12-19" der Balzers-Norm. - Aile Bedienungselemente befinden sich auf der Frontplatte. - Die Anschlusse sind auf der Ruckse ite des Gerates angeordnet. - Fur ausreichende Luftzirkulation urn das Gerat ist zu sorg en. - Zur Steuerung eines Pumpstandes wird das Pumpstandsteuergeriit TCS 303 oder TeS 304 eing esetzt . Dar Einsatz von TCS 1001 ist auch m eg lich . - - - - An die Antriebselektronik TCP 380 konnen we iterhin He izun g Luftkuhlung Flu tve ntil TSF 012 und Fernbed ien ung angeschlossen werd en. An das Pumpstandsteuergerat konnen f olgende Zubehorgerate angeschlossen werden: Vorpumpe bis max. 550 W Anschlu"leistung einphasig bzw. bis 1,1 kW bei Drehstromantrieb und Ein satz eines TCS 304. KOhlwasserw8chter TCW. Kuhlaggregat TZK oder Luftkuhlung. Bei Pumpstanden mit luftgekuhlter Turbopumpe entfallen die Pumpstandkomponenten TCW und TZK (siehe auch Abschnitt 3 Ein satzarten)! Die netztransformatorenlose Antriebselektro nik TCP 380 ist ein Besta ndteil des Antriebs und der Uberwachung (ohne Pumpstandsteuerung) der Turbom olekularpumpen Gre!>e 060 - 520 . 1 General 1 Generalites - The Electronic Drive Unit TCP 380, - - - - - - - Die TCP wurde nach DIN VDE 0871 Grenzwertkurve B entst6rt. - Die Anschllisse sind fUr Fernbedienung ausgelegt. - La comman de electroniqu e TCP 380 Fig . 1, is a rack module si ze "6/12-1 9" (Fig. 1) est un appareil construit en of the Bal zers standard ra ck, baie de rack de la taille "6/12 -19" A ll contro l elements are arranged on (norme Balzers ). th e front panel. - Taus seS elem ents de m anoeuvre sont The connections are arranged on the situes sur son panneau frontal. rear side of the unit. - Le s douilles de raccordem ent sont disSufficient air circulation arou nd the posees au dos de I'appareil. unit mu st be ensured. - Veiller assu rer une circulation d'air To control a pumping unit. the Pumpsuffisanle. ing Unit Control TCS 303 or TCS 304 - Pour I'asservissement d'un groupe de is employed. It is also possible to use pompage, ut iliser une commande a TC S 1001. TCS 303 ou TeS 304. Eventuellement utilisables: Ie commande TCS 1001. Further, the following ca n be connected to the Electronic Drive Unit Les appareils su ivants peuvent en TCP 380: outre etre raccordes a la commande Heater TCP 380 : Air cooling - Chaufferette Venting valve TSF 012, and - Refroi dissement par air Remote control. - Vanne de remise a !'air TSF 0 12 - Telecomma nde. The following accessory units ca n be con nected t o the pumping unit control: Une comman de d'asservissement de Backing pump up to a max. co nnected groupes de pompage peut eIre eq uipee des accessoires suivants : load of 550 W, single-phase, or up to 1. 1 kW with three-phase drive and the - Pompe primaire d'une puissance maxi use of a TCS 304. de 550 W (monophase) ou de 1,1 kW Cooling water monitor TCW. (triph ase) el utilisation d'un e co m Cooling unit TZK or air cooling. In the mande TCS 304. case of pumping units with air-cooled - Control eur d'eau de refroidissement turbo pump, the pumping unit compoTeW. nants TeW and UK are not needed - Groupe de refroidissement TZK ou (see also Section 3, Types of Applicarefroidi ssement par air. Dans Ie cas de ti on)! group es de pompage dont la pompe The El ect ron ic Drive Unit TCP 380 turbomoleculaire est refroidia !'air, les appareil s TCW et TZK ns son t pas without power transform er is part of th e drive and control (except pu mping appli cab les (voir egalement Ie section unit cont rol) for turbo-m olecu lar 3 "Utilisations possibles"). pumps of sizes 060 - 520. - La commande electroniqu e TCP 380, The TCP has been suppressed as per depourvue de transformate ur de ten DIN VDE 0871 limit va lue curve B. sion secteur, fait partie integrante du The con nections ha ve been designed systeme d'asservissement e1 de comfor remote co nt rol. mande (sans groupe de commands) des pampas turbo molecul aires des types 060 a 520. - Le TCP a eta antiparasite conformement DIN VDE 0871 coube de valeur limite B. - Ses raccordements sont conc us pour une t elecommande eventuelle. a a a 2 - Die Funktion "Stand-by" erlaubt den Betrieb der Turbomolekularpumpe mit reduzierter Drehzahl (66 % der Nenndrehzahl). - Aile Funktionen und Uberwachungen sind mikroprozessorkontrolliert. - Die Anzeige aller wichtigen Betriebsparameter erfolgt auf einem LC-Anzeigefeld. - Das Gerat fOhrt sinen Selbsttest aus. - The "Stand-by" function allows the - La fonction "Stand-by" permet de faire turbo-molecular pump to be operated tourner la pompe turbomoleculaire en at reduced rotation speed (66 % of the regime ralenti (66 % de son regime nominal). rated rotation speed). - All functions and monitoring tasks are - Toutes les fonctions et tous les dispomicroprocessor-controlled. sitifs de surveillance sont cant roles par - All major operating parameters are microprocesseur. displayed on a LC display panel. - Tous les parametres essentiels au fonctionnement de I'appareil sont visi- The unit performs a self-testing. bles sur un panneau d'affichage au cristal liquide. - L'appareil execute a sa mise en marche un auto-test. 2 Technical Data 2 Technische Daten 2 Caracteristiques techniques Antriebselektronik Electronic Drive Unit Commande electronique AnschluG.spannung Connection voltage Tension de branchement nominaJe V 100-240 ± 10%1) Frequenz Frequency Fn3quence Hz 50- 60 Leistungsaufnahme, max. (+ Pumpenheizung) Max. power consumption (+ pump heater) Puissance consommee maxi (+ chauffage) VA 325 Ausgangsspannung, ca. Output voltage, approx. Tension de sortie env. V 40 DC Hochlaufstrom, max. Run-up current, max. Courant de montee maxi. A 7 Frequence nomina Ie ± 2 % HZ 600-1500 ± TCP380 Nennfrequenz ± 2 % Rated frequency Selbsttest, eingebaut Self testing, incorporated Auto-test integre Kontaktbelastung Kl und K2 induktionsfrei! Contact rating, Kl and K2 non-inductive! Charge de contact, K1 et K2 sans induction! VIA 2% 250/6 DC 2416 DC Verzogerungszeit, einstellbar Time lag, adjustable Temporisation reglable min 1 - 120 Werkseinstellung Factory setting Reglage d'usine min Drehzahlschaltpunkt. einstellbar in % der Nenndrehzahl Rotation speed switch-point, adjustable in % of rated rotation speed Point de commutation reglable du regime nominal % 8 50 - 90 Werkseinstellung Factory setting Reglage d'usine % 80 Zul. Umgebungstemperatur Permissible ambient temperature Temperature ambiante admissible 'C 0-40 Kabellange Pumpe-TCP, max. Cable length, pump-TCP, max. Longeur de cable maxi Pompe-TCP m 100 Steckerausgange fur Luftkuhlung Heizung Flutventil (42 V DC) Sockets for Air cooling Heating Venting valve (42 V DC) Douilles de sortie pour Refroidissement par air Chauffage Vanne de remise I'air (42 V DC) AnschluG.moglichkeiten fur Connection options for a TCS 303 TCS 304/304R Possibilites de raccordement pour TeS 1000 Fernbedienungl Remote Controll Telecommande Rackeinschubgr6G.e Rack modul size Taille baie de rack Gewicht Weight Poids 1) Bei Betrieb am 60 Hz Netz mit Spannung > 250 V erfolgt Fehleranzeige "Uberspannung" . 