Tcp380_2 Tcp380

User Manual: tcp380

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Betriebsanleitung
Operating Instructions
Mode d´emploi

TCP 380
Antriebselektronik
Electronic Drive Unit
Commande électronique

PM 800 188 BN/E (9810)

- - _. .

Inhalt

Contents

Allgemeines

2
2.1

Technische Daten
Technische Daten/Optionen

2
2.1

Technical Data
Technical Data, Options

3

Einsatzarten
Einsatz ohne Pumpstandsteuerung
Einsatz mit Pumpstandsteuergerat TCS 303
Einsatz mit Pumpstandsteuergerat TCS 304/304R

3

Types of Application
Application without Pumping
Unit Control
Application with Pumping Unit
Control TCS 303
Application with Pumping Unit
Coctrol TCS 304/304R

AnschlUsse
Netz
Belegung der Netzsteckerleiste
X4
Turbopumpe
Luftkuhlung
Flutventil
Heizung Turbopumpe
Remotestecker
Serielle Schnittstelle (Option)
Pumpstandsteuergerat TCS 303
und 304

4
4.1
4.1.1

3.1
3.2
3.3

4
4.1
4.1 .1
4.2
4.3
4.4
4.5
4.6
4.7
4.8

5
5.1
5.1.1
5.2

6
6.1
6.2
7
7.1
7.2
7.3.
7.4
7.5
7.6
7.7
7.8

8
8.1
8.2

9
9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.6

Contenu

General

3.1
3.2
3.3

4.2
4.3
4.4
4.5
4.6
4.7
4.8

Uberwachung
Uberwachungsrelais K2
yerriegelung K2
Uberwachungsrelais K 1

5

Bedienungselemente und
LC-Anzeigefeld
Bed ienungselemente
LC-Anzeigefeld

6

Betrieb
Einschalten
Fernbedienung
Stand-by
Reset
Funktion der DIL-Schalter
Ausschalten
Verzogertes Fluten mit Flutsteuergerat TCF
Andern der Anzeige und der
Parameter

7
7.1
7.2
7.3
7.4
7.5
7.6
7.7

Weitere Betriebsarten
Remote-Betrieb
Betrieb uber Schnittstellen
(Option)

8

Fehlersuche
Selbsttest
Fehlerliste
Ausgewertete Analogspannungen beim Selbsttest
Erweiterte Testmoglichkeiten
Gestorter Betrieb
Einsendung zur Reparatur ins
Service Center

9

5.1
5.1 .1
5.2

6.1
6.2

7.8

8.1
8.2

9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.6

Connections
Mains
Pin Assignment of Mains Connectar X4
Turbo Pump
Air Cooling
Venting Valve
Heater for Turbo Pump
Remote Plug
Serial Interface (Option)
Pumping Unit Control TCS 303
and 304

Monitoring
Monitoring Relay K2
Interlock K2
Monitoring Relay Kl

Generalites
2
2.1

Caracteristiques techniques
Caracteristiques techniques
optionnelles

3
3.1

Utilisations possibles
Utilisation sans commande de
groupe de pompage
Utilisation avec commande de
groupe de pompage TCS 303
Utilisation avec commande de
groupe de pompage TCS 304/
304R

3.2
3.3

4
4.1
4.1.1
4.2
4.3
4.4
4.5
4.6
4.7
4.8

5
5.1
5.1.
5.2

Control Elements and LC
Display Panel
Control Elements
LC Display Panel

6

Operation
Switching on
Remote Control
Stand-by
Reset
Function of the OIL Switches
Switch i ng off
Delayed Venting using Venting
Control Unit TCF
Changing the Display and Parameters

7
7.1
7.2
7.3
7.4
7.5
7.6
7.7

Further Operating Modes
Remote Operation
Operation via Interfaces
(Option)
Trouble-Shooting
Self-Testing
List of Errors
Analyzed Analogue Voltages
during Self-Testing
Extended Testing Possibilities
Defective Operation
Returning to Service Center for
Repair

10

Ersatzteile

10

Spare Parts

11
11 .1

Schaltpliine
Legende zu den Schaltplanen

11
11 .1

Wiring Diagrams
Legend for wiring diagrams

12

Zubehor

12

Accessories

Bestell-Nr. / Order nr. / Numero de commande: PM COl 490

6.1
6.2

7.8

8
8.1
8.2

9
9.1
9.2
9.3
9.4
9.5
9.6

Raccordements
Branchement secteur
Affectation des broches du
connecteur X4
Pompe turbomoleculaire
Refroidissement par air
Vanne de remise I'air
Chaufferette de la pompe turbo
Connecteur de telecommande
Interface serie (Option)
Commandes de groupe de pompage TCS 303 et 304

a

Surveillance
Relais de surveillance K2
Verrouillage K2
Relais de surveillance K 1
Elements de manoeuvre et
panneau d'affichage LCD
Elements de manoeuvre
Panneau d'affichage LCD
Service
Mise en marche
Telecommande
Stand-by
Reset
Fonction des commutateurs DIP
Arret
Remise I'air temporisee avec
commande TCF
Alteration des parametres et de
I'affichage

a

Autres modes d' operation
Operation a distance (Remote)
Operation par interfaces
(Option)
Depistage d'erreurs
Auto-test
Liste des messages d'erreurs
Tensions analogiques evaluees
lars de I'auto-test
Autres possibilites de tests
Service en "derangement
Renvoi au Centre de Service
Apres-Vente pour reparation

10

Pieces de rechange

11
11 .1

Schemas de connexions
Legende pour les schemas de
connexions

12

Accessoires

Betriebsanweisung
fur
Antriebselektronik

rep 380

Operating Instructions
for
Electronic Drive Unit

rep 380

Instruction de service
de la
commande electronique

rep 380

Wichtige Hinweise

Important Information

Directives importantes

Prufen Sie sotort nach dem Auspakken, ob die Sendung mit den Angaben
auf dem Lieferschein ubereinstimmt.

Please check immediately after
unpacking whether the consignment
conforms to the information given on
the delivery note.

A la reception de i'envoi, s'assurer au
debal/age que Ie contenu du (des) colis
corresponde bien aux articles enumeres sur Ie bon de livraison.

Please read the operating instructions
before you operate the unit and follow
them in all respects.

Avant que de mettre I'appareil en service, lire attentivement /'instruction de
service et s'y conformer en taus points.

Lesen Sie die Betriebsanweisung,
Sie das Gerat in Betrieb nehmen.
Befolgen Sie die Anweisungen in allen
Punkten.

- All units comply with the law concern- - Tous nos appareils repondent aux
prescriptions legales § 3, relatives aux
ing technical implements, Section 3.
They have been designed in accorappareillages techniques. lis sont
dimensionnes d'apres categorie de
dance to protection grade 1.
- The device has undergone a routine
protection 1.
test with 1500 V AC, an isolation test - L'appareil ete soumis un essai indiviwith 500 V DC and also a protective
duel avec 1500 V CA, 1':1 un essai d'
earthing conductor test with 25 A.
isolation avec 500 V CC et un essai
- If the TCP signals are used externally
des conducteurs de protection avec
25A.
and if double insulation is requested
- Si les signclUx de In TCP sont utilises
(for example DIN VDE 0411), the
manufacturer must be consulted.
de
externe et on demande un
- The operating instructions have been
double isolement (suivant la DIN
VDE 0411 par exemple), il faut consulprepared in accordance with
DIN 8418.
ter de producteur.
- L'instruction de service est redigee en
If you perform repair or maintenance
concordance avec la norme DIN 8418.
Wenn Sie selbst Reparatur- oder Wartungsarbeiten an den Geraten vornehwork on units which have come into
contact with substances which are
L'utilisateur procede-t-il lui-meme
men, die mit gesundheitsschadlichen
detrimental to health, please observe
des travaux de reparation ou d'entreStoffen in Beruhrung gekommen sind,
dann beachten Sie die entsprechenden
the relevant regulations.
tien sur des appareils qui auraient ete
en contact avec des matieres toxiques,
Vorschriften.
If you return units to us for repair or
il est alars tenu de respecter les presmaintenance work, please follow the
criptions afferentes.
Bei Geraten, die Sie an uns zu Reparatur- oder Wartungsarbeiten einschikinstructions below:
Au renvoi de tous appareils reparer
ken, beachten Sie folgendes:
- contaminated units (radioactively or
ou reviser, priere de tenir compte des
chemically etc.) must be decontamipoints suivants:
- kontaminierte Gerate (radioaktiv, chemisch etc.) sind vor der Einsendung
nated in accordance with the radiation
entsprechend den Strahlenschutzvorprotection regulations before they are - les appareils cantamines (radioactiveschriften zu dekontaminieren.
returned.
ment, chimiquement, etc.) sont preala- Units returned for repair or mainte- Zur Reparatur oder Wartung eingeblement decontaminer en vertu de la
hende Gerate mussen mit deutlich
nance must bear a clearly visible note
legislation relative la protection
"Free from harmful substances". This
sichtbarem Vermerk "Frei von Schadcontre les emissions radioactives.
note must also be provided on the
stoffen"versehen sein. Derselbe Ver- Les appareils envoyes pour reparation
delivery note and accompanying letter.
merk ist auch auf dem Lieferschein
ou maintenance doivent etre pourvus
- "Harmful substances" are defined as:
und Anschreiben anzubringen.
d'une etiquette bien visible certifiant
- "Schadstoffe" sind: Stoffe und Zubematerials and preparations in accorqu'ils sont "exempts de matieres taxireitungen gemafS EG-Richtlinie vom
dance with the EEC Specification dated
ques': La meme indication est apposer
18.09.1979, Artikel 2.
18 September 1979, Article 2.
sur Ie bon de livraison et sur toute la
correspondance aff9rente.
- Les "matieres toxiques" sont celles
Technische Anderungen behalten wir
Technical modifications reserved.
enumerees par I'article 2 de la presuns vor.
cription de la C.E.E en date du 18 septembre 1979.

