Tv902
User Manual: tv902
Open the PDF directly: View PDF 
.
| Download | |
| Open PDF In Browser | View PDF |
TV 902 Navigator
Pump model: 869-8933R001
Controller model: SQ 337
Manuale di istruzioni
Bedienungshandbuch
Notice de mode d’emploi
Manual de istrucciones
Manual de istruções
Bedrijfshandleiding
Istrukstionsbog
Bruksanvisning
Instruksjon manual
87-900-999-01 (A)
04/2011
Ohjekäsikirja
Oδηγιες χρησεως
Felhasználói kézikönyv
Podrecznik instrukcji
Návod k použití
Návod na obsluhu
Priročnik za navodila
User Manual
Notices
© Agilent Technologies, Inc. 2011
No part of this manual may be
reproduced in any form or by any
means (including electronic storage
and retrieval or translation into a
foreign language) without prior
agreement and written consent from
Agilent Technologies, Inc. as governed
by United States and international
copyright laws.
Manual Part Number
Publication Number: 87-900-999-01 (A)
Edition
Edition 04/2011
Printed in ITALY
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì (TO)
ITALY
Warranty
The material contained in this
document is provided “as is,” and is
subject to being changed, without
notice, in future editions. Further, to
the maximum extent permitted by
applicable law, Agilent disclaims all
warranties, either express or implied,
with regard to this manual and any
information contained herein,
including but not limited to the
implied warranties of merchantability
and fitness for a particular purpose.
Agilent shall not be liable for errors
or for incidental or consequential
damages in connection with the
furnishing, use, or performance of
this document or of any information
contained herein. Should Agilent and
the user have a separate written
agreement with warranty terms
covering the material in this
document that conflict with these
terms, the warranty terms in the
separate agreement shall control.
Technology Licenses
The hardware and/or software
described in this document are
furnished under a license and may be
used or copied only in accordance
with the terms of such license.
Restricted Rights Legend
If software is for use in the
performance of a U.S. Government
prime contract or subcontract,
Software is delivered and licensed as
“Commercial computer software” as
defined in DFAR 252.227-7014 (June
1995), or as a “commercial item” as
defined in FAR 2.101(a) or as
“Restricted computer software” as
defined in FAR 52.227-19 (June 1987)
or any equivalent agency regulation or
contract clause. Use, duplication or
disclosure of Software is subject to
Agilent Technologies’ standard
commercial license terms, and nonDOD Departments and Agencies of the
U.S. Government will receive no
greater than Restricted Rights as
defined in FAR 52.227-19(c)(1-2) (June
1987). U.S. Government users will
receive no greater than Limited Rights
as defined in FAR 52.227-14 (June
1987) or DFAR 252.227-7015 (b)(2)
(November 1995), as applicable in any
technical data.
Trademarks
Windows and MS Windows are U.S.
registered trademarks of Microsoft
Corporation.
Safety Notices
CAUTION
A CAUTION notice denotes a hazard.
It calls attention to an operating
procedure, practice, or the like that, if
not correctly performed or adhered to,
could result in damage to the product
or loss of important data. Do not
proceed beyond a CAUTION notice
until the indicated conditions are fully
understood and met.
WARNING
A WARNING notice denotes a
hazard. It calls attention to an
operating procedure, practice, or the
like that, if not correctly performed
or adhered to, could result in
personal injury or death. Do not
proceed beyond a WARNING notice
until the indicated conditions are
fully understood and met.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator
TV 902 Navigator
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
3/292
TV 902 Navigator
4/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
Contents
1
Istruzioni per l’uso 15
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Informazioni Generali
16
17
Immagazzinamento 19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione
21
Fissaggio della pompa
22
Uso 24
Manutenzione 27
Smaltimento
2
28
Gebrauchsanleitung 29
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen
Lagerung
31
33
Vor der Installation 34
Installation 35
Befestigung der Pumpe 36
Gebrauch
38
Wartung
41
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
5/292
Contents
Entsorgung 42
3
Mode d’emploi
43
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
Indications générales
Stockage
44
45
47
Preparation pour l’installation
48
Installation 49
Fixation de la pompe 50
Utilisation 52
Entretien
55
Mise au rebut
4
56
Manual de istrucciones 57
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
58
Indicaciones generales 59
Almacenamiento
61
Preparación para la instalación
62
Instalación 63
Fijación de la bomba 64
Uso 66
Mantenimiento 69
Eliminación 70
6/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
5
Manual de Istruções
71
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares 72
Informações gerais 73
Armazenagem 75
Preparação para a instalação 76
Instalação 77
Fixação da bomba
Utilização
78
80
Manutenção
83
Eliminação 84
6
Bedrijfshandleiding 85
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86
Algemene informatie
Opslag
87
89
Voorbereiding voor installatie
Installatie
91
Bevestiging van de pomp
Gebruik
90
92
94
Onderhoud 97
Afvalverwerking 98
7
Istruktionsbog
99
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
100
7/292
Contents
Generel information 101
Opbevaring 103
Forberedelse før installation 104
Installation 105
Fastgørelse af pumpe
106
Anvendelse 108
Vedligeholdelse 111
Bortskaffelse
8
112
Bruksanvisning
113
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114
Allmän information 115
Förvaring
117
Förberedelser för installationen 118
Installation 119
Fastsättning av pump
120
Användning 122
Underhåll
125
Bortskaffning
9
126
Instruksjon Manual 127
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper
128
Generell informasjon 129
Lagring
8/292
131
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
Klargjøre til installasjon 132
Installasjon 133
Festing av pumpen 134
Bruk
136
Vedlikehold 139
Eliminering 140
10 Ohjekäsikirja
141
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Yleisiä tietoja
142
143
Varastointi 145
Valmistelut asennusta varten146
Asennus
147
Pumpun kiinnitys
Käyttö
150
Huolto
153
Hävittäminen
148
154
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
155
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Γενικεσ πληροφοριεσ
Αποθηκευση
157
159
Προετοιμασια για την εγκατασταση
Εγκατασταση
156
160
161
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
9/292
Contents
Στερεωση τησ αντλιασ
Χρηση
162
164
Συντηρηση 167
Χώνευση
168
12 Felhasználói Kézikönyv 169
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 170
Általános információ 171
Tárolás
173
Előkészítés telepítésre
Telepítés
174
175
A szivattyú rögzítése 176
Használat
178
Karbantartás
181
Megsemmisítés 182
13 Podrecznik Instrukcji
183
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 184
Ogólne informacje
185
Magazynowanie 187
Przygotowanie do instalacji 188
Instalacja
189
Mocowanie pompy 190
Użytkowanie
10/292
192
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
Konserwacja
195
Przetworstwo odpadow 196
14 Návod k Použití
197
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 198
Všeobecné informace
199
Uskladnění 201
Příprava k instalaci 202
Instalace
203
Upevnění vývěvy 204
Použití
206
Údržba
209
Likvidace
210
15 Návod na Obsluhu 211
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy
Všeobecné informácie
Uchovávanie
213
215
Príprava na inštaláciu
Inštalácia
212
216
217
Upevnenie vývevy
Použitie
220
Údržba
223
Likvidácia
224
218
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
11/292
Contents
16 Priročnik za Navodila
225
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
Splošne informacije 227
Shranjevanje
229
Priprava za montažo 230
Montaža
231
Pritrjevanje črpalke 232
Uporaba
234
Vzdrževanje 237
Odlaganje opadkov 238
17 Instructions for Use 239
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
240
General information 241
Storage
243
Preparation for Installation 244
Installation 245
Pump Fixing 246
Use 248
Maintenance
Disposal
251
252
18 Technical Information
253
Description of the TV 902 Navigator 254
12/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Contents
Technical Specification 258
TV 902 Navigator Outline260
Interconnections
262
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External Cable
RS 232/RS 485 Communication Description 275
Air Cooling Kit 283
Connection of the Fore-Vacuum Pump
284
Connection to the Pump 285
Pump used in Presence of Magnetic Fields
286
Accessories and Spare Parts 286
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
13/292
274
Contents
14/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Informazioni Generali 17
Immagazzinamento
19
Preparazione per l’installazione 20
Installazione
21
Fissaggio della pompa 22
Uso24
Accensione ed Uso del TV 902 Navigator 25
Arresto del TV 902 Navigator
26
Arresto di Emergenza 26
Manutenzione
27
Smaltimento
28
16
Traduzione delle istruzioni originali
15/292
1
Istruzioni per l’uso
Indicazioni di Sicurezza per Pompe
Turbomolecolari
Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari
Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di
Istruzioni hanno una elevata quantità di energia cinetica dovuta alla
alta velocità di rotazione in unione alla massa specifica dei loro
rotori.
Nel caso di un guasto del sistema, ad esempio per un contatto tra
rotore e statore o per una rottura del rotore, l'energia di rotazione
potrebbe essere rilasciata.
AVVERTENZA! Per evitare danni all'apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori, è
necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel
presente manuale!
16/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
1
Informazioni Generali
Questa apparecchiatura è destinata ad uso professionale.
L'utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di
istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent
prima dell'utilizzo dell'apparecchiatura. La Agilent si ritiene sollevata
da eventuali responsabilità dovute all'inosservanza totale o parziale
delle istruzioni, ad uso improprio da parte di personale non
addestrato, ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle
normative nazionali specifiche.
Il TV 902 Navigator è un sistema integrato costituito da una pompa
turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto e dal
relativo controller. Il sistema è capace di pompare qualsiasi tipo di
gas o di composto gassoso, ma non è adatto per il pompaggio di
liquidi o di particelle solide.
L'effetto pompante è ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata
velocità (38000 giri/min. max) mossa da un motore elettrico trifase
ad alto rendimento. Il TV 902 Navigator è totalmente privo di agenti
contaminanti, ed è quindi adatto per applicazioni che richiedono un
vuoto "pulito".
Ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali è possibile
alimentare un ventilatore aggiuntivo, comandare la valvola di vent,
pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea
seriale (RS232 o RS485).
Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie
a garantire la sicurezza dell'operatore durante l'utilizzo
dell'apparecchiatura. Informazioni dettagliate sono fornite
nell'appendice “Technical information”.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
17/292
1
Istruzioni per l’uso
Informazioni Generali
Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni:
ATTENZIONE! I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che, se non
osservate, potrebbero causare danni all'apparec-chiatura.
AVVERTENZA! I messaggi di avvertenza attirano l'attenzione dell'operatore su una procedura
o una pratica specifica che, se non eseguita in modo corretto, potrebbe
provocare gravi lesioni personali.
NOTA
18/292
Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Immagazzinamento
1
Immagazzinamento
Per garantire il massimo livello di funzionalità ed affidabilità delle
pompe Turbomolecolari Agilent, devono essere osservate le seguenti
prescrizioni:
durante il trasporto, lo spostamento e l'immagazzinamento delle
pompe non devono essere superate le seguenti condizioni
ambientali:
temperatura: da –20 °C a 70 °C
umidità relativa: da 0 a 95 % (non condensante)
il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo
Soft-Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta
il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare è
di 10 mesi dalla data di spedizione.
ATTENZIONE! Se, per qualsiasi ragione, il tempo di immagazzinamento è superiore, occorre
reinviare la pompa in fabbrica. Per ogni informazione, si prega di contattare il
locale rappresentante della Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
19/292
1
Istruzioni per l’uso
Preparazione per l’installazione
Preparazione per l’installazione
Il TV 902 Navigator viene fornito in un imballo protettivo speciale; se
si presentano segni di danni, che potrebbero essersi verificati
durante il trasporto, contattare l'ufficio vendite locale. Durante
l'operazione di disimballaggio, prestare particolare attenzione a non
lasciar cadere il TV 902 Navigator e a non sottoporlo ad urti o
vibrazioni. Non disperdere l'imballo nell'ambiente. Il materiale è
completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85/399 per la
tutela dell'ambiente.
ATTENZIONE! Onde evitare problemi di degasamento, non toccare con le mani nude i
componenti destinati ad essere esposti al vuoto. Utilizzare sempre i guanti o altra
protezione adeguata.
NOTA
Il TV 902 Navigator non può essere danneggiato rimanendo semplicemente
esposto all'atmosfera. Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino
al momento del-l'installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento
da polvere.
Figura 1
20/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Installazione
1
Installazione
ATTENZIONE! Staccare l’adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del
collegamento della turbopompa al sistema.
Installare questo apparato solo in ambienti chiusi, ed in ogni caso
non utilizzarlo in ambienti esposti ad agenti atmosferici (pioggia,
gelo, neve), polveri, gas aggressivi, in ambienti esplosivi o con elevato
rischio di incendio.
Durante il funzionamento è necessario che siano rispettate le
seguenti condizioni ambientali:
pressione massima: 2 bar oltre la pressione atmosferica
temperatura: da + 10 °C a +35 °C
umidità relativa: 0 – 90 % (non condensante).
In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta
tramite opportuni schermi. Vedere l'appendice "Technical
Information" per ulteriori dettagli.
Il TV 902 Navigator deve essere collegato ad una pompa primaria
(vedere schema in "Technical Information")
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
21/292
1
Istruzioni per l’uso
Fissaggio della pompa
Fissaggio della pompa
AVVERTENZA! Se si verifica un danno al rotore, la connessione tra la pompa ed il sistema
potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa. Se la connessione non
è sufficiente per resistere alla suddetta coppia, la pompa potrebbe staccarsi
dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall’involucro della pompa. In
questo caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla pompa o
dal sistema, i quali potrebbero causare seri danni o la morte e/o danni agli
apparati adiacenti.
Fissare il TV 902 Navigator in posizione stabile montando la flangia
di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema, con una
connessione capace di resistere ad una coppia di 6800 Nm attorno al
proprio asse.
Per esempio, questa Bolted Flange può essere fissata con viti M10 in
acciaio ad alta resistenza (classe maggiore di 8.8).
La seguente tabella descrive il numero di viti necessarie e con quale
coppia di serraggio stringerle.
FLANGIA
DIMENSIONE VITI
N.
COPPIA DI SERRAGGIO
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata
alla camera da vuoto per mezzo dell'apposita minuteria meccanica
Agilent. Vedere l'appendice "Technical Information" per ulteriori
dettagli. Il TV 902 Navigator può essere installato in qualsiasi posizione.
22/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Fissaggio della pompa
NOTA
1
Il TV 902 Navigator non può essere fissato tramite la sua base.
ATTENZIONE! Il TV 902 Navigator appartiene alla seconda categoria di installazione (o
sovratensione) prevista dalla normativa EN 61010-1. Connettere quindi il
dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria. Il TV 902
Navigator ha dei connettori per gli in-gressi/uscite e per la comunicazione
seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte
sotto tensione sia accessibile. Assicurarsi che l’isolamento del dispositivo
connesso al TV 902 Navigator abbia un isolamento adeguato anche in condizione
di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
23/292
1
Istruzioni per l’uso
Uso
Uso
In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative.
Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e
pneumatici. Durante l'eventuale riscaldamento della camera da
vuoto, la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere
superiore a 80 °C.
AVVERTENZA! Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non è collegata alla
camera a vuoto o non è chiusa con la flangia di chiusura. Non toccare la
turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di
riscaldamento. L'elevata temperatura può causare lesioni alle persone.
ATTENZIONE! Evitare urti, oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando è in
funzione. I cuscinetti potrebbero danneggiarsi. Per la mandata all'aria della
pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle. La pressione di
ingresso attraverso l'apposita porta deve essere inferiore a 2 bar (oltre la
pressione atmosferica). Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono
dotate di una apposita porta attraverso la quale è necessario fornire alla pompa
un flusso di gas inerte (Azoto o Argon) per proteggere i cuscinetti (vedere
l'appendice "Technical Information").
AVVERTENZA! Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici, infiammabili
o radioattivi, seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas. Non
usare la pompa in presenza di gas esplosivi.
24/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Uso
1
Accensione ed Uso del TV 902 Navigator
Per accendere il TV 902 Navigator è sufficiente fornire la tensione di
alimentazione. Il controller incorporato riconosce automaticamente
la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa.
Il modo “Soft Start” è previsto per accendere la pompa dopo un
prolungato periodo di fermo. Per avere una partenza con “Soft Start”
attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software (vedere il
paragrafo “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION”
nell’appendice “Technical Information”).
Il LED verde posto sul pannello della base del TV 902 Navigator
indica, con la frequenza del suo lampeggio, le condizioni operative
del sistema:
acceso fisso: la pompa è in rotazione normale;
lampeggiante lentamente (periodo di circa 400 ms): il sistema è in
stato di rampa, o di frenata, o di Stop, o di “Waiting for
interlock”;
lampeggiante velocemente (periodo di circa 200 ms): condizione
di errore.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
25/292
1
Istruzioni per l’uso
Uso
Arresto del TV 902 Navigator
Per arrestare il TV 902 Navigator è sufficiente togliere la tensione di
alimentazione. Il controller incorporato arresta immediatamente la
pompa.
AVVERTENZA! Per la sicurezza dell'operatore il controller Turbo-V deve essere alimentato
con un cavo di alimentazione a 3 fili (vedere la tabella delle parti ordinabili)
dotato di una spina (approvata a livello internazionale). Utilizzare questo cavo
e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare
scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE. Le alte tensioni che
si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni o la morte. Prima
di eseguire delle operazioni di manutenzione all'interno dell'unità scollegare il
cavo di alimentazione.
Arresto di Emergenza
Per arrestare in condizioni di emergenza il TV 902 Navigator occorre
staccare il cavo di alimentazione dal controller.
26/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruzioni per l’uso
Manutenzione
1
Manutenzione
Il TV 902 Navigator non richiede alcuna manutenzione. Qualsiasi
intervento deve essere eseguito da personale autorizzato.
AVVERTENZA! Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo
dall’alimentazione, mandare all'aria la pompa aprendo l'apposita valvola,
attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura
superficiale della pompa sia inferiore a 50 °C.
In caso di guasto è possibile usufruire del servizio di riparazione
Agilent, che permette di ottenere una pompa rigenerata in
sostituzione di quella guasta.
NOTA
Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange
service, è indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la
scheda "Sicurezza e Salu-te" allegata al presente manuale di istruzioni. Copia
della stes-sa deve essere inserita nell'imballo del sistema prima della
spedizione.
Qualora una pompa dovesse essere rottamata, procedere alla sua
eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
27/292
1
Istruzioni per l’uso
Smaltimento
Smaltimento
Significato del logo "WEEE" presente sulle etichette. Il simbolo qui
sotto riportato è applicato in ottemperanza alla direttiva CE
denominata "WEEE". Questo simbolo (valido solo per i paesi della
Comunità Europea) indica che il prodotto sul quale è applicato, NON
deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali,
ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata. Si
invita pertanto l'utente finale a contattare il fornitore del dispositivo,
sia esso la casa madre o un rivenditore, per avviare il processo di
raccolta e smaltimento, dopo opportuna verifica dei termini e
condizioni contrattuali di vendita.
28/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen 30
Allgemeine Informationen 31
Lagerung
33
Vor der Installation
34
Installation
35
Befestigung der Pumpe
36
Gebrauch
38
Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator 39
Stoppen des TV 902 Navigator 40
Not-Aus
40
Wartung
41
Entsorgung
42
Übersetzung der Originalanleitungen
29/292
2
Gebrauchsanleitung
Sicherheitshinweise für
Turbomolekularpumpen
Sicherheitshinweise für Turbomolekularpumpen
Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen
Turbomolekularpumpen verfügen aufgrund der hohen
Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen
Gewicht ihrer Rotoren über eine große Menge kinetischer Energie.
Im Falle eines Systemdefekts, z.B. durch einen Kontakt zwischen
Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch, könnte diese
Rotationsenergie freigesetzt werden.
WARNUNG!
