Tv902

User Manual: tv902

Open the PDF directly: View PDF PDF.

T
V 902 Navigator
Pump model: 869-8933R001
Controller model: SQ 337
Manuale di istruzioni Ohjekäsikirja
Bedienungshandbuch Oδηγιες χρησεως
Notice de mode d’emploi Felhasználói kézikönyv
Manual de istrucciones Podrecznik instrukcji
Manual de istruções Návod k použití
Bedrijfshandleiding Návod na obsluhu
Istrukstionsbog Priročnik za navodila
Bruksanvisning User Manual
Instruksjon manual
87-900-999-01 (A)
04/2011
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-999-01 (A)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and non-
DOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
WARNING
CAUTION
TV 902 Navigator
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 3/292
TV 902 Navigator
TV 902 Navigator
4/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 5/292
Contents
1 Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Manutenzione 27
Smaltimento 28
2 Gebrauchsanleitung 29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung 33
Vor der Installation 34
Installation 35
Befestigung der Pumpe 36
Gebrauch 38
Wartung 41
Contents
6/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Entsorgung 42
3 Mode d’emploi 43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage 47
Preparation pour l’installation 48
Installation 49
Fixation de la pompe 50
Utilisation 52
Entretien 55
Mise au rebut 56
4 Manual de istrucciones 57
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 58
Indicaciones generales 59
Almacenamiento 61
Preparación para la instalación 62
Instalación 63
Fijación de la bomba 64
Uso 66
Mantenimiento 69
Eliminación 70
Contents
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 7/292
5 Manual de Istruções 71
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72
Informações gerais 73
Armazenagem 75
Preparação para a instalação 76
Instalação 77
Fixação da bomba 78
Utilização 80
Manutenção 83
Eliminação 84
6 Bedrijfshandleiding 85
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86
Algemene informatie 87
Opslag 89
Voorbereiding voor installatie 90
Installatie 91
Bevestiging van de pomp 92
Gebruik 94
Onderhoud 97
Afvalverwerking 98
7 Istruktionsbog 99
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 100
Contents
8/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Generel information 101
Opbevaring 103
Forberedelse før installation 104
Installation 105
Fastgørelse af pumpe 106
Anvendelse 108
Vedligeholdelse 111
Bortskaffelse 112
8 Bruksanvisning 113
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114
Allmän information 115
Förvaring 117
Förberedelser för installationen 118
Installation 119
Fastsättning av pump 120
Användning 122
Underhåll 125
Bortskaffning 126
9 Instruksjon Manual 127
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 128
Generell informasjon 129
Lagring 131
Contents
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 9/292
Klargjøre til installasjon 132
Installasjon 133
Festing av pumpen 134
Bruk 136
Vedlikehold 139
Eliminering 140
10 Ohjekäsikirja 141
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142
Yleisiä tietoja 143
Varastointi 145
Valmistelut asennusta varten146
Asennus 147
Pumpun kiinnitys 148
Käyttö 150
Huolto 153
Hävittäminen 154
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ 155
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου 156
Γενικεσ πληροφοριεσ 157
Αποθηκευση 159
Προετοιμασια για την εγκατασταση 160
Εγκατασταση 161
Contents
10/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Στερεωση τησ αντλιασ 162
Χρηση 164
Συντηρηση 167
Χώνευση 168
12 Felhasználói Kézikönyv 169
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 170
Általános információ 171
Tárolás 173
Előkészítés telepítésre 174
Telepítés 175
A szivattyú rögzítése 176
Használat 178
Karbantartás 181
Megsemmisítés 182
13 Podrecznik Instrukcji 183
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 184
Ogólne informacje 185
Magazynowanie 187
Przygotowanie do instalacji 188
Instalacja 189
Mocowanie pompy 190
Użytkowanie 192
Contents
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 11/292
Konserwacja 195
Przetworstwo odpadow 196
14 Návod k Použití 197
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 198
Všeobecné informace 199
Uskladnění 201
Příprava k instalaci 202
Instalace 203
Upevnění vývěvy 204
Použití 206
Údržba 209
Likvidace 210
15 Návod na Obsluhu 211
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 212
Všeobecné informácie 213
Uchovávanie 215
Príprava na inštaláciu 216
Inštalácia 217
Upevnenie vývevy 218
Použitie 220
Údržba 223
Likvidácia 224
Contents
12/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
16 Priročnik za Navodila 225
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
Splošne informacije 227
Shranjevanje 229
Priprava za montažo 230
Montaža 231
Pritrjevanje črpalke 232
Uporaba 234
Vzdrževanje 237
Odlaganje opadkov 238
17 Instructions for Use 239
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240
General information 241
Storage 243
Preparation for Installation 244
Installation 245
Pump Fixing 246
Use 248
Maintenance 251
Disposal 252
18 Technical Information 253
Description of the TV 902 Navigator 254
Contents
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 13/292
Technical Specification 258
TV 902 Navigator Outline 260
Interconnections 262
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External Cable 274
RS 232/RS 485 Communication Description 275
Air Cooling Kit 283
Connection of the Fore-Vacuum Pump 284
Connection to the Pump 285
Pump used in Presence of Magnetic Fields 286
Accessories and Spare Parts 286
Contents
14/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
15/292
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 16
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione 21
Fissaggio della pompa 22
Uso 24
Accensione ed Uso del TV 902 Navigator 25
Arresto del TV 902 Navigator 26
Arresto di Emergenza 26
Manutenzione 27
Smaltimento 28
Traduzione delle istruzioni originali
1 Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe
Turbomolecolari
16/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
A
VVERTENZA!
Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 17/292
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 902 Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il TV 902 Navigator è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.
1 Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
18/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE!
I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.
A
VVERTENZA!
I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 19/292
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE!
Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
1 Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
20/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Preparazione per l’installazione
Il TV 902 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se
si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante
l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non
lasciar cadere il TV 902 Navigator e a non sottoporlo ad urti o
vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE!
Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
NOTA Il TV 902 Navigator non può essere danneggiato rimanendo semplicemente
esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento del-l'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.
Figura 1
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 21/292
Installazione
ATTENZIONE!
Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso
non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia,
gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato
rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da + 10 °C a +35 °C
umidità relativa: 0 – 90 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 902 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria
(vedere schema in "Technical Information")
1 Istruzioni per l’uso
Fissaggio della pompa
22/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fissaggio della pompa
A
VVERTENZA!
Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema
potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non
è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi
dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In
questo caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla pompa o
dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la morte e/o danni agli
apparati adiacenti.
Fissare il TV 902 Navigator in posizione stabile montando la flangia
di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una
connessione capace di resistere ad una coppia di 6800 Nm attorno al
proprio asse.
Per esempio, questa Bolted Flange può essere fissata con viti M10 in
acciaio ad alta resistenza (classe maggiore di 8.8).
La seguente tabella descrive il numero di viti necessarie e con quale
coppia di serraggio stringerle.
FLANGIA DIMENSIONE VITI N. COPPIA DI SERRAGGIO
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori
dettagli. Il TV 902 Navigator può essere installato in qualsiasi posi-
zione.
Istruzioni per l’uso
Fissaggio della pompa
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 23/292
NOTA Il TV 902 Navigator non può essere fissato tramite la sua base.
ATTENZIONE!
Il TV 902 Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 902
Navigator ha dei connettori per gli in-gressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al TV 902 Navigator abbia un isolamento adeguato anche in condizione
di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
1 Istruzioni per l’uso
Uso
24/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
A
VVERTENZA!
Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla
camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la
turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di
riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE!
Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della
pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono
dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa
un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere
l'appendice "Technical Information").
A
VVERTENZA!
Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
Istruzioni per l’uso
Uso
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 25/292
Accensione ed Uso del TV 902 Navigator
Per accendere il TV 902 Navigator è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente
la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Il modo “Soft Start” è previsto per accendere la pompa dopo un
prolungato periodo di fermo. Per avere una partenza con “Soft Start”
attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere il
paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”
nell’appendice “Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 902 Navigator
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative
del sistema:
acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in
stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for
interlock”;
lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione
di errore.
1 Istruzioni per l’uso
Uso
26/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Arresto del TV 902 Navigator
Per arrestare il TV 902 Navigator è sufficiente togliere la tensione di
alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la
pompa.
A
VVERTENZA!
Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato
con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili)
dotato di una spina (approvata a livello internazionale). Utilizzare questo cavo
e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare
scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Le alte tensioni che
si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni o la morte. Prima
di eseguire delle operazioni di manutenzione all'interno dell'unità scollegare il
cavo di alimentazione.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 902 Navigator occorre
staccare il cavo di alimentazione dal controller.
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 27/292
Manutenzione
Il TV 902 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
A
VVERTENZA!
Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,
attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura
superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione
Agilent, che permette di ottenere una pompa rigenerata in
sostituzione di quella guasta.
NOTA Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange
service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la
scheda "Sicurezza e Salu-te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia
della stes-sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
1 Istruzioni per l’uso
Smaltimento
28/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
TV 902 Navigator User Manual
29/292
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung 33
Vor der Installation 34
Installation 35
Befestigung der Pumpe 36
Gebrauch 38
Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator 39
Stoppen des TV 902 Navigator 40
Not-Aus 40
Wartung 41
Entsorgung 42
Übersetzung der Originalanleitungen
2 Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für
Turbomolekularpumpen
30/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen
Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen
Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese
Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 31/292
Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Missachtung der nationalen
einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Der TV 902 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen,
integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System
eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen
Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder
Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige
Turbine (max. 38.000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungs-
drehstrommotor angetrieben wird. Der TV 902 Navigator enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch
für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.
Modell TV 902 Navigator verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,
über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil
gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine
serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
2 Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
32/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
VORSICHT! Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
WARNUNG!
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen
Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
Gebrauchsanleitung
Lagerung
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 33/292
Lagerung
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten
werden:
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend)
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu
setzen.
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate
ab dem Speditionsdatum.
VORSICHT! Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist
überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für
Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter.
2 Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
34/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Vor der Installation
Der TV 902 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Der TV 902 Navigator ist
vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor
Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist
gemäß den Vorschriften zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar
und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz.
VORSICHT! Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind
stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden.
HINWEIS Der TV 902 Navigator kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden.
Er sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um
Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Abbildung 1
Gebrauchsanleitung
Installation
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 35/292
Installation
VORSICHT! Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der
Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Gerät darf nur in geschlossenen Umgebungen installiert und
nicht in Umgebungen benutzt werden, wo es Witterungsbedingungen
(Regen, Frost und Schnee), Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist
oder die explosionsfähig oder mit einer erhöhten Brandgefahr sind.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
Temperatur: von +10 °C bis +35 °C
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 90 % (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe
entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Der TV 902 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe
Schema in "Technical Information").
2 Gebrauchsanleitung
Befestigung der Pumpe
36/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Befestigung der Pumpe
WARNUNG!
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe
und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt
die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand
entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der
Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten Metallsplitter von
der Pumpe oder vom System geschleudert werden, die schwere Schäden oder
den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben
könnten.
Den TV 902 Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems
montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 6800 Nm
um die eigene Achse standhalten.
Zum Beispiel kann dieser Bolted Flange unter Verwendung hoch
widerstandsfähiger Stahlschrauben M10 (Klasse höher als 8.8)
befestigt werden.
Die folgende Tabelle zeigt die erforderliche Anzahl Schrauben und
das jeweilige Anzugsmoment.
FLANSCH SCHRAUBEN-ABMESSUNG ANZ. ANZUGSMOMENT
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ConFlat muss an die
Vakuumkammer mittels mechanischen Agilent-Befestigungsteilen
befestigt werden. Für weitere Details siehe Anlage „Technical
Information“ Der TV 902 Navigator kann in jeder beliebigen Position
installiert werden.
Gebrauchsanleitung
Befestigung der Pumpe
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 37/292
HINWEIS Der TV 902 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
VORSICHT!
Der TV 902 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von
den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muss daher an eine
Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der
TV 902 Navigator hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die
Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden
müssen, sodass kein Teil unter Spannung zugänglich ist. Sicherstellen, dass die
Isolierung der an den TV 902 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1
vorgesehen wird.
2 Gebrauchsanleitung
Gebrauch
38/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten.
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
VORSICHT! Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluss soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet,
über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
WARNUNG!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf
niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 39/292
Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator
Zur Einschaltung des TV 902 Navigator ist es mit der erforderlichen
Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller
erfasst automatisch das Vorhandensein von Interlock- und
Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Der Modus “Soft Start” ist zum Einschalten der Pumpe nach einem
längeren Stillstand vorgesehen. Um einen Start mit aktivem „Soft
Start“ vorzunehmen, muss der genannte Modus über Software wieder
befähigt werden (siehe Abschnitt „RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION“ im Anhang „Technical Information“).
Die grüne LED im Boden-Schaltfeld des TV 902 Navigator gibt mit der
Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich
entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for
Interlock”.
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
2 Gebrauchsanleitung
Gebrauch
40/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Stoppen des TV 902 Navigator
Zum Stoppen des TV 902 Navigator ist die Versorgungsspannung
abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen
Pumpenstopp.
WARNUNG!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem
dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden,
das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet
ist. Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer
entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen. Die Hochspannungen, die
sich im Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod
führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel
trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung des TV 902 Navigator in Notsituationen ist vom
Controller das Netzkabel abzuziehen.
Gebrauchsanleitung
Wartung
2
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 41/292
Wartung
Der TV 902 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe
dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
WARNUNG!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über
Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor
vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C
abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Agilent Service in Anspruch genommen
werden, der eine generalüberholte Pumpe als Ersatz für die defekte
Pumpe zur Verfügung stellt.
HINWEIS Bevor Fa. Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst
eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine
Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung der Pumpe hat unter Beachtung der
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
2 Gebrauchsanleitung
Entsorgung
42/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Entsorgung
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende
Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste
Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur
in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt
nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern
einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. Der
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die
Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den
Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen
geprüft hat.
TV 902 Navigator User Manual
43/292
3
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage 47
Preparation pour l’installation 48
Installation 49
Fixation de la pompe 50
Utilisation 52
Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator 53
Arrêt du TV 902 Navigator 54
Arrêt d'urgence 54
Entretien 55
Mise au rebut 56
Traduction de la mode d’emploi originale
3 Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe
Turbomoléculaires
44/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel
d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la
grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs
rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre
rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation
pourrait être libérée.
A
VERTISSEMENT!
Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
Mode d’emploi
Indications générales
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 45/292
Indications générales
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.
Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de
lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel
des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Le TV 902 Navigator est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et
ultrapoussé et doté d'un contrôleur. Le système est à même de
pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas
adapté au pompage de liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à
haut rendement. Le TV 902 Navigator est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre".
Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant
d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape
de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host
connecté par ligne sérielle (RS232 ou RS485).
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation
de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information".
3 Mode d’emploi
Indications générales
46/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
ATTENTION! Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le
non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
A
VERTISSEMENT!
Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre,
risque de provoquer de graves lésions.
NOTE Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.
Mode d’emploi
Stockage
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 47/292
Stockage
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes
Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les
instructions suivantes :
Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent
impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
température : de –20 °C à +70 °C
humidité relative : de 0 à 95 % (non condensante)
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent
toujours être mises en marche par le client en mode soft-Start.
Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10
mois à compter de la date d'expédition.
ATTENTION!
En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe
doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Agilent de zone.
3 Mode d’emploi
Preparation pour l’installation
48/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Preparation pour l’installation
Le TV 902 Navigator est livré dans un emballage de protection
spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être
produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 902 Navigator et à ne
lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner
l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et
conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de
l'environnement.
ATTENTION! Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre
protection appropriée.
NOTE Le TV 902 Navigator ne peut s'endommager en restant simplement exposé à
l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est
conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de
l'installation.
Figure 1
Mode d’emploi
Installation
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 49/292
Installation
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment
de brancher la turbopompe au système.
Installer cet appareil uniquement dans un local fermé et ne jamais
l'utiliser dans un milieu exposé aux conditions atmosphériques
(pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs, encore moins
dans un milieu pouvant présenter un risque d'explosion ou
d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
température: de +10 °C à +35 °C
humidité relative: 0 – 90 % (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à
l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se
reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 902 Navigator
doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical
Information").
3 Mode d’emploi
Fixation de la pompe
50/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fixation de la pompe
A
VERTISSEMENT!
En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système
pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est
pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du
système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe. Dans ce cas, des
morceaux de métal peuvent être expulsés par la pompe ou le système et
entraîner des blessures graves voire la mort et/ou endommager
sérieusement les équipements environnants.
Fixer le TV 902 Navigator de façon stable en assurant la collerette
d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen
d'une connexion en mesure de résister à un couple de 6800 Nm
autour de son axe.
Par exemple, cette flasque boulonnée peut être fixée à l'aide de vis
M10 en acier à haute résistance (classe supérieure à 8.8).
La table ci-après indique le nombre de vis nécessaires et le couple de
serrage à appliquer.
BRIDE DIMENSION VIS N. COUPLE DE SERRAGE
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre
à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet.
Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical
Information". Le TV 902 Navigator peut être installée dans n'importe
quelle position.
Mode d’emploi
Fixation de la pompe
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 51/292
NOTE Le TV 902 Navigator ne peut être fixé par sa base.
ATTENTION!
Le TV 902 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou
surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif
à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 902
Navigator dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la
communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de
façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que
l'isolation du dispositif branché au TV 902 Navigator a une isolation
appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la
norme EN 61010-1.
3 Mode d’emploi
Utilisation
52/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Utilisation
Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 80 °C.
A
VERTISSEMENT!
Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à
la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels
pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à
l'origine de lésions graves.
ATTENTION! Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou
déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le
refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de
poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à
cet effet doit être inférieure à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte
spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de
gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice
"Technical Information").
A
VERTISSEMENT!
Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques,
inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque
gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
Mode d’emploi
Utilisation
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 53/292
Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator
Pour allumer le TV 902 Navigator il suffit de fournir la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement
la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la
pompe.
Le mode "Soft Start" est prévu pour démarrer la pompe après une
période prolongée d'arrêt. Pour obtenir une mise en marche "Soft
Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf.
paragraphe "RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans
l'appendice "Technical Information").
La LED verte placée sur le panneau de la base du TV 902 Navigator
indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions
opérationnelles du système:
allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en
état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.
clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
3 Mode d’emploi
Utilisation
54/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Arrêt du TV 902 Navigator
Pour arrêter le TV 902 Navigator, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
A
VERTISSEMENT!
Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté
par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des parties qui
peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approuvée à niveau
international). Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée
d’une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et
satisfaire les requis des normes CE. Les tensions élevées qui se
développent dans le contrôleur peuvent provoquer de graves
endommagements ou la mort. Avant d’effectuer les opérations d’entretien
à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 902 Navigator en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
Mode d’emploi
Entretien
3
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 55/292
Entretien
Le TV 902 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
A
VERTISSEMENT!
Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la
pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt
complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50 °C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations
Agilent qui permet d'obtenir une pompe régénérée en remplacement
de la pompe endommagée.
NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced
exchange service", remplir et faire parvenir au bureau de vente local la fiche
"Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage du système avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales concernant la gestion
des déchets.
3 Mode d’emploi
Mise au rebut
56/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mise au rebut
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le
symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE
nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de
la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères
ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de
collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du
contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le
fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en
œuvre le processus de collecte et mise au rebut.
TV 902 Navigator User Manual
57/292
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
58
Indicaciones generales 59
Almacenamiento 61
Preparación para la instalación 62
Instalación 63
Fijación de la bomba 64
Uso 66
Encendido y Uso del TV 902 Navigator 67
Parada del TV 902 Navigator 68
Parada de Emergencia 68
Mantenimiento 69
Eliminación 70
Traducción de las instrucciones originales
4 Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
58/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de
instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido
a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica
de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre
el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación
podría ser liberada.
¡ADVERTENCIA!
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
Manual de istrucciones
Indicaciones generales
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 59/292
Indicaciones generales
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el
aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no
autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
El TV 902 Navigator es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío y
por el controler correspondiente. El sistema puede bombear
cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado
para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se
obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (38000 r.p.m.
máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El
TV 902 Navigator no posee ningún agente contaminante y por lo
tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, posee conectores auxiliares con los que se puede
alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de ventilación,
pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante línea
serial (RS 232/RS 485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
4 Manual de istrucciones
Indicaciones generales
60/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡ATENCIÓN! Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de
no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
¡ADVERTENCIA!
Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
NOTA Las notas contienen información importante extraída del texto.
Manual de istrucciones
Almacenamiento
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 61/292
Almacenamiento
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento
por primera vez;
el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al
cliente.
¡ATENCIÓN!
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de
almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para
mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante
local de Agilent.
4 Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
62/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Preparación para la instalación
El TV 902 Navigator se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que
no se caiga el TV 902 Navigator y de no someterlo a golpes o
vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El
material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE
85/399 para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN! Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas
los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u
otra protección adecuada.
NOTA El TV 902 Navigator no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a
la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta
que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Figura 1
Manual de istrucciones
Instalación
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 63/292
Instalación
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la
bomba al sistema.
Este equipo debe ser instalado sólo en ambientes cerrados y en
ninguna circunstancia podrá utilizarse en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos ni
en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
temperatura: de +10 °C a +35 °C
humedad relativa: 0-90 % (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical
Information” para más detalles.
El TV 902 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase
diagrama en “Technical Information”).
4 Manual de istrucciones
Fijación de la bomba
64/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fijación de la bomba
¡ADVERTENCIA!
En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema
puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias,
la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como
consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría
separarse respecto del contenedor de la bomba. En este caso fragmentos
de metal pueden ser proyectados por la bomba o por el sistema, con
consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y/o daños a los aparatos
adyacentes.
Fijar el TV 902 Navigator en posición estable, montando la brida de
entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con
conexión capaz de resistir a un par de 6800 Nm en torno a su propio
eje.
Por ejemplo, esta Bolted Flange puede ser fijada con tornillos M10 de
acero de alta resistencia (clase mayor de 8.8).
La tabla siguiente describe el número de tornillos necesarios y con
cual par de apriete apretarlos.
BRIDA DIMENSIÓN TORNILLOS N. PAR DE APRIETE
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
La turbo-bomba con brida de entrada ConFlat debe ser fijada a la
cámara de vacío por medio de pernos Agilent. Véase el anexo
"Technical Information" para más detalles. El TV 902 Navigator puede
instalarse en cualquier posición.
Manual de istrucciones
Fijación de la bomba
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 65/292
NOTA El TV 902 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
¡ATENCIÓN!
El TV 902 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o
sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este
dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para
dicha categoría. El TV 902 Navigator tiene conectores para las
entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a
los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede
accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 902
Navigator mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una
avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1.
4 Manual de istrucciones
Uso
66/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Uso
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales.
Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y
neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío,
la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 ºC.
¡ADVERTENCIA!
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la
turbo-bomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de
calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las
personas.
¡ATENCIÓN! Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbo-bomba
durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de
aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de
entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la
presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están
dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a
la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los
rodamientos (véase el anexo “Technical Information”).
¡ADVERTENCIA!
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
Manual de istrucciones
Uso
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 67/292
Encendido y Uso del TV 902 Navigator
Para encender el TV 902 Navigator basta con suministrar la tensión
de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de
arranque y activa la bomba.
El modo “Soft Start” esta previsto para encender la bomba después
de un prolongado período de parada. Para haber una puesta en
marcha “Soft Start” activa es necesario rehabilitar el modo
anteriormente indicado mediante software (véase el apartado “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical
Information”).
El LED verde situado en el panel de la base del TV 902 Navigator
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas
del sistema:
encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el
sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de
“waiting for iterlock” ;
parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):
condición de error.
4 Manual de istrucciones
Uso
68/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Parada del TV 902 Navigator
Para parar el TV 902 Navigator con desenchufarlo de la corriente. El
controler incorporado detiene inmediatamente la bomba.
¡ADVERTENCIA!
Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado
con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles
para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente
conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los
requerimientos de las normas CE. Las altas tensiones que se desarrollan
en el controlador pueden provocar graves daños o incluso resultar
fatales. Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las
operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 902 Navigator es
necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.
Manual de istrucciones
Mantenimiento
4
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 69/292
Mantenimiento
El TV 902 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier
operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡ADVERTENCIA!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la
corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar
hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura
superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent o
el “Agilent advanced exchange service”, que permite obtener un
sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced
exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del
sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
4 Manual de istrucciones
Eliminación
70/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Eliminación
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El
símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de
la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para
los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el
producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto
con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y
que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de
recogida diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a
ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es
la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida
y eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de venta.
TV 902 Navigator User Manual
71/292
5
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares
72
Informações gerais 73
Armazenagem 75
Preparação para a instalação 76
Instalação 77
Fixação da bomba 78
Utilização 80
Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator 81
Paragem do TV 902 Navigator 82
Paragem de Emergência 82
Manutenção 83
Eliminação 84
Tradução das instruções originais
5 Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas
Turbomoleculares
72/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Indicações de Segurança para Bombas
Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de
Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta
velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto
entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de
rotação poderia ser liberada.
ATENÇAO!
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
Manual de Istruções
Informações gerais
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 73/292
Informações gerais
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruções e todas as informações
adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A
Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das
instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O TV 902 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo e do
relativo controller. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de
gás ou de composto gasoso, mas não é adequado para bombear
líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de
uma turbina rotativa de alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida
por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 902
Navigator é totalmente isento de agentes contaminadores e, portanto,
é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, tem conectores auxiliares através dos quais é possível
alimentar um ventilador adicional, comandar a válvula de vent,
accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host
conectado por meio de linhas seriais (RS 232/RS 485).
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".
5 Manual de Istruções
Informações gerais
74/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Este manual utiliza as seguintes convenções:
CUIDADO! As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se
não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem.
ATENÇAO!
As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
NOTA As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
Manual de Istruções
Armazenagem
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 75/292
Armazenagem
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
temperatura: de –20 °C a 70 °C
umidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante)
ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular
é de 10 meses a contar da data da expedição.
CUIDADO! Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será
necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais
informações, contatar o representante local da Agilent.
5 Manual de Istruções
Preparação para a instalação
76/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Preparação para a instalação
O TV 902 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial;
se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas
local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o TV 902 Navigator e para não submetê-lo a choques
ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O
material é completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
CUIDADO! Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os
componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou
outra protecção adequada.
NOTA O TV 902 Navigator não pode ser danificado permanecendo simplesmente
exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o
momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Figura 1
Manual de Istruções
Instalação
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 77/292
Instalação
CUIDADO! Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no
momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Instale este equipamento somente em locais fechados e, para todos os
efeitos, não utilize o equipamento em ambientes expostos aos efeitos
deletérios do tempo (chuva, gelo, neve), em ambientes sujeitos a pó,
gases agressivos, ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as
seguintes condições ambientais:
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
temperatura: de + 10 °C a + 35 °C
humidade relativa: 0 – 90 % (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes,
consultar o apêndice "Technical Information".
O TV 902 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar
esquema em "Technical Information").
5 Manual de Istruções
Fixação da bomba
78/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fixação da bomba
ATENÇAO!
Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o
risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de
maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema
ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba. Nesse caso,
fragmentos de metal podem ser projectados da bomba ou do sistema, que
podem provocar lesões graves ou a morte e/ou danificar os
equipamentos adjacentes.
Colocar o TV 902 Navigator em posição estável, fixando a flange de
entrada da turbobomba à contra-flange do sistema, com uma ligação
que resista a um torque de 6800 Nm à volta do seu eixo.
Por exemplo, esta Bolted Flange pode ser fixada com parafusos M10
de aço de alta resistência (classe maior que 8.8).
A tabela seguinte descreve o número de parafusos necessários e o
torque de aperto com o qual apertá-los.
FLANGE
DIMENSÃO
PARAFUSOS
N
TORQUE DE APERTO
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de pinos Agilent. Para ulteriores detalhes
ver o apêndice "Technical Information". O TV 902 Navigator pode ser
instalado em qualquer posição.
Manual de Istruções
Fixação da bomba
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 79/292
NOTA O TV 902 Navigator não pode ser fixado através da sua base.
CUIDADO! O TV 902 Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou
sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a
uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 902 Navigator
tem conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que
devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às
partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao
TV 902 Navigator esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria,
conforme previsto pela norma NE 61010-1.
5 Manual de Istruções
Utilização
80/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Utilização
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações
eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara
a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a
80 °C.
ATENÇAO!
Nunca activar a bomba se a flange de entrada não estiver ligado à
câmara de vácuo ou não estiver fechado com a flange de fecho. Não tocar
a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de
aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas.
CUIDADO! Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando
está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da
bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de
entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da
pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à
bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos
(consultar o apêndice "Technical Information”).
ATENÇAO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou
radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
Manual de Istruções
Utilização
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 81/292
Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator
Para ligar o TV 902 Navigator é suficiente fornecer a tensão de
alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente
os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
O modo “Soft Star” é previsto para acender a bomba depois de um
prolongado período parado. Para poder arrancar a bomba em “Soft
Start”, será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o
software (consultar o parágrafo “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).
O LED verde, posicionado no painel da base do TV 902 Navigator,
indica, através da frequência de intermitência, as condições
operacionais do sistema:
aceso fixo: a bomba funciona normalmente;
intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em
estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting
for interlock”.
intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de
erro.
5 Manual de Istruções
Utilização
82/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Paragem do TV 902 Navigator
Para parar o TV 902 Navigator é suficiente desligar a tensão de
alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba.
ATENÇAO!
Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado
com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que
podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível
internacional). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada
adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e
satisfazer os requisitos das normas CE. As altas tensões que se
desenvolvem no controller podem provocar graves danos ou até morte.
Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade,
desligar o cabo de alimentação.
Paragem de Emergência
Para parar o TV 902 Navigator em condições de emer-gência é
necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
Manual de Istruções
Manutenção
5
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 83/292
Manutenção
O TV 902 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
ATENÇAO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica,
aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura
superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência
Agilent, que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced
exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas
local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A
cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação
respeitando as normas nacionais específicas.
5 Manual de Istruções
Eliminação
84/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Eliminação
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo
abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada
"WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser
eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais
comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do
dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna
verificação dos termos e condições do contrato de venda.
TV 902 Navigator User Manual
85/292
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86
Algemene informatie 87
Opslag 89
Voorbereiding voor installatie 90
Installatie 91
Bevestiging van de pomp 92
Gebruik 94
Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator 95
Afzetten van de TV 902 Navigator 96
Noodstop 96
Onderhoud 97
Afvalverwerking 98
Vertaling van de originele instructies
6 Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire
pompen
86/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden
besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de
hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een
contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan
de rotatie-energie vrijkomen.
WAARSCHUWING!
Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 87/292
Algemene informatie
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker
wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door
Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in
gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de
gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving
De TV 902 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen
plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk
type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt
verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 38.000
toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische
draaistroommotor met hoog rendement. De TV 902 Navigator is
volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor
toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 902
Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een
extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatklep kan worden
aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten
host computer op afstand kan worden bediend (RS 232 of RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid
van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren.
Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical
information”.
6 Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
88/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
VOORZICHTIG! Bij dit symbool staat tekst bij procedures die, indien niet opgevolgd, schade
aan apparatuur kunnen veroorzaken.
ADVARSEL!
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een
speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig
lichamelijk letsel kan veroorzaken.
OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.
Bedrijfshandleiding
Opslag
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 89/292
Opslag
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan
de volgende omgevingscondities worden voldaan:
temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft-
Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste
keer in werking worden gesteld
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
VOORZICHTIG! Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer
naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht
contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent.
6 Bedrijfshandleiding
Voorbereiding voor installatie
90/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Voorbereiding voor installatie
De TV 902 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port
veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het
plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV
902 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren
krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG
milieurichtlijn 85/399.
VOORZICHTIG! Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met
het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden.
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING De TV 902 Navigator kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de
atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp
gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat
eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Figuur 1
Bedrijfshandleiding
Installatie
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 91/292
Installatie
VOORZICHTIG! Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt
aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.
Installeer dit apparaat uitsluitend in gesloten ruimten, en gebruik het
in elk geval niet in ruimten die aan de weersomstandigheden (regen,
vorst, sneeuw), stof of agressieve gassen zijn blootgesteld, of in
ruimten met explosiegevaar of groot risico op brand.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig
zijn
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
temperatuur: van +10 °C tot +35 °C
relatieve vochtigheid: 0 – 90 % (niet condenserend).
In aanwezigheid van elektromagnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De TV 902 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie
schema in "Technical information").
6 Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
92/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bevestiging van de pomp
WAARSCHUWING!
Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en
het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als
de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp
van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit
geval kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond
worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of schade aan
omliggende apparaten kunnen veroorzaken.
Bevestig de TV 902 Navigator in een stabiele positie door de
inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te
monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 6800
Nm rondom de eigen as te weerstaan.
Deze flens "Bolted Flange" kan bijvoorbeeld worden vastgemaakt met
sterke stalen schroeven M10 (klasse hoger dan 8.8).
In de volgende tabel staat het benodigde aantal schroeven en het
bijbehorende aandraaimoment.
FLENS AFMETINGEN SCHROEVEN NR. AANHAAL KOPPEL
DN-160 gebout M10 8 5 Nm
De turbopomp met inlaatflens ConFlat moet aan de vacuümkamer
worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische
bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de
bijlage "Technical Information". De TV 902 Navigator kan in alle
standen worden geïnstalleerd.
Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 93/292
OPMERKING
De TV 902 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden
bevestigd..
VOORZICHTIG! De TV 902 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze
inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV
902 Navigator bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de
seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits,
zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de
inrichting verbonden met de TV 902 Navigator goed geïsoleerd is, ook in
geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
6 Bedrijfshandleiding
Gebruik
94/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebruik
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot
stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen.
WAARSCHUWING!
Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is
aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en
eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge
temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.
VOORZICHTIG! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp
wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of
vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan
2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het
pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de
pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers
krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
WAARSCHUWING!
Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare
of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die
speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in
aanwezigheid van explosieve gassen.
Bedrijfshandleiding
Gebrui
k
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 95/292
Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator
Om de TV 902 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van
stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch
de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
De wijze “Soft Start” is voorzien om de pomp te starten na een lange
periode van stilstand. Om met “Soft Start” te starten moet de
vermelde wijze met behulp van de software gemachtigd worden (zie
paragraaf “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de
bijlage “Technical Information”).
De groene LED op het paneel van de basis van de TV 902 Navigator
geeft door de frequentie van zijn knipperen de werkcondities van het
systeem aan:
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in
de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
6 Bedrijfshandleiding
Gebruik
96/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Afzetten van de TV 902 Navigator
Om de TV 902 Navigator af te zetten behoeft slechts de
stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde
controller stopt onmiddellijk de pomp.
WAARSCHUWING!
Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te
worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de
bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met
internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met
een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en
om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen. De in de controller
ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken.
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het
systeem uit te voeren.
Noodstop
Om de TV 902 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de
stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
Bedrijfshandleiding
Onderhoud
6
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 97/292
Onderhoud
De TV 902 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd.
WAARSCHUWING!
Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding
loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep
ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de
oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is
gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent
in te schakelen: zo krijgt men een geregenereerde pomp ter
vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij
deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld
naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
6 Bedrijfshandleiding
Afvalverwerking
98/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Afvalverwerking
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande
symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn
"WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht,
NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of
industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De
eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de
leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en
voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd.
TV 902 Navigator User Manual
99/292
7
Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper 100
Generel information 101
Opbevaring 103
Forberedelse før installation 104
Installation 105
Fastgørelse af pumpe 106
Anvendelse 108
Start og anvendelse af TV 902 Navigator 109
Stop af TV 902 Navigator 110
Nødstop 110
Vedligeholdelse 111
Bortskaffelse 112
Oversættelse af originalinstruktionerne
7 Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære
turbopumper
100/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende
brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje
omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke
vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt
mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan
omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne
brugsanvisning!
Istruktionsbog
Generel information
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 101/292
Generel information
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør
læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra
Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader
helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner,
fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ikke
autoriserede indgreb på udstyret eller håndtering, der strider imod
gældende lokale regler.
TV 902 Navigator er et integreret system, som omfatter en
turbomolekylær pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger
og den respektive controller. Systemet er i stand til at pumpe en
hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men
systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste
partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (38000
omdr./min. max.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med
høj effekt. TV 902 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og
er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
TV 902 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at
forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved
hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232 eller
RS 485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at
garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af
udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder detaljerede
oplysninger.
7 Istruktionsbog
Generel information
102/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
FORSIGTIG! Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at
risikere maskinskader.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure
eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat
fald er der risiko for svære personskader.
BEMÆRK Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
Istruktionsbog
Opbevaring
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 103/292
Opbevaring
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra
Agilent:
Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne:
temperatur: fra –20 °C til +70 °C
relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af
Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for
første gang.
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra
forsendelsesdatoen.
FORSIGTIG!
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt
at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved
henvendelse til den lokale Agilent repræsentant.
7 Istruktionsbog
Forberedelse før installation
104/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Forberedelse før installation
TV 902 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt
den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan
være opstået under transporten. Sørg for, at TV 902 Navigator ikke
tabes eller udsættes for stød eller vibrationer ved udpakningen. Smid
ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EU-
direktiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
FORSIGTIG! Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder,
idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende
beskyttelse.
BEMÆRK Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 902 Navigator. Det anbefales
dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres på
systemet. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen.
Figur 1
Istruktionsbog
Installation
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 105/292
Installation
FORSIGTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes
systemet.
Dette apparat må kun installeres i lukkede omgivelser og må under
ingen omstændigheder benyttes på steder med skiftende vejrforhold
(regn, is, sne), støv, aggressive luftarter eller i omgivelser med
eksplosionsfare eller øget risiko for brand.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
temperatur: fra +10 °C til + 35 °C
relativ luftfugtighed: 0 – 90 % (ikke kondenserende).
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal
den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere
oplysninger.
TV 902 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Teknisk
Information”).
7 Istruktionsbog
Fastgørelse af pumpe
106/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fastgørelse af pumpe
ADVARSEL!
Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet
blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er
tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra
systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette
tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet,
hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel
beskadigelse af apparaterne i nærheden.
Montér TV 902 Navigator i en stabil position ved at montere
turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange.
Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 6800 Nm omkring
dens egen akse.
Denne Bolted Flange kan for eksempel fastgøres med skruer M10 af
højstyrkestål (klasse højere end 8.8).
På nedenstående oversigt vises, hvor mange skruer der kræves samt
hvilket spændingssmoment, de skal strammes ved.
FLANGE DIMENSION SKRUER ANT. DREJNINGS-MOMENT
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbopumpen med indgangsflange ConFlat skal fastgøres till
vakuumkammeret ved hjælp af Agilent's mekaniske smådele. Se
bilaget "Teknisk Information" for yderligere detaljer. TV 902
Navigator kan installeres i en hvilken som helst position.
Istruktionsbog
Fastgørelse af pumpe
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 107/292
BEMÆRK TV 902 Navigator kan ikke fastgøres i fundamentet.
FORSIGTIG!
TV 902 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en
forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 902 Navigator er
forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt
at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er
tilsluttet TV 902 Navigator, har en passende isolering. Dette gælder også i
tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.
7 Istruktionsbog
Anvendelse
108/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Anvendelse
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
FORSIGTIG! Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug
af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes
med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler.
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over
atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en speciel dør, igennem hvilken det er nødvendigt at
forsyne pumpen med ædelgasser (Kvælstof eller Argon) for at beskytte lejerne
(se bilaget “Teknisk Information”)
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser,
følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til
eksplosive gasser.
Istruktionsbog
Anvendelse
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 109/292
Start og anvendelse af TV 902 Navigator
For at starte TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den indbyggede controller genkender blokerings- og
startsignaler automatisk, og starter pumpen.
"Soft Start" metoden bruges, når man starter pumpen, efter at den
har stået stille over en længere periode. For at aktivere "Soft Start"
metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af
software (se afsnit "RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" i
bilaget "Teknisk Information").
Den grønne LED, der er anbragt på panelet på TV 902 Navigator’s
fundament, angiver systemets funktion ved blink:
konstant tændt: pumpen er i normal rotation;
langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling
for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for interlock”;
hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
7 Istruktionsbog
Anvendelse
110/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Stop af TV 902 Navigator
For at afbryde TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede controller afbryder straks pumpen.
ADVARSEL!
For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med
et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet
skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på international
plan). Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på
passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og
opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne. De høje spændinger, som udvikles
i controller'en, kan forårsage alvorlige skader eller døden. Før der foretages
vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra.
Nødstop
Afbrydelse af TV 902 Navigator i nødsituationer sker ved at koble
ledningen fra styreenheden.
Istruktionsbog
Vedligeholdelse
7
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 111/292
Vedligeholdelse
TV 902 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen
først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent
med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på
pumpens overflade er under 50 °C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Agilent
reparationsværksted, der udskifter pumpen med en repareret pumpe.
BEMÆRK Inden pumpen sendes til konstruktørens reparationsværksted eller advanced
exchange service skal “Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt
denne instruktionsmanual, udfyldes og sendes til den lokale forhandler. En kopi
af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
7 Istruktionsbog
Bortskaffelse
112/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bortskaffelse
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående
symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv
"WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at
produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med
affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal
indleveres på en godkendt affaldsstation. Vi opfordrer derfor
slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten
fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og
bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i
salgskontrakten.
TV 902 Navigator User Manual
113/292
8
Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114
Allmän information 115
Förvaring 117
Förberedelser för installationen 118
Installation 119
Fastsättning av pump 120
Användning 122
Start och användning av TV 902 Navigator 123
Avstängning av TV 902 Navigator 124
Nödstopp 124
Underhåll 125
Bortskaffning 126
Översättning av originalinstruktionerna
8 Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära
turbopumpar
114/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har
en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten
och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan
rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att
rotationsenergin frigörs.
VARNING!
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på
operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
Bruksanvisning
Allmän information
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 115/292
Allmän information
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör
läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent
före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador
helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna,
olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt
bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala
föreskrifter.
Systemet TV 902 Navigator består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet.
Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av
vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 38000
varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i TV 902 Navigator, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
TV 902 Navigator har dessutom hjälpkontakter som gör det möjlig att
förse ström till en extra ventilator, att kontrollera
avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator
som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att
garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade
uppgifter finns i bilagan "Technical information".
8 Bruksanvisning
Allmän information
116/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
OBSERVER! Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för
att undvika skador på maskinen.
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur
eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat
fall finns risk för svåra personskador.
OBSERVERA Detta visar på viktig information i texten.
Bruksanvisning
Förvaring
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 117/292
Förvaring
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda
och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar:
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när
de mottas och sätts i drift för första gången.
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
OBSERVER!
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka
till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för
ytterligare information.
8 Bruksanvisning
Förberedelser för installationen
118/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Förberedelser för installationen
TV 902 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken
på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 902
Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart
till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
OBSERVER! Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer
pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 902 Navigator. Trots det
är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet,
för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Figur 1
Bruksanvisning
Installation
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 119/292
Installation
OBSERVER!
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till
systemet.
Denna apparat får endast installeras inomhus. Den får inte användas
i miljöer som utsätts för atmosfärförändringar (regn, is, snö), damm,
frätande gaser eller i områden med hög explosions- eller brandrisk.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
temperatur: från +10 °C till +35 °C
relativ luftfuktighet: 0 – 90 % (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med särskilda skärmar.
Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV
902 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i
"Technical information").
8 Bruksanvisning
Fastsättning av pump
120/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Fastsättning av pump
VARNING!
I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet
utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda
vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från
pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen
eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller
skador på apparater i närheten.
Fäst TV 902 Navigator i ett stabilt läge genom att ansluta
turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett
vridmoment på 6800 Nm kring sin axel.
Den här “Bolted Flange” till exempel kan fixeras med höghållfasta
stålskruvar M10 (klass högre än 8.8).
I tabellen nedan anges hur många skruvar som behövs och med vilket
moment de ska dras åt.
FLÄNS DIMENSION SKRUVAR ANT. ÅTDRAGNINGSMOMENT
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbopumpen med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”.
TV 902 Navigator kan installeras i valfri position.
Bruksanvisning
Fastsättning av pump
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 121/292
OBSERVERA
TV 902 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.
OBSERVER!
TV 902 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller
överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen
till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 902 Navigator är
utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella
kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går
att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är
ansluten till TV 902 Navigator har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel
enligt standard EN 61010-1.
8 Bruksanvisning
Användning
122/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Användning
I denna paragraf beskrivs de huvudsakliga driftsförloppen. Innan du
använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska
anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid
inloppet aldrig överstiga 80 °C.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till
vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte
turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika
brännskador.
OBSERVER! Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av
turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med
luft eller med ädelgaser, fria från damm eller andra partiklar. Ingångstrycket mot
rätt port måste understiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket). För pumpning
av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom
vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda
lagren (se bilagan “Technical information”).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller
radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje
enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
Bruksanvisning
Användning
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 123/292
Start och användning av TV 902 Navigator
För att starta TV 902 Navigator behöver du bara ansluta till ett
eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen
förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
“Soft Start” är till för att starta pumpen efter att den har stått stilla
en längre tid. För att kunna starta med funktionen “Soft Start” aktiv
måste man återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket
“RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilagan “Technical
Information”).
Den gröna lysdioden på underdelen av TV 902 Navigator anger,
genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:
fast sken: pumpen roterar normalt;
långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i läge för
acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock";
hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
8 Bruksanvisning
Användning
124/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Avstängning av TV 902 Navigator
Om du vill stänga av TV 902 Navigator behöver du bara dra ut
elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter
omedelbart pumpens funktion.
VARNING!
För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en
strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
tillsammans med kontakt (godkänd på internationell nivå). Använd sladden
och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar
och enligt krävande EU normer. Den höga spänningen som framkallas av
styrenheten kan orsaka personskador eller till och med döda. Dra därför
alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti
enheten.
Nödstopp
Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av TV
902 Navigator.
Bruksanvisning
Underhåll
8
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 125/292
Underhåll
TV 902 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras
av auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning
avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta
sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än
50 ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller
Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat
system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller advanced exchange
service, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av
bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
8 Bruksanvisning
Bortskaffning
126/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bortskaffning
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas
nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats
som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som
tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med
vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas. Vi
rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
TV 902 Navigator User Manual
127/292
9
Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper 128
Generell informasjon 129
Lagring 131
Klargjøre til installasjon 132
Installasjon 133
Festing av pumpen 134
Bruk 136
Starte og bruke TV 902 Navigator 137
Stoppe TV 902 Navigator 138
Nødstopp 138
Vedlikehold 139
Eliminering 140
Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen
9 Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær
Pumper
128/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper
De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende
Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den
høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til
pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt
mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien
bli frigitt.
ADVARSEL!
For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye!
Instruksjon Manual
Generell informasjon
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 129/292
Generell informasjon
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren
bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra
Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for
hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse
instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke
autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte
er i strid med nasjonale bestemmelser.
TV 902 Navigator systemet består av en turbo-molekulær pumpe for
bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet
kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000 opm)
koplet til en svært effektiv trefase elektrisk motor. TV 902 Navigator
har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med
behov for "rene" vakuum.
Den har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for forsyning av
en ekstra vifte, styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av
systemet med en serietilkoplet (RS232 eller RS485) vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for
å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises
det til tillegget "Teknisk informasjon".
9 Instruksjon Manual
Generell informasjon
130/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
FORSIKTIG! Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges,
kan føre til at utstyret skades.
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en
spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan
medføre alvorlige skader.
MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten.
Instruksjon Manual
Lagring
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 131/292
Lagring
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende
miljøforhold overstiges:
Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de
mottas og startes opp første gang.
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra
sendedato.
FORSIKTIG!
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen
returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for
informasjon.
9 Instruksjon Manual
Klargjøre til installasjon
132/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Klargjøre til installasjon
TV 902 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du
ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 902 Navigator pakkes
ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for
støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om
miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG! For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum
håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende
verneutstyr.
MERK Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 902 Navigator.
Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik
at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving.
Figur 1
Instruksjon Manual
Installasjon
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 133/292
Installasjon
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til
systemet.
Dette apparatet må bare installeres i lukkede lokaler. Det må iallfall
ikke installeres i lokaler som er utsatt for vær og vind (regn, frost,
snø), støv, aggressive gasser, i eksplosive eller brannfarlige miljøer.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
temperatur: fra +10 °C til +35 °C
relativ fuktighet: 0 – 90 % (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se
“Teknisk informasjon” for detaljer.
TV 902 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk
informasjon").
9 Instruksjon Manual
Festing av pumpen
134/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Festing av pumpen
ADVARSEL!
Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og
systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen
ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra
systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster. I dette tilfellet
kan metallsplinter kastes ut fra pumpen eller fra systemet. Dette kan
føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i
nærheten.
Fest TV 902 Navigator i en stabil posisjon, monter turbopumpens
innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand
til å tåle et dreiemoment på 6800 Nm rundt sin egen akse.
For eksempel, denne Bolted Flange kan festes med ekstra resistente
stålskruer M10 (klasse over 8.8).
Følgende tabell viser det nødvendige antall skruer og de
korresponderende torque fester.
FLENS SKRUENES STØRRELSE ANT. STRAMME-MOMENT
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat må festes til
vakuumskammeret ved hjelp av den dertil egnede lille mekaniske
innretningen Agilent. For detaljer henvises det til avsnittet for
”Teknisk informasjon”. TV 902 Navigator kan monteres i en valgfri
stilling.
Instruksjon Manual
Festing av pumpen
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 135/292
MERK TV 902 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet.
FORSIKTIG!
TV 902 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse)
nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en
ledning for strømtilførsel som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV
902 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og
seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen
deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av
anordningen koplet til TV 902 Navigator har en egnet isolering, også under
forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
9 Instruksjon Manual
Bruk
136/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruk
De viktigsteinstruksjonene for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Før systemet tas i bruk må en utføre alle elektriske og pneumatiske
koblinger. Ved en eventuell oppvarmingen av vakuumkammeret, må
temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør
turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
FORSIKTIG! Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbopumpen når den er
i funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass
ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen, gjennom den dertil egnede
åpning, må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). Ved pumping
av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Gjennom
denne åpningen er det nødvendig å tilføre en flyt av inaktive gasser (argon
eller kvelstoff) for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon").
MERK Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal
ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
Instruksjon Manual
Bru
k
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 137/292
Starte og bruke TV 902 Navigator
TV 902 Navigator startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten.
Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og
startsignaler, og starter pumpen.
Modusen “Myk Start” er beregnet for oppstarting av pumpen etter at
denne har vært uaktiv i en lengre periode.
For å oppnå en ”Myk Start” igjen er det nødvendig å tilbakestille
modusen via software (se avsnittet “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk Informasjon”).
Den grønne lysdioden på TV 902 Navigator basepanel angir systemets
funksjon ved hjelp av blink:
den lyser fast: pumpen roterer normalt
den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for
akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock”
den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
9 Instruksjon Manual
Bruk
138/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Stoppe TV 902 Navigator
TV 902 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den
innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart.
ADVARSEL!
Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se
tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er
internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet. Bruk denne kabelen
og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk
støt og for å overholde EU forskriftene. Høyspenningene som utvikler
seg inne i styreenheten kan føre til alvorlige skader eller dødsulykker.
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det
nødvendig å kople fra strømkabelen.
Nødstopp
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 902 Navigator i
en nødssituasjon.
Instruksjon Manual
Vedlikehold
9
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 139/292
Vedlikehold
TV 902 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun
utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til
rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn
50 °C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Agilents
reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan
tilby en overhalt pumpe til erstatning for den ødelagte.
MERK Før en pumpe returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte
mot et overhalt system, er det helt nødvendig å fylle ut og sende det vedlagte
skjemaet "Helse og sikkerhet" til det lokale salgskontoret. En kopi av dette
arket må vedlegges systemet som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale
bestemmelser.
9 Instruksjon Manual
Eliminering
140/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Eliminering
Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet
nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt
"WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering. Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av
anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som
kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i
kjøpekontrakten.
TV 902 Navigator User Manual
141/292
10
Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142
Yleisiä tietoja 143
Varastointi 145
Valmistelut asennusta varten 146
Asennus 147
Pumpun kiinnitys 148
Käyttö 150
TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö 151
TV 902 Navigatorin pysäyttäminen 152
Hätäpysäytys 152
Huolto 153
Hävittäminen 154
Alkuperäisen ohjeiden käännös
10 Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
142/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea
määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta
pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin
koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia
saattaa vapautua.
VAROITUS!
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 143/292
Yleisiä tietoja
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen
käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut
Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista,
jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen
käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TV 902 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla
varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean
tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken
tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai
kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 902 Navigator -
järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös
"puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on
mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla (RS 232/RS 485).
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
10 Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
144/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
HUOMIO! Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen
vahingoittumiseen.
VAROITUS!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai
toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin
henkilövaurioihin.
HUOM Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
Ohjekäsikirja
Varastointi
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 145/292
Varastointi
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu
toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia
ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
lämpötila: -20 °C - 70 °C.
suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä).
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu soft-
start-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä
ensimmäisen kerran.
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
HUOMIO! Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa
tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta.
10 Ohjekäsikirja
Valmistelut asennusta varten
146/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Valmistelut asennusta varten
TV 902 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli
siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita,
ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 902
Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan
kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399
ympäristön suojelusta.
HUOMIO! Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule
koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta.
HUOM TV 902 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Kuva 1
Ohjekäsikirja
Asennus
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 147/292
Asennus
HUOMIO! Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään
järjestelmään..
Asenna laite ainoastaan suljettuun tilaan. Älä käytä sitä
ilmastotekijöille (sade, pakkanen, lumi), pölylle tai syövyttäville
kaasuille altistuvissa, räjähdysvaarallisissa tai erittäin
palovaarallisissa tiloissa.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
lämpötila: + 10 °C – +35 °C
suhteellinen kosteus: 0 - 90 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -
liitteestä.
TV 902 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” -
liitteen kaaviota).
10 Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
148/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Pumpun kiinnitys
VAROITUS!
Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa
kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä
momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun
kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai
järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä
olevien laitteiden vaurioita.
Kiinnittäkää TV 902 Navigator vakaaseen asentoon asentamalla
turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella,
joka kestää 6800 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
Tämä ruuvilaippa voidaan esimerkiksi kiinnittää kestävillä
teräsruuveilla M10 (lujuusluokka yli 8,8).
Seuraavassa taulukossa esitetään vaadittu ruuvimäärä ja vastaava
vääntömomentti.
LAIPPA RUUVIEN KOKO MÄÄRÄ KIRISTYS- MOMENTTI
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla.
Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
TV 902 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 149/292
HUOM TV 902 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta.
HUOMIO! TV 902 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen
asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi
sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 902 Navigator
laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on
kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena
olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 902 Navigator laitteeseen
kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä
EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
10 Ohjekäsikirja
Käyttö
150/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Käyttö
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta.
VAROITUS!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko
turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila
saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia.
HUOMIO! Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä
laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän
paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on
varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi
pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi
(katso “Tekniset tiedot” -liite).
VAROITUS!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten
kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa
menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen
lähellä.
Ohjekäsikirja
Käyttö
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 151/292
TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö
TV 902 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään
sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti
lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun.
“Soft Start” –tapaa käytetään pumpun käynnistykseen pitkien
seisokkiaikojen jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa “Soft
Start” –tavalla, tulee kyseinen tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston
avulla (ks. kappale “RS 232/485 VIESTINNÄN KUVAUS” “Tekniset
tiedot” -liitteessä).
Vihreä LED, joka sijaitsee TV 902 Navigator:n perustan paneelissa,
osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet:
palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,
jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;
vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
10 Ohjekäsikirja
Käyttö
152/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigatorin pysäyttäminen
TV 902 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti
sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun
välittömästi.
VAROITUS!
Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on
tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla
johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien
taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun
pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset
täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia
onnet-tomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön
sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista.
Hätäpysäytys
TV 902 Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla
sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
Ohjekäsikirja
Huolto
10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 153/292
Huolto
TV 902 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet
tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAROITUS!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti
sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu
venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän
jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Agilentin
korjauspalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on
ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen
kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
10 Ohjekäsikirja
Hävittäminen
154/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Hävittäminen
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä
merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan
keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan,
olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
TV 902 Navigator User Manual
155/292
11
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου 156
Γενικεσ πληροφοριεσ 157
Αποθηκευση 159
Προετοιμασια για την εγκατασταση 160
Εγκατασταση 161
Στερεωση τησ αντλιασ 162
Χρηση 164
Έναυση και Χρήση του TV 902 Navigator 165
Σταμάτημα του TV902 Navigator 166
Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj 166
Συντηρηση 167
Χώνευση 168
Μεταφραση οδηγιων χρησησ
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες
Στροβίλου
156/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
   ,    
E      
,        
       .
    ,   
 /       
,     .
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη
τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο
παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Γενικεσ πληροφοριεσ
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 157/292
Γενικεσ πληροφοριεσ
     .  
        