- Aile Gerate entsprechen dem Gesetz
uber technische Arbeitsmittel, §3. Sie
sind nach Schutzklasse 1 aufgebaut.
- Das Gerat wurde einer Stuckprufung
mit 1500 V AC, einer Isolationsprutung mit 500 V DC und einer PrOfung
der Schutzleiterverbindungen mit 25 A
unterzogen.
- Werden die Signale der TCP extern
genutzt und wird doppelte Isolation
verlangt (z.B. gemall. DIN VDE 0411)
muB Rucksprache mit dem Hersteller
genom men werden.
- Die Betriebsanweisung ist nach DIN
841 8 erstellt.

a

a

a

a

a

a

a

a

Modifications techniques reservees.

PFEIFFER

VACUUM

Fig . 1

rep 380

1 Aligemeines
- Di e Antriebselektronik TCP 380, Fig. 1,
ist ein Rack- Teilein sch ubgerat der
Gre!>e "6/12-19" der Balzers-Norm.
- Aile Bedienungselemente befinden
sich auf der Frontplatte.
- Die Anschlusse sind auf der Ruckse ite
des Gerates angeordnet.
- Fur ausreichende Luftzirkulation urn
das Gerat ist zu sorg en.
- Zur Steuerung eines Pumpstandes wird
das Pumpstandsteuergeriit TCS 303
oder TeS 304 eing esetzt . Dar Einsatz
von TCS 1001 ist auch m eg lich .

-

-

-

-

An die Antriebselektronik TCP 380
konnen we iterhin
He izun g
Luftkuhlung
Flu tve ntil TSF 012 und
Fernbed ien ung
angeschlossen werd en.
An das Pumpstandsteuergerat konnen
f olgende Zubehorgerate angeschlossen werden:
Vorpumpe bis max. 550 W Anschlu"leistung einphasig bzw. bis 1,1 kW bei
Drehstromantrieb und Ein satz eines
TCS 304.
KOhlwasserw8chter TCW.
Kuhlaggregat TZK oder Luftkuhlung.
Bei Pumpstanden mit luftgekuhlter
Turbopumpe entfallen die Pumpstandkomponenten TCW und TZK (siehe
auch Abschnitt 3 Ein satzarten)!
Die netztransformatorenlose Antriebselektro nik TCP 380 ist ein Besta ndteil
des Antriebs und der Uberwachung
(ohne Pumpstandsteuerung) der Turbom olekularpumpen Gre!>e 060 -

520 .

1 General

1 Generalites

- The Electronic Drive Unit TCP 380,
-

-

-

-

-

-

- Die TCP wurde nach DIN VDE 0871
Grenzwertkurve B entst6rt.
- Die Anschllisse sind fUr Fernbedienung
ausgelegt.

- La comman de electroniqu e TCP 380
Fig . 1, is a rack module si ze "6/12-1 9"
(Fig. 1) est un appareil construit en
of the Bal zers standard ra ck,
baie de rack de la taille "6/12 -19"
A ll contro l elements are arranged on
(norme Balzers ).
th e front panel.
- Taus seS elem ents de m anoeuvre sont
The connections are arranged on the
situes sur son panneau frontal.
rear side of the unit.
- Le s douilles de raccordem ent sont disSufficient air circulation arou nd the
posees au dos de I'appareil.
unit mu st be ensured.
- Veiller assu rer une circulation d'air
To control a pumping unit. the Pumpsuffisanle.
ing Unit Control TCS 303 or TCS 304 - Pour I'asservissement d'un groupe de
is employed. It is also possible to use
pompage, ut iliser une commande
a TC S 1001.
TCS 303 ou TeS 304. Eventuellement
utilisables: Ie commande TCS 1001.
Further, the following ca n be connected to the Electronic Drive Unit
Les appareils su ivants peuvent en
TCP 380:
outre etre raccordes a la commande
Heater
TCP 380 :
Air cooling
- Chaufferette
Venting valve TSF 012, and
- Refroi dissement par air
Remote control.
- Vanne de remise a !'air TSF 0 12
- Telecomma nde.
The following accessory units ca n be
con nected t o the pumping unit control:
Une comman de d'asservissement de
Backing pump up to a max. co nnected
groupes de pompage peut eIre eq uipee des accessoires suivants :
load of 550 W, single-phase, or up to
1. 1 kW with three-phase drive and the - Pompe primaire d'une puissance maxi
use of a TCS 304.
de 550 W (monophase) ou de 1,1 kW
Cooling water monitor TCW.
(triph ase) el utilisation d'un e co m Cooling unit TZK or air cooling. In the
mande TCS 304.
case of pumping units with air-cooled - Control eur d'eau de refroidissement
turbo pump, the pumping unit compoTeW.
nants TeW and UK are not needed
- Groupe de refroidissement TZK ou
(see also Section 3, Types of Applicarefroidi ssement par air. Dans Ie cas de
ti on)!
group es de pompage dont la pompe
The El ect ron ic Drive Unit TCP 380
turbomoleculaire est refroidia !'air,
les appareil s TCW et TZK ns son t pas
without power transform er is part of
th e drive and control (except pu mping
appli cab les (voir egalement Ie section
unit cont rol) for turbo-m olecu lar
3 "Utilisations possibles").
pumps of sizes 060 - 520.
- La commande electroniqu e TCP 380,
The TCP has been suppressed as per
depourvue de transformate ur de ten DIN VDE 0871 limit va lue curve B.
sion secteur, fait partie integrante du
The con nections ha ve been designed
systeme d'asservissement e1 de comfor remote co nt rol.
mande (sans groupe de commands)
des pampas turbo molecul aires des
types 060 a 520.
- Le TCP a eta antiparasite conformement DIN VDE 0871 coube de valeur
limite B.
- Ses raccordements sont conc us pour
une t elecommande eventuelle.

a

a

a

2

- Die Funktion "Stand-by" erlaubt den
Betrieb der Turbomolekularpumpe mit
reduzierter Drehzahl (66 % der Nenndrehzahl).
- Aile Funktionen und Uberwachungen
sind mikroprozessorkontrolliert.
- Die Anzeige aller wichtigen Betriebsparameter erfolgt auf einem LC-Anzeigefeld.
- Das Gerat fOhrt sinen Selbsttest aus.

- The "Stand-by" function allows the
- La fonction "Stand-by" permet de faire
turbo-molecular pump to be operated
tourner la pompe turbomoleculaire en
at reduced rotation speed (66 % of the
regime ralenti (66 % de son regime
nominal).
rated rotation speed).
- All functions and monitoring tasks are - Toutes les fonctions et tous les dispomicroprocessor-controlled.
sitifs de surveillance sont cant roles par
- All major operating parameters are
microprocesseur.
displayed on a LC display panel.
- Tous les parametres essentiels au
fonctionnement de I'appareil sont visi- The unit performs a self-testing.
bles sur un panneau d'affichage au
cristal liquide.
- L'appareil execute a sa mise en marche
un auto-test.

2 Technical Data

2 Technische Daten

2 Caracteristiques
techniques

Antriebselektronik

Electronic Drive Unit

Commande electronique

AnschluG.spannung

Connection voltage

Tension de branchement nominaJe

V

100-240 ± 10%1)

Frequenz

Frequency

Fn3quence

Hz

50- 60

Leistungsaufnahme, max.
(+ Pumpenheizung)

Max. power consumption
(+ pump heater)

Puissance consommee maxi
(+ chauffage)

VA

325

Ausgangsspannung, ca.

Output voltage, approx.

Tension de sortie env.

V

40 DC

Hochlaufstrom, max.

Run-up current, max.

Courant de montee maxi.

A

7

Frequence nomina Ie ± 2 %

HZ

600-1500

±

TCP380

Nennfrequenz ± 2 %

Rated frequency

Selbsttest, eingebaut

Self testing, incorporated

Auto-test integre

Kontaktbelastung Kl und K2
induktionsfrei!

Contact rating, Kl and K2
non-inductive!

Charge de contact, K1 et K2
sans induction!

VIA

2%

250/6 DC
2416 DC

Verzogerungszeit, einstellbar

Time lag, adjustable

Temporisation reglable

min

1 - 120

Werkseinstellung

Factory setting

Reglage d'usine

min

Drehzahlschaltpunkt. einstellbar
in % der Nenndrehzahl

Rotation speed switch-point,
adjustable in % of rated
rotation speed

Point de commutation reglable
du regime nominal

%

8
50 - 90

Werkseinstellung

Factory setting

Reglage d'usine

%

80

Zul. Umgebungstemperatur

Permissible ambient temperature

Temperature ambiante admissible

'C

0-40

Kabellange Pumpe-TCP, max.

Cable length, pump-TCP, max.

Longeur de cable maxi Pompe-TCP

m

100

Steckerausgange fur
Luftkuhlung
Heizung
Flutventil (42 V DC)

Sockets for
Air cooling
Heating
Venting valve (42 V DC)

Douilles de sortie pour
Refroidissement par air
Chauffage
Vanne de remise I'air

(42 V DC)
AnschluG.moglichkeiten fur

Connection options for

a

TCS 303
TCS 304/304R

Possibilites de raccordement pour

TeS 1000
Fernbedienungl
Remote Controll
Telecommande
Rackeinschubgr6G.e

Rack modul size

Taille baie de rack

Gewicht

Weight

Poids

1)

Bei Betrieb am 60 Hz Netz mit Spannung > 250 V erfolgt Fehleranzeige
"Uberspannung" .