30/292
Um Schäden am Gerät zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener
vorzubeugen, befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch
beschriebenen Installationshinweise!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
2
Allgemeine Informationen
Dieser Apparat ist für den fachmännischen Gebrauch bestimmt. Vor
dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren
mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen. Bei auch
teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen,
unsachgemäßem Gebrauch durch ungeschultes Personal, nicht
autorisierten Eingriffen und Missachtung der nationalen
einschlägigen Normen übernimmt die Firma Agilent keinerlei
Haftung.
Der TV 902 Navigator ist ein integriertes System, das aus einer
Turbomolekularpumpe für Hoch- und Höchstvakuumanwendungen,
integriert mit einem entsprechenden Controller, besteht. Das System
eignet sich für die Förderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen
Gemischen, nicht jedoch für die Förderung von Flüssigstoffen oder
Festpartikeln. Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige
Turbine (max. 38.000 1/min) erreicht, die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird. Der TV 902 Navigator enthält
keinerlei umweltschädliche Substanzen und eignet sich deshalb auch
für Anwendungen, die ein "sauberes" Vakuum erfordern.
Modell TV 902 Navigator verfügt des weiteren über Zusatzanschlüsse,
über die ein zusätzlicher Ventilator versorgt, das Entlüftungsventil
gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer über eine
serielle Leitung gesteuert werden kann (RS232, RS485).
In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen
für die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Geräts
aufgeführt. Detaillierte technische Informationen sind im Anhang
"Technical Information" enthalten.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
31/292
2
Gebrauchsanleitung
Allgemeine Informationen
In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise
folgendermaßen hervorgehoben:
VORSICHT!
Die Vorsichtshinweise werden vor Vorgängen angegeben, die bei
Nichtbeachtung Schäden an der Anlage verursachen könnten.
WARNUNG!
Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen
Vorgang oder eine bestimmte Ausführungsweise, die bei unkorrekter
Ausführung schwere Verletzungen hervorrufen könnten.
HINWEIS
32/292
Die Hinweise enthalten wichtige Informationen, die aus dem Text
hervorgehoben werden.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Lagerung
2
Lagerung
Um ein Höchstmaß an Effizienz und Zuverlässigkeit der Agilent
Turbomolekularpumpen zu gewährleisten, sind die folgenden
Anweisungen zu beachten:
VORSICHT!
Während des Transports, der Handhabung und der Einlagerung
der Pumpen dürfen die folgenden Grenzwerte nicht überschritten
werden:
Temperatur: von –20 °C bis 70 °C
Relative Feuchtigkeit: von 0 bis 95 % (nicht kondensierend)
Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang
bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft-Start in Gang zu
setzen.
Die Lagerdauer für eine Turbomolekularpumpe beträgt 10 Monate
ab dem Speditionsdatum.
Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gründen die genannte Frist
überschreiten sollte, ist die Pumpe an das Werk zurückzusenden. Für
Informationen wenden Sie sich bitte an den örtlichen Agilent Vertreter.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
33/292
2
Gebrauchsanleitung
Vor der Installation
Vor der Installation
Der TV 902 Navigator wird in einer speziellen Schutzverpackung
geliefert. Eventuelle Transportschäden sind der zuständigen
örtlichen Verkaufsstelle zu melden. Der TV 902 Navigator ist
vorsichtig auszupacken, wobei es vor dem Herunterfallen und vor
Stößen und Vibrationen zu schützen ist. Das Verpackungsmaterial ist
gemäß den Vorschriften zu entsorgen. Es ist vollständig recyclebar
und entspricht der Richtlinie 85/399/EWG für Umweltschutz.
VORSICHT!
HINWEIS
Um Entgasungen zu vermeiden, dürfen die Teile, die mit dem Vakuum in
Berührung kommen, nicht mit den bloßen Händen angefasst werden. Es sind
stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden.
Der TV 902 Navigator kann durch die Umgebung an sich keine Schäden erleiden.
Er sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben, um
Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden.
Abbildung 1
34/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Installation
2
Installation
VORSICHT!
Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss der
Turbopumpe an das System abnehmen.
Das Gerät darf nur in geschlossenen Umgebungen installiert und
nicht in Umgebungen benutzt werden, wo es Witterungsbedingungen
(Regen, Frost und Schnee), Staub oder ätzenden Gasen ausgesetzt ist
oder die explosionsfähig oder mit einer erhöhten Brandgefahr sind.
Beim Betrieb müssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten
werden:
Maximaler Druck: 2 bar über dem atmosphärischen Druck
Temperatur: von +10 °C bis +35 °C
Relative Luftfeuchtigkeit: 0 – 90 % (nicht kondensierend).
Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe
entsprechend abzuschirmen. Für ausführliche Informationen siehe
im Anhang "Technical Information".
Der TV 902 Navigator ist an eine Primärpumpe anzuschließen (siehe
Schema in "Technical Information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
35/292
2
Gebrauchsanleitung
Befestigung der Pumpe
Befestigung der Pumpe
WARNUNG!
Wenn ein Läuferschaden auftritt, könnte die Verbindung zwischen der Pumpe
und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden. Setzt
die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand
entgegen, besteht die Möglichkeit, dass sich die Pumpe vom System oder der
Motor vom Pumpengehäuse löst. In diesem Fall könnten Metallsplitter von
der Pumpe oder vom System geschleudert werden, die schwere Schäden oder
den Tod und/oder Schäden an benachbarten Geräten zur Folge haben
könnten.
Den TV 902 Navigator in einer stabilen Position befestigen. Den
Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems
montieren. Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 6800 Nm
um die eigene Achse standhalten.
Zum Beispiel kann dieser Bolted Flange unter Verwendung hoch
widerstandsfähiger Stahlschrauben M10 (Klasse höher als 8.8)
befestigt werden.
Die folgende Tabelle zeigt die erforderliche Anzahl Schrauben und
das jeweilige Anzugsmoment.
FLANSCH
SCHRAUBEN-ABMESSUNG
ANZ.
ANZUGSMOMENT
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Die Turbopumpe mit Eintrittsflansch ConFlat muss an die
Vakuumkammer mittels mechanischen Agilent-Befestigungsteilen
befestigt werden. Für weitere Details siehe Anlage „Technical
Information“ Der TV 902 Navigator kann in jeder beliebigen Position
installiert werden.
36/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Befestigung der Pumpe
HINWEIS
VORSICHT!
2
Der TV 902 Navigator kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden.
Der TV 902 Navigator gehört zur zweiten Installationsklasse (Überdruck) die von
den Normen EN 61010-1 vorgesehen ist. Die Vorrichtung muss daher an eine
Speisungsleitung angeschlossen werden, die dieser Kategorie entspricht. Der
TV 902 Navigator hat Verbinder für den Ein- und Ausgang und die
Schnittstellenkommunikation, die an die Außenkreise angeschlossen werden
müssen, sodass kein Teil unter Spannung zugänglich ist. Sicherstellen, dass die
Isolierung der an den TV 902 Navigator angeschlossenen Vorrichtung auch bei
einer Einzelstörung ausreichend isoliert, wie es von der Richtlinie EN 61010-1
vorgesehen wird.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
37/292
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
Gebrauch
In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorgänge
erläutert. Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und
pneumatischen Anschlüsse auszuführen. Während der eventuellen
Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am
Eingangsflansch 80 °C nicht überschreiten.
WARNUNG!
Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden, wenn der
Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit
dem Verschlussflansch verschlossen ist. Während des Aufheizens dürfen
weder die Pumpe noch eventuelle heiße Zubehörteile berührt werden. Es
besteht Verbrennungsgefahr.
VORSICHT!
Während des Betriebs sind Stoß- und Vibrationseinwirkungen sowie
Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden, da die Lager beschädigt
werden könnten. Für die Belüftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie
Luft oder Inertgase verwenden. Der Eingangsdruck am Belüftungsanschluss soll
unter 2 bar (über dem atmosphärischen Druck) betragen. Zum Pumpen von
aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer Öffnungsklappe ausgestattet,
über die zum Schutz der Lager Inertgas (Stickstoff oder Argon) zuzuleiten ist
(siehe Anhang "Technical Information").
WARNUNG!
Wenn die Pumpe zur Förderung von giftigen, leicht entflammbaren oder
radioaktiven Gasen benutzt wird, sind die für das jeweilige Gas
vorgeschriebenen Vorgänge und Maßnahmen zu befolgen. Die Pumpe darf
niemals bei Vorhandensein von explosionsfähigen Gasen verwendet werden.
38/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
2
Einschaltung und Gebrauch des TV 902 Navigator
Zur Einschaltung des TV 902 Navigator ist es mit der erforderlichen
Versorgungsspannung zu versorgen. Der eingebaute Controller
erfasst automatisch das Vorhandensein von Interlock- und
Anlaufsignalen und startet die Pumpe.
Der Modus “Soft Start” ist zum Einschalten der Pumpe nach einem
längeren Stillstand vorgesehen. Um einen Start mit aktivem „Soft
Start“ vorzunehmen, muss der genannte Modus über Software wieder
befähigt werden (siehe Abschnitt „RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION“ im Anhang „Technical Information“).
Die grüne LED im Boden-Schaltfeld des TV 902 Navigator gibt mit der
Häufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an:
Daueranzeige: Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb.
Langsame Blinkanzeige (ca. 400 ms): das System befindet sich
entweder im Status Rampe, Abbremsung, Stopp oder “Waiting for
Interlock”.
Schnelle Blinkanzeige (ca. 200 ms): Fehlerstatus.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
39/292
2
Gebrauchsanleitung
Gebrauch
Stoppen des TV 902 Navigator
Zum Stoppen des TV 902 Navigator ist die Versorgungsspannung
abzuschalten. Der eingebaute Controller sorgt für den sofortigen
Pumpenstopp.
WARNUNG!
Für die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo-V mit einem
dreidrähtigen Stromkabel (siehe Tabelle der Bestellteile) versorgt werden,
das mit einem (auf internationaler Ebene genehmigten) Stecker ausgestattet
ist. Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer
entsprechend geerdeten Steckdose, um Stromschläge zu vermeiden und den
Anforderungen der EG-Richtlinien zu entsprechen. Die Hochspannungen, die
sich im Controller entwickeln, können zu schweren Schäden oder zum Tod
führen. Vor den Wartungsarbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel
trennen.