       
Agilent,      . Agilent 
         
,      
,      
     .
 TV 902 Navigator     
       
      .   
     ,  , 
        .
      
    (38000 .// max) 
      .  TV
902 Navigator    , 
        «» .
 TV 902 Navigator     
       ,
    (vent),   
  computer host   
(serial)  (RS232/RS485).
      
        
    .  
   « » (“Technical
Information”).
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Γενικεσ πληροφοριεσ
158/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Αυτό το εγχειρίδιο χρησιμοποιεί τους ακόλουθους συμβατικούς
όρους:
ΠΡΟΣΟΧΗ! Οι ενδείξεις προσοχής εμφανίζονται πριν από τις διαδικασίες οι οποίες, αν δεν
τηρηθούν, θα μπορούσαν να προκαλέσουν βλάβες στη συσκευή.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Οι ενδείξεις κινδύνου ελκύουν την προσοχή του χειριστή σε μία διαδικασία ή
σε μία ειδική εργασία η οποία αν δεν εκτελεστεί σωστά, θα μπορούσε να
προκαλέσει σοβαρές προσωπικές βλάβες.
ΣΗΜΕΙΩΣΗ Οι σημειώσεις περιέχουν σημαντικές πληροφορίες που έχουν αποσπαστεί από το
κείμενο.
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Αποθηκευση
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 159/292
Αποθηκευση
        
   Agilent,     
:
  ,       
       :¿
  -20 °C  70 °C
   0  95 % ( )
        
 -     
   
      10
    .
ΠΡΟΣΟΧΗ! Εάν, για οποιοδήποτε λόγο, ο χρόνος αποθήκευσης είναι μεγαλύτερος,
χρειάζεται να επιστρέψετε την αντλία στο εργοστάσιο. Για κάθε πληροφορία
παρακαλούμε να επικοινωνήσετε με την τοπική αντιπροσωπεία της Agilent.
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Προετοιμασια για την εγκατασταση
160/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Προετοιμασια για την εγκατασταση
 TV 902 Navigator     
:        
      ,    
   .      
,          
TV 902 Navigator      . 
    .   
      ... 85/399  
  .
ΠΡΟΣΟΧΗ! Για να αποφύγετε προβλήματα απαγωγής αερίου, μην αγγίζετε με γυμνά χέρια
τα συστατικά που είναι προορισμένα να εκτεθούν στο κενό. Χρησιμοποιείτε τα
γάντια ή άλλη κατάλληλη προστασία.
ΣΗΜΕΙΩΣΗ Το TV 902 Navigator δεν βλάπτεται απλά παραμένοντας εκτεθειμένο στο
περιβάλλον. Εντούτοις συμβουλεύεται να διατηρείτε κλειστή την αντλία μέχρι τη
στιγμή της εγκατάστασης στο σύστημα ώστε να αποφευχθεί μία ενδεχόμενη
ρύπανση από σκόνη.
Φιγούρα 1
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Εγκατασταση
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 161/292
Εγκατασταση
ΠΡΟΣΟΧΗ! Ξεκολλήστε το αυτοκόλλητο και βγάλτε το προστατευτικό καπάκι μόνο τη
στιγμή της σύνδεσης της τουρμποαντλίας στο σύστημα.
          
       
  (, , ), , 
,       .
         
 :
 : 2 bar     
:  +10 °C  +35 °C
 : 0 – 90 % ().
      
   .   
« »   .
 TV 902 Navigator       
 (   « »).
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Στερεωση τησ αντλιασ
162/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Στερεωση τησ αντλιασ
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Αν παρουσιαστεί ζημιά στον ρότορα, η σύνδεση ανάμεσα στην αντλία και στο
σύστημα μπορεί να εφαρμοστεί σημαντική ροπή. Αν η σύνδεση δεν είναι
επαρκής για να αντέξει σε τέτοιου είδους ροπή, η αντλία μπορεί να
αποσυνδεθεί από το σύστημα ή το μοτέρ μπορεί να αποκολληθεί από το
κάλυμμα της αντλίας. Σ’αυτήν την περίπτωση ύπάρχει κίνδυνος να πεταχτούν
κομματάκια μετάλλου από την αντλία ή το σύστημα, που θα μπορούσαν να
προκαλέσουν σοβαρό τραυματισμό ή θάνατο και/ή ζημιά στον παρακείμενο
εξοπλισμό.
  TV 902 Navigator     
      
,        6800 Nm 
   .
 ,  Bolted Flange     
M10     (   8,8).
       
    .
ΦΛΑΝΤΖΑ ∆ΙΑΣΤΑΣΗ ΒΙ∆ΩΝI Ν. ΖΕΥΓΟΣ ΒΙ∆ΩΜΑΤΟΣ
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
    ConFlat    
       Agilent.
   « »  
.  TV 902 Navigator    
 .
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Στερεωση τησ αντλιασ
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 163/292
ΣΗΜΕΙΩΣΗ Το TV 902 Navigator δεν μπορεί να στερεωθεί διαμέσου της βάσης του.
ΠΡΟΣΟΧΗ! Ο TV 902 Navigator ανήκει στη δεύτερη κατηγορία εγκατάστασης (ή
υπέρτασης) που προβλέπεται από τον κανονισμό EN 61010-1. Κατά συνέπεια
σσυνδέετε τη διάταξη σε μία γραμμή τροφοδότησης η οποία ικανοποιεί αυτήν
την κατηγορία. Ο TV 902 Navigator έχει βύσματα για τις εισόδους/εξόδους και
για τη σειριακή επικοινωνία που πρέπει να συνδεθούν στα εξωτερικά
κυκλώματα έτσι ώστε να μην είναι προσιτό κανένα μέρος υπό τάση.
Βεβαιωθείτε ότι η μόνωση της συνδεδεμένης διάταξης στον TV 902 Navigator
έχει μια κατάλληλη μόνωση ακόμα και σε κατάσταση μονής βλάβης όπως
προβλέπεται από τον κανονισμό EN 61010-1.
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
164/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Χρηση
       
.      
     .    
    ,  
       80 °C.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Μην αφήνετε ποτέ να λειτουργεί η αντλία αν η φλάντζα εισόδου δεν είναι
συνδεδεμένη στο θάλαμο κενού ή δεν είναι κλειστή με τη φλάντζα
κλεισίματος. Μην αγγίζετε την τουρμποαντλία και τα ενδεχόμενα εξαρτήματά
της κατά τις εργασίες θέρμανσης. Η υψηλή θερμοκρασία μπορεί να
προκαλέσει προσωπικές βλάβες.
ΠΡΟΣΟΧΗ! Αποφύγετε συγκρούσεις, ολισθήσεις ή απότομες μετακινήσεις της αντλίας
τούρμπο όταν βρίσκεται σε λειτουργία. Θα μπορούσαν να πάθουν ζημιές τα
κουζινέτα. Για να διοχετεύσετε με αέρα την αντλία χρησιμοποιείτε αέρα ή
αδρανές αέριο καθαρό από σκόνη ή άλλα στοιχεία. Η πίεση εισόδου διαμέσου
της ειδικής πόρτας, πρπεπει να είναι μικρότερη από 2bar (πάνω από την
ατμοφαιρική πίεση). Για την άντληση πολεμικών αερίων αυτές οι αντλίες είναι
εφοδιασμένες με μια ειδική θυρίδα μέσω της οποίας είναι αναγκαία η
διοχέτευση αδρανούς αερίου (Άζωτο ή Αργό) για να προστατευτούν τα έδρανα
(βλέπε το παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες»).
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Όταν η αντλία χρησιμοποιείται για την άντληση τοξικών, εύφλεκτων ή
ραδιενεργών αερίων, ακολουθείτε τις κατάλληλες χαρακτηριστικές
διαδικασίες του κάθε αερίου. Μη χρησιμοποιείτε την αντλία παρουσία
εκρηκτικών αερίων.
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 165/292
Έναυση και Χρήση του TV 902 Navigator
    TV 902 Navigator     
.    
    interlock     
.
 “Soft Start”       
   .       “Soft
Start”         
software (   “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION”   “Technical Information”).
  LED         TV 902
Navigator ,     , 
   ::
      ˙
  (  400 ms):    
 , , stop, “Waiting for
interlock”.
  (  200 ms): 
.
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
166/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Σταμάτημα του TV902 Navigator
    TV 902 Navigator    
  .    
 .
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Για την ασφάλεια του χειριστή το controller Turbo-V πρέπει να
τροφοδοτείται διαμέσου ενός καλωδίου τροφοδότησης με τρία σύρματα
(βλέπε τον πίνακα κατάταξης των μερών ) εφοδιασμένο με
ρευματολήπτ11(στάνταρ διεθνώς εγκεκριμένο). Αυτό το καλώδιο
τροφοδότησης με τον ρευματολήπτη να χρησιμοποιείται μαζί με έναν
ρευματοδότη κατάλληλα συνδεδεμένο με το έδαφος για να αποφεύγεται η
ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγιών ΕΚ. Οι
υψηλές τάσεις που αναπτύσσονται στο κοντρόλερ μπορούν να προκαλέσουν
σοβαρές βλάβες ή τον θάνατο. Πριν πραγματοποιήσετε εργασίες συντήρησης
στη μονάδα βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης.
Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj
        TV 902
Navigator        
.
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Συντηρηση
11
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 167/292
Συντηρηση
 TV 902 Navigator    . 
      .
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Πριν επιχειρήσετε οποιαδήποτε επέμβαση στο σύστημα, αποσυνδέστε το από
την τροφοδοσία, κάντε εξαέρωση στην αντλία ανοίγοντας την ειδική βαλβίδα,
περιμένετε μέχρι να σταματήσει τελείως ο ρότορ και αναμένετε η
επιφανειακή θερμοδρασία της αντλίας να είναι κατώτερη από 50 °C.
       service  Agilent
 “Agilent advanced exchange service”,    
        
.
ΣΗΜΕΙΩΣΗ Πριν επιστρέψετε στον κατασκευαστή την αντλία για επισκευή ή για advanced
exchange service, είναι απαραίτητο να συμπληρώσετε και να παρουσιάσετε στο
τοπικό Γραφείο Πωλήσεων, το έντυπο «Σιγουριά και Υγεία» συνημμένο στο παρόν
εγχειρίδιο οδηγιών. Αντίγραφο του ίδιου εντύπου πρέπει να υπάρχει μέσα στη
συσκευασία της αντλίας πριν από την αποστολή.
      ,  
      .
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χώνευση
168/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες.  
      ..  
"WEEE".    (που ισχύει μόνο για τις χώρες της
Ευρωπαϊκής Κοινότητας)       
,        
 ,    . ,
           