1)

When operating at 60 Hz mains with
voltage> 250 V the error message
"excess voltage" is displayed.

"6/12-19"

kg
1)

4,2

Lors d'un fonctionnement sur reseau
60 Hz avec tension> 250 V, apparalt
I'annonce d'erreur "surtension".

3

3

T

243

II

6O

.

-,

1

r

\

\

6

\

205,4

r-=--------1=,

I

1
'"
J

N'

N
N

"3,6

\

T

.

-

-1/ ---

L

I

----.ct-I

--134,81-..--140-------1

Fig.2
Dimensions

2.1 Technische Daten/Optionen

2.1 Technical Data, Options

Dimensions

2.1 Caracteristiqu8s techniques
optionnelles

Serielle Schnittstelle
Sch nittstellenpegel
nach

Serial interface
Interface level acc.

Interface serie

to

OU,

oder wahlweise bei
mehreren Geraten

or optionally for
several units

au choix, pour appareils

Baudrate:
Datenformat:

Baud rate:

Zeichenlange:
Stopbits:

Character length:
Stop bits:
Parity:
none, even or odd
Hardware, handshake:
not existent

Ratio baud:
Format:
Longueur caractere:
Bits de stop:
Parite:
sans, paire ou impaire
Handshake materiel:
non existant

Paritat:
keine, gerade oder ungerade
Hardware handshake:
nicht vorhanden

4

Data format:

Niveau selon

multiples

RS 232 C

RS 485

9-poligj9 poles/
a 9 poles

9-polig/9 poles/

a 9 pOles

300 ... 19200
ASCII
bit

7 bzw./resp./ou 8
1 bzw./resp./ou 2

-

-

3 Einsatzarten

3 Types of Application

3 Utilisations possibles

3.' Einsatz ohne Pumpstandsteuerung
Als Antriebselektronik nach Schaltplan
PM 021949 -S:
Es k6nnen
Heizung
Luftkuhlung und
Flutventil TSF 012 direkt am TCP 380
angeschlossen werden.
Der AnschluB einer Vorvakuumpumpe
und eines Ventilsteuergerates, sowie
deren Verriegelung mit der Turbopumpe ist nicht m6glich.
Einsatzart 3.1 muB auf Ausnahmen
beschrankt bleiben. Durch die fehlende
Verriegelung kann die Turbopumpe
durch Betriebsmitteldampfe verunreinigt werden.

3.1 Application without Pumping
Unit Control
As an electronic drive unit as per wiring diagram PM 021 949 -S:
The following:
Heater
Air cooling, and
Venting valve TSF 012 can be connected directly to the TCP 380.
Connection of a backing pump and a
valve control unit, and their interlocking with the turbo pump are not possible.
Type of application 3.1 must be restricted to exceptional cases. Due to the
missing interlock, the turbo pump may
be contaminated by operating medium
vapors.

3.1 Utilisation sans commands de
groupe de pompage
Commande electronique cablee selon
Ie schema de connexions
PM 021 949 -S:
Chaufferette,
Refroidissement par air et
Vanne de remise rair TSF 012 peuvent etre raccordes directement sur la
TCP 380.
Le raccordement d'une pompe primaire et d'un appareil de commande
des vannes, y compris leur verrouillage
avec la pompe turbomohkulaire, n'est
pas possible.
Ce genre d'utilisation 3.1 ne do it etre
qu'occasionnel et se limiter quelques
rares exceptions: par suite de I'absence de verrouillage, la pompe turbomoleculaire risque d'etre souillee par
des vapeurs d'agent moteur.

3.2 Einsatz mit Pumpstandsteuer-

-

3.2 Application with Pumping

geriit TCS 303

Unit Control TCS 303

Schaltplan PM 031 183-S

Wiring diagram PM 031 183 -So

-

-

-

a

a

3.2 Utilisation avec com man de de

groupe de pompage TCS 303
Schema de connexions
PM 031183-S

Fig.3

TCS 303

Bei dieser Einsatzart kbnnen folgende
Zubehbrgerate angeschlossen werden:

-

-

An der Ruckseite der rep 380:
Heizung Turbopumpe
Flutventil TSF 012
Luftkuhlung
TCS 303

With this type of application, the following accessory units can be connected:

At the rear of the rep 380:
Heater for turbo pump
Venting valve TSF 012
Air cooling
TCS 303

Das TCS 303 wird ohne Verbindungskabel direkt auf die Netzsteckerleiste X4
The TCS 303 is directly plugged into
der lCP aufgesteckt.
the mains plugboard X4 of the TCP
without connecting cable.
An das res 303:
Kuhlwasserwachter TCW
ro the res 303:
Vorvakuumpumpe bis max. 550 W
- Cooling water monitor TCW
AnschluBleistung (einphasig).
- Backing pump up to max. 550 W
Kuhlaggregat TZK 350
connected load (single-phase).
Luftkuhlung
- Cooling unit lZK 350
- Air cooling
Betriebsanweisung TCS 303:
PM 800 186 BD, E, F.
Operating instructions for the
lCS 303: PM 800 186 BD, E, F.

Ce genre d'utilisation permet de raccorder les accessoires suivants:

Au dos de i'appareil rep 380:
- Chaufferette de la pompe turbomoleculaire
- Vanne de remise I'air TSF 012
- Refroidissement par air
- lCS 303

a

La commande TCS 303 est enfichee
directement sur Ie bornier X4 de la
TCP, sans dlble de liaison.

Sur la res 303 elle-meme:
- Controleur de I'eau de refroidissement
TCW
- Pompe vide primaire d'une puissance
maxi de 550 W (monophase).
- Groupe de refroidissement TZK 350
- Refroidissement par air

a

Instruction de service de la TCS 303:
PM 800 186 BD, E, F.

5

3.3 Einsatz mit Pumpstandsteuergeriit TCS 304/304R
SchaUplan PM 031129 -So

Fig. 4
TCS 304 R

Bei dieser Einsatzart kbnnen folgende
Zubehbrgerate angeschl ossen werden:

An d er Ruckseite der rep 380:
- Heizung Turbopumpe
- Flutventil TSF 012
- TCS 304/ 304R
An das res 304/304R :
- KOhlwasserwachter TCW
- Vorvakuumpumpe bis max . 550 VA
Anschluf5leistung einphasig . Bei Einsatz von Drehschiebervakuumpumpen
mit Drehstrommotoren muP.. ein Thermistorprint (Schaltplan PM 021 919 -S)
eing ese tzt werden. An das TeS 304
mit Best. Nr. PM COl 45 0 A kannen
Dreh schiebervakuumpumpen mit
Dreh strommotoren bis max. 1,1 kW bei
min. 3 x 208 V angeschlossen werden.
- Kuhlaggregat TZK
- Luftkuhlung
- Ventil steuergerat leV mit Hochvakuumventil. Flutventil Rezipient und
Flutve ntil TVF 012
- Flutsteuergerat TCF mit Flutventil
TVF 012
- Stromausfallfluter TSF 01 0
- Fernb edienung, Pumpst and EIN/AUS
Aile Zub eh6rgerate sind in die Verriegelun9 einbezogen.

Achtung l
Das TeS 304 ist nur filr den Einsatz an
Turbopumpstanden vorg esehen und
kann von diesen getrennl nicht verwendet werden. Fur getrennte Aufstellung von Pumpe und Steuerung ist das
r es 304 R (Rackausfuhrung)
bestimmt.
Betriebsanweisung TCS 304/ 304R:
PM 800 192 BD, E, F

3,3 Application with Pumping
Unit Control TCS 304/304R
Wiring diagram PM 031 129 -So

3.3 Utilisation avec commande de
groupe de pompage
TCS 304/304R
Schema de connexion s
PM 031 129 -5.

Fig . 5

'rcs 304
With thi s type of application. the following accessory units C(;ln be connected:

At the rear of the rep 380:
- Heater for turbo pump
- Venting valve lSF 012
- lCS 304/ 304R

ro the res 304/304R:
- Cooling water monitor TCW
- Backing pump up to a ma x. connected
load of 550 VA, single-phase. When
rotary vane vacuum pumps w ith threepha se AC motors are used, a thermist or pcb (wiring diagram
PM 021 919 -S) must be empl oyed.
Rotary vane vacuum pump s with threeph as e AC motors up to ma x. 1.1 kW at
min . 3x 208 V can be conn ect ed to the
TCS 304, order nr. PM COl 4 50 A.
_ Cooling unit TZK
_ Air cooling
_ Valve control unit leV with high va cuum valve, venting valve for
vacuum chamber and vent ing va lve
TVF 012
- Venting control unit TCF with venting
valve TVF 012
_ Em erg ency venting valve TSF 01 0
- Rem ote co ntrol, pumping unit ON / OFF
All accessory units are integrated into
the interlock.
Attention!
rhe r e s 304 has only been designed
for use with turbo pumping units and
cannot be used separately. The
res 304 R (rack model) is available for
installation of the pump and control at
different locations.
Operating instructions for the
TCS 304/ 304R: PM 800 192 BD, E, F

Ce genre d'utilisation permet I'emploi
des acc ess oires suivants:

Au dos de la rep 380:
- Chautferette de la pompa
culaire
- Vanne de remise I' air TSF 012
- TCS 304/ 304R

a

Sur la res 304/304R elle-meme:
- Contr61 eur de I'eau de refroidissement
TCW
- Pompe vide primaire d'une pui ss ance
maxi de 550 VA monopha se. Lars de
I'utilisation des pam pes vide rotatives it palettes it moteurs it courant tri ph ase, on devra avoir recours a une
plaqu e iI Circuits imprimes th ermi stance (Schema de connexions
PM 021 919 - S). La commande
TCS 304, reference PM COl 450 A,
p eut recevoir des pam pes vide rotatives it palettes pour courant tri phase
d' une pui ssance ma xi de 1,1 kWa
3x2 08 V minimum.
- Groupe de refroidissement TZK
- Refroidi ss ement par air
- Comm ande de vanne TCV avec vanne
de vide pousse, vanne de remise I'air
de I'en ceintre et vanne de remi se I'air
TVF 012
- Commande de remise I'air TeF avec
vanne TVF 012
- Commande de remise I'air en ca s de
coupure de tension TSF 010
- Tele commande (pour 10 MARCHE/
ARRET du groupe de pomp agel

a

a

a

a

a

a
a

Tous ces accessoires peuvent etre veren consequence.
Attention l
La commande TeS 304 n 'est prevue
que pour etre utilisee sur des groupes
de p ompsge et ne peut en aucun cas
eIre employee separement. Pour un
emploi separe, c'est-a-dire autonome
de la commande, pre voir alors d'utiliser Ie m odele TeS 304 R (en version
rack).
Instruction de service de la TCS 304/
304R : PM 800 192 BD, E, F

6

4 AnschlOsse

4 Connections

4 Raccordements

Heizung
H eating

Chauffage

I

Netz ode r Pump s tand steue rung
M ains or pumping unit con tro l

I

I

Secteur ouappareil de commande

I

I

Schnittstell e
Interface

Fernbedi e nung

Remote co n t rol
T e l ecommande
Dll Schalter
OIL s wit c h

Commutateures DIP

X5
Fig.6
8 Kabel
16 Verriegelung

17 Schneidschraube
, 8 Schraube
19
X5 AnschluP., TCP
X8 Anschlur.!. Turbopumpe

8

X8

8 Cable
16 Interlock
17 Tab screw
18 Screw
1 9 Bayonet catch
X5 Connection to TCP
X8 Connection to turbo pump

8 Cable
16 Verrouilluge
17 Vis aLitotaraudeuse
18 Boulon
19 Fermeture a bai'onnette
X5 Raccordement sur la TCP
X8 RuCGordement sur 18 pompe
tLi rbo III (\ 11"c Lila i re

4.1 Net.

4.1 Mains

4.1 Branchement secteur

Der NetzanschluB ist nach den ortlichen Bestimmungen auszufuhren. Die
Antriebselektronik Tep 380 ist fUr
Netzspannungen von 100-240V ±
10%.50-60 Hz ausgelegt. Der NetzanschluB erfolgt nach Schaltplan
PM 021 949 oS, Fig. 7, an der 16-poligeo Messerleiste X4.

The mains connection must be made
according to local regulations. The
Electronic Drive Unit TCP 380 has
been designed for mains voltages from
100 - 240 V ±1 0 %, 50 - 60 Hz; connection to the mains is made according to wiring diagram PM 021 949 -5,
Fig.7, at the 16-poles multiple plug X4.

Bei Betrieb am 60 Hz Netz mit Spannung > 250 V erfolgt Fehleranzeige
"Uberspannung".

When operating at 60 Hz mains with
voltage> 250 V the error message
"excess voltage" is displayed.

Les branchements sur Ie reseau secteur sont reconduire selon les prescriptions locales. La commande electronique TCP 380 est prevue pour des
tensions secteur de 100 240 V
±1 0 % 50 ou 60 Hz. Les branchements eux-memes sont accomplis
comme indiques par Ie schema de
connexions PM 021 949 -5 (Fig. 7).
par I'intermediaire du connecteur X4
16 broches.

a

a

a

Lors d'un fonctionnement sur reseau
60 Hz avec tension> 250 V, apparalt
!'annonce d'erreur "surtension".

7

4. 1. 1 Be/egung der Netzsteckerleiste

4. 1. 1 Pin Assignment of the Mains

X4:
a1 Netzphase (L 1) bei Direkteinspeisung
a2 Netzneutral IN)
a3 Heizung extern
a4 Hochlaufzeitsperre, Hochlaufzeitliberwachung ist nicht aktiv solange
dieser Eingang mit a5 (0 V) verbunden ist.
a5 Geratemasse, 0 V
a6 Stand-by extern, Stand-by Betrieb
solange dieser Eingang mit a5 verbunden ist.
a7 42 V Ausgang, zur Ansteuerung
des Relais im TCS 303, wird im
Storungsfall stromlos, kurzschluBfest durch Kaltleiter.
a8 SchutzleiteranschluB (PE)
bl Schaltseite Netzschalter
b2 Netzphase IL 1) bei Schalterbetrieb
b3 Schaltseite Netzschalter
b4 Kontakt Uberwachungsrelais K2
b5 Gemeinsamer AnschluB der Kontakte von Uberwachungs- und
Schaltpunktrelais Kl und K2
b6 Kontakt Schaltpunktrelais K1
b7 Uberwachung Pumpstand, nur in
Verbindung mit TCS 303, 304 liefert die Fehlerinformation von Klihlwasserwachter und Vorvakuumpumpe an die TCP 380.
b8 Reset extern, Quittierung eines
Fehlers.

a1
a2
a3
a4

a5
a6

a7

a8
bl
b2
b3
b4
b5

b6
b7

b8

4.1.1 Affectation des broches du
connecteur X4:
a1 Phase secteur (L 1), en cas d'alimentation directe.
a2 Neutre IN).
a3 Chaufferette externe.
a4 Retardeur de demarrage, Ie dispositif de surveillance du demarrage
n'etant pas actif tant que cette
entree est reliee avec a5 (OV).
a5 Masse des appareils, av.
a6 Stand-by externe, fonctionnement
Stand-by tant que cette entree est
reliee avec a5.
a7 Sortie 42 V, pour I'asservissement
des relais de la TCS 303, est placee
hors courant en cas de detaillance,
resiste aux court- circuits (circuit
PTC).
a8 Circuit de protection (PE).
bl Commutateur secteur, cote interrupteur.
b2 Phase secteur (L 1), en fonctionnement avec commutateur.
b3 Commutateur secteur, cote interrupteur.
b4 Contact du relais de surveillance K2
b5 Broche sommune des contacts des
relais de surveillance et de commutation de regime Kl et K2.
b6 Contact du relais de commutation
de regime Kl.
b7 Surveillance du groupe de pompage, seulement en relation avec la
commande TCS 303 ou 304, livre it
la TCP 380 les messages d'erreur du
controleur de I'eau de refroidissement et de la pompe vide primaire.
b8 Reset externe, acquittement d'une
erreur intervenue.

Connector X4:
Mains phase (L 1) for direct supply
Mains neutral (N)
Heater, external
Run-up time lock, run-up time
monitoring not active as long as
this input is connected to a5 (0 V).
Unit ground, 0 V.
Stand-by, external; stand-by operation as long as this input is connected to a5.
42 V output, to control the relay of
TCS 303, is currentless during an
error, short-circuit proof due to PTC
resistor.
Protective earth connection (PE).
Switching side, power switch
Mains phase (L 1) for switch operation.
Switching side, power switch.
Contact, monitoring relay K2
Common connection of the contacts of monitoring and switchpoint relays Kl and K2.
Contact. switch-point relay Kl
Pumping unit monitoring, only
together with TCS 303, 304, provides the error messages from the
cooling water monitor and backing
pump to the TCP 380.
Reset external, error acknowledgment.

a

1 1

_

I'--T-'-f

I

J' X2

1

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4

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r
Fig.7
Anschluf1plan PM 021 949-S

8

"7E

Connection diagram PM 021 949 -S

r
Schema de raccordement

PM 021949-S

8
X5

4.2 Turbopumpe

4.2 Turbo Pump

- AnschluBkabel 8 beidseitig mit Steckverbindung; maximale Kabellange
100 m.
- AnschluB an der Tep Steckverbindung
X5, an der Turbopumpe Steckverbindung X8. Fig. 6.
- Stecker X5 und Steckdose X8 mussen
nach dem Einstecken verriegelt bzw.
vor dem Trennen entriegelt werden.
- Verriegelung X5: Verriegelung 16 einlegen und mit Schneidschraube 17
anschrauben.
- Verriegelung X8: Nach dem Einrasten
des Bajonettverschlusses Schraube 18
leicht anziehen.
- Die Verriegelungsteile werden als Beipack mitgeliefert.
Achtung!
Be; Pumpen ohne Betriebsmittelsensor
(Standardpumpen), mu13 eine Brucke

zwischen S und F auf der RiJckseite
des Steckers der Turbopumpe (Fig. 8)

vorhanden sein, bzw. var Inbetriebnahme angebracht werden. Fehlt
diese, wird bei Normalbetrieb an der
rep 380 Betriebsmittelmangel angezeigt!

4.2 Pompe turbomoleculaire

- Connecting cable 8, both ends with
connector; maximum cable length
100 meters.
- Connection to TCP connector X5, at
turbo pump connector X8, Fig. 6.
- Plug X5 and socket X8 must be locked
after plugging in or unlocked before
they are unplugged.
- Lock X5: Insert lock 16 and screw on
using tap screw 17.
- Lock X8: After the bayonet catch has
locked, slightly tighten screw 18.
- The locking components are supplied
together with the unit.