Not-Aus
Zur Stillsetzung des TV 902 Navigator in Notsituationen ist vom
Controller das Netzkabel abzuziehen.
40/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Gebrauchsanleitung
Wartung
2
Wartung
Der TV 902 Navigator erfordert keine Wartung. Eventuelle Eingriffe
dürfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgeführt werden.
WARNUNG!
Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen, die Pumpe über
Öffnung des entsprechenden Ventils belüften und abwarten, bis der Rotor
vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengehäuse unter 50 °C
abgesunken ist.
Bei Defekten kann der Agilent Service in Anspruch genommen
werden, der eine generalüberholte Pumpe als Ersatz für die defekte
Pumpe zur Verfügung stellt.
HINWEIS
Bevor Fa. Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst
eingesandt wird, ist das Formular "Sicherheit und Gesundheit", das diesem
Handbuch beiliegt, ausgefüllt an die örtliche Verkaufsstelle zu senden. Eine
Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen.
Eine eventuelle Verschrottung der Pumpe hat unter Beachtung der
einschlägigen nationalen Vorschriften zu erfolgen.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
41/292
2
Gebrauchsanleitung
Entsorgung
Entsorgung
Bedeutung des "WEEE" Logos auf den Etiketten. Das folgende
Symbol ist in Übereinstimmung mit der EU-Richtlinie WEEE (Waste
Electrical and Electronic Equipment) angebracht. Dieses Symbol (nur
in den EU-Ländern gültig) zeigt an, dass das betreffende Produkt
nicht zusammen mit Haushaltsmüll entsorgt werden darf sondern
einem speziellen Sammelsystem zugeführt werden muss. Der
Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Geräts - d.h. die
Muttergesellschaft oder den Wiederverkäufer - kontaktieren, um den
Entsorgungsprozess zu starten, nachdem er die Verkaufsbedingungen
geprüft hat.
42/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
3
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires 44
Indications générales 45
Stockage
47
Preparation pour l’installation 48
Installation
49
Fixation de la pompe 50
Utilisation
52
Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator 53
Arrêt du TV 902 Navigator 54
Arrêt d'urgence 54
Entretien
55
Mise au rebut
56
Traduction de la mode d’emploi originale
43/292
3
Mode d’emploi
Normes de sécurité pour Pompe
Turbomoléculaires
Normes de sécurité pour Pompe Turbomoléculaires
Les pompes Turbomoléculaires décrites dans le Manuel
d'Instructions suivant ont une énergie cinétique élevée due à la
grande vitesse de rotation associée à la masse spécifique de leurs
rotors.
En cas de panne du système, par exemple à cause d'un contact entre
rotor et stator ou d'une rupture du rotor, l'énergie de rotation
pourrait être libérée.
AVERTISSEMENT! Pour éviter tout dégât aux appareillages et empêcher toute blessure aux
opérateurs, il faut suivre attentivement les instructions d'installation
décrites dans ce manuel !
44/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Indications générales
3
Indications générales
Cet appareillage a été conçu en vue d'une utilisation professionnelle.
Avant toute utilisation de l'appareil, il est conseillé à l'utilisateur de
lire attentivement cette notice d'instructions ainsi que toute autre
indication supplémentaire fournie par Agilent qui décline par
conséquent toute responsabilité en cas de non respect total ou partiel
des instructions données, d'utilisation impropre par un personnel
non formé, d'opérations non autorisées ou d'emploi contraire aux
réglementations nationales spécifiques.
Le TV 902 Navigator est un système intégré, constitué d'une pompe
turbomoléculaire conçue pour des applications de vide poussé et
ultrapoussé et doté d'un contrôleur. Le système est à même de
pomper tous les types de gaz et de composés gazeux mais il n'est pas
adapté au pompage de liquides ou de particules solides.
L'effet de pompage est obtenu grâce à une turbine tournant à vitesse
élevée (38000 tr/min maxi), mue par un moteur électrique triphasé à
haut rendement. Le TV 902 Navigator est totalement exempt d'agents
polluants et il est par conséquent indiqué pour toutes les
applications exigeant un vide "propre".
Il est en outre doté de connecteurs auxiliaires permettant
d'alimenter un ventilateur supplémentaire, de commander la soupape
de ventilation, de le piloter à distance à l'aide d'un ordinateur host
connecté par ligne sérielle (RS232 ou RS485).
Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications
nécessaires à garantir la sécurité de l'opérateur pendant l'utilisation
de l'appareillage. Des renseignements plus détaillés se trouvent dans
l'appendice "Technical Information".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
45/292
3
Mode d’emploi
Indications générales
Cette notice utilise les signes conventionnels suivants:
ATTENTION!
Les messages d'attention apparaissent avant certaines procédures dont le
non respect pourrait endommager sérieusement l'appareillage.
AVERTISSEMENT! Les messages d’avertissement attirent l'attention de l'opérateur sur une
procédure ou une manoeuvre spéciale qui, effectuée de façon impropre,
risque de provoquer de graves lésions.
NOTE
46/292
Les notes contiennent des renseignements importants, extrapolés du texte.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Stockage
3
Stockage
Pour garantir les performances et la fiabilité maximales des pompes
Turbomoléculaires Agilent, il est indispensable de respecter les
instructions suivantes :
ATTENTION!
Le transport, la manutention et le stockage des pompes, doivent
impérativement avoir lieu dans les conditions ambiantes
suivantes:
température : de –20 °C à +70 °C
humidité relative : de 0 à 95 % (non condensante)
A la première utilisation, les pompes turbomoléculaires doivent
toujours être mises en marche par le client en mode soft-Start.
Le temps de stockage d'une pompe turbomoléculaire est de 10
mois à compter de la date d'expédition.
En cas de dépassement du temps de stockage pour toutes raisons, la pompe
doit être retournée en usine. Pour tout renseignement, contacter le
représentant Agilent de zone.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
47/292
3
Mode d’emploi
Preparation pour l’installation
Preparation pour l’installation
Le TV 902 Navigator est livré dans un emballage de protection
spécial; en cas d'endommagement de l'emballage pouvant s'être
produit pendant le transport, contacter le bureau de vente local.
Pendant l'opération d'ouverture de l'emballage, veiller tout
particulièrement à ne pas laisser tomber le TV 902 Navigator et à ne
lui faire subir aucun choc et aucune vibration. Ne pas abandonner
l'emballage dans la nature. Le matériel est entièrement recyclable et
conforme à la directive CEE 85/399 en matière de protection de
l'environnement.
ATTENTION!
NOTE
Afin d'éviter tout problème de dégazage, ne pas toucher, à mains nues, les
éléments devant être exposés au vide. Mettre toujours des gants ou toute autre
protection appropriée.
Le TV 902 Navigator ne peut s'endommager en restant simplement exposé à
l'atmosphère. Toutefois, afin d'éviter toute pollution due à la poussière, il est
conseillé de le garder dans son emballage clos jusqu'au moment de
l'installation.
Figure 1
48/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Installation
3
Installation
ATTENTION!
Ne décoller l'adhésif et ne retirer le couvercle de protection qu'au moment
de brancher la turbopompe au système.
Installer cet appareil uniquement dans un local fermé et ne jamais
l'utiliser dans un milieu exposé aux conditions atmosphériques
(pluie, gel, neige), à la poussière, aux gaz agressifs, encore moins
dans un milieu pouvant présenter un risque d'explosion ou
d'incendie.
Pendant le fonctionnement, il est nécessaire de respecter les
conditions environnementales suivantes:
pression maxi: 2 bar au-delà de la pression atmosphérique
température: de +10 °C à +35 °C
humidité relative: 0 – 90 % (non condensante)
En présence de champs magnétiques, la pompe doit être protégée à
l'aide d'écrans appropriés. Pour tout autre renseignement, se
reporter à l'opuscule "Technical Information". Le TV 902 Navigator
doit être connecté à une pompe primaire (Cf. schéma dans "Technical
Information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
49/292
3
Mode d’emploi
Fixation de la pompe
Fixation de la pompe
AVERTISSEMENT! En cas d'endommagement du rotor, la connexion pompe - système
pourrait être soumise à un couple très important. Si la connexion n'est
pas en mesure de résister au dit couple, la pompe peut se détacher du
système ou le moteur de l'enveloppe de la pompe. Dans ce cas, des
morceaux de métal peuvent être expulsés par la pompe ou le système et
entraîner des blessures graves voire la mort et/ou endommager
sérieusement les équipements environnants.
Fixer le TV 902 Navigator de façon stable en assurant la collerette
d'entrée de la turbopompe à la contre-collerette du système au moyen
d'une connexion en mesure de résister à un couple de 6800 Nm
autour de son axe.
Par exemple, cette flasque boulonnée peut être fixée à l'aide de vis
M10 en acier à haute résistance (classe supérieure à 8.8).
La table ci-après indique le nombre de vis nécessaires et le couple de
serrage à appliquer.
BRIDE
DIMENSION VIS
N.
COUPLE DE SERRAGE
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
La turbopompe à bride d'entrée ConFlat doit être fixée à la chambre
à vide à l'aide des éléments mécaniques Agilent prévus à cet effet.
Pour tout autre renseignement, se reporter à l'opuscule "Technical
Information". Le TV 902 Navigator peut être installée dans n'importe
quelle position.
50/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Fixation de la pompe
NOTE
ATTENTION!
3
Le TV 902 Navigator ne peut être fixé par sa base.
Le TV 902 Navigator appartient à la deuxième catégorie d'installations (ou
surtension) prévue par la norme EN 61010-1. De ce fait, brancher le dispositif
à une ligne d'alimentation compatible avec cette catégorie. Le TV 902
Navigator dispose de connecteurs pour les entrées/sorties et pour la
communication en série qui doivent être branchés aux circuits extérieurs de
façon qu'aucune partie sous tension ne soit accessible. S'assurer que
l'isolation du dispositif branché au TV 902 Navigator a une isolation
appropriée même en condition de panne individuelle selon les termes de la
norme EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
51/292
3
Mode d’emploi
Utilisation
Utilisation
Ce paragraphe présente les principales procédures opérationnelles.