         
 ,    
.
TV 902 Navigator User Manual
169/292
12
Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 170
Általános információ 171
Tárolás 173
Előkészítés telepítésre 174
Telepítés 175
A szivattyú rögzítése 176
Használat 178
A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése 179
A TV 902 Navigator kikapcsolása 180
Vészleállítás 180
Karbantartás 181
Megsemmisítés 182
Az eredeti utasítás fordítása
12 Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris
szivattyúkhoz
170/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási
energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok
fajlagos tömege miatt.
A rendszer hibás mködése – például a rotor és az állórész
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia
felszabadulhat.
VESZÉLY!
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
Felhasználói Kézikönyv
Általános információ
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 171/292
Általános információ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A
felhasználónak a berendezés mködtetése eltt el kell olvasnia ezt a
gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A
Agilent elhárít magától minden felelsséget minden olyan esemény
esetében, amely ezen utasítások részben vagy teljes egészében való
be nem tartása, a berendezés szakképzetlen személyek által történ
nem megfelel használata, az engedély nélküli beavatkozások vagy a
specifikus nemzeti szabványokkal ellentétes bármely mvelet miatt
történik.
A TV 902 Navigator egy nagy és rendkívül nagy
vákuumalkalmazásokhoz való turbo-molekuláris szivattyból és a
megfelel vezérlegységbl álló integrált rendszer. A rendszer
bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni, De nem
alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A
szivattyúzást egy nagyteljesítmény 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebesség turbina (max. 38000 fordulat/perc) biztosítja.
A TV 902 Navigator szennyezanyagoktól mentes, és ezért alkalmas
„tiszta” vákuumot igényl alkalmazásokra.
A berendezés rendelkezik olyan segédcsatlakozókkal, melyken
keresztül további ventillátort táplálhat, vezérelheti a ventillátor
szelepet, és távvezérlésel mködtethet egy sorosan (RS232 vagy
RS485) csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következ bekezdések a berendezést használó kezel biztonságának
garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes
információt talál a „Mszaki információ” függelékben.
12 Felhasználói Kézikönyv
Általános információ
172/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja:
FIGYELEM! A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem
tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
VESZÉLY!
A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra
vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi
sérülésekhez vezethet.
MEGJEGYZÉS A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak.
Felhasználói Kézikönyv
Tárolás
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 173/292
Tárolás
A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következ útmutatásokat kell
követni:
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következ
környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
hmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi, és elször üzemelteti ket.
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a
szállítás dátumától számítva.
FIGYELEM! Ha valamilyen okból a raktározási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a
gyárba. Információért forduljon a helyi Agilent képviselethez.
12 Felhasználói Kézikönyv
Előkészítés telepítésre
174/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Előkészítés telepítésre
A TV 902 Navigatort különleges védcsomagolásban szállítják. Ha ez
sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a
helyi képviselethez. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy
ne ejtse le a TV 902 Navigatort, és kerülje annak bármilyhez való
hozzáütését vagy rázkódását. Ne dobja el a csomagoló anyagokat a
környezetben! Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel a
85/399/EK a Környezetvédelemrl szóló irányelvnek.
FIGYELEM! Gázkivonási problémák elkerülésére, ne érintse meg puszta kézzel a
vákuumnak kitett komponenseket. Mindig viseljen kesztyűt vagy más
alkalmas védőfelszerelést.
MEGJEGYZÉS Ha csak a légkörnek van kitéve, az nem károsíthatja a TV 902 Navigatort. Mégis
ajánlatos zárva tartani a szivattyút a rendszerbe való telepítésig,
megakadályozva a porral való szennyeződés bármely formáját.
Ábra 1
Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 175/292
Telepítés
FIGYELEM! Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú
rendszerre csatlakoztatása előtt.
Csak beltéri környezetbe telepítse az eszközt, és semmilyen esetben
se használja káros idjárási jelenségeknek (es, hó, jég), pornak,
agresszív gázoknak kitett, illetve robbanás- vagy tzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következ környezeti feltételeket
kell biztosítani:
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
hmérséklet: +10 °C-tól +35 °C-ig
relatív páratartalom: 0 – 90% (nem kondenzáló)
Elektromágneses mezk jelenlétében a szivattyút ferromágneses pajzs
segítségével védeni kell. Részletes információért lásd a „Mszaki
információ” fejezetet. A TV 902 Navigatort egy elsdleges
szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd "Mszaki információ”).
12 Felhasználói Kézikönyv
A szivattyú rögzítése
176/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
A szivattyú rögzítése
VESZÉLY!
Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyú és a rendszer közötti csatlakozás
jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem képes ezt a
nyomatékot elviselésni, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motor
leválhat a szivattyúházról. Ebben az esetben fémrészecskék repülhetnek szét
a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly károkat illetve halálos
sérüléseket és/vagy a többi gép károsodását okozhatja.
Rögzítse a TV 902 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 6800 Nm
tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással.
Például ez a csavarmenetes karima rögzíthet nagy teherbírású M10
acélcsavarokkal (8.8-nál magasabb osztály).
A következ táblázat a csavarok szükséges számát és a rögzít
nyomatékot mutatja.
KARIMA CSAVARMÉRET
SZÁM RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelel Agilent
mechanikus alkatrészekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához.
Részletes leírásért lásd „Mszaki információ”. A TV 902 Navigator
bármely helyzetben felszerelhet.
Felhasználói Kézikönyv
A szivattyú rögzítése
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 177/292
MEGJEGYZÉS
A TV 902 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül.
FIGYELEM! A TV 902 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához
tartozik az EN 61010-1 szabvány szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti
kategóriának megfelelő hálózatra. A TV 902 Navigatornak olyan
bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket
úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy semmilyen feszültség alatt
lévő rész ne legyen hozzáférhető. Győződjön meg arról, hogy a TV 902
Navigatorhoz csatlakoztatott eszköz szigetelése megfelelő még egyes hibák
esetén is az RN 61010-1 irányelv szerint.
12 Felhasználói Kézikönyv
Használat
178/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvet üzemeltetési eljárásokat. A
rendszert, az üzemeltetés megkezdése eltt, minden elektromos és
pneumatikus csatlakozásra kösse rá. A vákuumkamra esetleges
felmelegedésekor a bemeneti karimánál mért hmérséklet nem
haladhatja meg a 80 °C-ot.
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM! Kerülje a turbószivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben.
A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes
levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú átlevegőztetéséhez. A bemeneti
nyomásnak, a megfelelő bemenetnél mérve, 2 barnál kisebbnek kell lennie (a
légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk
egy különleges bemenettel vannak felszerelve, melyen keresztül közömbös
gáz (pl. N2, Ar) kell a szivattyúba áramoltatni, hogy megvédjük a csapágyakat
(lásd „Műszaki információ” c. függelék).
VESZÉLY!
Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!
Felhasználói Kézikönyv
Használat
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 179/292
A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése
A TV 902 Navigator bekapcsolásához elegend azt rákapcsolni a
tápfeszültségre. A beépített vezérl automatikusan felismeri a
kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
A lágy indítás (Soft Start) üzemmódot arra tervezték, hogy a
szivattyút hosszabb mködtetésmentes idszak után így indítsák be.
Aktivált lágy indítás üzemmóddal történ indításhoz a fenti
üzemmódot egy szoftveren keresztül kell beállítani (lásd az “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” (KOMMUNIKÁCIÓ
LEÍRÁSA) pontot a Mszaki információk c. mellékletben).
A TV 902 Navigator-en elhelyezett zöld LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
ha nem villog: a szivattyú rendesen forog;
ha lassan villog (kb. 400 ms-os periódus): a rendszer
gyorsulásban, fékezésben, leállás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
ha gyorsan villog (kb. 200 ms-os periódus): az meghibásodást
jelent.
12 Felhasználói Kézikönyv
Használat
180/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
A TV 902 Navigator kikapcsolása
A TV 902 Navigator kikapcsolásához egyszeren le kell kapcsolni a
tápfeszültséget. A beépített vezérl azonnal leállítja a szivattyút.
VESZÉLY!
A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres
betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami
egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva.
Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal
használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és eleget tegyen az EK
normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek. A magasfeszültség,
ami az ellenőrző egységben keletkezik, súlyos sérüléseket, sőt halált
okozhat. Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne,
kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt.
Vészleállítás
A TV 902 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához ki kell
húzni a tápkábelt a hálózati aljazatból.
Felhasználói Kézikönyv
Karbantartás
12
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 181/292
Karbantartás
A TV 902 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett
bármely karbantartási munkát arra jogosultsággal rendelkez
személyzetnek kell elvégeznie.
VESZÉLY!
Mielőtt bármely munkát elvégezne a rendszeren, válassza le azt a
tápfeszültségről, levegőztesse át a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú
felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Agilent
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a
hibás helyett.
MEGJEGYZÉS
Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
kézikönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” űrlapot ki kell tölteni, és el kell
küldeni a helyi kereskedelmi irodához. Az űrlap egy másolatát szállítás előtt el kell
helyezni a rendszert tartalmazó csomagba.
Ha a szivattyút le kell selejtezni, azt a specifikus nemzeti
elírásoknak megfelelen ártalmatlanítani kell.
12 Felhasználói Kézikönyv
Megsemmisítés
182/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Megsemmisítés
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható
szimbólum az EK "WEEE" elnevezés irányelvével összhangban kerül
alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható,
NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt
megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyjt rendszerbe
kell továbbítani. A végfelhasználónak, a gyjtési és megsemmisítési
eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerzdés határidinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy
viszonteladó.
TV 902 Navigator User Manual
183/292
13
Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 184
Ogólne informacje 185
Magazynowanie 187
Przygotowanie do instalacji 188
Instalacja 189
Mocowanie pompy 190
Użytkowanie 192
Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator 193
Zatrzymanie TV 902 Navigator 194
Zatrzymanie Alarmowe 194
Konserwacja 195
Przetworstwo odpadow 196
Tłumaczenie instrukcji oryginalnej
13 Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla
Pomp Turbomolekularnych
184/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsugi
posiadaj wysok ilo energii kinetycznej spowodowanej bardzo
wysok prdkoci obrotow razem z mas waciw wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykad z powodu kontaktu
midzy wirnikiem a stojanem lub z powodu pknicia wirnika,
energia obrotowa moe by zwolniona.
ZAGROZENIE!
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących
instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi!
Podrecznik Instrukcji
Ogólne informacje
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 185/292
Ogólne informacje
Ta aparatura jest przeznaczona do uytku zawodowego. Uytkownik
musi przeczyta bardzo uwanie niniejsz instrukcj kad
dodatkow informacj dostarczon przez firm Agilent przed
uytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla si od jakiejkolwiek
odpowiedzialnoci w przypadku czciowego lub cakowitego
nieprzestrzegania instrukcji, w przypadku niewaciwego
uytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku
nieupowanionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania
odpowiednich norm krajowych.
Urzdzenie TV 902 Navigator jest zintegrowanym systemem
skadajcym si z pompy turbomolekularnej stosowanej do
wytwarzania wysokich i ultra wysokich próni i z relatywnego
kontrollera. System jest w stanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub
mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania
pynów lub staych czstek.
Efekt pompowania jest uzyskiwany poprzez turbin obrotow o
wysokiej prdkoci (max. 38000 obr./min) napdzan przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajnoci. Urzdzenie TV
902 Navigator jest cakowicie pozbawiony czynników
zanieczyszczajcych, a wic odpowiedni do zastosowa gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” prónia.
Poza tym posiada konektory pomocnicze poprzez które istnieje
moliwo zasilania dodatkowego wentylatora, sterowania zaworem
wentylacyjnym, zdalnego kierowania nim z gównego komputera host
podczonego do linii szeregowej (RS232 lub RS485).
W nastpnych paragrafach zostay przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczestwa
operatora podczas uytkowania aparatury. Szczegóowe informacje
przedstawiono w dodatku „Technical information”.
13 Podrecznik Instrukcji
Ogólne informacje
186/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia:
UWAGA! Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w
przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury.
ZAGROZENIE!
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej
procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie
mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała.
PRZYPIS Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
Podrecznik Instrukcji
Magazynowanie
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 187/292
Magazynowanie
W celu zagwarantowania najwyszego poziomu funkcjonalnoci i
niezawodnoci pomp Turbomolekularnych Agilent naley
przestrzega nastpujcych zalece:
podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie
naley przekracza nastpujcych warunków rodowiskowych:
temperatura: od –20 °C do 70 °C
wzgldna wilgo od 0 do 95 % ( bez opar)
klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomi· w sposób
Soft-Start
czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10
miesicy od daty wysyki.
UWAGA! Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy
odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy
skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent.
13 Podrecznik Instrukcji
Przygotowanie do instalacji
188/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Przygotowanie do instalacji
Urzdzenie TV 902 Navigator jest dostarczane w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku ladów uszkodze do których
mogoby doj podczas transportu, skontaktowa si z miejscowym
biurem sprzeday. Podczas rozpakowywania, naley zwróci
szczególn uwag aby nie spowodowa upadku urzdzenia TV 902
Navigator ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom. Nie
porzuca opakowania w rodowisku. Materia ten nadaje si
cakowicie do recyklingu bo zgodny z dyrektyw UE 85/399
dotyczcej ochrony rodowiska.
UWAGA! Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma
części przeznaczonych do wytwarzania próżni. Należy zawsze stosować
odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie.
PRZYPIS Urządzenie TV 902 Navigator, nie może być uszkodzone poprzez wystawienie go
na działanie atmosfery. Dlatego też zaleca się aby pompa do momentu
zainstalowania jej w systemie pozostała zamknięta, celem uniknięcia
zanieczyszczenia jej pyłem.
Posta 1
Podrecznik Instrukcji
Instalacja
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 189/292
Instalacja
UWAGA! Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie
połączenia pompy do systemu.
Przyrzd ten naley umieszcza w miejscach zamknitych, i nie
stosowa go w miejscach wystawionych na dziaanie czynników
atmosferycznych (deszcz, mróz, nieg), pyów, niszczcych gazów, w
rodowiskach wybuchowych lub z wysokim ryzykiem poarowym.
Podczas dziaania naley obowizkowo przestrzega nastpujcych
warunkówi otoczenia:
maksymalne cinienie: 2 bary ponad cinieniem atmosferycznym
temperatura: od +10 °C do +35 °C
wzgldna wilgo: 0 – 90 % (bez opar).
W obecnoci pól elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio
zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu
szczegóowego zapoznania si z tematem patrz dodatek “Technical
Information”
TV 902 Navigator musi by podczony do gównej pompy (patrz
schemat w “Technical Information”)
13 Podrecznik Instrukcji
Mocowanie pompy
190/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mocowanie pompy
ZAGROZENIE!
W przypadku uszkodzenia wirnika, złącze między pompą i systemem może
być narażone na bardzo wysoki moment. Jeżeli złącze jest niewystarczające
by wytrzymać wspomiany moment, pompa może się odczepić od systemu lub
silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty
metalu mogą być wyrzucone przez pompę lub przez system, i mogą one
spowodować poważne uszkodzenia lub śmierć osób, jak i uszkodzić
aparaturę znajdującą się w pobliżu systemu.
Zamocowa TV 902 Navigator w pozycji stabilnej, montujc konierz
wejcia turbopompy do konierza systemu, dokrcajc w taki sposób
aby poczenie to wytrzymao moment 6800 Nm wokó wasnej osi.
Na przykad, ta Bolted Flange moe by zamocowana rubami M10
stalowymi o duej wytrzymaoci ( powyej klasy 8.8).
Niniejsza tabela opisuje ilo potrzebnych rub i na jaki moment
trzeba je dokrci.
KOŁNIERZ WYMIARY ŚRUBY Nr. MOMENT DOKRĘCENIA
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbopompa z konierzem wejciowym ConFlat musi by
przymocowana do komory próniowej odpowiednimi, maymi
narzdziami firmy Agilent. Aby pozna dodatkowe detale, patrz
dodatek „Technical Information”. TV 902 Navigator moe by
zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
Podrecznik Instrukcji
Mocowanie pompy
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 191/292
PRZYPIS TV 902 Navigator nie może być zamocowany poprzez własną podstawę.
UWAGA! TV 902 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia)
przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do
linii zasilania która spełnia te wymogi. TV 902 Navigator posiada konektory
wejściowe/ wyjściowe i do przekazu szezregowego które muszą być
podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca
się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja
przyrządu podłączonego do TV 902 Navigator, posiada odpowiednie nawet w
stanie pojedynczej usterki odizolowanie zgodnie z wymaganiami normy EN
61010-1.
13 Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
192/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Użytkowanie
W tym paragrafie zostay przedstawione gówne procedury
operatywne. Przed zastosowaniem systemu naley wykona
wszystkie poczenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas
ewentualnego nagrzania komory próniowej, temperatura na
konierzu nie moe przekroczy 80 °C.
ZAGROZENIE!
Nie należy nigdy uruchomiać pompy kiedy kołnierz wejściowy nie jest
podłączony do komory lub nie jest zamknięty kołnierzem zamykającym. Nie
dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji
nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na
osobach.
UWAGA! Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej
działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu powietrza pompy stosować
powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie
atmosferyczne). Do pompowania niszczących gazów pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ
obojętnego gazu (Azot lub Argon) celem zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek
„Technical Information”).
ZAGROZENIE!
Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo
palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury
typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów
wybuchowych.
Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 193/292
Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator
Aby wczy TV 902 Navigator wystarczy dostarczy napicie
zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecno
sygnaów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pomp.
Sposób “Soft Start” zosta przewidziany do wczenia pompy po
dugim okresie jej nie eksploatowania. By uruchomi pomp
uaktywnionym sposobem “Soft Start” naley odpowiednio
przystosowa software (przeczytaj paragraf “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical
Information”).
Zielona dioda LED znajdujca si na panelu podstawy TV 902
Navigator wskazuje czstotliwoci wasnego migania, stan
operatywny systemu:
zawiecona na stae: pompa znajduje si w normalnych obrotach;
miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
miga szybko ( okres 200 ms.): stan bdu.
13 Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
194/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Zatrzymanie TV 902 Navigator
Aby zatrzyma TV 902 Navigator wystarczy odczy napicie
zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pomp.
ZAGROZENIE!
Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V
powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę
części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z
międzynarodowymi normami). Kabel ten wraz z wtyczką podłączyć do
kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz
spełnienia wymogów norm CE. Duże siły wewnętrzne wytwarzające się w
kontrolerze mogą spowodować poważne uszkodzenia ciała lub śmierć.
Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego
urządzenia odłączyć kabel zasilający.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzyma w stanie awaryjno-alarmowym TV 902 Navigator
naley wycign kabel zasilania ze sterownika.
Podrecznik Instrukcji
Konserwacja
13
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 195/292
Konserwacja
Urzdzenie TV 902 Navigator nie wymaga adnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowaniony
personel.
ZAGROZENIE!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć
go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż
do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni
pompy będzie poniżej 50 °C.
W przypadku usterki moliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Agilent który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego
systemu w zastpstwie uszkodzonego systemu.
PRZYPIS Przed wysyłką systemu do konstruktora celem naprawy lub advanced exchange
service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego
wysyłką.
Jeeli pompa musi by poddana rozbiórce, rzystpi do jej eliminacji
zgodnie z obowizujcymi krajowymi normami w meritum sprawy.
13 Podrecznik Instrukcji
Przetworstwo odpadow
196/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Przetworstwo odpadow