- Cable de liaison (8), pourvu de connecteurs des deux cotes, longueur maxi:
100 m.
- Raccordement la TCP par I'intermediaire du connecteur X5, la pompe
turbomoJeculaire par Ie connecteur X8,
Fig. 6.
- Le connecteur X5 et la douille X8 sont
verrouiller apres jonction (agrafe
mecanique), ou deverrouiller avant
separation.
- Verrouillage X5: mettre en place
I'agrafe (16) et la visser au moyen de
la vis autotaraudeuse (17).
- Verrouillage X8: serrer moderement la
Attention!
vis (18) apres enclenchement de la ferIn the case of pumps without operating meture baYonnette.
medium sensor (standard pumps), a
- Les pieces de verrouillage sont livrees
bridge must be fitted between Sand F
avec la commande.
on rear of male connector on turbo
pump (Fig. 8) or fitted before putting
Attention!
the unit into service. If this ;s missing,
Sur les pompes sans dt§tecteur d'agent
low operating medium level is dismoteur (versions standard), if est
played during standard operation at
imperatif de realiser un pontage entre
the TCP 380!
Set Fa I'arriere du connecteur de la
pompe turbo (Fig. 8), au plus tard
avant leur mise en service, faute de
quoi, fa commande affichera en permanence durant fe service normal /'erreur agent moteur epuise!

a

a

a

a

a

_._._._.,
i
TP H/TPU

.j

,
@

"' xr

-l 1;,

-

15<

H'

I
X8
8
X5

1

2
3
4
5

6
7

8
9

Fig.8
Antrieb Turbopumpe

Drive, turbo pump

grau
gelb
schwarz
blau
grun

grey
yellow
black
white
blue
green

cot

ced

grun/
gelb
braun

green/
yellow
brown

gns
jaune
noir
blanc
bleu

vert
rouge
vert/
jaune
brun

Entrainement de la pompe
turbomoleculaire

9

4.3 luftklihlung
- Bei den TPH/TPU 060, 180 H, 190,
240,450 H und 520
die Luftkuhlung gemiif3, Netzspannung ausgewahlt
werden!
- Die Ventilatoren fur TPH/TPU 330/510
sind fur 110 V, 50/60 Hz ausgelegt.
Der elektrische AnschluB erfolgt nach
Fig. 7.
- Die Zuleitung fur die Ventilatoren
(PE, L, N) wird an Stecker X2 angeschlossen.
- Die Luftkuhlung lauft nuch Betatigung
des Netzschalters Sl sofort an.

4.3 Air Cooling
- For the turbo-molecular pumps TPH/
TPU 060, 180 H, 190.240,450 Hand
520, the air cooling must be selected
according to the mains voltage!
- The fans for the TPH/TPU 330/510 are
designed for 110 V, 50/60 Hz. Electrical connection is made as shown in
Fig. 7.
- The supply cable for the fans (PE, L, N)
is connected to plug X2.
- The air cooling fan starts immediately
after the power switch Sl has been
operated.

4.3 Refroidissement par air
- Sur les pompes turbomoleculaire TPH/
TPU 060, 180 H. 190,240, 450 H et
520, il convient de selectionner refroidissement par air en fonction de la
tension secteur disponible!
- Les ventilateurs pour les TPH/
TPU 330/510 sont prevus pour une
tensionde 110 V 50/60 Hz. Branchement electrique: voir Fig. 7.
- Le dible d'alimentation des ventilateurs (PE, L, N) est relie par I'intermediaire du connecteur X2.
- Le refroidissement par air est mis en
marche sit6t apres actionnement du
commutateur Sl.

8ei 110V Netzspannung
At mains voltage ot 11 OV
Pour tension de reseau de 110 V
PE llN

Bei 220V Netzsrannung
At mains voltage of 220 V
Pour tension de res8 60 V

Excess vo ltage +48 V, UL

9.2 Liste des messages d"erreurs
Erreurs affichees :

------,--------------------Sur-regime. f = fflnal . 1.05

> 60 V

Surt ension + 4S V, UL

> 60 V

03 E003
04 E004

Vibra lion, X16/12 akliv

Vibration, X16/12 aclive

Vibrations, X 16 / 12 active

Re se rvefehlereingang. X16/ 7 aktiv

Spare erro r in put, X16/7 active

Entre e de reserve. 16/ 7 active

05

Pu mpslandtehler, X16 / 1 0 akliv

Pumping unit error, X16/1 0
active

Erreur du groupe de pompage,
X 16/1 0 aClive

Run-up time expi red and
f < switch-point

Temps de demarrage eCQule et
f < point de commutat ion

E005

<

06 E006

Hochlaufzeit abgelaufen und f
Schallpunkl

07

Betriebsmittelmangel, nach
Verz6gerun g 20 sek

Low operating medium level,
after a delay ot 20 sec

Agent moteur epuise, au bout
d'une temporisation d e 20 s

OS EOOS

Pumpenstecker abgezogen
IU7 > 5 Voll)

Pump plug unplugged
IU7 > 5 volts)

09 E009

Stroml1fa d a1 unterbrochen
(UM > 44 Vo lt)

Current p ath a 1 interrupted
(UM > 44 vo lls)

Connecteur de pompe retire
IU7 > 5 volts)
Circuit a 1 interrompu
(UM > 44 vo lts)

10 E010

Dreh zahlregelung defekt
(analog oder digitital)

Rota tion speed control
defecti ve (ana log ue or
digital)

Regulateur de regime
d efectu eux (ana logiq ue au
numerique)

11

Hall sondenversorgung Uh

E00 7

E011

>9

Diese Fehl er werden nur im Betrieb
des Gerates erkannt und dargestellt,
sie fUhren in jedem Faile zu einer
Abschaltung der Turbopumpe bzw. des
Pump standes .
rCl' 3110

Vo lt

Hall probe supply Uh

> 9 vo lts

These errors are only detected and displayed during operation of the unit; in
any case they lead to the turbo pump
or pumping unit being switched off.

PFEIFFER

Alimentation des sondes de
Hall Uh > 9 vo lts
Ces erre urs ne son t
que
durant Ie fonctionnement de I'appareil
et entrainent automatiquement I'arret
de la pompe tur bomoleculaire au du
groupe de pompage.

VACUUM

'!t

OJ

Fig .17
Bei::;pie ! Fehleranze ige

Example for erro r display

Exemp le (j 'uff lchage lJ 'e rreur

27

Folgende Fehlermeldungen folgen aus
dem Selbsttest:

The following error messages result
from the self-test:

Erreurs detectees durant un auto-test:

<

21

E021

Programmierspan nu ng
U7 < 0.8 V. Fehler in
Drehzah Iprogram m ierschaltung

< 0.8 V,

Programming voltage U7
error in rotation
speed programming circuit

Tension de programmation U7
0,8 V, Erreur au niveau du
circuit de programmation du
regime

22

E022

Program m ierspannung
U7 > 5 V, Pumpenstecker
abgezogen

Programming voltage
U7 > 5 V, pump plug
unplugged

Tension de programmation U7 >
5 V, Connecteur de pompe retire

< 90 V

Mains voltage

< 90 V

Tension secteur

< 90 V

23 E023

Netzspannung

24 E024

Netzspannung > 265 V

Mains voltage> 265 V

Tension secteur > 265 V

25

E025

UL < 43 V, Fehler im
Pri ma rsch a It netztei I

UL < 43 V, error in primary
circuit power pack

UL < 43 V, Erreur au niveau du
bloc primaire d'alimentation

26

E026

UL> 60 V, Fehler im
Pri ma rschaltnetzteil

UL > 60 V, error in primary
circuit power pack

UL> 60 V, Erreur au niveau du
bloc primaire d'alimentation

< 5,05 V,

< 5.05

< 5,05 V,

27 E027

UR

28

E028

UR > 5.15 V, SG3525 defekt

UR > 5.15 V, SG3525 defective

UR > 5,15 V, SG3525 defectueux

29

E029

UM > 30 V, PIC 626 kurzgeschlossen

UM > 30 V, PIC 626 shorted

UM > 30 V, PIC 626 en courtcircuit

30 E030

U5 < 4 V, Hallsondenversorgung
defekt oder KurzschluB
einer Hallsonde

U5 < 4 V, Hall probe supply
defective, or short circuit
in a Hall probe

U5 < 4 V, Erreur au niveau de
I'alimentation des sondes Hall,
ou court-circuit sur une sonde

31

E031

U5 > 9 V. Unterbrechung des
Hallsondenpfades

U5 > 9 V, interruption in
Hall probe path

U5 > 9 V, Circuit d'alimentation
des sondes de Hall interrompu

32

E032

UV < 14,5 V, Interne Versorgung
zu gering

UV < 14.5 V, internal supply
insufficient

UV < 14,5 V, Alimentation interne
insuffisante

33

E033

UV> 15,5 V, Interne Versorgung
zu hoch, SNT -Fehler

UV> 15.5 V, internal supply
excessive, SNT error

UV> 15,5 V, Alimentation interne
trop elevee (Erreur SNT)

SG3525 defekt

UR

V, SG3525 defective

UR

SG3525 detectueux

34 E034

UM < 30 V, PIC - Ansteuerung
UM < 30 V, PIC control defective.
defekt oder Ubertemperatur Pumpe or excess temperature of pump

35

Frequenzsimulation mit Enddrehzahl
UF < 9,8 V
Fehler oder Fehlabgleich
Drehzahlmesser

Frequency simulation with
ultimate rotation speed,
UF < 9.8 V
Error or erroneous balancing of
revolution counter

Frequenzsimulation mit Enddrehzahl. UF > 10,2 V
Fehler oder Fehlabgleich
Drehzahlmesser

Frequency simulation with
ultimate rotation speed,
UF> 10.2 V
Error or erroneous balancing
of revol ution cou nter

UM < 30 V und Endstufe gesperrt,
KurzschlufS eines Endstufentransistors

UM < 30 V and output stage
locked, short circuit of an
output stage transistor

UM < 30 V et etage final verrouille,
court-circuit d'un transistor

Frequenzsimulation mit Enddrehzahl· 1,04, Stromsollwert
US> 0,8 V, Fehler oder
Fehlabgleich Drehzahlregler

Frequency simulation with
ultimate rotation speed 1.04,
current reference value
US > 0.8 V error or erroneous
balancing of rotation
speed control

Simulation de frequence avec
final 1,04, Consigne de courant
US> 0,8 V, Erreur ou dereglage
du regulateur de regime

36

37

E035

E036

E037

38 E038

Wahrend des Selbsttests erscheint auf
der LC-Anzeige "SELF". Nach erfolgreichem Test arbeitet das normale
Betriebsprogramm und auf der
Anzeige wird die Drehzahl der Pumpe
dargestellt.