Avant d'utiliser le système, effectuer tous les branchements
électriques et pneumatiques. Pendant le chauffage éventuel de la
chambre à vide, la température de la bride d'entrée ne doit pas
dépasser 80 °C.
AVERTISSEMENT! Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d'entrée n'est pas reliée à
la chambre à vide ou si elle n'est pas fermée avec la bride de fermeture.
Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires éventuels
pendant les opérations de chauffage. La température élevée peut être à
l'origine de lésions graves.
ATTENTION!
Lorsque la turbopompe fonctionne, éviter tout choc, oscillation ou
déplacement brusque car les paliers pourraient se détériorer. Pour le
refoulement de l'air de la pompe, utiliser de l'air ou du gaz inerte exempt de
poussière ou de particules. La pression d'entrée à travers la porte prévue à
cet effet doit être inférieure à 2 bar (au-delà de la pression atmosphérique).
Pour le pompage de gaz agressifs, ces pompes sont dotées d'une porte
spéciale à travers laquelle il est nécessaire de fournir à la pompe un flux de
gaz inerte (azote ou argon) pour protéger les paliers (voir l'appendice
"Technical Information").
AVERTISSEMENT! Lorsque la pompe est utilisée pour le pompage de gaz toxiques,
inflammables ou radioactifs, suivre les procédures typiques de chaque
gaz. Ne pas utiliser la pompe en présence de gaz explosifs.
52/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Utilisation
3
Mise en marche et utilisation du TV 902 Navigator
Pour allumer le TV 902 Navigator il suffit de fournir la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé reconnaît automatiquement
la présence de signaux d'interlock et de démarrage et il actionne la
pompe.
Le mode "Soft Start" est prévu pour démarrer la pompe après une
période prolongée d'arrêt. Pour obtenir une mise en marche "Soft
Start", il faut réactiver ce mode opératoire à l'aide du logiciel (Cf.
paragraphe "RS232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" dans
l'appendice "Technical Information").
La LED verte placée sur le panneau de la base du TV 902 Navigator
indique, par sa fréquence de clignotement, les conditions
opérationnelles du système:
allumée fixe: la pompe est en rotation normale;
clignote lentement (période d'environ 400 ms): le système est en
état de rampe, de freinage, de stop ou d’attente interlock.
clignote rapidement (période d'environ 200 ms): condition
d'erreur.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
53/292
3
Mode d’emploi
Utilisation
Arrêt du TV 902 Navigator
Pour arrêter le TV 902 Navigator, il suffit de retirer la tension
d'alimentation. Le contrôleur incorporé arrête immédiatement la
pompe.
AVERTISSEMENT! Pour la sécurité de l’opérateur, le contrôleur Turbo-V doit être alimenté
par un câble d’alimentation à 3 fils (voir le tableau des parties qui
peuvent être ordonnées) doté d’une fiche (approuvée à niveau
international). Utiliser ce câble et cette fiche avec une prise connectée
d’une manière adéquate à terre pour éviter des décharges électriques et
satisfaire les requis des normes CE. Les tensions élevées qui se
développent dans le contrôleur peuvent provoquer de graves
endommagements ou la mort. Avant d’effectuer les opérations d’entretien
à l’intérieur de l’unité débrancher le câble d’alimentation.
Arrêt d'urgence
Pour arrêter le TV 902 Navigator en conditions d'urgence, il faut
débrancher le cordon d'alimentation du contrôleur.
54/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Mode d’emploi
Entretien
3
Entretien
Le TV 902 Navigator n'exige aucun entretien particulier. Toute
intervention doit être effectuée par un personnel agréé.
AVERTISSEMENT! Avant toute intervention sur le système, le débrancher, refouler l'air de la
pompe en ouvrant la soupape prévue à cet effet, attendre jusqu'à l'arrêt
complet du rotor et jusqu'à ce que la température superficielle de la
pompe soit inférieure à 50 °C.
En cas de panne, il est possible de bénéficier du service réparations
Agilent qui permet d'obtenir une pompe régénérée en remplacement
de la pompe endommagée.
NOTE
Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour réparation ou "advanced
exchange service", remplir et faire parvenir au bureau de vente local la fiche
"Sécurité et Santé" jointe au présent manuel d'instructions. Une copie de cette
fiche devra être mise dans l'emballage du système avant l'expédition.
En cas de mise au rebut de la pompe, procéder à son élimination
conformément aux réglementations nationales concernant la gestion
des déchets.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
55/292
3
Mode d’emploi
Mise au rebut
Mise au rebut
Signification du logo "WEEE" figurant sur les étiquettes. Le
symbole ci-dessous est appliqué conformément à la directive CE
nommée "WEEE". Ce symbole (uniquement valide pour les pays de
la Communauté européenne) indique que le produit sur lequel il est
appliqué NE doit PAS être mis au rebut avec les ordures ménagères
ou les déchets industriels ordinaires, mais passer par un système de
collecte sélective. Après avoir vérifié les termes et conditions du
contrat de vente, l’utilisateur final est donc prié de contacter le
fournisseur du dispositif, maison mère ou revendeur, pour mettre en
œuvre le processus de collecte et mise au rebut.
56/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares
58
Indicaciones generales 59
Almacenamiento
61
Preparación para la instalación 62
Instalación
63
Fijación de la bomba 64
Uso66
Encendido y Uso del TV 902 Navigator
67
Parada del TV 902 Navigator 68
Parada de Emergencia 68
Mantenimiento 69
Eliminación
70
Traducción de las instrucciones originales
57/292
4
Manual de istrucciones
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
Indicaciones de Seguridad para Bombas
Turbomoleculares
Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de
instrucciones tienen una elevada cantidad de energía cinética debido
a la alta velocidad de rotación en combinación a la masa específica
de sus rotores.
En el caso de un daño del sistema, por ejemplo por un contacto entre
el rotor y el estator o por una rotura del rotor, la energía de rotación
podría ser liberada.
¡ADVERTENCIA!
58/292
Para evitar daños a los equipos y prevenir lesiones a los operadores, es
necesario seguir atentamente las instrucciones de instalación descritas
en el presente manual!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Indicaciones generales
4
Indicaciones generales
Este equipo es para uso profesional. El usuario ha de leer
atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra
información suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el
aparato. Agilent se considera libre de posibles responsabilidades
debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones, al uso
impropio por parte de personal no preparado, a operaciones no
autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales específicas.
El TV 902 Navigator es un sistema integrado compuesto por una
bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacío y
por el controler correspondiente. El sistema puede bombear
cualquier tipo de gas o de composición gaseosa, pero no es adecuado
para bombear líquidos o partículas sólidas. El efecto de bombeo se
obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad (38000 r.p.m.
máx.) movida por un motor eléctrico trifásico de alto rendimiento. El
TV 902 Navigator no posee ningún agente contaminante y por lo
tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vacío’ “limpio”.
Asimismo, posee conectores auxiliares con los que se puede
alimentar un ventilador adicional, accionar la válvula de ventilación,
pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante línea
serial (RS 232/RS 485).
A continuación se facilita toda la información necesaria para
garantizar la seguridad del operador al usar el aparato. En el anexo
“Technical Information” se facilita información más detallada.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
59/292
4
Manual de istrucciones
Indicaciones generales
Este manual utiliza las convenciones siguientes:
¡ATENCIÓN!
¡ADVERTENCIA!
NOTA
60/292
Los mensajes de atención se visualizan antes de los procedimientos que, de
no cumplirse, podrían provocar daños al aparato.
Los mensajes de advertencia atraen la atención del operador sobre un
procedimiento o una ejecución específica que, de no realizarse
correctamente, podría provocar graves lesiones personales.
Las notas contienen información importante extraída del texto.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Almacenamiento
4
Almacenamiento
Para garantizar el nivel máximo de funcionalidad y fiabilidad de las
bombas turbomoleculares Agilent, deberán aplicarse las siguientes
instrucciones:
¡ATENCIÓN!
durante el transporte, desplazamiento y almacenamiento de las
bombas no deberán superarse las siguientes condiciones
ambientales:
temperatura: entre –20 °C y 70 °C;
humedad relativa: entre 0 y 95 % (no condensante);
el cliente deberá activar siempre las bombas turbomoleculares en
modalidad Soft-Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento
por primera vez;
el período máximo de almacenamiento de una bomba
turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envío al
cliente.
En caso de superarse por cualquier motivo el período máximo permitido de
almacenamiento, será necesario devolver la bomba al fabricante. Para
mayores informaciones al respecto, se ruega contactar con el representante
local de Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
61/292
4
Manual de istrucciones
Preparación para la instalación
Preparación para la instalación
El TV 902 Navigator se suministra en un embalaje especial de
protección; si se observan daños, que podrían haberse producido
durante el transporte, ponerse en contacto con la oficina local de
ventas. Durante la operación de desembalaje, tener cuidado de que
no se caiga el TV 902 Navigator y de no someterlo a golpes o
vibraciones. No abandonar el embalaje en el medio ambiente. El
material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE
85/399 para la preservación del medio ambiente.
¡ATENCIÓN!
NOTA
Para evitar problemas de desgasificación, no tocar con las manos desnudas
los componentes destinados a exponerse al vacío. Utilizar siempre guantes u
otra protección adecuada.
El TV 902 Navigator no puede dañarse permaneciendo simplemente expuesto a
la atmósfera. De todas formas, se aconseja mantener cerrada la bomba hasta
que se instale en el sistema para evitar su posible contaminación por polvo.
Figura 1
62/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Instalación
4
Instalación
¡ATENCIÓN!
Despegar el adhesivo y quitar el tapón de protección sólo al conectar la
bomba al sistema.
Este equipo debe ser instalado sólo en ambientes cerrados y en
ninguna circunstancia podrá utilizarse en ambientes expuestos a
agentes atmosféricos (lluvia, hielo, nieve), polvos, gases agresivos ni
en ambientes explosivos o sujetos a elevado riesgo de incendio.
Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las
condiciones ambientales siguientes:
presión máxima: 2 bares por encima de la presión atmosférica
temperatura: de +10 °C a +35 °C
humedad relativa: 0-90 % (no condensadora).
Cuando existan campos electromagnéticos, la bomba ha de
protegerse mediante pantallas oportunas. Véase el anexo “Technical
Information” para más detalles.
El TV 902 Navigator ha de conectarse a una bomba primaria (véase
diagrama en “Technical Information”).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
63/292
4
Manual de istrucciones
Fijación de la bomba
Fijación de la bomba
¡ADVERTENCIA!
En caso de dañarse el rotor, la conexión entre la bomba y el sistema
puede ser sometida a un par de fuerza excesivo. En estas circunstancias,
la conexión podría no resistir a dicho par de fuerza y, como
consecuencia, la bomba podría separarse del sistema o el motor podría
separarse respecto del contenedor de la bomba. En este caso fragmentos
de metal pueden ser proyectados por la bomba o por el sistema, con
consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y/o daños a los aparatos
adyacentes.
Fijar el TV 902 Navigator en posición estable, montando la brida de
entrada de la turbo-bomba en la contrabrida del sistema, con
conexión capaz de resistir a un par de 6800 Nm en torno a su propio
eje.
Por ejemplo, esta Bolted Flange puede ser fijada con tornillos M10 de
acero de alta resistencia (clase mayor de 8.8).
La tabla siguiente describe el número de tornillos necesarios y con
cual par de apriete apretarlos.
BRIDA
DIMENSIÓN TORNILLOS
N.
PAR DE APRIETE
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
La turbo-bomba con brida de entrada ConFlat debe ser fijada a la
cámara de vacío por medio de pernos Agilent. Véase el anexo
"Technical Information" para más detalles. El TV 902 Navigator puede
instalarse en cualquier posición.
64/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Fijación de la bomba
NOTA
¡ATENCIÓN!
4
El TV 902 Navigator no puede fijarse utilizando su base.
El TV 902 Navigator pertenece a la segunda categoría de instalación (o
sobretensión) prevista por la normativa EN 61010-1. Por lo tanto este
dispositivo debe ser conectado a una línea de alimentación adecuada para
dicha categoría. El TV 902 Navigator tiene conectores para las
entradas/salidas y para la comunicación serial que deben ser conectados a
los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensión quede
accesible. Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado al TV 902
Navigator mantenga una acción aisladora incluso en caso de verificarse una
avería, de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
65/292
4
Manual de istrucciones
Uso
Uso
En este apartado se citan los procedimientos operativos principales.
Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones eléctricas y
neumáticas. Durante el posible calentamiento de la cámara de vacío,
la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 ºC.
¡ADVERTENCIA!
¡ATENCIÓN!
¡ADVERTENCIA!
66/292
No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no está
conectada al sistema o no está cerrada con la brida de cierre. No tocar la
turbo-bomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de
calentamiento. La alta temperatura puede provocar lesiones a las
personas.
Evítense golpes, oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbo-bomba
durante su funcionamiento. Los cojinetes podrían dañarse. Para el envío de
aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o partículas. La presión de
entrada a través de la puerta deberá ser inferior a 2 bar (por encima de la
presión atmosférica). Para bombear gases agresivos estas bombas están
dotadas de una puerta específica mediante la cual es necesario suministrar a
la bomba un caudal de gas inerte (Nitrógeno o Argón) para proteger los
rodamientos (véase el anexo “Technical Information”).
Cuando la bomba se utiliza para bombear gases tóxicos, inflamables o
radioactivos, seguir los procedimientos apropiados típicos de cada gas.
No usar la bomba cuando haya gases explosivos.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Uso
4
Encendido y Uso del TV 902 Navigator
Para encender el TV 902 Navigator basta con suministrar la tensión
de alimentación. El controlador incorporado reconoce
automáticamente la presencia de las señales de interbloqueo y de
arranque y activa la bomba.
El modo “Soft Start” esta previsto para encender la bomba después
de un prolongado período de parada. Para haber una puesta en
marcha “Soft Start” activa es necesario rehabilitar el modo
anteriormente indicado mediante software (véase el apartado “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” en el anexo “Technical
Information”).
El LED verde situado en el panel de la base del TV 902 Navigator
indica, con la frecuencia de su parpadeo, las condiciones operativas
del sistema:
encendido fijo: la bomba está en rotación normal;
parpadea lentamente (periodo de 400 ms aproximadamente): el
sistema está en estado de rampa, o de frenado, o de stop, o de
“waiting for iterlock” ;
parpadea rápidamente (periodo de 200 ms aproximadamente):
condición de error.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
67/292
4
Manual de istrucciones
Uso
Parada del TV 902 Navigator
Para parar el TV 902 Navigator con desenchufarlo de la corriente. El
controler incorporado detiene inmediatamente la bomba.
¡ADVERTENCIA!
Para seguridad del operador el controlador Turbo-V debe ser alimentado
con cable de alimentación de 3 hilos (véase tabla de partes disponibles
para pedido) provisto de un enchufe (aprobado internacionalmente).
Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente
conectado a tierra para evitar descargas eléctricas y cumplir con los
requerimientos de las normas CE. Las altas tensiones que se desarrollan
en el controlador pueden provocar graves daños o incluso resultar
fatales. Desconectar el cable de alimentación antes de ejecutar las
operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad.
Parada de Emergencia
Para detener en condiciones de emergencia el TV 902 Navigator es
necesario desconectar del controlador el cable de alimentación.
68/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de istrucciones
Mantenimiento
4
Mantenimiento
El TV 902 Navigator no necesita ningún mantenimiento. Cualquier
operación deberá ser realizada por personal autorizado.
¡ADVERTENCIA!
Antes de realizar cualquier operación en el sistema desconectarlo de la
corriente, enviar aire de la bomba abriendo la válvula oportuna, esperar
hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura
superficial de la bomba sea inferior a 50 ºC.
En caso de avería se podrá utilizar el servicio de reparación Agilent o
el “Agilent advanced exchange service”, que permite obtener un
sistema regenerado para sustituir el averiado.
NOTA
Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparación o “advanced
exchange service”, es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de
ventas la ficha de “Seguridad y Salud” adjunta al presente manual de
instrucciones. Una copia de la misma se deberá introducir en el embalaje del
sistema antes de enviarlo.
En caso de que el sistema se tenga que desguazar, eliminarlo
respetando las normas nacionales específicas.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
69/292
4
Manual de istrucciones
Eliminación
Eliminación
Significado del logotipo "WEEE" presente en las etiquetas. El
símbolo que se indica a continuación, es aplicado en observancia de
la directiva CE denominada "WEEE". Este símbolo (válido sólo para
los países miembros de la Comunidad Europea) indica que el
producto sobre el cual ha sido aplicado, NO debe ser eliminado junto
con los residuos comunes sean éstos domésticos o industriales, y
que, por el contrario, deberá ser sometido a un procedimiento de
recogida diferenciada. Por lo tanto, se invita al usuario final, a
ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo, tanto si éste es
la casa fabricante o un distribuidor, para poder proveer a la recogida
y eliminación del producto, después de haber efectuado una
verificación de los términos y condiciones contractuales de venta.
70/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
5
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas Turbomoleculares
72
Informações gerais
73
Armazenagem
75
Preparação para a instalação 76
Instalação
77
Fixação da bomba 78
Utilização
80
Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator 81
Paragem do TV 902 Navigator
82
Paragem de Emergência
82
Manutenção
83
Eliminação
84
Tradução das instruções originais
71/292
5
Manual de Istruções
Indicações de Segurança para Bombas
Turbomoleculares
Indicações de Segurança para Bombas
Turbomoleculares
As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de
Instruções têm uma alta quantidade de energia cinética devida à alta
velocidade de rotação unida à massa específica de seus rotores.
Em caso de avaria do sistema, causada por exemplo por um contacto
entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor, a energia de
rotação poderia ser liberada.
ATENÇAO!
72/292
Para evitar danos à aparelhagem e prevenir lesões aos operadores, é
necessário seguir atentamente as instruções de instalação descritas
neste manual!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Informações gerais
5
Informações gerais
Esta aparelhagem destina-se a uso profissional. O utilizador deve ler
atentamente o presente manual de instruções e todas as informações
adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem. A
Agilent não se responsabiliza pela inobservância total ou parcial das
instruções, pelo uso indevido por parte de pessoas não treinadas, por
operações não autorizadas ou pelo uso contrário às normas nacionais
específicas.
O TV 902 Navigator é um sistema integrado, constituído por uma
bomba turbomolecular para aplicações de alto e ultra-alto vácuo e do
relativo controller. O sistema é capaz de bombear qualquer tipo de
gás ou de composto gasoso, mas não é adequado para bombear
líquidos ou partículas sólidas. O efeito da bomba é obtido através de
uma turbina rotativa de alta velocidade (38000 r.p.m. máx.) movida
por um motor eléctrico trifásico de alto rendimento. O TV 902
Navigator é totalmente isento de agentes contaminadores e, portanto,
é adequado para aplicações que requerem um vácuo "limpo".
Além disso, tem conectores auxiliares através dos quais é possível
alimentar um ventilador adicional, comandar a válvula de vent,
accioná-lo por um controlo remoto através de um computer host
conectado por meio de linhas seriais (RS 232/RS 485).
Nos seguintes parágrafos estão descritas todas as informações
necessárias para garantir a segurança do operador durante o uso da
aparelhagem. Informações detalhadas são fornecidas no apêndice
"Technical Information".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
73/292
5
Manual de Istruções
Informações gerais
Este manual utiliza as seguintes convenções:
CUIDADO!
As mensagens de cuidado são visualizadas antes de procedimentos que, se
não efectuados correctamente, podem causar danos à aparelhagem.
ATENÇAO!
As mensagens de atenção chamam a atenção do operador para um
procedimento ou uma prática específica que, se não efectuada
correctamente, pode provocar graves lesões pessoais.