1) When operating at 60 Hz mains with voltage> 250 V the error message "excess voltage" is displayed. "6/12-19" kg 1) 4,2 Lors d'un fonctionnement sur reseau 60 Hz avec tension> 250 V, apparalt I'annonce d'erreur "surtension". 3 3 T 243 II 6O . -, 1 r \ \ 6 \ 205,4 r-=--------1=, I 1 '" J N' N N "3,6 \ T . - -1/ --- L I ----.ct-I --134,81-..--140-------1 Fig.2 Dimensions 2.1 Technische Daten/Optionen 2.1 Technical Data, Options Dimensions 2.1 Caracteristiqu8s techniques optionnelles Serielle Schnittstelle Sch nittstellenpegel nach Serial interface Interface level acc. Interface serie to OU, oder wahlweise bei mehreren Geraten or optionally for several units au choix, pour appareils Baudrate: Datenformat: Baud rate: Zeichenlange: Stopbits: Character length: Stop bits: Parity: none, even or odd Hardware, handshake: not existent Ratio baud: Format: Longueur caractere: Bits de stop: Parite: sans, paire ou impaire Handshake materiel: non existant Paritat: keine, gerade oder ungerade Hardware handshake: nicht vorhanden 4 Data format: Niveau selon multiples RS 232 C RS 485 9-poligj9 poles/ a 9 poles 9-polig/9 poles/ a 9 pOles 300 ... 19200 ASCII bit 7 bzw./resp./ou 8 1 bzw./resp./ou 2 - - 3 Einsatzarten 3 Types of Application 3 Utilisations possibles 3.' Einsatz ohne Pumpstandsteuerung Als Antriebselektronik nach Schaltplan PM 021949 -S: Es k6nnen Heizung Luftkuhlung und Flutventil TSF 012 direkt am TCP 380 angeschlossen werden. Der AnschluB einer Vorvakuumpumpe und eines Ventilsteuergerates, sowie deren Verriegelung mit der Turbopumpe ist nicht m6glich. Einsatzart 3.1 muB auf Ausnahmen beschrankt bleiben. Durch die fehlende Verriegelung kann die Turbopumpe durch Betriebsmitteldampfe verunreinigt werden. 3.1 Application without Pumping Unit Control As an electronic drive unit as per wiring diagram PM 021 949 -S: The following: Heater Air cooling, and Venting valve TSF 012 can be connected directly to the TCP 380. Connection of a backing pump and a valve control unit, and their interlocking with the turbo pump are not possible. Type of application 3.1 must be restricted to exceptional cases. Due to the missing interlock, the turbo pump may be contaminated by operating medium vapors. 3.1 Utilisation sans commands de groupe de pompage Commande electronique cablee selon Ie schema de connexions PM 021 949 -S: Chaufferette, Refroidissement par air et Vanne de remise rair TSF 012 peuvent etre raccordes directement sur la TCP 380. Le raccordement d'une pompe primaire et d'un appareil de commande des vannes, y compris leur verrouillage avec la pompe turbomohkulaire, n'est pas possible. Ce genre d'utilisation 3.1 ne do it etre qu'occasionnel et se limiter quelques rares exceptions: par suite de I'absence de verrouillage, la pompe turbomoleculaire risque d'etre souillee par des vapeurs d'agent moteur. 3.2 Einsatz mit Pumpstandsteuer- - 3.2 Application with Pumping geriit TCS 303 Unit Control TCS 303 Schaltplan PM 031 183-S Wiring diagram PM 031 183 -So - - - a a 3.2 Utilisation avec com man de de groupe de pompage TCS 303 Schema de connexions PM 031183-S Fig.3 TCS 303 Bei dieser Einsatzart kbnnen folgende Zubehbrgerate angeschlossen werden: - - An der Ruckseite der rep 380: Heizung Turbopumpe Flutventil TSF 012 Luftkuhlung TCS 303 With this type of application, the following accessory units can be connected: At the rear of the rep 380: Heater for turbo pump Venting valve TSF 012 Air cooling TCS 303 Das TCS 303 wird ohne Verbindungskabel direkt auf die Netzsteckerleiste X4 The TCS 303 is directly plugged into der lCP aufgesteckt. the mains plugboard X4 of the TCP without connecting cable. An das res 303: Kuhlwasserwachter TCW ro the res 303: Vorvakuumpumpe bis max. 550 W - Cooling water monitor TCW AnschluBleistung (einphasig). - Backing pump up to max. 550 W Kuhlaggregat TZK 350 connected load (single-phase). Luftkuhlung - Cooling unit lZK 350 - Air cooling Betriebsanweisung TCS 303: PM 800 186 BD, E, F. Operating instructions for the lCS 303: PM 800 186 BD, E, F. Ce genre d'utilisation permet de raccorder les accessoires suivants: Au dos de i'appareil rep 380: - Chaufferette de la pompe turbomoleculaire - Vanne de remise I'air TSF 012 - Refroidissement par air - lCS 303 a La commande TCS 303 est enfichee directement sur Ie bornier X4 de la TCP, sans dlble de liaison. Sur la res 303 elle-meme: - Controleur de I'eau de refroidissement TCW - Pompe vide primaire d'une puissance maxi de 550 W (monophase). - Groupe de refroidissement TZK 350 - Refroidissement par air a Instruction de service de la TCS 303: PM 800 186 BD, E, F. 5 3.3 Einsatz mit Pumpstandsteuergeriit TCS 304/304R SchaUplan PM 031129 -So Fig. 4 TCS 304 R Bei dieser Einsatzart kbnnen folgende Zubehbrgerate angeschl ossen werden: An d er Ruckseite der rep 380: - Heizung Turbopumpe - Flutventil TSF 012 - TCS 304/ 304R An das res 304/304R : - KOhlwasserwachter TCW - Vorvakuumpumpe bis max . 550 VA Anschluf5leistung einphasig . Bei Einsatz von Drehschiebervakuumpumpen mit Drehstrommotoren muP.. ein Thermistorprint (Schaltplan PM 021 919 -S) eing ese tzt werden. An das TeS 304 mit Best. Nr. PM COl 45 0 A kannen Dreh schiebervakuumpumpen mit Dreh strommotoren bis max. 1,1 kW bei min. 3 x 208 V angeschlossen werden. - Kuhlaggregat TZK - Luftkuhlung - Ventil steuergerat leV mit Hochvakuumventil. Flutventil Rezipient und Flutve ntil TVF 012 - Flutsteuergerat TCF mit Flutventil TVF 012 - Stromausfallfluter TSF 01 0 - Fernb edienung, Pumpst and EIN/AUS Aile Zub eh6rgerate sind in die Verriegelun9 einbezogen. Achtung l Das TeS 304 ist nur filr den Einsatz an Turbopumpstanden vorg esehen und kann von diesen getrennl nicht verwendet werden. Fur getrennte Aufstellung von Pumpe und Steuerung ist das r es 304 R (Rackausfuhrung) bestimmt. Betriebsanweisung TCS 304/ 304R: PM 800 192 BD, E, F 3,3 Application with Pumping Unit Control TCS 304/304R Wiring diagram PM 031 129 -So 3.3 Utilisation avec commande de groupe de pompage TCS 304/304R Schema de connexion s PM 031 129 -5. Fig . 5 'rcs 304 With thi s type of application. the following accessory units C(;ln be connected: At the rear of the rep 380: - Heater for turbo pump - Venting valve lSF 012 - lCS 304/ 304R ro the res 304/304R: - Cooling water monitor TCW - Backing pump up to a ma x. connected load of 550 VA, single-phase. When rotary vane vacuum pumps w ith threepha se AC motors are used, a thermist or pcb (wiring diagram PM 021 919 -S) must be empl oyed. Rotary vane vacuum pump s with threeph as e AC motors up to ma x. 1.1 kW at min . 