28

During the self-test, "SELF" is displayed on the LC display. After the test
has been successfully completed, the
standard operating program starts running, and the display shows the rotation speed of the pump.

UM < 30 V. Commande PIC detectueuse ou surchauffe de la pompe
Simulation de frequence avec
regime final UF < 9,8 V
Erreur ou dereglage du
compte-tours
Simulation de frequence avec
regime final UF > 10,2 V
Erreur ou dereglage du
compte-tours

Durant I'auto-test, la visu numerique
affiche Ie mot "SELF". L'auto-test execute sans erreurs, Ie programme d'exploitation est alors lance et la visu affiche Ie regime de la pompeo

9.3 Ausgewertete Analogspannungen beim 5elbsttest

Nr.
No.
No.

9.3 Analvzed Analogue Voltages
during 5elf- Testing

Name
Name
Objet

ADC-Pin
ADC Pin
Pin CAN

Verwendung in
Used in
Utilise en mode
"SELF"·
Betrieb
Operation
Normal

Therm ofuhler TCP
Therm al sensor, TCP
Sonde thermique TCP

38

X

2

Hallso ndenversorgung
Hall p robe supply
Alime ntation sonde Hall

39

X

3

Therm ofLihler Pumpe
Therm al sensor, pump
Sonde thermique pompe

40

X

4

Progra mmierspannung
Progra mming voltage
Tensio n programmation

1

X

5

nicht b elegt
not as signed
(Iibre)

2

6

Verso rgung +15 V
Suppl Y +15 V
Alimen tation +15 V

3

X

7

Analog drehzahl
Analog ue rotation speed
Regim e analogique

4

X

5

X

9.3 Tensions analogiques
evaluees lors de I'auto-test

._--

X

X

--

--+
8
Refere nzspannung

X

Refere nee voltage
Tensio n de reference

9

Strom sollwert
Refere nee current
Coura nt de consigne

6

X

10

Drehza hlspannung
(5 V b ei Enddrehz.)
Rotatio n speed voltage
(5 V at ultimate
rotatio n speed)
Tensio n de regime
(5 Vau regime nominal)

7

X

11

Hilfssp annung
Auxilia ry voltage
Tensio n auxiliaire

8

X

13

Motors pannung
Motor voltage
Tensio n de moteur

10

X

14

Strom istwert
Actual current value
Couran t reel

11

X

15

Zwisch enkreis +48 V
Interm ediate circuit +48 V
Circuit intermediaire +48 V

12

X

X

X

29

9.4 Erweiterte Testmoglichl(eiten
Wahrend des normalen Betriebsprogrammes oder nach einem Selbsttest
mit Fehleranzeige werden durch Einschalten des DIL-Schalters S14/4 weitere Testmoglichkeiten eroffnet. Die
angezeigten Daten werden durch die
vorausgestellte Nummerierung von
0 ... 9 und die darstellbaren Buchstaben A, b, C, d, E, F gekennzeichnet. Die
Pfeilreihe bleibt dabei komplett abgeschaltet, die entsprechenden Einheiten
werden passend angezeigt. Foigende
erweiterte Testmessungen sind programmiert:

9.4 Extended Testing Possibilities
During the normal operating program
or after a self-test with error indication, further checking possibilities are
provided by switching on the OIL
switch 14/4. The displayed data is
identified by prefix numbering from
9 and the allocated letters A, b, C,
d, E, F. The cursor block remains completely off during this, and the appropriate units are suitably displayed. The
following extended test measurements
are programmed:

o ...

9.4 Autres possibilites de tests
Durant Ie fonctionnement normal de la
commande, ou apres un auto-test en
erreur, d'autres possibilites de test
sont rendues possibles en positionnant
Ie commutateur DIP S14/4 sur 1. Les
donnees affichees sont precedees d'un
chiffre de 0 a 9 et d'une lettre A, b, C,
d, E au F). La rangee affectee aux fleches demeure dans ce cas obscure et
les unites sont affichees en consequence. Les mesures suivantes sont
possibles:

MESSUNG

MEASUREMENT

MESURAGE

ANZEIGE
DISPLAY
INDICATION

8
9
A
b
C
d

Thermospannung TCP
Thermospannung Pumpe
H aliso n de nverso rg u n 9
Programm ierspan nu ng
Versorgungsspannung + 15 V
Analogdrehzahl
Referenzspannung
Stromsollwert
Drehzahlspannung
Hilfsspannung
Motorspannung
Stromistwert
Zwischenkreisspannung +48 V

Tension thermique TCP
Tension thermique pompe
Alimentation sonde de Hall
Tension programmation
Tension d'alimentation + 15 V
Regime analogique
Tension de reterence
Courant de consigne
Tension de regime
Tension auxiliaires
Tension du moteur
Courant reel
Tension intermediaire +48 V

U T [V]
U 6 [V]
U" [V]
U 7 [V]
U v [V]
U F [V]
U R [V]
Us [V]
U o [V]
U H [V]
U M [V]
U, [A]
U L [V]

E
F

Abgelaufene Hochlaufzeit
Restliche Hochlaufzeit

Thermal voltage, TCP
Thermal voltage, pump
Hall probe supply
Programming voltage
Supply voltage + 15 V
Analogue rotation speed
Reference voltage
Reference current
Rotation speed voltage
Auxiliary voltage
Motor voltage
Actual current
Intermediate circuit
voltage +48 V
Expired run-up time
Remaining run-up time

Temps de demarrage ecoule
Temps restant

[min]
[min]

1
2
3
4
5

6
7

-

9.5 Gestorter Betrieb
Bei Unregelmaf?,igkeiten wahrend des
Betriebes die von der Elektronik
erkannt werden, wird der Pumpenantrieb ausgeschaltet. Auf dem Display
wird der Fehler verschllisselt mit
"E" .... und einer nachgestellten Zahl
angezeigt (siehe Fehlerliste, Abschnitt
9.2). Gemeinsames Betatigen der Eingabetasten ergibt die Moglichkeit die
einzelnen Menudaten zum Zeitpunkt
der Storung anzuzeigen, z.B. Fehlermeldung E001 [Uberdrehzahl). Durch
anschlieBendes Verschieben des
Menupfeils mit S12 oder S13 nach
links oder rechts wird die gewlinschte
Information zum Zeitpunkt der Storungsmeldung angezeigt (hier z.B.
Drehzahl), erneutes gemeinsames
Betatigen der Eingabetasten ergibt
wieder die Fehleranzeige E001. Erneutes Einschalten mit "Reset", siehe
Abschnitl 7.4.

30

9.5 Defective Operation
During irregularities in operation which
are detected by the electronics, the
pump drive is stopped. The display
shows the error, coded by "E" .... and a
suffix number (see List of Errors, Section 9.2). When the entry keys 512,
S13 are actuated jointly, it is possible
to display the individual menu data at
the time of the error, e.g. error message EOOl (excess rotation speed).
When the menu cursor is moved to the
left or right via S 12 or S 13, the desired information at the time of the error
is displayed (here, for example, the
rotation speed); if again the entry keys
are actuated jointly the error message
EOOl re-appears. Restarting using
"Reset", see Section 7.4.

9.5 Service en derangement
A I'occurrence de detaillances quelconques durant Ie service, detectees
par I'electronique, l'entraTnement de la
pompe est instantanement arrete. La
visu affiche alors un message d'erreur
code ("E .... ", voir section 9.2 "Liste des
messages d'erreurs"). Une action
simultanee des touches d'introduction
permet de faire afficher I'etat des donnees respectives au moment au la
detail lance est intervenue, par exemple
Ie message EOOl (sur-regime). En
deplayant ensuite la fleche au moyen
de la touche S 12 ou S 13 vers la gauche ou vers la droite, I'information desiree est alars affichee, telle qu'elle etait
au moment au elle est intervenue
(dans cet exemple, la vitesse exacte
ayant entraine Ie message de surregime). Une nouvelle action simultanee sur les touches d'introduction
ramene I'affichage E001. Remise en
marche et relance de la commande:
d'abord acquitter I'erreur au moyen de
la touche Reset (voir section 7.4).

Jede erkannte Betriebsstorung fuhrt
zum Sperren der Motorendstufe und
Motorstromregelung. Es werden generell aile Relais ausgeschaltet. Zur
Anzeige des gestorten Betriebes leuchtet die rote Sammelstorungsmeldung

Every time irregular operation is
detected, the motor output stage and
motor current control are blocked.
Generally, all relays are switched off.
To display irregular operation, the red
collective error display 22 lights up.

Toute erreur d8tectee entraine Ie verrouillage de 1'8tage final du moteur et
de la regulation. Tous les relais sont
desactives. Pour indiquer un service en
derangement, Ie temoin rouge (22) est
allume.