NOTA
74/292
As notas contêm informações importantes destacadas do texto.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Armazenagem
5
Armazenagem
Para garantir o nível Máximo de funcionalidade e fiabilidade das
bombas Turbomoleculares Agilent, devem ser observadas as
seguintes prescrições:
CUIDADO!
durante o transporte, o deslocamento e a armazenagem das
bombas as condições ambientais devem ser as seguintes:
temperatura: de –20 °C a 70 °C
umidade relativa: de 0 a 95 % (não condensante)
ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez, o
cliente deve ativá-las sempre em modalidade Soft-Start
o tempo máximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular
é de 10 meses a contar da data da expedição.
Se, por uma razão qualquer, o período de armazenagem for superior, será
necessário enviar outra vez a bomba para o fabricante. Para mais
informações, contatar o representante local da Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
75/292
5
Manual de Istruções
Preparação para a instalação
Preparação para a instalação
O TV 902 Navigator é fornecido numa embalagem protectora especial;
se esta apresentar sinais de danos, que poderiam ter ocorrido
durante o transporte, entrar em contacto com o escritório de vendas
local. Durante a remoção da embalagem, tomar muito cuidado para
não deixar cair o TV 902 Navigator e para não submetê-lo a choques
ou vibrações. Não depositar a embalagem no meio ambiente. O
material é completamente reciclável e em conformidade com a norma
CEE 85/399 para a protecção do meio ambiente.
CUIDADO!
NOTA
Para evitar problemas de perdas de gás, não tocar com as mãos os
componentes destinados à exposição do vácuo. Utilizar sempre luvas ou
outra protecção adequada.
O TV 902 Navigator não pode ser danificado permanecendo simplesmente
exposto à atmosfera. Aconselha-se, no entanto, manter a bomba fechada até o
momento da instalação no sistema para evitar eventuais acumulações de pó.
Figura 1
76/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Instalação
5
Instalação
CUIDADO!
Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecção somente no
momento de ligar a turbobomba ao sistema.
Instale este equipamento somente em locais fechados e, para todos os
efeitos, não utilize o equipamento em ambientes expostos aos efeitos
deletérios do tempo (chuva, gelo, neve), em ambientes sujeitos a pó,
gases agressivos, ambientes explosivos ou com alto risco de incêndio.
Durante o funcionamento é necessário que sejam respeitadas as
seguintes condições ambientais:
pressão máxima: 2 bar além da pressão atmosférica
temperatura: de + 10 °C a + 35 °C
humidade relativa: 0 – 90 % (não condensante).
Na presença de campos electromagnéticos, a bomba deve ser
protegida através de blindagens adequadas. Para ulteriores detalhes,
consultar o apêndice "Technical Information".
O TV 902 Navigator deve ser ligado a uma bomba primária (consultar
esquema em "Technical Information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
77/292
5
Manual de Istruções
Fixação da bomba
Fixação da bomba
ATENÇAO!
Em caso de dano no rotor, a ligação entre a bomba e o sistema corre o
risco de sofrer um torque muito grande. Se a ligação não resistir de
maneira suficiente ao referido torque, a bomba pode soltar-se do sistema
ou o motor pode soltar-se do invólucro da bomba. Nesse caso,
fragmentos de metal podem ser projectados da bomba ou do sistema, que
podem provocar lesões graves ou a morte e/ou danificar os
equipamentos adjacentes.
Colocar o TV 902 Navigator em posição estável, fixando a flange de
entrada da turbobomba à contra-flange do sistema, com uma ligação
que resista a um torque de 6800 Nm à volta do seu eixo.
Por exemplo, esta Bolted Flange pode ser fixada com parafusos M10
de aço de alta resistência (classe maior que 8.8).
A tabela seguinte descreve o número de parafusos necessários e o
torque de aperto com o qual apertá-los.
FLANGE
DN-160 Bolted
DIMENSÃO PARAFUSOS
M10
N
8
TORQUE DE APERTO
5 Nm
A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada à
câmara de vácuo através de pinos Agilent. Para ulteriores detalhes
ver o apêndice "Technical Information". O TV 902 Navigator pode ser
instalado em qualquer posição.
78/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Fixação da bomba
NOTA
CUIDADO!
5
O TV 902 Navigator não pode ser fixado através da sua base.
O TV 902 Navigator pertence à segunda categoria de instalação (ou
sobretensão) prevista pela norma NE 61010-1. Portanto, ligue o dispositivo a
uma linha de alimentação apropriada para esta categoria. O TV 902 Navigator
tem conectores para as entradas/saídas e para a comunicação de série que
devem ser ligados aos circuitos externos de modo a não permitir o acesso às
partes sob tensão. Assegure-se de que o isolamento do dispositivo ligado ao
TV 902 Navigator esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria,
conforme previsto pela norma NE 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
79/292
5
Manual de Istruções
Utilização
Utilização
Neste parágrafo são descritos os principais procedimentos
operacionais. Antes de usar o sistema, efectuar todas as ligações
eléctricas e pneumáticas. Durante o eventual aquecimento da câmara
a vácuo, a temperatura na flange de entrada não deve ser superior a
80 °C.
ATENÇAO!
Nunca activar a bomba se a flange de entrada não estiver ligado à
câmara de vácuo ou não estiver fechado com a flange de fecho. Não tocar
a turbobomba e os seus eventuais acessórios durante as operações de
aquecimento. A elevada temperatura pode causar lesões às pessoas.
CUIDADO!
Evitar colisões, oscilações ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando
está a funcionar. Os rolamentos poderiam sofrer danos. Para a saída de ar da
bomba utilizar ar ou gás inerte sem poeiras ou partículas. A pressão de
entrada através da porta específica deve ser inferior a 2 bar (acima da
pressão atmosférica). Para bombear gases agressivos, estas bombas estão
equipadas com uma porta específica através da qual é necessário fornecer à
bomba um fluxo de gás inerte (Azoto ou Argon) para proteger os rolamentos
(consultar o apêndice "Technical Information”).
ATENÇAO!
Quando a bomba é utilizada para bombear gases tóxicos, inflamáveis ou
radioactivos, seguir os procedimentos adequados típicos para cada gás.
Não usar a bomba na presença de gases explosivos.
80/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Utilização
5
Acendimento e Utilização do TV 902 Navigator
Para ligar o TV 902 Navigator é suficiente fornecer a tensão de
alimentação. O controller incorporado reconhece automaticamente
os sinais de interlock e de activação, e acciona a bomba.
O modo “Soft Star” é previsto para acender a bomba depois de um
prolongado período parado. Para poder arrancar a bomba em “Soft
Start”, será preciso reactivar o modo acima referido utilizando o
software (consultar o parágrafo “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION” no apêndice “Technical Information”).
O LED verde, posicionado no painel da base do TV 902 Navigator,
indica, através da frequência de intermitência, as condições
operacionais do sistema:
aceso fixo: a bomba funciona normalmente;
intermitência lenta (período de aprox. 400 ms): o sistema está em
estado de aceleração, ou de paragem, ou de Stop, ou de “waiting
for interlock”.
intermitência rápida (período de aprox. 200 ms): condição de
erro.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
81/292
5
Manual de Istruções
Utilização
Paragem do TV 902 Navigator
Para parar o TV 902 Navigator é suficiente desligar a tensão de
alimentação. O controller incorporado para imediatamente a bomba.
ATENÇAO!
Para a segurança do operador, o controller Turbo-V deve ser alimentado
com um cabo de alimentação com 3 fios (ver a tabela das partes que
podem ser encomendadas) equipado de uma tomada (aprovada a nível
internacional). Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada
adequadamente conectada a terra para evitar choques eléctricos e
satisfazer os requisitos das normas CE. As altas tensões que se
desenvolvem no controller podem provocar graves danos ou até morte.
Antes de realizar operações de manutenção no interno da unidade,
desligar o cabo de alimentação.
Paragem de Emergência
Para parar o TV 902 Navigator em condições de emer-gência é
necessário desligar, do controller, o cabo de alimentação.
82/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Manual de Istruções
Manutenção
5
Manutenção
O TV 902 Navigator não requer qualquer manutenção. Todas as
operações devem ser efectuadas por pessoal autorizado.
ATENÇAO!
Antes de executar qualquer operação no sistema, desligá-lo da
alimentação, introduzir ar na bomba abrindo a válvula específica,
aguardar até a completa paragem do rotor e até que a temperatura
superficial da bomba seja inferior a 50 ºC.
Em caso de defeito é possível usufruir do serviço de assistência
Agilent, que permite obter um sistema regenerado que substitua a
bomba com defeito.
NOTA
Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparações ou o “advanced
exchange service”, é indispensável preencher e enviar ao escritório de vendas
local a ficha "Segurança e Saúde" anexa ao presente manual de instruções. A
cópia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da
expedição.
Caso uma bomba deva ser destruída, proceder à sua eliminação
respeitando as normas nacionais específicas.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
83/292
5
Manual de Istruções
Eliminação
Eliminação
Significado do logótipo "WEEE" presente nos rótulos. O símbolo
abaixo indicado é aplicado de acordo com a directiva CE denominada
"WEEE". Este símbolo (válido apenas para os países da Comunidade
Europeia) indica que o produto no qual está aplicado NÃO deve ser
eliminado juntamente com os resíduos domésticos ou industriais
comuns, mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada.
Portanto, convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do
dispositivo, seja este o fabricante ou um revendedor, para
encaminhar o processo de recolha e eliminação, após a oportuna
verificação dos termos e condições do contrato de venda.
84/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 86
Algemene informatie 87
Opslag 89
Voorbereiding voor installatie 90
Installatie
91
Bevestiging van de pomp 92
Gebruik
94
Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator 95
Afzetten van de TV 902 Navigator
96
Noodstop
96
Onderhoud
97
Afvalverwerking 98
Vertaling van de originele instructies
85/292
6
Bedrijfshandleiding
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire
pompen
Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen
De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden
besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de
hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren.
In geval van een defect van het systeem, bijvoorbeeld door een
contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt, kan
de rotatie-energie vrijkomen.
WAARSCHUWING! Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen,
moeten de installatie-instructies in deze handleiding nauwgezet worden
opgevolgd!