3x 208 V can be conn ect ed to the TCS 304, order nr. PM COl 4 50 A. _ Cooling unit TZK _ Air cooling _ Valve control unit leV with high va cuum valve, venting valve for vacuum chamber and vent ing va lve TVF 012 - Venting control unit TCF with venting valve TVF 012 _ Em erg ency venting valve TSF 01 0 - Rem ote co ntrol, pumping unit ON / OFF All accessory units are integrated into the interlock. Attention! rhe r e s 304 has only been designed for use with turbo pumping units and cannot be used separately. The res 304 R (rack model) is available for installation of the pump and control at different locations. Operating instructions for the TCS 304/ 304R: PM 800 192 BD, E, F Ce genre d'utilisation permet I'emploi des acc ess oires suivants: Au dos de la rep 380: - Chautferette de la pompa culaire - Vanne de remise I' air TSF 012 - TCS 304/ 304R a Sur la res 304/304R elle-meme: - Contr61 eur de I'eau de refroidissement TCW - Pompe vide primaire d'une pui ss ance maxi de 550 VA monopha se. Lars de I'utilisation des pam pes vide rotatives it palettes it moteurs it courant tri ph ase, on devra avoir recours a une plaqu e iI Circuits imprimes th ermi stance (Schema de connexions PM 021 919 - S). La commande TCS 304, reference PM COl 450 A, p eut recevoir des pam pes vide rotatives it palettes pour courant tri phase d' une pui ssance ma xi de 1,1 kWa 3x2 08 V minimum. - Groupe de refroidissement TZK - Refroidi ss ement par air - Comm ande de vanne TCV avec vanne de vide pousse, vanne de remise I'air de I'en ceintre et vanne de remi se I'air TVF 012 - Commande de remise I'air TeF avec vanne TVF 012 - Commande de remise I'air en ca s de coupure de tension TSF 010 - Tele commande (pour 10 MARCHE/ ARRET du groupe de pomp agel a a a a a a a Tous ces accessoires peuvent etre veren consequence. Attention l La commande TeS 304 n 'est prevue que pour etre utilisee sur des groupes de p ompsge et ne peut en aucun cas eIre employee separement. Pour un emploi separe, c'est-a-dire autonome de la commande, pre voir alors d'utiliser Ie m odele TeS 304 R (en version rack). Instruction de service de la TCS 304/ 304R : PM 800 192 BD, E, F 6 4 AnschlOsse 4 Connections 4 Raccordements Heizung H eating Chauffage I Netz ode r Pump s tand steue rung M ains or pumping unit con tro l I I Secteur ouappareil de commande I I Schnittstell e Interface Fernbedi e nung Remote co n t rol T e l ecommande Dll Schalter OIL s wit c h Commutateures DIP X5 Fig.6 8 Kabel 16 Verriegelung 17 Schneidschraube , 8 Schraube 19 X5 AnschluP., TCP X8 Anschlur.!. Turbopumpe 8 X8 8 Cable 16 Interlock 17 Tab screw 18 Screw 1 9 Bayonet catch X5 Connection to TCP X8 Connection to turbo pump 8 Cable 16 Verrouilluge 17 Vis aLitotaraudeuse 18 Boulon 19 Fermeture a bai'onnette X5 Raccordement sur la TCP X8 RuCGordement sur 18 pompe tLi rbo III (\ 11"c Lila i re 4.1 Net. 4.1 Mains 4.1 Branchement secteur Der NetzanschluB ist nach den ortlichen Bestimmungen auszufuhren. Die Antriebselektronik Tep 380 ist fUr Netzspannungen von 100-240V ± 10%.50-60 Hz ausgelegt. Der NetzanschluB erfolgt nach Schaltplan PM 021 949 oS, Fig. 7, an der 16-poligeo Messerleiste X4. The mains connection must be made according to local regulations. The Electronic Drive Unit TCP 380 has been designed for mains voltages from 100 - 240 V ±1 0 %, 50 - 60 Hz; connection to the mains is made according to wiring diagram PM 021 949 -5, Fig.7, at the 16-poles multiple plug X4. Bei Betrieb am 60 Hz Netz mit Spannung > 250 V erfolgt Fehleranzeige "Uberspannung". When operating at 60 Hz mains with voltage> 250 V the error message "excess voltage" is displayed. Les branchements sur Ie reseau secteur sont reconduire selon les prescriptions locales. La commande electronique TCP 380 est prevue pour des tensions secteur de 100 240 V ±1 0 % 50 ou 60 Hz. Les branchements eux-memes sont accomplis comme indiques par Ie schema de connexions PM 021 949 -5 (Fig. 7). par I'intermediaire du connecteur X4 16 broches. a a a Lors d'un fonctionnement sur reseau 60 Hz avec tension> 250 V, apparalt !'annonce d'erreur "surtension". 7 4. 1. 1 Be/egung der Netzsteckerleiste 4. 1. 1 Pin Assignment of the Mains X4: a1 Netzphase (L 1) bei Direkteinspeisung a2 Netzneutral IN) a3 Heizung extern a4 Hochlaufzeitsperre, Hochlaufzeitliberwachung ist nicht aktiv solange dieser Eingang mit a5 (0 V) verbunden ist. a5 Geratemasse, 0 V a6 Stand-by extern, Stand-by Betrieb solange dieser Eingang mit a5 verbunden ist. a7 42 V Ausgang, zur Ansteuerung des Relais im TCS 303, wird im Storungsfall stromlos, kurzschluBfest durch Kaltleiter. a8 SchutzleiteranschluB (PE) bl Schaltseite Netzschalter b2 Netzphase IL 1) bei Schalterbetrieb b3 Schaltseite Netzschalter b4 Kontakt Uberwachungsrelais K2 b5 Gemeinsamer AnschluB der Kontakte von Uberwachungs- und Schaltpunktrelais Kl und K2 b6 Kontakt Schaltpunktrelais K1 b7 Uberwachung Pumpstand, nur in Verbindung mit TCS 303, 304 liefert die Fehlerinformation von Klihlwasserwachter und Vorvakuumpumpe an die TCP 380. b8 Reset extern, Quittierung eines Fehlers. a1 a2 a3 a4 a5 a6 a7 a8 bl b2 b3 b4 b5 b6 b7 b8 4.1.1 Affectation des broches du connecteur X4: a1 Phase secteur (L 1), en cas d'alimentation directe. a2 Neutre IN). a3 Chaufferette externe. a4 Retardeur de demarrage, Ie dispositif de surveillance du demarrage n'etant pas actif tant que cette entree est reliee avec a5 (OV). a5 Masse des appareils, av. a6 Stand-by externe, fonctionnement Stand-by tant que cette entree est reliee avec a5. a7 Sortie 42 V, pour I'asservissement des relais de la TCS 303, est placee hors courant en cas de detaillance, resiste aux court- circuits (circuit PTC). a8 Circuit de protection (PE). bl Commutateur secteur, cote interrupteur. b2 Phase secteur (L 1), en fonctionnement avec commutateur. b3 Commutateur secteur, cote interrupteur. b4 Contact du relais de surveillance K2 b5 Broche sommune des contacts des relais de surveillance et de commutation de regime Kl et K2. b6 Contact du relais de commutation de regime Kl. b7 Surveillance du groupe de pompage, seulement en relation avec la commande TCS 303 ou 304, livre it la TCP 380 les messages d'erreur du controleur de I'eau de refroidissement et de la pompe vide primaire. b8 Reset externe, acquittement d'une erreur intervenue. Connector X4: Mains phase (L 1) for direct supply Mains neutral (N) Heater, external Run-up time lock, run-up time monitoring not active as long as this input is connected to a5 (0 V). Unit ground, 0 V. Stand-by, external; stand-by operation as long as this input is connected to a5. 42 V output, to control the relay of TCS 303, is currentless during an error, short-circuit proof due to PTC resistor. Protective earth connection (PE). Switching side, power switch Mains phase (L 1) for switch operation. Switching side, power switch. Contact, monitoring relay K2 Common connection of the contacts of monitoring and switchpoint relays Kl and K2. Contact. switch-point relay Kl Pumping unit monitoring, only together with TCS 303, 304, provides the error messages from the cooling water monitor and backing pump to the TCP 380. Reset external, error acknowledgment. a 1 1 _ I'--T-'-f I J' X2 1 '1 4 "'e'" I IA B [ .. I 0 [II I I I K L f' G [" I ..---TI I N I I I I IXB" f-t-fl f f f f f I-H-f-f r r ---P-M-0-31 0::':" 1 y" y" y" y, Y'l y" - J'"' XC,IUl ± "' w-l-c:::JVl ,, '! " ,, " " 0 , , < j ! 