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE”
Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE
moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub
przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu
przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej . Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i
warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z
dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu
zbiorki i przerobu.
TV 902 Navigator User Manual
197/292
14
Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 198
Všeobecné informace 199
Uskladnění 201
Příprava k instalaci 202
Instalace 203
Upevnění vývěvy 204
Použití 206
Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator 207
Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator 208
Nouzové zastavení 208
Údržba 209
Likvidace 210
Překlad originálního návodu
14 Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární
vývěvy
198/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývvy, jak jsou popisovány v následujícím
návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké
otáivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotor.
V pípad systémové nefunknosti, nap. kontaktu rotoru anebo
statoru nebo pi zhroucení rotoru mže dojít k uvolnní rotaní
energie.
NEBEZPEČÍ!
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za
účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy!
Návod k Použití
Všeobecné informace
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 199/292
Všeobecné informace
Toto zaízení je ureno pro odborníky. Uživatel by si ml ped
použitím zaízení peíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody,
které vzniknou následkem i ásteného nedodržení tchto pokyn,
nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávnným zásahem
do zaízení nebo jakoukoli inností, která je v rozporu s pokyny
uvedenými v píslušných státních normách.
Vývva TV 902 Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární
vývvou a píslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se
požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zaízení mže oderpávat
libovolný plyn nebo plynnou sms. Není vhodný na erpání tekutin
nebo pevných ástic.
erpání zajišuje velmi rychlá turbína (max. 38000 ot./min.)
pohánná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývva TV
902 Navigator neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí
pro aplikace vyžadující „isté" vakuum.
Je vybavena pídavnými konektory pro pipojení pídavného
ventilátoru, ovládání odvzdušovacího ventilu, který je ovládán na
dálku pomocí hostitelského poítae pipojeného sériovou linkou
(RS232 nebo RS485).
Následující odstavce obsahují informace potebné k zajištní
bezpenosti obsluhy pi používání této vývvy. Podrobné informace
jsou uvedeny v píloze „Technické informace".
14 Návod k Použití
Všeobecné informace
200/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Tento manuál používá následující standardní protokol:
POZOR! Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení
mohly poškodit zařízení.
NEBEZPEČÍ!
Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo
činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz.
POZNÁMKA Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
Návod k Použití
Uskladnění
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 201/292
Uskladnění
Aby byla zajištna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývv firmy Agilent, musíte dodržovat
následující pokyny:
Pi peprav, pemísování a skladování vývv byste nemli
pekraovat následující technické podmínky prostedí:
Teplotní rozptí : -20 °C až 70 °C
Rozptí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)
turbomolekulární vývvy musí uživatel po dodávce a poprvé
vždycky spouštt pozvoln
skladovatelnost turbomolekulární vývvy je 10 msíc ode dne
doruení.
POZOR! Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte
vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis
vývěv firmy Agilent.
14 Návod k Použití
Příprava k instalaci
202/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Příprava k instalaci
Vývva TV 902 Navigator se dodává ve speciálním ochranném balení.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k nmuž mohlo dojít
bhem pepravy, kontaktujte vaši místní prodejní poboku. Pi
vybalování dávejte pozor, aby vývva TV 902 Navigator nespadla a
chrate ji ped, otesy nebo vibracemi. Balicí materiál nevyhazujte do
volného prostedí. Tento materiál lze 100% recyklovat a spluje
požadavky smrnice EEC 85/399 na téma životního prostedí.
POZOR! Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při
manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte
rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA Normální prostředí nechráněnou vývěvu TV 902 Navigator nemůže poškodit.
Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do
systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Postava 1
Návod k Použití
Instalace
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 203/292
Instalace
POZOR! Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a
ochranné víko.
Toto zaízení instalujte pouze v místnosti a v žádném pípad vývvu
nepoužívejte v prostedí, kde by byla vystavena atmosférickým
vlivm (déš, mráz, sníh), prachu, agresivním plynm, ve výbušném
prostedí nebo v prostedí s vysokým nebezpeím požáru.
Za provozu je teba dodržovat následující podmínky dané prostedím:
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: od +10 °C do +35 °C
relativní vlhkost: 0 - 90% (bez srážení).
V pítomnosti magnetických polí se vývva musí chránit
feromagnetickým stínním. Viz podrobné informace v píloze
„Technické informace".
Vývva TV 902 Navigator se musí pipojit k primárnímu erpadlu (viz
„Technické informace").
14 Návod k Použití
Upevnění vývěvy
204/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Upevnění vývěvy
NEBEZPEČÍ!
Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být
vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude
schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od
systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V
tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které
by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení.
Vývvu TV 902 Navigator umístte do stabilní polohy a pívodní
pírubu turbomolekulární vývvy pipevnte k protipírub systému
pomocí pípojky, která odolá toivému momentu 6800 Nm kolem své
osy.
Nap. pírubu Bolted Flange lze pipevnit. vysokopevnostními
ocelovými šrouby M10 (tídy vyšší než 8.8).
Následující tabulka uvádí nezbytný poet šroub a píslušný
utahovací moment.
PŘÍRUBA VELIKOST ŠROUBŮ POČET UTAHOVACÍ MOMENT
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Pi pipojování turbomolekulární vývvy s pívodní pírubou ConFlat
k vakuové komoe použijte píslušné mechanické prvky zn. Agilent.
Viz podrobný popis v píloze „Technické informace". Vývva TV 902
Navigator se mže instalovat v libovolné poloze.
Návod k Použití
Upevnění vývěvy
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 205/292
POZNÁMKA
Vývěvu TV 902 Navigator nelze připevňovat využitím její základny.
POZOR! Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 902 Navigator do druhé
elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě,
která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 902 Navigator je vybavena vstupními
a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást nebyla
přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 902
Navigator byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice
EN 61010-1.
14 Návod k Použití
Použití
206/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postup.
Ped použitím systému provete všechna elektrická a pneumatická
pipojení. Pi zahívání vakuové komory teplota pívodní píruby
nesmí pekroit 80 °C.
NEBEZPEČÍ!
Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POZOR! Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby.
Mohla by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo
inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru
musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání
agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který
umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek
vývěvy (viz přílohu „Technické informace").
NEBEZPEČÍ!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
Návod k Použití
Použití
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 207/292
Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator
Pro uvedení vývvy TV 902 Navigator do provozu je nutné pivést
síové naptí. Integrovaný regulátor automaticky zjišuje pítomnost
signál blokování a spouštcích signál a uvede vývvu do provozu.
Pozvolný rozbh (Soft Start) se používá pro zapínání vývvy po delší
pestávce. Pro zapnutí s aktivním pozvolným rozbhem je nutno
obnovit tento zpsob v softwaru (viz odstavec „RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION“ v píloze „Technické informace“).
Zelená kontrolka umístná na panelu základny vývvy TV 902
Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
bez blikání: vývva se otáí normáln;
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá
nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu „ekání na blokování”;
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
14 Návod k Použití
Použití
208/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator
Vývva TV 902 Navigator se vypne odpojením síového naptí.
Vestavný regulátor vývvu okamžit zastaví.
NEBEZPEČÍ!
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být regulátor čerpadla Turbo-V
napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze
doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel
se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu
elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Vysoké
napětí, které vzniká v regulátoru může způsobit vážné zranění, i smrtelné.
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývvy TV 902 Navigator v nouzové situaci je
teba odpojit napájecí kabel z regulátoru.
Návod k Použití
Údržba
14
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 209/292
Údržba
Vývva TV 902 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce
na tomto zaízení musí provádt oprávnné osoby.
NEBEZPEČÍ!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě,
odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor
přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod
50 °C.
V pípad poruchy kontaktujte technický servis firmy Agilent, který
mže dodat náhradní repasované zaízení výmnou za porouchané.
POZNÁMKA
Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus vyplňte
list „Zdraví a bezpečnost“ přiložený k tomuto návodu a odešlete ho do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním přibalte k zařízení kopii tohoto listu.
Pokud se má zaízení vyadit, musí se zlikvidovat v souladu s
konkrétními státními normami.
14 Návod k Použití
Likvidace
210/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Likvidace
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený
symbol odpovídá smrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento
symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) uruje, že výrobek,
který je takto oznaen NESMÍ být likvidován spolen s ostatními
domácími nebo prmyslovými odpady, ale je nutno ho pedat do
patiných provozních sbren, kde musí být tídn a likvidován
oddlen od mstského odpadu. Uživateli, který míní výrobek
likvidovat doporuujeme, aby se nakontaktoval pímo s výrobcem
nebo prodejcem, který se po patiném provení termín a
smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného
výrobku.
TV 902 Navigator User Manual
211/292
15
Návod na Obsluhu
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy 212
Všeobecné informácie 213
Uchovávanie 215
Príprava na inštaláciu 216
Inštalácia 217
Upevnenie vývevy 218
Použitie 220
Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator 221
Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator 222
Núdzové zastavenie 222
Údržba 223
Likvidácia 224
Preklad originálneho návodu
15 Návod na Obsluhu
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne
vývevy
212/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príruke, sa
vyznaujú vysokou kinetickou energiou, a to vaka vysokej rýchlosti
otáania v kombinácii so špecifickou hmotnosou svojich rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora
alebo pri zlomení rotora, sa može uvolni rotaná energia.
NEBEZPEČÍ!
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované,
aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy!
Návod na Obsluhu
Všeobecné informácie
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 213/292
Všeobecné informácie
Toto zariadenie je urené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než
zanete zariadenie používa, preítajte si návod na použitie a všetky
alšie pokyny spolonosti Agilent. Spolonos Agilent nenesie žiadnu
zodpovednos za akékovek udalosti, zapríinené postupom, ktorý
nie je v súlade, dokonca ani v iastonom súlade, s týmito pokynmi,
zapríinené nesprávnym používaním zariadenia nepouenými
osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkovek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými normami danej krajiny.
Zariadenie TV 902 Navigator predstavuje integrovaný systém s
turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové
aplikácie s príslušným kontrolným modulom. Systém dokáže
oderpa ubovoný typ plynu alebo plynnej zmesi. Nie je vhodný na
oderpávanie tekutín alebo pevných astíc. Oderpávanie
zabezpeuje vysokorýchlostná rotaná turbína (max. 38000
otáok/minútu), poháaná vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým
motorom. Zariadenie TV 902 Navigator neobsahuje žiadne
kontaminané inidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce
„isté“ vákuum.
Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pri-pojenie
alšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a na diakové
ovládanie pomocou hostiteského poítaa, pripojeného cez sériovú
komunikanú linku (RS232 alebo RS485).
Nasledujúce asti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaruujú bezpenos pracovníka v priebehu práce so zariadením.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické
informácie“.
15 Návod na Obsluhu
Všeobecné informácie
214/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
POZOR! Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť
poškodenie zariadenia.
NEBEZPEČÍ!
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo
činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie.
POZNÁMKA Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte.
Návod na Obsluhu
Uchovávanie
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 215/292
Uchovávanie
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy znaky Agilent podávali
maximálny a spoahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:
neprekraujte nasledujúce podmienky prostredia poas prevozu,
prenášania a uchovávania vývev:
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie)
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy
použi režim soft štartu
skladovatenos turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo
da dodania
POZOR! Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu
do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho
zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis.
15 Návod na Obsluhu
Príprava na inštaláciu
216/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Príprava na inštaláciu
Zariadenie TV 902 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom
balení. Ak je balenie poškodené (o sa môže sta napríklad poas
dopravy), obráte sa na miestneho predajcu. Poas vybaovania
dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo
prudkému otrasu i vibráciám. Obalový materiál nevyhadzujte, ale
zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovatený a
spa požiadavky normy EEC 85/399 na ochranu životného
prostredia.
POZOR! Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré
budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú
vhodnú ochranu.
POZNÁMKA Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 902 Navigator poškodiť.
Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli
prevencii usadzovania prachu.
Postava 1
Návod na Obsluhu
Inštalácia
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 217/292
Inštalácia
POZOR! Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Zariadenie vždy nainštalujte v miestnosti a v žiadnom prípade ho
nepoužívajte v prostredí, v ktorom by bolo vystavené vplyvu poasia
(dáž, sneh, mráz), prachu, agresívnym plynom, výbušným alebo
vemi horavým látkam.
Poas innosti zariadenia je potrebné zabezpei tieto vlastnosti
prostredia:
maximálny tlak: 2 bary nad úrovou atmosférického tlaku
teplota: od +10 °C do +35 °C
relatívna vlhkos: 0 - 90% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poa musí by výveva chránená
vhodným ochranným štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v
dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie TV 902 Navigator sa musí pripoji k primárnej výveve
(pozri „Technické informácie“).
15 Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
218/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Upevnenie vývevy
NEBEZPEČÍ!
Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené
silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby
točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt
motora od plášťa vývevy. V takom prípade sa môžu z vývevy alebo systému
prudko vymrštiť kovové časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo
poškodiť ďalšie zariadenia.
Upevnite zariadenie TV 902 Navigator do stabilnej polohy tak, že
pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k protiprírube systému.
Pripojenie musí by schopné vydrža toivý moment 6800 Nm okolo
vlastnej osi. Napríklad skrutkovacia príruba sa môže upevni
pomocou vemi pevných oceových skrutiek M10 (trieda vyššia než
8.8). Nasledujúca tabuka uvádza potrebný poet skrutiek a potrebný
uahovací moment.
PRÍRUBA ROZMER SKRUTIEK POČET UŤAHOVACÍ MOMENT
DN-160
skrutkovacia
M10 8 5 Nm
Turbovýveva s prírubou ConFlat musí by pripojená k vákuovej
komore pomocou vhodných mechanických súiastok znaky Agilent.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické
informácie“. Zariadenie TV 902 Navigator môže by nainštalované v
ubovonej polohe.
Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 219/292
POZNÁMKA
Zariadenie TV 902 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne.
POZOR! Zariadenie TV 902 Navigator patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie
podľa normy EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania,
ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 902 Navigator má konektory
pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajšiemu okruhu tak, aby k žiadnej súčiastke pod napätím nebol prístup.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 902 Navigator má adekvátnu
izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa normy EN 61010-1.
15 Návod na Obsluhu
Použitie
220/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Použitie
Táto as popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než
zanete systém používa, zapojte všetky elektrické a pneumatické
pripojenia. Teplota vstupnej príruby poas zahrievania vákuovej
komory nesmie prekroi 80 °C.
NEBEZPEČÍ!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k
vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa
nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty
môžu spôsobiť popáleniny
POZOR! Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu
alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu vetrajte
pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na
ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (nad atmosférickým tlakom).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na odčerpávanie agresívnych
plynov, cez ktorý sa do vývevy musí privádzať inertný plyn (N2 alebo Ar) kvôli
ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“).
NEBEZPEČÍ!
Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo
rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre
likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných
plynov.
Návod na Obsluhu
Použitie
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 221/292
Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator
Ak chcete zapnú zariadenie TV 902 Navigator, musíte ho pripoji ku
zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky
rozpozná signály spojenia a spustenia a zapne vývevu.
Štartovací režim „Soft Start“ (jemný štart) sa používa pri uvedení
vývevy do chodu po dlhom období mimo prevádzky. Ak si želáte
uvies zariadenie do chodu v režime „Soft Start“, musíte ho aktivova
príslušným softvérovým príkazom (vi odsek “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” v prílohe “Technické
informácie").
Zelená dióda LED na základnom elnom paneli zariadenia TV 902
Navigator ukazuje frekvenciou blikania spôsob innosti systému:
žiadne blikanie: výveva normálne rotuje
pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: nábeh, brzdenie, Stop alebo „akanie na
spojenie“;
rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
15 Návod na Obsluhu
Použitie
222/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator
Ak chcete vypnú zariadenie TV 902 Navigator, musíte odpoji
napájanie. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví.
NEBEZPEČÍ!
Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné
zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré
možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so
zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k
zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES.
Vysoké napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo
smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte
napájaciu šnúru.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie TV 902 Navigator okamžite vypnú v stave
núdze, musíte odpoji kábel napájania kontrolného modulu.
Návod na Obsluhu
Údržba
15
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 223/292
Údržba
Zariadenie TV 902 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékovek
úpravy a opravy systému musí vykona kvalifikovaný personál.
NEBEZPEČÍ!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania,
vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor
neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 ºC.
V prípade poruchy zariadenia vyhadajte servisné stredisko
spolonosti Agilent, kde vám pokazenú vývevu vymenia za funknú.
POZNÁMKA
Skôr, než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník
“Zdravie a bezpečnosť”, pripojený k návodu na použitie, a odoslať miestnemu
predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnú v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
15 Návod na Obsluhu
Likvidácia
224/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Likvidácia
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie
doluozznaeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že
výrobok s týmto štítkom NESMIE by odstránený spolu s bežným
domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstráni ako
delený odpad. Vyzývame preto koneného užívatea, aby sa
skontaktoval s dodávateom prístroja, i už je to výrobca alebo
predajca za úelom jeho likvidácie poda zmluvných podmienok
predaja.
TV 902 Navigator User Manual
225/292
16
Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
Splošne informacije 227
Shranjevanje 229
Priprava za montažo 230
Montaža 231
Pritrjevanje črpalke 232
Uporaba 234
Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator 235
Izključevanje naprave TV 902 Navigator 236
Not-Aus 236
Vzdrževanje 237
Odlaganje opadkov 238
Prevod navodil v izvirniku
16 Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne
črpalke
226/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne rpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo
veliko koliino kinetine energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s
specifinimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku
rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska
energija.
SVARILO!
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate
natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
Priročnik za Navodila
Splošne informacije
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 227/292
Splošne informacije
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora
uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije,
ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki
bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in
nepooblašenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki
niso v skladu s standardi.
TV 902 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno rpalko za
visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom.
Sistem lahko rpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za
rpanje tekoine ali trdnih delcev. rpanje se izvaja preko hitre
turbine (maks. 38000 rpm), ki jo vodi visoko uinkovit 3-fazni
elektrini motor. TV 902 Navigator ne vsebuje onesnaževalnih
agentov in je primeren za »isto« vakuumiranje.
Opremljen je s pomožnimi priljuki za dodaten ventilator, ki skrbi za
nazor šobe za zrak, ki je nadzorovana z raunalnikom preko serijske
povezave (RS232 ali RS485).
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost
tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v
prilogi »Tehnine informacije«.
16 Priročnik za Navodila
Splošne informacije
228/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu:
POZOR! Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe
opreme.
SVARILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke
pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži.
OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
Priročnik za Navodila
Shranjevanje
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 229/292
Shranjevanje
Da bi zagotovili maksimalni uinek in zanesljivost rpalk Agilent
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju rpalk ne smete
presei naslednjih specifikacij:
temperaturno obmoje: -20 °C do 70 °C
obmoje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza)
Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja
zagnati mehko.
Življenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od
datum pošiljanja.
POZOR! Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko
vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika
prodaje in storitev za Agilent Vacuum.
16 Priročnik za Navodila
Priprava za montažo
230/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priprava za montažo
TV 902 Navigator je dobavljen v posebni zašitni embalaži e je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri
odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
POZOR! Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami,
saj boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali
drugo primerno zaščito.
OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave TV 902
Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v
sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
Slika 1
Priročnik za Navodila
Montaža
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 231/292
Montaža
POZOR! Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na
sistem.
Napravo namešajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne
namešajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež,
sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost
požara.
Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje:
Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
temperatura: Od +10 °C od +35 °C
Relativna vlažnost: 0 – 90 % (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti zašitena s
feromagnetnim šitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnine informacije".
TV 902 Navigator morate prikljuiti na primarno rpalko (glej
"Tehnine informacije").
16 Priročnik za Navodila
Pritrjevanje črpalke
232/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Pritrjevanje črpalke
SVARILO!
Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s
sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega
navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz
nostilca črpalke. V takšnem primeru lahko priletijo kovinski delci iz črpalke
ali sistema in povzročijo resne poškodbe ali smrt in/ali poškodujejo
okoliško opremo.
Namestite TV 902 Navigator na stabilno pozicijo tako, da zmontirate
dovodno prirobnico turbo rpalke na prirobnico na sistemu tako, da
povezava lahko zdrži navor veji od 6800 Nm okoli osi.
Na primer, to prirobnico lahko namestite z monimi jeklenimi vijaki
M10 (razred, višji od 8.8).
Spodnja tabela prikazuje število potrebnih vijakov in pripadajoi
navor.
PRIROBNICA VELIKOST VIJAKOV ŠT. NAVOR
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
Turbo rpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležiše s pomojo primerne Agilent strojne opreme. Za
dodatne informacije glejte prilogo "Tehnine informacije" . TV 902
Navigator lahko montirate v številne pozicije.
Priročnik za Navodila
Pritrjevanje črpalke
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 233/292
OPOMBA Naprave TV 902 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo.
POZOR! Po direktivi EN 61010-1 spada TV 902 Navigator v skupino za drugo
nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z
zgornjo kategorijo. Naprava TV 902 Navigator ima vhodne/izhodne in serijske
priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni
del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 902
Navigator, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN
61010-1.
16 Priročnik za Navodila
Uporaba
234/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Uporaba
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo
sistema povežite vse elektrine in pnevmatske povezave. Pri
segrevanju vakuumskega ležiša temperatura dovodne prirobnice ne
sme presei 80 °C.
SVARILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na
vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne
dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
POZOR! Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom
delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite
zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši
od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te
črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov
(kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”).
SVARILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim
navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v
prisotnosti eksplozivnih plinov.
Priročnik za Navodila
Uporaba
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 235/292
Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator
Za vkljuitev TV 902 Navigator morate prikljuiti napetost. Vgrajeni
kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop
ter zažene rpalko.
Nain »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«) je predviden za zagon
rpalke po daljšem obdobju neobratovanja. Za ponovno aktiviranje
»Soft Start« naina je potreben ustrezen programski ukaz (glej
odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnine
informacije«).
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji ploši TV 902 Navigator, s
hitrostjo utripanja oznauje delovne pogoje sistema:
Brez utripanja: •rpalka je normalno vrti;
Po•asno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju
ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;
Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
16 Priročnik za Navodila
Uporaba
236/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Izključevanje naprave TV 902 Navigator
Za izkljuitev TV 902 Navigator morate izkljuiti napetost. Vgrajen
kontroler takoj zaustavi rpalko.
SVARILO!
Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega
napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem
(potrjen na mednarodnem nivoju). Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s
primerno ozemljeno vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU
predpisom. Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude
poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti,
izvlecite napajalni kabel.
Zaustavitev v sili
Za takojšenj izklop naprave TV 902 Navigator je treba izkljuiti
napetostni kabel iz napetosti.
Priročnik za Navodila
Vzdrževanje
16
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 237/292
Vzdrževanje
Naprave TV 902 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo
na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
SVARILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko
tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an
počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Agilent servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjeno rpalko z novo.
OPOMBA Preden odnesete črpalko na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto, morate
izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate
lokalni prodajni pisarni. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v
embalažo sistema.
rpalko je treba uniiti v skladu z doloenimi nacionalnimi
standardi.
16 Priročnik za Navodila
Odlaganje opadkov
238/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Odlaganje opadkov
Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v
skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja
samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE
ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi
odpadki, temve morate poskrbeti za njihovo primerno loevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri
prodajalcu seznani o postopku loevanja in odstranitve odpadkov,
šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe.
TV 902 Navigator User Manual
239/292
17
Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240
General information 241
Storage 243
Preparation for Installation 244
Installation 245
Pump Fixing 246
Use 248
Switching on and Use of TV 902 Navigator 249
TV 902 Navigator Switching off 250
Emergency Stop 250
Maintenance 251
Disposal 252
Original Instructions
17 Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
240/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating
manual contain a large amount of kinetic energy due to the high
rotational speed in combination with the specific mass of their
rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator
contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
WARNING!
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel
the installation instructions as given in this manual should be strictly
followed!
Instructions for Use
General information
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 241/292
General information
This equipment is destined for use by professionals. The user should
read this instruction manual and any other additional information
supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not
be held responsible for any events occurring due to non-compliance,
even partial, with these instructions, improper use by untrained
persons, non-authorized interference with the equipment or any
action contrary to that provided for by specific national standards.
The TV 902 Navigator is an integrated system with a turbo-molecular
pump for high and ultra-high vacuum applica-tions with its relevant
controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It
is not suitable for pumping liquids or solid particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine (max.
38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The
TV 902 Navigator is free of contaminating agents and, therefore, is
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional fan,
to control the vent valve, to be controlled from a remote site by
means of an host computer connected through a serial line (RS232 or
RS485).
The following paragraphs contain all the information necessary to
guarantee the safety of the operator when using the equipment.
Detailed information is supplied in the appendix "Technical
Information".
17 Instructions for Use
General information
242/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
This manual uses the following standard protocol:
CAUTION! The caution messages are displayed before procedures which, if not followed,
could cause damage to the equipment.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the operator to a
particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to
serious injury.
NOTE The notes contain important information taken from the text.
Instructions for Use
Storage
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 243/292
Storage
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines
must be followed:
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
temperature range: -20 °C to 70 °C
relative humidity range: 0 to 90 % (non condensing)
the turbomolecular pumps must be always soft-started when
received and operated for the first time by the customer
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the
shipping date.
CAUTION! If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to
the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service
representative for informations.
17 Instructions for Use
Preparation for Installation
244/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Preparation for Installation
The TV 902 Navigator is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office. When unpacking the
system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or
shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an
unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies
with EEC Directive 85/399.
CAUTION! In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle
components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other
appropriate protec-tion.
NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the TV 902 Navigator.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system,
thus preventing any form of pollution by dust.
Figure 1
Instructions for Use
Installation
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 245/292
Installation
CAUTION! Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump
to the system.
Install this device only in indoor ambient and in any case don't use in
an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice),
dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a
high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must be
respected:
maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
temperature: from +10 °C to +35 °C
relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using
a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for
detailed information.
The TV 902 Navigator must be connected to a primary pump (see
"Technical Information").
17 Instructions for Use
Pump Fixing
246/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Pump Fixing
WARNING!
If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be
subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to
withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor
housing could detach from the pump envelope. In this case metal fragments
could be projected from the pump or system, which could cause serious
injury or death and/or damage to surrounding equipment.
Fix the TV 902 Navigator in a stable position, mounting the inlet
flange of the turbopump to the system counter-flange, with a
connection capable of withstanding a torque of 6800 Nm around its
axis.
For example, this Bolted Flange can be fixed using high strength M10
steel screws (class higher than 8.8).
The following table shows the necessary number of screws and the
relevant fixing torque.
FLANGE BOLT SIZE N. FIXING TORQUE
DN-160 Bolted M10 8 5 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See
the appendix "Technical Information" for a detailed description. The
TV 902 Navigator can be installed in any position.
Instructions for Use
Pump Fixing
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 247/292
NOTE The TV 902 Navigator cannot be fixed by means of its base.
CAUTION! The TV 902 Navigator belongs to the second installation (or overvoltage)
category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that
satisfy the above category. The TV 902 Navigator has Input/Output and serial
communication connectors that must be connected to ex-ternal circuits in such a
way that no electrical part is accessible. Be sure that the insulation of the device
connected to the TV 902 Navigator is adequate even in the case of single fault as
per directive EN 61010-1.
17 Instructions for Use
Use
248/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Use
This paragraph details the fundamental operating procedures. Make
all electrical an pneumatic connections before the use of the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 80 °C.
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the
vacuum chamber. Do not touch the turbopump or any of its accessories
during the heating process. The high temperatures may cause burns.
CAUTION! Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation.
The bearings may become dam-aged. Use air or inert gas free from dust or
particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2
bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps
are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Information").
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive
gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not
use the pump in presence of explosive gases.
Instructions for Use
Use
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 249/292
Switching on and Use of TV 902 Navigator
To switch on the TV 902 Navigator it is necessary to supply the
mains. The integrated controller automatically recognizes the
interlock and start signals presence and start up the pump.
“Soft Start” mode is provided to start the pump after a protracted
stop. This allows a better grease distribution in the bearings. To
enable the “Soft Start” mode it must be activated by the suitable
software command (see the paragraph “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix “Technical
Information”).
The green LED located on the TV 902 Navigator base front panel
indicates with its flashing frequency the system operating conditions:
with no flashing: the pump is normally rotating;
slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp,
or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status;
fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
17 Instructions for Use
Use
250/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator Switching off
To switch off the TV 902 Navigator it is necessary to remove the
mains. The integrated controller immediately stops the pump.
WARNING!
The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see
orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power
socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements. High voltage
developed in the controller can cause severe injury or death. Before servicing
the unit, disconnect the input power cable.
Emergency Stop
To immediately stop the TV 902 Navigator in an emergency condition
it is necessary to remove the supply cable from the mains plug.
Instructions for Use
Maintenance
17
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 251/292
Maintenance
The TV 902 Navigator does not require any maintenance. Any work
performed on the system must be carried out by authorized
personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,
vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has
stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls
below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Agilent service center
who can supply a reconditioned pump to replace that broken down.
NOTE Before returning the pump to the constructor for repairs, or advanced exchange
service, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must
be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be
inserted in the system package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance
with the specific national standards.
17 Instructions for Use
Disposal
252/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Disposal
Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol
is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and
Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in
countries of the European Community) indicates that the product it
applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic
or industrial waste but must be sent to a differentiated waste
collection system. The end user is therefore invited to contact the
supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to
initiate the collection and disposal process after checking the
contractual terms and conditions of sale.
TV 902 Navigator User Manual
253/292
18
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator 254
Pump Description 255
Controller Description 257
Technical Specification 258
TV 902 Navigator Outline 260
Interconnections 262
P3 - Vent 262
P4 – External fan 263
J1 – IN-OUT 263
P2 – Serial 273
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External
Cable 274
RS 232/RS 485 Communication Description 275
Communication Format 275
Communication Protocol 275
Window Meanings 279
Air Cooling Kit 283
TV 902 with Navigator Controller 283
Connection of the Fore-Vacuum Pump 284
Connection to the Pump 285
Pump used in Presence of Magnetic Fields 286
Accessories and Spare Parts 286
Original Instructions
18 Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
254/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Description of the TV 902 Navigator
The TV 902 Navigator is composed by a pump (869-8933R001) with
an envelope with fins and a shroud with two fans and a dedicated
navigator controller (SQ 337).
The pump is equipped with a custom ISO 160 F high vacuum flange.
The following pictures show the pump and the controller.
Figure 2 Controller model SQ 337
Figure 3 Pump model 869-8933R001
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 255/292
Pump Description
The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted
with 7 bladed stages and 2 Macrotorr stages. The turbine rotates in
an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange
end. The turbine is made of high-strength aluminium al-loy, machined
from a single block. Proceeding from the high vacuum to the for vacu-
um region, the turbine stages sequence is:
1st stage with a blade angle of 45°,
2nd stage with a blade angle of 35°,
3rd stage with a blade angle of 25°,
4th stage with a blade angle of 20°,
5th stage with a blade angle of 18°,
6th and 7th stages with a blade angle of 16°.
The Macrotorr stages are in the form of two discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-bricated high
precision ceramic ball bearings in-stalled on the forevacuum side of
the pump.
The static blades of the stator are made of stain-less steel. These are
supported and accurately po-sitioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-positioning machined
discs with pumping channels and an opening restricted by the
corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac
three-phase at 646 Hz. To re-duce losses during start-up to a
minimum, the fre-quency increases according to a ramp with a higher
initial voltage/frequency ratio.
The pump has to be air cooled and an external fan is available.
18 Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
256/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent
the pump from overheating. If the thermistor reading exceeds 60 °C
the pump fails and stops with Error Code = 1 (WIN 206). If the
thermistor reading is below 0 °C, the pump fails and stops with Error
Code = 0 (WIN 206). See Window Meanings pag. 79-80, for details.
The pump is balanced after assembly with a resid-ual vibration
amplitude less than 0.01 m.
The pump can operate in any position and can be supported on the
high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of
the pump is a KF 25 flange.
Figure 4
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 257/292
Controller Description
The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is
driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs
which include power supply and 3-phase output, analog and