On the LC display, all status displays at
the time of the error are maintained,
and the actual rotation speed is continuously provided by the quasi analogue display (Section 6.2) only.

L8 visu affiche tous les Mats au
moment ou I'erreur est intervenue,
seule I'instrument analogique (Section
6.2) continue d'afficher Ie regime
actuel.

In the case of errors in the computer
area, a safety shut-down feature
becomes active which switches off the
motor current control and the motor
output stage and produces a continuous processor reset. This prevents
incorrect controls by the microprocessor.

En cas de defaillances de I'ordinateur,
un [)fret de securite est alors active,
agissant sur Ie regulateur du moteur et
sur I'etage final de celui-ci, et une routine de relance du processeur est alors
activee. Ceci permet d'eviter tout risque de controle errone de la part du
microprocesseur.

On the LC display, these errors cannot
be displayed in a defined manner. If
the error cannot be corrected by
switching off and on, there is a computer defect. The unit must be exch[lnged.

La visu de permet pas toutefois de
faire afficher ces erreurs de maniere
definie. Une erreur qui ne pourrait etre
annulee par Ie simple arret et la remise
en marche de la commande provient
vraisemblablement d'une defaillance
au niveau de I'ordinateur. Dans ce cas
il faudra echanger purement et simplement I'appareil.

22 auf.
Auf dem LC-Display bleiben aile Statusanzeigen zum Zeitpunkt der Storung erhalten, nur auf der Quasianaloganzeige (Abschnitt 6.2) wird standig
der aktuelle Drehzahlwert angezeigt.
Bei St6rungen im Rechnerbereich wird
eine Sicherheitsabschaltung aktiv, wei'::
che den Motorstromregler und die
Motorendstufe abschaltet sowie einen
dauernden Prozessor-Reset erzeugt.
Fehlsteuerungen durch den Mikroprozessor werden dadurch ausgeschlossen.
Am LC-Display konnen diese Fehler
nicht definiert angezeigt werden. Kann
durch Aus- und Einschalten der Fehler
nicht behoben werden, liegt ein Defekt
im Rechnerbereich vor. Das Gerat muf3.
dann ausgetauscht werden.

9.6 Einsendung zur Reparatur ins
Service-Center
Verstandigen Sie bitte bei auftretenden Schwierigkeiten Ihren zustandigen
Balzers-Service.
Reparaturauftrage werden ausschliefSlich aufgrund unserer [Il1gemeinen Lieferungsbedingungen durchgefuhrt. Fur
Reparaturen gilt eine Gewahrleistungszeit von 6 Monaten. Reparaturen werden ohne Ruckfrage ausgefuhrt, wenn
die Reparaturkosten nicht mehr als
50% des Artikel-Neuwertes bzw. nicht
mehr als DM 5.000,-- betragen.

9.6 Returning to Service Center
for Repair
We request th8t you contact the
Balzers Service Center responsible for
you should problems arise.
All repairs orders are carried out on
the basis of our General Terms of
Delivery only. For repairs the warranty
period is 6 months. Repair work is performed without checkback if the repair
costs do not exceed 50 % of the nominal value of the article or
DM 5,000.00.

9.6 Renvoi au Centre de Service
Apres-Vente pour reparation
En cas de problemes quelconques,
n'hesitez pas a contacter I'agence
Balzers la plus proche dans votre
district.
Les ordres de reparation ne peuvent
etre reconduits que sur la base de nos
conditions generales. Nous accordons
aux appareils repares par nos services
apres vente une garantie de 6 mois. Un
ordre de reparation est execute sans
que I'accord du client ne soit sollicite,
dans la mesure ou les frais entraines
par cette reparation n'excedent pas
50% du prix neuf de I'article concerne
et ne depassent pas la somme de
5.000,00 DM.

31

10 Ersatzteile
Ersa1zteilliste

10 Spare parts

10 Pieces de rechange

I Spare parts list / Pieces de rechange

PM 800 188 BO,E.F/ TCP 380
Pos.
Item
Pos.

Benennung

I Description / Designation

Stuck
Quantity
Pieces

Nc.
No.
No. de cat.

Lutter /Fil n/Vent ilateur
Flanschdose-3 polig/Flange socket, 3 poles/
Prise de courant de bride, 3-poles
Flanschdose-3 polig/Flange socket, 3 poles/
Prise de courant de bride, 5-poles

Pabst 814

P0920 30SE

2

P0920 357E

G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F4
G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F 1,3

0,5 AT
4,0 AT

1
2

P 4666 430
P 4666 448

G-Sicherung/G-fuse/G-fusible F2
Relais/Relay/Relais K 1, K 2, K 3

0,5 AF
AZ 2732-510-52

1
3

P 0920335 E

P0920 356E

P 0920334 E

---

Trafo/T ransformer/Transformateur T1
Diode/Diode/Diode V2
Netzschalter/Mains switch/lnterupteur-secteur S1
Tastschalter/Push-button/ Bouton poussoir S2

BV 9351
220V/55V

P 0920 491 E

1 N 4007

P 0920 453 E

NE 2U EE

P 0920 495 E

SF 2U EE

P 0920 496 E

HEF 4046 BP

P 0920 489 E 11

IC/IG/IC Dl

TC 4028 BP

P0920476El)

T ra nsistor/Tra nsistor/Tra nsistor V35

Be 327-25

P 0920 485 E 11

Displayprint/Display print/Carte imprime de LCD
IC/IC/IC 03

PM 021704-X

PM 021703-X

Steuerprint/Control print/Carte imprime de com man de

Transistor/T ra nsistor IT ransistor V37
Transistor/Transistor/Transistor V38

Be 546 B

IC/IC/IC N 1,2

BC337-16
SG 3525 AN

Schaltnetzteilprint/Switching print for input unit/
Carte imprime d'alimentation
Heir..leiter/Thermistor/Thermistor R2
Diode/Diode/Diode V2,3,4,5

20,4W
BVV 95C
TG 6 1 A-BOO

Transistor/Transistor/Transistor V21
Transistor /Transistor/T ransistor V2 2,2 3
le/lc/lc N 1

Be 546 B

Relais/Relay/Relais K5
Steueni bertrager/Control tra nslator/
Translateur de commande T2
Gleich richter/Rectifier/Red resseur V 1

AZ 2735

Endstufenprint/Final stage print/
Carte imprime etage finale
Diode/Diode/Diode V5,6,7,8
Diode/Diode/Diode V18

P 0920 374 E 1)
P 0920 331 E
P 0920 190 E

PM 021701 -X

Diode/Diode/Diode VB,9, 1 0,1 Oa
Diode/Diode/Diode V11, 12,24
Diode/Diode/Diode V15, 16

Transistor /T ransistor /T ransistor
V19,20,19a,20a
Diode/Diode/Diode V 17,18

1
1
2

1 N 5819
ZD 15
BC 327-4D
L 387

P0920193E
4

P 0920 461 E 1)

4
3
2

P 0920 463 E 11
P 0920 230 E 11

1
2
1

P 0920 462 E

P 0920 374 E 1)

P 0920 341 E 1)

P 0920 465 E 1)
P 0920279 E

P 0920339 E
P 0920 474 E

KBU BK

IRFP 450
BYT 30P-BOO

4
2

P 0920 475 E
P 0920 300 E

BYW 95C

BYV 95C

1
4
1

PM 021702-X
P0920361 El)
P0920461 Ell

BC 546 B

2

P 0920374 E 11
P 0920 455 E 11
P 0920279 E

4

P 0920 459 E
P 0920 307 E

Trilnsistor/Transistor/T ransistor V21 ,22
Transistor/Transistor/Transistor V17
Relais/Relay/Relais K4

BD 139-10
AZ 2735

Transistor/Transistor/Transistor V1 ,2,3,4

IRFP 243 MOS-FET

IC/IC/IC V19

PIC 646

Rechnerprint/Computer print/
Carte imprime ordinateur
IC/le/le 01

CPU 4 MHz

IC/IC/IC D9

EEPROM 1 K

Ie/Ie/Ie 07
Stecker-3 polig/Plug connector, 3 poles/
Fiche,3-poles
Stecker-5 polig/Plug connector, 5 poles/
Fiche, 5-poles
Stecker-15 polig/Plug connector, 15 poles/
Fiche-l 5 poles

EPROM 250 ns

PM 021 700-X
P D920 435 E
P 0920 440 E

NMC 9346

11 Lieferung im 5-er Pack/Supplied in

packs of five/ Livraison par paquets
de 5.

32

1)

P 0920 451 E

P 0920 358 E
P 0920 359 E
P 0920 434 E

11 Sehaltplane

11 Wiring Diagrams

11.1 Legende zu den
1 Ki..ihlwasserwachter leW
2 Drehschiebervakuumpumpe!
Membranvakuumpumpe
3 Luftkuhlung oder Kiihlaggregat TZK
3a Luftki..ihlung kann mit Stecker vom
TCP direkt angeschlossen werden
4 Heizung Turbopumpe
5 Flutgerat TCF
6 Flutventil TVF
7 Hochvakuurnventil
8 Kabel TCP-Turbopumpe
9 Flutventil Rezipient
11 Fernbedienung
13 Ventilsteuergerat TeV
17 Turbopumpe
18 Antriebselektronik TCP
19 Flutventil TSF

11.1 Legend for wiring diagrams
1 leW cooling water monitor
2 Rotary vane vacuum pump/
Diaphragm pump
3 Air cooling, or TZK cooling unit
3aAir Cooling can be connected
directly with the TCP connector
4 Turbo pump heater
5 TCF venting control unit
6 TVF venting valve
7 High vacuum valve
8 Cable turbo pump - electronic
drive unit
9 Vacuum chamber venting valve
11 Remote control
13 TCV valve control unit
17 Turbo pump
18 Electronic drive unit TCP
19 Venting valve TSF

A NetzanschluB
B NetzanschluB fOr Fernbedienung
S 1
S 2
S 3
S 4
S 5
S 6
S 9
S10
S14

Pumpstand EIN/AUS
Heizung EIN/AUS
Reset
Pumpstand (in Fernbedienung)
Heizung (in Fernbedienung)
Reset (in Fernbedienung)
Stand-by
Stand-by extern
DIL-Schalter

Beim AnschluB eines TCW, Brucke
entfernen.
2) Bei Raurntemperatur 24°C,
1 - 3 geschlossen.
3) Bei Fernbedienung, Brucke entfernen.
8) Bei AnschlulS siner Membranpumpe
ohne Temperaturschalter, gebruckt.