0.', 0 • ,; " r Fig.7 Anschluf1plan PM 021 949-S 8 "7E Connection diagram PM 021 949 -S r Schema de raccordement PM 021949-S 8 X5 4.2 Turbopumpe 4.2 Turbo Pump - AnschluBkabel 8 beidseitig mit Steckverbindung; maximale Kabellange 100 m. - AnschluB an der Tep Steckverbindung X5, an der Turbopumpe Steckverbindung X8. Fig. 6. - Stecker X5 und Steckdose X8 mussen nach dem Einstecken verriegelt bzw. vor dem Trennen entriegelt werden. - Verriegelung X5: Verriegelung 16 einlegen und mit Schneidschraube 17 anschrauben. - Verriegelung X8: Nach dem Einrasten des Bajonettverschlusses Schraube 18 leicht anziehen. - Die Verriegelungsteile werden als Beipack mitgeliefert. Achtung! Be; Pumpen ohne Betriebsmittelsensor (Standardpumpen), mu13 eine Brucke zwischen S und F auf der RiJckseite des Steckers der Turbopumpe (Fig. 8) vorhanden sein, bzw. var Inbetriebnahme angebracht werden. Fehlt diese, wird bei Normalbetrieb an der rep 380 Betriebsmittelmangel angezeigt! 4.2 Pompe turbomoleculaire - Connecting cable 8, both ends with connector; maximum cable length 100 meters. - Connection to TCP connector X5, at turbo pump connector X8, Fig. 6. - Plug X5 and socket X8 must be locked after plugging in or unlocked before they are unplugged. - Lock X5: Insert lock 16 and screw on using tap screw 17. - Lock X8: After the bayonet catch has locked, slightly tighten screw 18. - The locking components are supplied together with the unit. - Cable de liaison (8), pourvu de connecteurs des deux cotes, longueur maxi: 100 m. - Raccordement la TCP par I'intermediaire du connecteur X5, la pompe turbomoJeculaire par Ie connecteur X8, Fig. 6. - Le connecteur X5 et la douille X8 sont verrouiller apres jonction (agrafe mecanique), ou deverrouiller avant separation. - Verrouillage X5: mettre en place I'agrafe (16) et la visser au moyen de la vis autotaraudeuse (17). - Verrouillage X8: serrer moderement la Attention! vis (18) apres enclenchement de la ferIn the case of pumps without operating meture baYonnette. medium sensor (standard pumps), a - Les pieces de verrouillage sont livrees bridge must be fitted between Sand F avec la commande. on rear of male connector on turbo pump (Fig. 8) or fitted before putting Attention! the unit into service. If this ;s missing, Sur les pompes sans dt§tecteur d'agent low operating medium level is dismoteur (versions standard), if est played during standard operation at imperatif de realiser un pontage entre the TCP 380! Set Fa I'arriere du connecteur de la pompe turbo (Fig. 8), au plus tard avant leur mise en service, faute de quoi, fa commande affichera en permanence durant fe service normal /'erreur agent moteur epuise! a a a a a _._._._., i TP H/TPU .j , @ "' xr -l 1;, - 15< H' I X8 8 X5 1 2 3 4 5 6 7 8 9 Fig.8 Antrieb Turbopumpe Drive, turbo pump grau gelb schwarz blau grun grey yellow black white blue green cot ced grun/ gelb braun green/ yellow brown gns jaune noir blanc bleu vert rouge vert/ jaune brun Entrainement de la pompe turbomoleculaire 9 4.3 luftklihlung - Bei den TPH/TPU 060, 180 H, 190, 240,450 H und 520 die Luftkuhlung gemiif3, Netzspannung ausgewahlt werden! - Die Ventilatoren fur TPH/TPU 330/510 sind fur 110 V, 50/60 Hz ausgelegt. Der elektrische AnschluB erfolgt nach Fig. 7. - Die Zuleitung fur die Ventilatoren (PE, L, N) wird an Stecker X2 angeschlossen. - Die Luftkuhlung lauft nuch Betatigung des Netzschalters Sl sofort an. 4.3 Air Cooling - For the turbo-molecular pumps TPH/ TPU 060, 180 H, 190.240,450 Hand 520, the air cooling must be selected according to the mains voltage! - The fans for the TPH/TPU 330/510 are designed for 110 V, 50/60 Hz. Electrical connection is made as shown in Fig. 7. - The supply cable for the fans (PE, L, N) is connected to plug X2. - The air cooling fan starts immediately after the power switch Sl has been operated. 4.3 Refroidissement par air - Sur les pompes turbomoleculaire TPH/ TPU 060, 180 H. 190,240, 450 H et 520, il convient de selectionner refroidissement par air en fonction de la tension secteur disponible! - Les ventilateurs pour les TPH/ TPU 330/510 sont prevus pour une tensionde 110 V 50/60 Hz. Branchement electrique: voir Fig. 7. - Le dible d'alimentation des ventilateurs (PE, L, N) est relie par I'intermediaire du connecteur X2. - Le refroidissement par air est mis en marche sit6t apres actionnement du commutateur Sl. 8ei 110V Netzspannung At mains voltage ot 11 OV Pour tension de reseau de 110 V PE llN Bei 220V Netzsrannung At mains voltage of 220 V Pour tension de res860 V Excess vo ltage +48 V, UL 9.2 Liste des messages d"erreurs Erreurs affichees : ------,--------------------Sur-regime. f = fflnal . 1.05 > 60 V Surt ension + 4S V, UL > 60 V 03 E003 04 E004 Vibra lion, X16/12 akliv Vibration, X16/12 aclive Vibrations, X 16 / 12 active Re se rvefehlereingang. X16/ 7 aktiv Spare erro r in put, X16/7 active Entre e de reserve. 16/ 7 active 05 Pu mpslandtehler, X16 / 1 0 akliv Pumping unit error, X16/1 0 active Erreur du groupe de pompage, X 16/1 0 aClive Run-up time expi red and f < switch-point Temps de demarrage eCQule et f < point de commutat ion E005 < 06 E006 Hochlaufzeit abgelaufen und f Schallpunkl 07 Betriebsmittelmangel, nach Verz6gerun g 20 sek Low operating medium level, after a delay ot 20 sec Agent moteur epuise, au bout d'une temporisation d e 20 s OS EOOS Pumpenstecker abgezogen IU7 > 5 Voll) Pump plug unplugged IU7 > 5 volts) 09 E009 Stroml1fa d a1 unterbrochen (UM > 44 Vo lt) Current p ath a 1 interrupted (UM > 44 vo lls) Connecteur de pompe retire IU7 > 5 volts) Circuit a 1 interrompu (UM > 44 vo lts) 10 E010 Dreh zahlregelung defekt (analog oder digitital) Rota tion speed control defecti ve (ana log ue or digital) Regulateur de regime d efectu eux (ana logiq ue au numerique) 11 Hall sondenversorgung Uh E00 7 E011 >9 Diese Fehl er werden nur im Betrieb des Gerates erkannt und dargestellt, sie fUhren in jedem Faile zu einer Abschaltung der Turbopumpe bzw. des Pump standes . rCl' 3110 Vo lt Hall probe supply Uh > 9 vo lts These errors are only detected and displayed during operation of the unit; in any case they lead to the turbo pump or pumping unit being switched off. PFEIFFER Alimentation des sondes de Hall Uh > 9 vo lts Ces erre urs ne son t que durant Ie fonctionnement de I'appareil et entrainent automatiquement I'arret de la pompe tur bomoleculaire au du groupe de pompage. VACUUM '!t OJ Fig .17 Bei::;pie ! Fehleranze ige Example for erro r display Exemp le (j 'uff lchage lJ 'e rreur 27 Folgende Fehlermeldungen folgen aus dem Selbsttest: The following error messages result from the self-test: Erreurs detectees durant un auto-test: < 21 E021 Programmierspan nu ng U7 < 0.8 V. Fehler in Drehzah Iprogram m ierschaltung < 0.8 V, Programming voltage U7 error in rotation speed programming circuit Tension de programmation U7 0,8 V, Erreur au niveau du circuit de programmation du regime 22 E022 Program m ierspannung U7 > 5 V, Pumpenstecker abgezogen Programming