input/output section, microprocessor and digital section.
The power supply, together with the 3-phase out-put, converts the
single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium
frequency output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host computer via the
serial connection. A Windows-based software is available (optional)..
18 Technical Information
Technical Specification
258/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Specification
Pumping speed (with inlet screen)
N
2:
He:
H
2:
680 l/s
810 l/s
850 l/s
Compression ratio
N
2:
He:
H
2:
>1 x 108
1 x 105
1 x 104
Base pressure
with recommended forepump
< 1 x 10-9 mbar
(< 1 x 10-9 Torr)
(According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange and using the recommended pre-vacuum
pump)
Inlet flange Custom ISO 160 F
Foreline flange KF 25
Rotational speed 38000 rpm
Start-up time < 4 minutes
Recommended forepump DS 402, TriScroll 300
Operating position Any
Operating ambient temperature +10 °C to +35 °C
Bakeout temperature 80 °C at inlet flange max.
Vibration level (displacement) < 0.01 μm at inlet flange
Lubricant permanent lubrication
Cooling requirements Forced air
Noise level <55 dB(A) at 1 meter
Power supply:
Input voltage:
Input freq.:
100 - 240 Vac (± 10%)
50 - 60 Hz
Technical Information
Technical Specification
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 259/292
Max input power:
Stand-by power:
Max operating power:
600 VA
30 to 35 W
320 W with forced air
Protection fuse 1 x 8 A
Compliance with: UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN-CENELEC 55011
IEC 1000-4-2 (ex 801-2)
IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
IEC 1000-4-4 (ex 801-4)
EN 61010-1 (IEC 1010-1)
EN 1012-2
Power cable With European or NEMA plug
3 meters long (optional)
Serial communication (Navigator
kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male connector
and a 9-pin D type female connector, and
Navigator software (optional)
Installation category II
Pollution degree 2
Storage temperature -20 ° C to +70 ° C
Weight kg (lbs)
Pump:
Controller:
23,5 (51.8)
5.4 (12)
NOTE When the TV 902 Navigator has been stored at a temperature less than 5 °C,
wait until the system has reached the above mentioned temperature.
18 Technical Information
TV 902 Navigator Outline
260/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator Outline
The following figure shows the TV 902 Navigator outlines
(dimensions are in mm [inches]).
Figure 5
Technical Information
TV 902 Navigator Outline
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 261/292
Figure 6
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
18 Technical Information
Interconnections
262/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Interconnections
The following figure shows the TV 902 interconnections.
Figure 7
P3 - Vent
Figure 8
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent
valve.
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 263/292
P4 – External fan
Figure 9
This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external
fan.
A shielded cable with ferrite is shipped with the controller (see
picture). The faston contact has to be connected on the front panel in
order to reduce noise and accomplish the EMC rules.
J1 – IN-OUT
Figure 10
18 Technical Information
Interconnections
264/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
This connector carries all the input and output signals to remote
control the TV 902 Navigator.
It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in
the table, the following paragraphs describe the signal characteristics
and use.
PIN N. SIGNAL NAME INPUT/OUTPUT
1 START/STOP (+) IN
2 START/STOP (-) IN
3 INTERLOCK (+) IN
4 INTERLOCK (-) IN
5 SPEED SETTING (+) IN
6 SPEED SETTING (-) IN
7 SOFT START (+) IN
8 SOFT START (-) IN
9 +24 Vdc OUT
10 RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN OUT
11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT
12 RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN OUT
13 FAULT OUTPUT OUT
14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+) OUT
15 GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-) OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the
supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to
the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin:
in this condition the pump automati-cally starts as soon as the
controller recognises the input supply ("Plug & Pump").
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the
supplied cover connector the IN-TERLOCK (+) signal is connected to
the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND pin.
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 265/292
RELAY CONTACT: This relay output signal is en-abled when the
reference quantity chosen (fre-quency, current, time) is higher than
the set threshold. The signal can be “normally open” (it will close the
circuit when activated) or “normally close”.
The factory default setting are:
Frequency: 582 Hz (90 % of the max rotational frequency)
Hysteresis: 2 %
Activation type: normally open
Delay time: 0 sec.
These setting can be changed by serial interfaces (see “windows
meaning” table: windows 101 to 105). The same settings are used by
the “pro-grammable set point”.
SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The
PWM signal characteristics must be the following:
frequency: 100 Hz +/-20 %
ampitude: 24 V max
duty cycle range: from 25 % to 75 %
corresponding to an output frequency from 500 Hz to 646 Hz
linearly.
NOTE The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal
18 Technical Information
Interconnections
266/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage
(from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or
power) set by the user. The default setting is the frequency (see the
following example diagram).
Figure 11
FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault
condition is detected.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is
enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or
time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level
active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc
when activated), or "low level active" (that is the output is normally
at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the
reference quantity is the frequency or the current drawn, it is
possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid
bouncing.
For example:
reference quantity: frequency
threshold: 500 Hz
hysteresis: 1%
activation type: "high level"
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 267/292
Figure 12
The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes
higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output
goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower
than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz).
It is possible to delay the set point checking for a programmable
delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default
settings:
reference quantity: frequency
threshold: 582 Hz
hysteresis: 2%
activation type: high level
delay time: 0 second
NOTE The Navigator Software (optional) allows the oper-ator to set all the
programmable feature.
18 Technical Information
Interconnections
268/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
When no external input-output device is available this connector
must be closed with the supplied mating connector that short-circuits
the START and INTERLOCK inputs with the GROUND and 24 Vdc
OUT (see the following figure).
Figure 13
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 269/292
How to connect the open-collector inputs of the controller
Here below there are the typical connections of the open collector
input of SQ 337 to an external sys-tem. Two cases are considered:
1. the customer supplies the 24 Vdc
2. the customer does not supply the 24 Vdc
Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a
GROUND signal and the open col-lector pin are available.
Figure 14 Case 1
18 Technical Information
Interconnections
270/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Figure 15 Case 2 with relay utilisation
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 271/292
Figure 16 Case 2 with transistor utilisation
18 Technical Information
Interconnections
272/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output connection (relay
coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer,
etc., and the related simplified circuit of the controller.
The following figure refers to the programmable set point signal on
pins 11 and 9.
Figure 17 Typical output connection
The following figure shows a typical output connection to a relay coil.
Figure 18 Output to a relay coil
Technical Information
Interconnections
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 273/292
P2 – Serial
Figure 19
This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an
RS 232 or RS 485 connection the TV 902 Navigator.
PIN N. SIGNAL NAME
1 +5V OUT
2 TX (RS232)
3 RX (RS232)
4 A + (RS422 optional)
5 GND
6 A + (RS485)
7 B – (RS422 optional)
8 B – (RS485)
9 RESERVED
Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial
connection.
A serial communication kit with a serial cable and the Navigation
software is available (optional).
18 Technical Information
Procedure to Connect the Serial and I/O
Ports to an External Cable
274/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an
External Cable
In the following picture, it has showed the right procedure to connect
a cable to the I/O or to the serial port.
A shielded cable of 3 m maximum length has to be utilized for both
serial and I/O port connection. Remove the plastic protection on both
the ends of the cable (picture b) and after it is necessary to connect
the wires to the single pins like showed in the picture c.
NOTE Take care to have a good contact between the metallic case and the external
shield of the wire. Moreover, this operation has to be done at least on the
controller side.
In this way, you will be sure to reduce the influence of the external
noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the
cable assembled.
Figure 20
Picture a
Picture b
Picture d
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 275/292
RS 232/RS 485 Communication Description
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the
connector P2.
The communication protocol is the same (see the structure below),
but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable
the RS 485 is necessary to select the type of communication as well
as the device address by means of the Navigator software.
Communication Format
8 data bit
no parity
1 stop bit
baud rate: 600/1200/2400/4800/9600
programmable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where:
Host = MASTER
Controller = SLAVE
The communication is performed in the following way:
1. the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller
(SLAVE);
2. the controller answer with an ANSWER + CRC to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
<STX>+<ADDR>+<WIN>+<COM>+<DATA>+<ETX>+<CRC>
where:
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
276/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
NOTE When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated
data is the corresponding ASCII character.
<STX> (Start of transmission) = 0x02
<ADDR> (Unit address) = 0x80 (for RS 232)
<ADDR> (Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS
485)
<WIN> (Window) = a string of 3 numeric char-acter indicating the
window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each
window see the relevant paragraph.
<COM> (Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into
the window
<DATA> = an alphanumeric ASCII string with the data to be
written into the window. In case of a reading command this field
is not present.
Data Type Field Length Valid
Characters
Logic (L) 1 ‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N) 6 ‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A) 10 from blank to ‘_’ (ASCII)
<ETX> (End of transmission) = 0x03
<CRC> = XOR of all characters subsequent to
<STX> and including the <ETX> terminator. The value is
hexadecimal coded and indicated by two ASCII character.
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 277/292
The addressed SLAVE will respond with an AN-SWER whose
structure depends from the MESSAGE type.
When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond
transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
NOTE Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one
used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned
to the ADDRESS <ADDR>
The controller can answers with the following re-sponse types:
Type Length Value Description
Logic 1 byte - After a read instruction of a logic window
Numeric 6 bytes - After a read instruction of a numeric
window
Alphanumeric 10 bytes - After a read instruction of an
alphanumeric window
ACK 1 byte (0x6)
The command execution has been
successfully completed
NACK 1 byte (0x15) The command execution has been failed
Unknown
Window 1 byte (0x32) The specified window in the command is
not a valid window
Data Type
Error 1 byte (0x33)
The data type specified in the command
(Logic, Numeric or Alphanumeric) is not
accorded with the specified Window
Out of Range 1 byte (0x34)
The value expressed during a write
command is out of the range value of the
specified window
Win Disabled 1 byte (0x35)
The specified window is Read Only or
temporarily disabled (for example you
can’t write the Soft Start when the Pump
is running)
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
278/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 31 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02 80 30 30 30 31 30 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 31 03 42 32
STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 279/292
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02 80 31 30 30 31 30 03 42 33
STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
Source: Controller
Destination: PC
02 80 06 03 38 35
STX ADDR ACK ETX CRC
Window Meanings
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
000 R/W L Start/Stop
(in remote mode the window is a read only)
Start = 1
Stop = 0
008 R/W L Remote
(default) or Serial configuration
Remote = 1
Serial = 0
(default = 1)
100 R/W L Soft Start
(write only in Stop condition)
YES = 1
NO = 0
101 R/W N Set Point type 0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
(default = 0)
102 R/W N Set Point threshold (expressed in Hz, mA or s) (default = 582)
103 R/W N Set Point delay: time between the pump start
and the set point check (seconds)
0 to 99999
(default = 0)
104 R/W L Set Point signal activation type: the signal can be
"high level active" or "low level active"
0 = high level
active
1 = low level active
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
280/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
(default = 0)
105 R/W N Set point hysteresis
(in % of threshold)
0 to 100
(default = 2)
106 R/W L Intercooling 0 = NO
1 = YES
107 R/W L Active Stop
(write only in stop)
0 = NO
1 = YES
108 R/W N Baud rate 600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109 W L Pump life/ cycle time/ cycle number reset To reset write ‘1’
110 R/W L Interlock type
(default = 1)
Impulse = 0
Continuous = 1
111 R/W L Analog output type:
output voltage signal proportional to frequency
or power
0 = frequency
1 = power
(default = 0)
120 R/W N Rotational frequency setting (Hz) 500 to 646
(default = 646)
121 R/W N Maximum rotational frequency in Hz (active
only in Stop condition)
500 to 646
(default = 646)
122 R/W L Set vent valve on/off
(on = closed)
On = 1
Off = 0
(default = 1)
123
124
Reserved to Agilent service
125 R/W L Set the vent valve
operation
Automatic = 0 (see
note 1.)
On command = 1
(see note 2.)
126 R/W
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 281/292
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
130 Reserved to Agilent service
200 R N Pump current in mA dc
201 R N Pump voltage in Vdc
202 R N Pump power in W (pump current x pump voltage
duty cycle)
203 R N Driving frequency in Hz
204 R N Pump temperature in °C 0 to 60
205 R N Pump status Stop = 0
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
206 R N Error code Bit description: see
the following figure
300 R N Cycle time in minutes (zeroed by the reset
command)
0 to 999999
301 R N Cycle number (zeroed by the reset command) 0 to 9999
302 R N Pump life in hours (zeroed by the reset
command)
0 to 999999
320 to 399 Reserved to Agilent service
400 R A CRC EPROM (QE) QE8XXXX
(where “XXXX” are
variable)
402 R A CRC Param. (PA) PA8XXXX
(where “XXXX” are
variable)
404 R A CRC parameter structure XXXX
500 Reserved to Agilent service
503 R/W N RS 485 address 0 to 31
(default = 0)
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
282/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
N. Read/
Write
Data
Type
Description Admitted
Values
504 R/W L Serial type select 0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
NOTE 1. Automatic means that when the controller stops, the vent valve is
opened with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the
vent valve is immediately closed.
2. On command means that the vent valve is opened or closed by means of
window n. 122.
7 6 5 4 3 2 1 0
TOO HIGH LOAD NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP.
OVERVOLTAGE CONTROLL. OVERTEMP.
AUX FAIL POWER FAIL
Figure 21 Window N. 206 Bit Description
Technical Information
Air Cooling Kit
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 283/292
Air Cooling Kit
TV 902 with Navigator Controller
An air cooling kit (mod. 5214 NM) is available to improve the TV 902
cooling during heavy operational conditions.
Single fan specifications:
air flow: 187 m3/h
input voltage: 24 Vdc
dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)
power: 4.6 W
To supply the fan it is necessary to connect the fan supply to the P4
connector of the controller with the special shielded cable included
into the kit to reduce noises and to accomplish to EMC norms.
Figure 22
18 Technical Information
Connection of the Fore-Vacuum Pump
284/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Connection of the Fore-Vacuum Pump
A flange KF 40 NW is available to connect the TV 902 Navigator pump
to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be
used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the
mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
NOTE The TV 902 Navigator pump is characterized by its high compression ratio also
for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to
install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in
order to prevent oil back-streaming.
Technical Information
Connection to the Pump
18
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A) 285/292
Connection to the Pump
Figure 23
Also the pump cable is shielded and is equipped with ferrite (see the
following picture). Pump cable length must not exceed 1,5 m.
Figure 24
The turbopump is connected to the controller through an 8-pin
connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins
A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ
resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground; pins
G and H are not connected.
18 Technical Information
Pump used in Presence of Magnetic Fields
286/292 TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To
prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C,
the sensor automatically cuts out the power supply.
Pump used in Presence of Magnetic Fields
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular
pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased
electrical power consump-tion by the motor, most of which is
dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the
stator the above power can leave the rotor mainly by radia-tion and
hence the rotor may be overheated while static parts of the pump
remain cool. This effect is strongly dependant from the inten-sity,
time function and distribution of the magnetic field. In general,
therefore, an increase in pump current can be expected. If this
increase is lower than 50 % of the current value drawn by the motor
in high vacuum opera-tion, no particular problem should be
expected. However if the effect is greater, than the case should be
carefully reviewed by Agilent’s special-ist. As a matter of fact, in case
of high magnetic fields, also important forces might be generated and
applied to the rotor.
Accessories and Spare Parts
Description Part number
Mains cable NEMA Plug, 3m long 969-9958
Mains cable European Plug, 3m long 969-9957
Request f or Return Form
Sales and Service Offices
United States
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
India
Agilent Technologies India Pvt. Ltd.
Vacuum Product Division
G01. Prime corporate Park,
230/231, Sahar Road, Opp. Blue Dart Centre,
Andheri (East), Mumbai – 400 099.India
Tel: +91 22 30648287/8200
Fax: +91 22 30648250
Toll Free: 1800 113037
Southeast Asia
Agilent Technologies Sales Sdn Bhd
Vacuum Products Division
Unit 201, Level 2 uptown 2,
2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown
47400 Petaling Jaya,
Selangor, Malaysia
Tel : +603 7712 6106
Fax: +603 6733 8121
Benelux
Agilent Technologies Netherlands B.V.
Vacuum Products Division
Herculesweg 8
4338 PL Middelburg
The Netherlands
Tel.: +31 118 671570
Fax: +31 118 671569
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Italy
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì, (Torino) - Italy
Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Taiwan
Agilent Technologies Taiwan Limited
Vacuum Products Division (3F)
20 Kao-Shuang Rd.,
Pin-Chen City, 324
Taoyuan Hsien , Taiwan, R.O.C.
Tel. +886 34959281
Toll Free: 0800 051 342
Canada
Central coordination through: Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
Japan
Agilent Technologies Japan, Ltd.
Vacuum Products Division
8th Floor Sumitomo Shibaura Building
4-16-36 Shibaura Minato-ku Tokyo 108-0023 - Japan
Tel.: +81 3 5232 1253
Fax: +81 3 5232 1710
Toll-Free: 0120 655 040
UK and Ireland
Agilent Technologies UK, Ltd.
Vacuum Products Division
6 Mead Road Oxford Industrial Park
Yarnton, Oxford OX5 1QU – UK
Tel.: +44 (0) 1865 291570
Fax: +44 (0) 1865 291571
Toll free: 00 800 234 234 00
China
Agilent Technologies (China) Co. Ltd
Vacuum Products Division
No.3, Wang Jing Bei Lu,
Chao Yang District,
Beijing, 100102
China
Tel.: +86 (10) 6439 7718
Toll-Free: 800 820 6556
Korea
Agilent Technologies Korea, Ltd.
Vacuum Products Division
Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel.: +82 2 3452 2452
Fax: +82 2 3452 2451
Toll-Free: 080 222 2452
Other Countries
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì, (Torino) -
Italy
Tel.: +39 011 997 9111
Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
France
Agilent Technologies France
Vacuum Products Division
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
91941 Les Ulis cedex - France
Tel.: +33 (0) 1 69 86 38 84
Fax: +33 (0) 1 69 86 29 88
Toll free: 00 800 234 234 00
Mexico
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle
C.P. 03100 – Mexico, D.F.
Tel.: +52 5 523 9465
Fax: +52 5 523 9472
Customer Support & Service
NORTH AMERICA:
Toll Free: 800 882 7426, Option 3
vpl-ra@agilent.com
EUROPE:
Toll Free: 00 800 234 234 00
vpt-customercare@agilent.com
PACIFIC RIM:
please visit our website for individual office
information http://www.agilent.com
Worldwide Web Site, Catalog and Order
On-line:
www.agilent.com
Representative in most countries
12/10
Germany and Austria
Agilent Technologies
Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11
14 35
64289 Darmstadt – Germany
Tel.: +49 (0) 6151 703 353
Fax: +49 (0) 6151 703 302
Toll free: 00 800 234 234 00
Singapore
Agilent Technologies Singapore Pte. Ltd,
Vacuum Products Division
Agilent Technologies Building,
1 Yishun Avenue 7,
Singapore 768923
Tel : (65) 6215 8045
Fax : (65) 6754 0574
© Agilent Technologies, Inc. 2011
Printed in ITALY
04/2011
Publication Number: 87-900-999-01 (A)

Navigation menu