A Mains
B Mains for remote control
S 1
S 2
S 3
S 4
S 5
S 6
S 9
S 10
S14

Pumping unit ON/OFF
Heating ON/OFF
Reset
Pumping unit (in remote control)
Heating (in remote control)
Reset (in remote control)
Stand-by
Stand-by external
DIL switch

1)

Remove bridge when a TCW is
connected
2) 1 to 3 closed when ambient temperature
24°C
31 Remove bridge when remote control is
employed
6) Bridged, when a diaphragm vacuum
pump without temperature switch is
connected.
1)

11 Legende pour les
sehemas de eonnexions
11.1 Legende pour les scMmas de
connexions
Contr61eur d'eau de refroidissement TCW
2 Pompe vide rotative palettes/
Pompe vide membrane
3 Refroidissement par air ou
systeme de refroidissement TZK
3a Le refroidissement par air peut
etre connecte directement par Ie
connecteur de la TCP
4 Chaullage pompe turbo
5 Apareil de commande de remise
I'air TCF
6 Vanne de remise I'air TVF
7 Vanne vide pousse
8 Cable pompe turbo commande
electronique
9 Vanne de remise I'air enceinte
11 Telecommande
13 Appareil de commande de vanne
TCV
17 Pompe turbomoleculaire
18 Commande electronique
19 Vanne de remise I'air TSF

a
a

a

a

a

a

a

a

a

A Branchement elect rique
B Branchement elect rique pour telecommande
S 1 Groupe de pompage MARCHE/
ARRET
S 2 Chauffage MARCHE/ARRET
S 3 Reset
S 4 Groupe de pompage
(telecommande)
S 5 Chauffage (telecommande)
S 6 Reset (telecommande)
S 9 Stand-by
S 10 Stand-by extern
S 14 Commutateur DIP
11 En cas de branchement d'un

TeW,

enlever Ie pont.
2) Ferme (1
3) 18 temperature
ambiante

a

a

24°C.
3)

6)

En cas de h§;lE.kommande, enlever Ie
pont
En cas de branchement d'une pompe
vide membrane ponte sans thermostat.

a

a

33

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17

Sicherheitsinformation
fur die Rucksendung
von Vakuumgeraten und
-komponenten

Safety information for
the return of vacuum
systems and components

Information de securite
sur I'etat d'appareils et
de composants de technique du vide retourner a I'usine

a

Allgemeine Information

General Introduction

Information gElnerale

Der Unternehmer (Betreiber) tragt die
Verantwortung fur die Gesundheit und
Sicherheit seiner Arbeitnehmer. Sie
erstreckt sich auch auf das Personal,

The employer (user) is responsible for
the Health and Safety of his
employees. This also applies to all
those persons that come into contact
with the vacuum components either at
the user, or manufacturer's premises
during repair or service. The contamination of vacuum systems and components has to be declared and the
Health and Safety Declaration form
completed.

L'employeur (I'utilisateur) est responsable de la securite et de la sante de
ses employes. Cette responsabilite
s'etend egalement aux personnes charges de la reparation ou de I'entretien
des appareils et des composants de
technique du vide chez I'utilisateur ou
en usine.

das bei der Reparatur und/oder Wartung der Vakuumgerate und -komponenten beim Betreiber oder beim Hersteller mit diesen in BerOhrung kommt.
Die Kontaminierung der Vakuumgerate
und -komponenten muB kenntlich
gemacht werden, und die Erklarung
uber Kontaminierung ist auszuflillen.

Health and Safety
Declaration

Erklarung uber
Kontaminierung

Certificat sur I'etat de
contamination

Those persons carrying out repair or
service have to be informed of the condition of the components. This is the
purpose of the 'Declaration of Contamination of Vacuum Equipment'.

Das Personal, das die Reparatuf und/
oder die Wartung durchfuhrt, muB vor
Aufnahme der Arbeiten Ober den
Zustand der Vakuumgerate und -komponenten informiert werden. Dazu

dient die 'Erklarung Ober Kontaminie-

II est obligatoire d'informer tout
d'abord Ie personnel, charge des reparations/de I'entretien, de I'Stat des
composants traiter, d'Oll I'importance
de ce certifieat; il doit etre envoye au
fournisseur ou la societe en charge
de reparation ou de decontamination.
Une copie doit aecompagner I'equipement reparer.

a

a

This declaration must be sent directly
to the manufacturer or representative
company. A second copy must be sent
with the equipment.

rung von Vakuumgeraten und -komponenten'.
Diese Erklarung ist dem Hersteller oder
der von ihm beauftragten Firma direkt
zuzusenden. Ein zweites Exemplar muB
den Begleitpapieren beigefugt werden.

Versand
Bei Versand von kontaminierten
Vakuumgeraten und -komponenten
sind die in der Betriebsanweisung
angegebenen Versandvorschriften zu
beachten, so zum Beispiel:

Le degre de contamination doit etre
detini et specifie sur Ie certifieat sur
I'Stat de contamination.

-

a

Despatch

Le transport

When returning equipment the procedures set out in the Operating Instructions must be followed. For example:

Lors d'un retour de materiel contamine
il faut strictement respecter les prescriptions donnees dans I'instruction de
service par exemple:

drain the pump operating agent,
neutralise by flushing with gas,
remove filter elements,
seal all outlets,
seal in heavy gauge polythene or a

bag,
- Betriebsmittel ablassen,
- despatch in suitable transport contai- Pumpe durch Spulen mit Gas neutraner.
lisieren,
- Filtereinsatze entfernen,
- aile Offnungen luftdicht verschlieBen,
- in geeignete Schutzfolie einschweiBen,
- Versand in geeigneten Transportcontainern.

-

vidange d'huile de la pompe primaire,
de la pompe par gaz neutre,
changement de la cartouche filtre,
obturation de taus les orifices,
emballage hermetique du materiel
sous feuille plastique,
- transport dans colis adequats.

PFEIFFERF VACUUM

c::. 101, J.jlf

Pfeiffer Vacuum Grnbf

Herstellererkliirung im Sinne folgender EU-Richtlinien:
- Maschinen 89/392/EWG
- Elektromagnetische Vertriiglichkeit 89/336/EWG
- Niederspannung 73/23/EWG

Emmeliusstr.33
fJ-35614 Asslar

Hlermit erklaren wir,
des unten aufgefUhrte Produkt zurn Einbau in eine Maschine bestimmt ist und daB deren Inbetriebnahme so lange unters
Valmistajan vakuutus seuraavien EU-direktiivien mukaisesti:
- konedirektiivi 89/392/ETY
- sahkijmagneeHinen siedeHavyy. 89/336/ETY
- pienjiinnite 73/23/ETY

Vakuutammf! taten, etta allamainittu tuote on tarkolltlllu 0pjJoogeioe(,"' e9vIICt..:;

1(01 T£XVIKt.o:;

KaTUJT£PW:

Prod ukt/ Prod uct/P rod uit/Prodo tto/P rod ueta/ Pro dukt/P ro dukt/P rod uto/

TCP 380
Angewendete Richtlinien, harmonisierte Normen und angewendete, nationale Normen in Spraehen und Spezifikationen:
Guidelines, harmonised standards, national standards in languages and specifications which have been applied:
Les directives appliquees, normes harmonisees et les normes nationales appliquees en langues et specifications:
Direttive aplicate, norme standardizzate e norme nazionali utilizzate in lingue e specifiche:
Directivas aplieadas, normas armonizadas y normas naeionales aplicadas en idiomas y espeeifieaciones:
Toegepaste richtlijnen, geharmoniseerde normen en toegepaste nationale normen met betrekking tot talen en specificaties:
Anvendte direktiver, harmoniserede standarder og de anvendte nationale standarder med sprog og specifikationer:
Direetivas aplicadas, normas harmonizadas e normas aplieadas na linguagem e nas
do respectivo pafs:
E,.,apj.lao9cVTcC; KOVOlll0j.loi,
r£KvIKcc;

KOI

Of:

Kel

EN 61010
Unte rsc hrifte n/S i9natu res/S i9natu re/Fi rm e/Fi rm as/H andte ke ning en/U nd erskrifte r/ Ass inatu ras/ Y noyptlqlcc;:

GcschaftsfUhrer
(W. Dondorf)
Managing Director
Gerente
Administrerellde Direktor
Gerente

Ger
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File Type                       : PDF
File Type Extension             : pdf
MIME Type                       : application/pdf
Linearized                      : No
Page Count                      : 43
PDF Version                     : 1.4
Title                           : tcp380_2.pdf
Producer                        : Mac OS X 10.12.3 Quartz PDFContext
Creator                         : Preview
Create Date                     : 2017:02:28 18:13:00Z
Modify Date                     : 2017:02:28 18:13:00Z
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