voltage U7 > 5 V, pump plug unplugged Tension de programmation U7 > 5 V, Connecteur de pompe retire < 90 V Mains voltage < 90 V Tension secteur < 90 V 23 E023 Netzspannung 24 E024 Netzspannung > 265 V Mains voltage> 265 V Tension secteur > 265 V 25 E025 UL < 43 V, Fehler im Pri ma rsch a It netztei I UL < 43 V, error in primary circuit power pack UL < 43 V, Erreur au niveau du bloc primaire d'alimentation 26 E026 UL> 60 V, Fehler im Pri ma rschaltnetzteil UL > 60 V, error in primary circuit power pack UL> 60 V, Erreur au niveau du bloc primaire d'alimentation < 5,05 V, < 5.05 < 5,05 V, 27 E027 UR 28 E028 UR > 5.15 V, SG3525 defekt UR > 5.15 V, SG3525 defective UR > 5,15 V, SG3525 defectueux 29 E029 UM > 30 V, PIC 626 kurzgeschlossen UM > 30 V, PIC 626 shorted UM > 30 V, PIC 626 en courtcircuit 30 E030 U5 < 4 V, Hallsondenversorgung defekt oder KurzschluB einer Hallsonde U5 < 4 V, Hall probe supply defective, or short circuit in a Hall probe U5 < 4 V, Erreur au niveau de I'alimentation des sondes Hall, ou court-circuit sur une sonde 31 E031 U5 > 9 V. Unterbrechung des Hallsondenpfades U5 > 9 V, interruption in Hall probe path U5 > 9 V, Circuit d'alimentation des sondes de Hall interrompu 32 E032 UV < 14,5 V, Interne Versorgung zu gering UV < 14.5 V, internal supply insufficient UV < 14,5 V, Alimentation interne insuffisante 33 E033 UV> 15,5 V, Interne Versorgung zu hoch, SNT -Fehler UV> 15.5 V, internal supply excessive, SNT error UV> 15,5 V, Alimentation interne trop elevee (Erreur SNT) SG3525 defekt UR V, SG3525 defective UR SG3525 detectueux 34 E034 UM < 30 V, PIC - Ansteuerung UM < 30 V, PIC control defective. defekt oder Ubertemperatur Pumpe or excess temperature of pump 35 Frequenzsimulation mit Enddrehzahl UF < 9,8 V Fehler oder Fehlabgleich Drehzahlmesser Frequency simulation with ultimate rotation speed, UF < 9.8 V Error or erroneous balancing of revolution counter Frequenzsimulation mit Enddrehzahl. UF > 10,2 V Fehler oder Fehlabgleich Drehzahlmesser Frequency simulation with ultimate rotation speed, UF> 10.2 V Error or erroneous balancing of revol ution cou nter UM < 30 V und Endstufe gesperrt, KurzschlufS eines Endstufentransistors UM < 30 V and output stage locked, short circuit of an output stage transistor UM < 30 V et etage final verrouille, court-circuit d'un transistor Frequenzsimulation mit Enddrehzahl· 1,04, Stromsollwert US> 0,8 V, Fehler oder Fehlabgleich Drehzahlregler Frequency simulation with ultimate rotation speed 1.04, current reference value US > 0.8 V error or erroneous balancing of rotation speed control Simulation de frequence avec final 1,04, Consigne de courant US> 0,8 V, Erreur ou dereglage du regulateur de regime 36 37 E035 E036 E037 38 E038 Wahrend des Selbsttests erscheint auf der LC-Anzeige "SELF". Nach erfolgreichem Test arbeitet das normale Betriebsprogramm und auf der Anzeige wird die Drehzahl der Pumpe dargestellt. 28 During the self-test, "SELF" is displayed on the LC display. After the test has been successfully completed, the standard operating program starts running, and the display shows the rotation speed of the pump. UM < 30 V. Commande PIC detectueuse ou surchauffe de la pompe Simulation de frequence avec regime final UF < 9,8 V Erreur ou dereglage du compte-tours Simulation de frequence avec regime final UF > 10,2 V Erreur ou dereglage du compte-tours Durant I'auto-test, la visu numerique affiche Ie mot "SELF". L'auto-test execute sans erreurs, Ie programme d'exploitation est alors lance et la visu affiche Ie regime de la pompeo 9.3 Ausgewertete Analogspannungen beim 5elbsttest Nr. No. No. 9.3 Analvzed Analogue Voltages during 5elf- Testing Name Name Objet ADC-Pin ADC Pin Pin CAN Verwendung in Used in Utilise en mode "SELF"· Betrieb Operation Normal Therm ofuhler TCP Therm al sensor, TCP Sonde thermique TCP 38 X 2 Hallso ndenversorgung Hall p robe supply Alime ntation sonde Hall 39 X 3 Therm ofLihler Pumpe Therm al sensor, pump Sonde thermique pompe 40 X 4 Progra mmierspannung Progra mming voltage Tensio n programmation 1 X 5 nicht b elegt not as signed (Iibre) 2 6 Verso rgung +15 V Suppl Y +15 V Alimen tation +15 V 3 X 7 Analog drehzahl Analog ue rotation speed Regim e analogique 4 X 5 X 9.3 Tensions analogiques evaluees lors de I'auto-test ._-- X X -- --+ 8 Refere nzspannung X Refere nee voltage Tensio n de reference 9 Strom sollwert Refere nee current Coura nt de consigne 6 X 10 Drehza hlspannung (5 V b ei Enddrehz.) Rotatio n speed voltage (5 V at ultimate rotatio n speed) Tensio n de regime (5 Vau regime nominal) 7 X 11 Hilfssp annung Auxilia ry voltage Tensio n auxiliaire 8 X 13 Motors pannung Motor voltage Tensio n de moteur 10 X 14 Strom istwert Actual current value Couran t reel 11 X 15 Zwisch enkreis +48 V Interm ediate circuit +48 V Circuit intermediaire +48 V 12 X X X 29 9.4 Erweiterte Testmoglichl(eiten Wahrend des normalen Betriebsprogrammes oder nach einem Selbsttest mit Fehleranzeige werden durch Einschalten des DIL-Schalters S14/4 weitere Testmoglichkeiten eroffnet. Die angezeigten Daten werden durch die vorausgestellte Nummerierung von 0 ... 9 und die darstellbaren Buchstaben A, b, C, d, E, F gekennzeichnet. Die Pfeilreihe bleibt dabei komplett abgeschaltet, die entsprechenden Einheiten werden passend angezeigt. Foigende erweiterte Testmessungen sind programmiert: 9.4 Extended Testing Possibilities During the normal operating program or after a self-test with error indication, further checking possibilities are provided by switching on the OIL switch 14/4. The displayed data is identified by prefix numbering from 9 and the allocated letters A, b, C, d, E, F. The cursor block remains completely off during this, and the appropriate units are suitably displayed. The following extended test measurements are programmed: o ... 9.4 Autres possibilites de tests Durant Ie fonctionnement normal de la commande, ou apres un auto-test en erreur, d'autres possibilites de test sont rendues possibles en positionnant Ie commutateur DIP S14/4 sur 1. Les donnees affichees sont precedees d'un chiffre de 0 a 9 et d'une lettre A, b, C, d, E au F). La rangee affectee aux fleches demeure dans ce cas obscure et les unites sont affichees en consequence. Les mesures suivantes sont possibles: MESSUNG MEASUREMENT MESURAGE ANZEIGE DISPLAY INDICATION 8 9 A b C d Thermospannung TCP Thermospannung Pumpe H aliso n de nverso rg u n 9 Programm ierspan nu ng Versorgungsspannung + 15 V Analogdrehzahl Referenzspannung Stromsollwert Drehzahlspannung Hilfsspannung Motorspannung Stromistwert Zwischenkreisspannung +48 V Tension thermique TCP Tension thermique pompe Alimentation sonde de Hall Tension programmation Tension d'alimentation + 15 V Regime analogique Tension de reterence Courant de consigne Tension de regime Tension auxiliaires Tension du moteur Courant reel Tension intermediaire +48 V U T [V] U 6 [V] U" [V] U 7 [V] U v [V] U F [V] U R [V] Us [V] U o [V] U H [V] U M [V] U, [A] U L [V] E F Abgelaufene Hochlaufzeit Restliche Hochlaufzeit Thermal voltage, TCP Thermal voltage, pump Hall probe supply Programming voltage Supply voltage + 15 V Analogue rotation speed Reference voltage Reference current Rotation speed voltage Auxiliary voltage Motor voltage Actual current Intermediate circuit voltage +48 V Expired run-up time Remaining run-up time Temps de demarrage ecoule Temps restant [min] [min] 1 2 3 4 5 6 7 - 9.5 Gestorter Betrieb Bei Unregelmaf?,igkeiten wahrend des Betriebes die von der Elektronik erkannt werden, wird der Pumpenantrieb ausgeschaltet. Auf dem Display wird der Fehler verschllisselt mit "E" .... und einer nachgestellten Zahl angezeigt (siehe Fehlerliste, Abschnitt 9.2). Gemeinsames Betatigen der Eingabetasten ergibt die Moglichkeit die einzelnen Menudaten zum Zeitpunkt der Storung anzuzeigen, z.B. Fehlermeldung E001 [Uberdrehzahl). Durch anschlieBendes Verschieben des Menupfeils mit S12 oder S13 nach links oder rechts wird die gewlinschte Information zum Zeitpunkt der Storungsmeldung angezeigt (hier z.B. Drehzahl), erneutes gemeinsames Betatigen der Eingabetasten ergibt wieder die Fehleranzeige E001. Erneutes Einschalten mit "Reset", siehe Abschnitl 7.4. 30 9.5 Defective Operation During irregularities in operation which are detected by the electronics, the pump drive is stopped. The display shows the error, coded by "E" .... and a suffix number (see List of Errors, Section 9.2). When the entry keys 512, S13 are actuated jointly, it is possible to display the individual menu data at the time of the error, e.g. error message EOOl (excess rotation speed). When the menu cursor is moved to the left or right via S 12 or S 13, the desired information at the time of the error is displayed (here, for example, the rotation speed); if again the entry keys are actuated jointly the error message EOOl re-appears. Restarting using "Reset", see Section 7.4. 9.5 Service en derangement A I'occurrence de detaillances quelconques durant Ie service, detectees par I'electronique, l'entraTnement de la pompe est instantanement arrete. La visu affiche alors un message d'erreur code ("E .... ", voir section 9.2 "Liste des messages d'erreurs"). Une action simultanee des touches d'introduction permet de faire afficher I'etat des donnees respectives au moment au la detail lance est intervenue, par exemple Ie message EOOl (sur-regime). En deplayant ensuite la fleche au moyen de la touche S 12 ou S 13 vers la gauche ou vers la droite, I'information desiree est alars affichee, telle qu'elle etait au moment au elle est intervenue (dans cet exemple, la vitesse exacte ayant entraine Ie message de surregime). Une nouvelle action simultanee sur les touches d'introduction ramene I'affichage E001. Remise en marche et relance de la commande: d'abord acquitter I'erreur au moyen de la touche Reset (voir section 7.4). Jede erkannte Betriebsstorung fuhrt zum Sperren der Motorendstufe und Motorstromregelung. Es werden generell aile Relais ausgeschaltet. Zur Anzeige des gestorten Betriebes leuchtet die rote Sammelstorungsmeldung Every time irregular operation is detected, the motor output stage and motor current control are blocked. Generally, all relays are switched off. To display irregular operation, the red collective error display 22 lights up. Toute erreur d8tectee entraine Ie verrouillage de 1'8tage final du moteur et de la regulation. Tous les relais sont desactives. Pour indiquer un service en derangement, Ie temoin rouge (22) est allume. On the LC display, all status displays at the time of the error are maintained, and the actual rotation speed is continuously provided by the quasi analogue display (Section 6.2) only. L8 visu affiche tous les Mats au moment ou I'erreur est intervenue, seule I'instrument analogique (Section 6.2) continue d'afficher Ie regime actuel. In the case of errors in the computer area, a safety shut-down feature becomes active which switches off the motor current control and the motor output stage and produces a continuous processor reset. This prevents incorrect controls by the microprocessor. En cas de defaillances de I'ordinateur, un [)fret de securite est alors active, agissant sur Ie regulateur du moteur et sur I'etage final de celui-ci, et une routine de relance du processeur est alors activee. Ceci permet d'eviter tout risque de controle errone de la part du microprocesseur. On the LC display, these errors cannot be displayed in a defined manner. If the error cannot be corrected by switching off and on, there is a computer defect. The unit must be exch[lnged. La visu de permet pas toutefois de faire afficher ces erreurs de maniere definie. Une erreur qui ne pourrait etre annulee par Ie simple arret et la remise en marche de la commande provient vraisemblablement d'une defaillance au niveau de I'ordinateur. Dans ce cas il faudra echanger purement et simplement I'appareil. 22 auf. Auf dem LC-Display bleiben aile Statusanzeigen zum Zeitpunkt der Storung erhalten, nur auf der Quasianaloganzeige (Abschnitt 6.2) wird standig der aktuelle Drehzahlwert angezeigt. Bei St6rungen im Rechnerbereich wird eine Sicherheitsabschaltung aktiv, wei':: che den Motorstromregler und die Motorendstufe abschaltet sowie einen dauernden Prozessor-Reset erzeugt. Fehlsteuerungen durch den Mikroprozessor werden dadurch ausgeschlossen. Am LC-Display konnen diese Fehler nicht definiert angezeigt werden. Kann durch Aus- und Einschalten der Fehler nicht behoben werden, liegt ein Defekt im Rechnerbereich vor. Das Gerat muf3. dann ausgetauscht werden. 9.6 Einsendung zur Reparatur ins Service-Center Verstandigen Sie bitte bei auftretenden Schwierigkeiten Ihren zustandigen Balzers-Service. Reparaturauftrage werden ausschliefSlich aufgrund unserer [Il1gemeinen Lieferungsbedingungen durchgefuhrt. Fur Reparaturen gilt eine Gewahrleistungszeit von 6 Monaten. Reparaturen werden ohne Ruckfrage ausgefuhrt, wenn die Reparaturkosten nicht mehr als 50% des Artikel-Neuwertes bzw. nicht mehr als DM 5.000,-- betragen. 9.6 Returning to Service Center for Repair We request th8t you contact the Balzers Service Center responsible for you should problems arise. All repairs orders are carried out on the basis of our General Terms of Delivery only. For repairs the warranty period is 6 months. Repair work is performed without checkback if the repair costs do not exceed 50 % of the nominal value of the article or DM 5,000.00. 9.6 Renvoi au Centre de Service Apres-Vente pour reparation En cas de problemes quelconques, n'hesitez pas a contacter I'agence Balzers la plus proche dans votre district. Les ordres de reparation ne peuvent etre reconduits que sur la base de nos conditions generales. Nous accordons aux appareils repares par nos services apres vente une garantie de 6 mois. Un ordre de reparation est execute sans que I'accord du client ne soit sollicite, dans la mesure ou les frais entraines par cette reparation n'excedent pas 50% du prix neuf de I'article concerne et ne depassent pas la somme de 5.000,00 DM. 31 10 Ersatzteile Ersa1zteilliste 10 Spare parts 10 Pieces de rechange I Spare parts list / Pieces de rechange PM 800 188 BO,E.F/ TCP 380 Pos. Item Pos. Benennung I Description / Designation Stuck Quantity Pieces Nc. No. No. de cat. Lutter /Fil n/Vent ilateur Flanschdose-3 polig/Flange socket, 3 poles/ Prise de courant de bride, 3-poles Flanschdose-3 polig/Flange socket, 3 poles/ Prise de courant de bride, 5-poles Pabst 814 P0920 30SE 2 P0920 357E G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F4 G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F 1,3 0,5 AT 4,0 AT 1 2 P 4666 430 P 4666 448 G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F2 Relais/Relay/Relais K 1, K 2, K 3 0,5 AF AZ 2732-510-52 1 3 P 0920335 E P0920 356E P 0920334 E --- Trafo/T ransformer/Transformateur T1 Diode/Diode/Diode V2 Netzschalter/Mains switch/lnterupteur-secteur S1 Tastschalter/Push-button/ Bouton poussoir S2 BV 9351 220V/55V P 0920 491 E 1 N 4007 P 0920 453 E NE 2U EE P 0920 495 E SF 2U EE P 0920 496 E HEF 4046 BP P 0920 489 E 11 IC/IG/IC Dl TC 4028 BP P0920476El) T ra nsistor/Tra nsistor/Tra nsistor V35 Be 327-25 P 0920 485 E 11 Displayprint/Display print/Carte imprime de LCD IC/IC/IC 03 PM 021704-X PM 021703-X Steuerprint/Control print/Carte imprime de com man de Transistor/T ra nsistor IT ransistor V37 Transistor/Transistor/Transistor V38 Be 546 B IC/IC/IC N 1,2 BC337-16 SG 3525 AN Schaltnetzteilprint/Switching print for input unit/ Carte imprime d'alimentation Heir..leiter/Thermistor/Thermistor R2 Diode/Diode/Diode V2,3,4,5 20,4W BVV 95C TG 6 1 A-BOO Transistor/Transistor/Transistor V21 Transistor /Transistor/T ransistor V2 2,2 3 le/lc/lc N 1 Be 546 B Relais/Relay/Relais K5 Steueni bertrager/Control tra nslator/ Translateur de commande T2 Gleich richter/Rectifier/Red resseur V 1 AZ 2735 Endstufenprint/Final stage print/ Carte imprime etage finale Diode/Diode/Diode V5,6,7,8 Diode/Diode/Diode V18 P 0920 374 E 1) P 0920 331 E P 0920 190 E PM 021701 -X Diode/Diode/Diode VB,9, 1 0,1 Oa Diode/Diode/Diode V11, 12,24 Diode/Diode/Diode V15, 16 Transistor /T ransistor /T ransistor V19,20,19a,20a Diode/Diode/Diode V 17,18 1 1 2 1 N 5819 ZD 15 BC 327-4D L 387 P0920193E 4 P 0920 461 E 1) 4 3 2 P 0920 463 E 11 P 0920 230 E 11 1 2 1 P 0920 462 E P 0920 374 E 1) P 0920 341 E 1) P 0920 465 E 1) P 0920279 E P 0920339 E P 0920 474 E KBU BK IRFP 450 BYT 30P-BOO 4 2 P 0920 475 E P 0920 300 E BYW 95C BYV 95C 1 4 1 PM 021702-X P0920361 El) P0920461 Ell BC 546 B 2 P 0920374 E 11 P 0920 455 E 11 P 0920279 E 4 P 0920 459 E P 0920 307 E Trilnsistor/Transistor/T ransistor V21 ,22 Transistor/Transistor/Transistor V17 Relais/Relay/Relais K4 BD 139-10 AZ 2735 Transistor/Transistor/Transistor V1 ,2,3,4 IRFP 243 MOS-FET IC/IC/IC V19 PIC 646 Rechnerprint/Computer print/ Carte imprime ordinateur IC/le/le 01 CPU 4 MHz IC/IC/IC D9 EEPROM 1 K Ie/Ie/Ie 07 Stecker-3 polig/Plug connector, 3 poles/ Fiche,3-poles Stecker-5 polig/Plug connector, 5 poles/ Fiche, 5-poles Stecker-15 polig/Plug connector, 15 poles/ Fiche-l 5 poles EPROM 250 ns PM 021 700-X P D920 435 E P 0920 440 E NMC 9346 11 Lieferung im 5-er Pack/Supplied in packs of five/ Livraison par paquets de 5. 32 1) P 0920 451 E P 0920 358 E P 0920 359 E P 0920 434 E 11 Sehaltplane 11 Wiring Diagrams 11.1 Legende zu den 1 Ki..ihlwasserwachter leW 2 Drehschiebervakuumpumpe! Membranvakuumpumpe 3 Luftkuhlung oder Kiihlaggregat TZK 3a Luftki..ihlung kann mit Stecker vom TCP direkt angeschlossen werden 4 Heizung Turbopumpe 5 Flutgerat TCF 6 Flutventil TVF 7 Hochvakuurnventil 8 Kabel TCP-Turbopumpe 9 Flutventil Rezipient 11 Fernbedienung 13 Ventilsteuergerat TeV 17 Turbopumpe 18 Antriebselektronik TCP 19 Flutventil TSF 11.1 Legend for wiring diagrams 1 leW cooling water monitor 2 Rotary vane vacuum pump/ Diaphragm pump 3 Air cooling, or TZK cooling unit 3aAir Cooling can be connected directly with the TCP connector 4 Turbo pump heater 5 TCF venting control unit 6 TVF venting valve 7 High vacuum valve 8 Cable turbo pump - electronic drive unit 9 Vacuum chamber venting valve 11 Remote control 13 TCV valve control unit 17 Turbo pump 18 Electronic drive unit TCP 19 Venting valve TSF A NetzanschluB B NetzanschluB fOr Fernbedienung S 1 S 2 S 3 S 4 S 5 S 6 S 9 S10 S14 Pumpstand EIN/AUS Heizung EIN/AUS Reset Pumpstand (in Fernbedienung) Heizung (in Fernbedienung) Reset (in Fernbedienung) Stand-by Stand-by extern DIL-Schalter Beim AnschluB eines TCW, Brucke entfernen. 2) Bei Raurntemperatur 24°C, 1 - 3 geschlossen. 3) Bei Fernbedienung, Brucke entfernen. 8) Bei AnschlulS siner Membranpumpe ohne Temperaturschalter, gebruckt. A Mains B Mains for remote control S 1 S 2 S 3 S 4 S 5 S 6 S 9 S 10 S14 Pumping unit ON/OFF Heating ON/OFF Reset Pumping unit (in remote control) Heating (in remote control) Reset (in remote control) Stand-by Stand-by external DIL switch 1) Remove bridge when a TCW is connected 2) 1 to 3 closed when ambient temperature 24°C 31 Remove bridge when remote control is employed 6) Bridged, when a diaphragm vacuum pump without temperature switch is connected. 1) 11 Legende pour les sehemas de eonnexions 11.1 Legende pour les scMmas de connexions Contr61eur d'eau de refroidissement TCW 2 Pompe vide rotative palettes/ Pompe vide membrane 3 Refroidissement par air ou systeme de refroidissement TZK 3a Le refroidissement par air peut etre connecte directement par Ie connecteur de la TCP 4 Chaullage pompe turbo 5 Apareil de commande de remise I'air TCF 6 Vanne de remise I'air TVF 7 Vanne vide pousse 8 Cable pompe turbo commande electronique 9 Vanne de remise I'air enceinte 11 Telecommande 13 Appareil de commande de vanne TCV 17 Pompe turbomoleculaire 18 Commande electronique 19 Vanne de remise I'air TSF a a a a a a a a a A Branchement elect rique B Branchement elect rique pour telecommande S 1 Groupe de pompage MARCHE/ ARRET S 2 Chauffage MARCHE/ARRET S 3 Reset S 4 Groupe de pompage (telecommande) S 5 Chauffage (telecommande) S 6 Reset (telecommande) S 9 Stand-by S 10 Stand-by extern S 14 Commutateur DIP 11 En cas de branchement d'un TeW, enlever Ie pont. 2) Ferme (1 3) 18 temperature ambiante a a 24°C. 3) 6) En cas de h§;lE.kommande, enlever Ie pont En cas de branchement d'une pompe vide membrane ponte sans thermostat. a a 33 MClns Nptzors:hlUJ ,,",ummo' X4 ,e,b,d,",,,,,t f- m Kl b2 _ T r )2 3 7 b3 (2 Y2 Y4 YI F4 0,5/>,-:- '----J ,--, ,3 yo3 Pi " .--p:---- I' , b-;--_ ",3 t yb l ' SC , C1 II II 33nF fl m 4J4AT 1 I -' r L N .2 I- ;:; ii 0 ,b r--- ' b8 • • • TPH/U TMH/U H • b4 ,5 J t3 'L ; 07 . b2 cZJ V2 K I r G ,. P IT L iii Y ...'3 ';o-"i" ..1Y-,,' _ __ 5'_:'2 XSIal b't. 47E \I P:' , \1 I' 'Cd Yb7 yeS S>;5 It6 I +;--+I-:;-----.J K1 _ bS . oB r "" \1\ \ \ 9 9' XXl"Y__y_ Y_ . 6 yb5 c:' .... > 0 I," 1 " " r yb5 X8 is: StromoJsbllflut:>r Xl 3 'J X17I18 X16 XS 4-+111'1rrir1rl+I,8 tV05 yo!. - PM 03' 021 -5 §C\ ,' " 04 yw '--\" (f) ..-'" 00- 0'" 0 ",N a. U:;;: 0. 1- ..- C'l w <.n WW aU> s:n ,n W U>-o co a I "I 7 Ih I '11I16.W I I I I , 56 'lll1'OAT JH ,''' F61110.5ATI +----1 lUl,!' ,1,31- )l,3l:i 1 T[I./002 21 '0IDl 20,:1-, r OJ'] 0160 OJJ15A L..--J __ 3 COOLING •ME MBRA N:JU:;:J 2 C,_,,,j C5 lK3 RI [1 6, - I 1 1 J..,C6 T I , '1))08,m,240'i "-----"-------v J PE I . . [1 " Fl , - J1i1 $2 ---ciJ' CSAF '-';' 01 11t!. PE. , j I 'J1X5 0 6 514.'5 5'411, I : I 'II " , .--1 HEATIN5 • .......J HEATING 220'1 " , llGV i-l 1 I' 117 =r=! ' XSL-,--.J 3:=A E IHo.. i: f: I II Jl(=l1iF -T- ' ::{P 'I 'nK2 -l::..,\C'I-___l"J:lo,:F-+f+-_-":..AT ----u...- 0'1 aI,., , "I P [BOE R X5io Vi ,,-'- /- _ S· 'c\ ,K' :: 4 1,', 1-, 1' , , '. Mains be remote T' 2S-M TSF 012 ....... 4 ,..) m -0--< '" ,;("") --I'> 0", "'--< ,("") "'-0 CO '"o ! ,"......... "",," .. "," I : .' •• 0"0 i _ . _2 j I ooW ' t:::::t a ,.J ,g.1 z --' ,C 3 . I ' 05 . - h1e r ' " ,H_. - , CF,/TC\' 1:'3 ' 3K3 R2 ,. e3","6e5 c- - ' U" H V'-'{e,l7il 7 I '" , -I X7 06 '1 -iX6 6 ,'"C'2 -- l. ,mY' AJ; ,n ' fif F'",',n" 9 . Xl 1] ,,' .,; r *-. } + j!-" u· I'W II' . .. I . - ' ' ' '.' ' 1 . I ,'" .J"'"'''' "':":::,,,;:' '."';.',, 1M .' -TIl ,I " "'." . ,,!," " I;n 00 " 1 2 " 9K L'HC2- O'&B , a a 000000 • . " '1LOl3 M N PE _ CUO .'CII.O. 1 "" '-++-1 ...,,""",::.","1 I ", $' 1 ij 000 1'7 1€ 19 K11 " /! I 21 o 0 20 i <. i I 1 1 e6 -f-<2 I 0 l- 42\1", max_ , ? 22 -'II ,t:: ;' " 11 Fer,tec PTCaoE lV2 K2 5101 F2 1 o '" _ i 17 Sicherheitsinformation fur die Rucksendung von Vakuumgeraten und -komponenten Safety information for the return of vacuum systems and components Information de securite sur I'etat d'appareils et de composants de technique du vide retourner a I'usine a Allgemeine Information General Introduction Information gElnerale Der Unternehmer (Betreiber) tragt die Verantwortung fur die Gesundheit und Sicherheit seiner Arbeitnehmer. Sie erstreckt sich auch auf das Personal, The employer (user) is responsible for the Health and Safety of his employees. This also applies to all those persons that come into contact with the vacuum components either at the user, or manufacturer's premises during repair or service. The contamination of vacuum systems and components has to be declared and the Health and Safety Declaration form completed. L'employeur (I'utilisateur) est responsable de la securite et de la sante de ses employes. Cette responsabilite s'etend egalement aux personnes charges de la reparation ou de I'entretien des appareils et des composants de technique du vide chez I'utilisateur ou en usine. das bei der Reparatur und/oder Wartung der Vakuumgerate und -komponenten beim Betreiber oder beim Hersteller mit diesen in BerOhrung kommt. Die Kontaminierung der Vakuumgerate und -komponenten muB kenntlich gemacht werden, und die Erklarung uber Kontaminierung ist auszuflillen. Health and Safety Declaration Erklarung uber Kontaminierung Certificat sur I'etat de contamination Those persons carrying out repair or service have to be informed of the condition of the components. This is the purpose of the 'Declaration of Contamination of Vacuum Equipment'. Das Personal, das die Reparatuf und/ oder die Wartung durchfuhrt, muB vor Aufnahme der Arbeiten Ober den Zustand der Vakuumgerate und -komponenten informiert werden. Dazu dient die 'Erklarung Ober Kontaminie- II est obligatoire d'informer tout d'abord Ie personnel, charge des reparations/de I'entretien, de I'Stat des composants traiter, d'Oll I'importance de ce certifieat; il doit etre envoye au fournisseur ou la societe en charge de reparation ou de decontamination. Une copie doit aecompagner I'equipement reparer. a a This declaration must be sent directly to the manufacturer or representative company. A second copy must be sent with the equipment. rung von Vakuumgeraten und -komponenten'. Diese Erklarung ist dem Hersteller oder der von ihm beauftragten Firma direkt zuzusenden. Ein zweites Exemplar muB den Begleitpapieren beigefugt werden. Versand Bei Versand von kontaminierten Vakuumgeraten und -komponenten sind die in der Betriebsanweisung angegebenen Versandvorschriften zu beachten, so zum Beispiel: Le degre de contamination doit etre detini et specifie sur Ie certifieat sur I'Stat de contamination. - a Despatch Le transport When returning equipment the procedures set out in the Operating Instructions must be followed. For example: Lors d'un retour de materiel contamine il faut strictement respecter les prescriptions donnees dans I'instruction de service par exemple: drain the pump operating agent, neutralise by flushing with gas, remove filter elements, seal all outlets, seal in heavy gauge polythene or a bag, - Betriebsmittel ablassen, - despatch in suitable transport contai- Pumpe durch Spulen mit Gas neutraner. lisieren, - Filtereinsatze entfernen, - aile Offnungen luftdicht verschlieBen, - in geeignete Schutzfolie einschweiBen, - Versand in geeigneten Transportcontainern. - vidange d'huile de la pompe primaire, de la pompe par gaz neutre, changement de la cartouche filtre, obturation de taus les orifices, emballage hermetique du materiel sous feuille plastique, - transport dans colis adequats. PFEIFFERF VACUUM c::. 101, J.jlf Pfeiffer Vacuum Grnbf Herstellererkliirung im Sinne folgender EU-Richtlinien: - Maschinen 89/392/EWG - Elektromagnetische Vertriiglichkeit 89/336/EWG - Niederspannung 73/23/EWG Emmeliusstr.33 fJ-35614 Asslar Hlermit erklaren wir, des unten aufgefUhrte Produkt zurn Einbau in eine Maschine bestimmt ist und daB deren Inbetriebnahme so lange unters Valmistajan vakuutus seuraavien EU-direktiivien mukaisesti: - konedirektiivi 89/392/ETY - sahkijmagneeHinen siedeHavyy. 89/336/ETY - pienjiinnite 73/23/ETY Vakuutammf! taten, etta allamainittu tuote on tarkolltlllu 0pjJoogeioe(,"' e9vIICt..:; 1(01 T£XVIKt.o:; KaTUJT£PW: Prod ukt/ Prod uct/P rod uit/Prodo tto/P rod ueta/ Pro dukt/P ro dukt/P rod uto/ TCP 380 Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen in Spraehen und Spezifikationen: Guidelines, harmonised standards, national standards in languages and specifications which have been applied: Les directives appliquees, normes harmonisees et les normes nationales appliquees en langues et specifications: Direttive aplicate, norme standardizzate e norme nazionali utilizzate in lingue e specifiche: Directivas aplieadas, normas armonizadas y normas naeionales aplicadas en idiomas y espeeifieaciones: Toegepaste richtlijnen, geharmoniseerde normen en toegepaste nationale normen met betrekking tot talen en specificaties: Anvendte direktiver, harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder med sprog og specifikationer: Direetivas aplicadas, normas harmonizadas e normas aplieadas na linguagem e nas do respectivo pafs: E,.,apj.lao9cVTcC; KOVOlll0j.loi, r£KvIKcc; KOI Of: Kel EN 61010 Unte rsc hrifte n/S i9natu res/S i9natu re/Fi rm e/Fi rm as/H andte ke ning en/U nd erskrifte r/ Ass inatu ras/ Y noyptlqlcc;: GcschaftsfUhrer (W. Dondorf) Managing Director Gerente Administrerellde Direktor Gerente Ger
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