86/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
6
Algemene informatie
Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik. De gebruiker
wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door
Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in
gebruik te nemen. Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de
gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de
aanwijzingen, onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid
personeel, reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of
gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving
De TV 902 Navigator is een geïntegreerd systeem dat uit een
turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacuümtoepassingen
plus bijbehorende controller bestaat. Het systeem is in staat om elk
type gas of gasverbinding te pompen, maar is niet geschikt voor het
pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes. Het pompeffect wordt
verkregen door een zeer snel draaiende turbine (max. 38.000
toeren/min.) die aangedreven wordt door een elektrische
draaistroommotor met hoog rendement. De TV 902 Navigator is
volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor
toepassingen die een "schoon" vacuüm verlangen. De TV 902
Navigator is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een
extra ventilator kan worden gevoed, de luchtuitlaatklep kan worden
aangestuurd, en waarmee het systeem d.m.v. een serieel aangesloten
host computer op afstand kan worden bediend (RS 232 of RS 485).
In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid
van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren.
Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage "Technical
information”.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
87/292
6
Bedrijfshandleiding
Algemene informatie
Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik:
VOORZICHTIG!
ADVARSEL!
OPMERKING
88/292
Bij dit symbool staat tekst bij procedures die, indien niet opgevolgd, schade
aan apparatuur kunnen veroorzaken.
Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een
speciale procedure of methode die, indien niet correct uitgevoerd, ernstig
lichamelijk letsel kan veroorzaken.
De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Opslag
6
Opslag
Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de
Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen, moeten de
volgende voorschriften in acht worden genomen:
VOORZICHTIG!
tijdens transport, verplaatsing en opslag van de pompen moet aan
de volgende omgevingscondities worden voldaan:
temperatuur: van –20 °C tot 70 °C
relatieve vochtigheid: van 0 tot 95 % (niet condenserend)
de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de SoftStart opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste
keer in werking worden gesteld
de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10
maanden vanaf de verzenddatum.
Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is, moet de pomp weer
naar de fabriek worden gestuurd. Voor meer informatie wordt verzocht
contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
89/292
6
Bedrijfshandleiding
Voorbereiding voor installatie
Voorbereiding voor installatie
De TV 902 Navigator wordt in een speciale beschermende verpakking
geleverd; als er schade wordt geconstateerd die tijdens het trans¬port
veroorzaakt zou kunnen zijn, meteen contact opnemen met het
plaatselijke verkoopkantoor. Zorg er bij het uitpakken voor dat de TV
902 Navigator niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren
krijgt. Laat de verpakking niet ergens buiten achter. Het
verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG
milieurichtlijn 85/399.
VOORZICHTIG!
Om ontgassingsproblemen te voorkomen, mogen de componenten die met
het vacuüm in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden.
Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming.
OPMERKING
De TV 902 Navigator kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de
atmosfeer blootgesteld te worden. Toch wordt aangeraden om de pomp
gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd, zodat
eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen.
Figuur 1
90/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Installatie
6
Installatie
VOORZICHTIG!
Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt
aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden.
Installeer dit apparaat uitsluitend in gesloten ruimten, en gebruik het
in elk geval niet in ruimten die aan de weersomstandigheden (regen,
vorst, sneeuw), stof of agressieve gassen zijn blootgesteld, of in
ruimten met explosiegevaar of groot risico op brand.
Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig
zijn
max. druk: 2 bar boven de atmosferische druk
temperatuur: van +10 °C tot +35 °C
relatieve vochtigheid: 0 – 90 % (niet condenserend).
In aanwezigheid van elektromagnetische velden moet de pomp op
passende wijze afgeschermd worden. Zie de bijlage “Technical
Information” voor meer informatie.
De TV 902 Navigator moet op een primaire pomp aangesloten zijn (zie
schema in "Technical information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
91/292
6
Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
Bevestiging van de pomp
WAARSCHUWING! Als schade aan de rotor optreedt, zou de verbinding tussen de pomp en
het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn. Als
de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan, zou de pomp
van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken. In dit
geval kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond
worden geschoten, welke ernstig letsel, de dood en/of schade aan
omliggende apparaten kunnen veroorzaken.
Bevestig de TV 902 Navigator in een stabiele positie door de
inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te
monteren, met een verbinding die in staat is om een koppel van 6800
Nm rondom de eigen as te weerstaan.
Deze flens "Bolted Flange" kan bijvoorbeeld worden vastgemaakt met
sterke stalen schroeven M10 (klasse hoger dan 8.8).
In de volgende tabel staat het benodigde aantal schroeven en het
bijbehorende aandraaimoment.
FLENS
AFMETINGEN SCHROEVEN
NR.
AANHAAL KOPPEL
DN-160 gebout
M10
8
5 Nm
De turbopomp met inlaatflens ConFlat moet aan de vacuümkamer
worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische
bevestigingselementen van Agilent. Zie voor meer informatie de
bijlage "Technical Information". De TV 902 Navigator kan in alle
standen worden geïnstalleerd.
92/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Bevestiging van de pomp
OPMERKING
6
De TV 902 Navigator kan niet met behulp van zijn eigen basis worden
bevestigd..
VOORZICHTIG! De TV 902 Navigator behoort tot de tweede installatiecategorie (of
overspanningscategorie) die door de norm EN 61010-1 is voorzien. Sluit deze
inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet. De TV
902 Navigator bezit connectoren voor de ingangen/uitgangen en voor de
seriële communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits,
zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is. Controleer of de
inrichting verbonden met de TV 902 Navigator goed geïsoleerd is, ook in
geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
93/292
6
Bedrijfshandleiding
Gebruik
Gebruik
In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures
vermeld. Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot
stand alvorens het systeem te gebruiken. Tijdens de eventuele
verwarming van de vacuümkamer mag de temperatuur op de
inlaatflens niet meer dan 80 °C bedragen.
WAARSCHUWING! Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacuümkamer is
aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is. Raak de turbopomp en
eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan. De hoge
temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken.
VOORZICHTIG! Vermijd schokken, trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp
wanneer deze in werking is. De lagers kunnen anders beschadigd raken.
Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of
vaste deeltjes. De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan
2 bar (boven de atmosferische druk) bedragen. Deze pompen zijn voor het
pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien, waardoor de
pomp een stroom inert gas (stikstof of argon) ter bescherming van de lagers
krijgt geleverd (zie bijlage “Technical Information”).
WAARSCHUWING! Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van giftige, brandbare
of radioactieve gassen, moeten de procedures worden gevolgd die
speciaal voor elk type gas zijn opgesteld. Gebruik de pomp niet in
aanwezigheid van explosieve gassen.
94/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Gebruik
6
Inschakeling en gebruik van de TV 902 Navigator
Om de TV 902 Navigator in te schakelen is het voldoende om deze van
stroom te voorzien. De ingebouwde controller herkent automatisch
de aanwezigheid van interlock- en startsignalen en start de pomp.
De wijze “Soft Start” is voorzien om de pomp te starten na een lange
periode van stilstand. Om met “Soft Start” te starten moet de
vermelde wijze met behulp van de software gemachtigd worden (zie
paragraaf “RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” in de
bijlage “Technical Information”).
De groene LED op het paneel van de basis van de TV 902 Navigator
geeft door de frequentie van zijn knipperen de werkcondities van het
systeem aan:
brandt onafgebroken: de pomp draait normaal;
knippert langzaam (periode van circa 400 ms): het systeem is in
de status “oploop” of “remmen” of “stop” of “waiting for
interlock”;
knippert snel (periode van circa 200 ms): fouttoestand.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
95/292
6
Bedrijfshandleiding
Gebruik
Afzetten van de TV 902 Navigator
Om de TV 902 Navigator af te zetten behoeft slechts de
stroomvoorziening te worden onderbroken. De ingebouwde
controller stopt onmiddellijk de pomp.
WAARSCHUWING! Voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo-V gevoed te
worden met een driedradige voedingskabel (zie de tabel met de
bestanddelen die u kunt bestellen) voorzien van een stekker (met
internationale goedkeuring). Gebruik de kabel en de stekker samen met
een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en
om te voldoen aan de vereisten van de EG-normen. De in de controller
ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken.
Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden in het
systeem uit te voeren.
Noodstop
Om de TV 902 Navigator in noodomstandigheden te stoppen, moet de
stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden.
96/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bedrijfshandleiding
Onderhoud
6
Onderhoud
De TV 902 Navigator is onderhoudsvrij. Eventuele werkzaamheden
moeten door bevoegd perso¬neel worden uitgevoerd.
WAARSCHUWING! Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren, de voeding
loskoppelen, de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep
ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de
oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 °C is
gezakt.
In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent
in te schakelen: zo krijgt men een geregenereerde pomp ter
vervanging van de defecte pomp.
OPMERKING
Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen, moet de bij
deze handleiding gevoegde kaart "Veiligheid en Gezondheid" volledig ingevuld
naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd. Een kopie van deze kaart
moet vóór versturing bij het systeem in de verpakking worden gevoegd.
Mocht de pomp gesloopt worden, ga dan overeenkomstig de
specifieke nationale wetgeving te werk.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
97/292
6
Bedrijfshandleiding
Afvalverwerking
Afvalverwerking
Betekenis van het logo "WEEE" op de etiketten. Het onderstaande
symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG-richtlijn
"WEEE". Dit symbool (alleen geldig voor de landen van de Europese
Gemeenschap) geeft aan dat het product waarop het is aangebracht,
NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of
industrieel afval, maar gescheiden moet worden ingezameld. De
eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de
leverancier van het apparaat, zij het de fabrikant of een
wederverkoper, om het proces van gescheiden inzameling en
verwerking in gang te zetten, na de van toepassing zijnde termen en
voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd.
98/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
7
Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
Generel information 101
Opbevaring
103
Forberedelse før installation104
Installation
105
Fastgørelse af pumpe 106
Anvendelse
108
Start og anvendelse af TV 902 Navigator 109
Stop af TV 902 Navigator
110
Nødstop
110
Vedligeholdelse 111
Bortskaffelse
112
100
Oversættelse af originalinstruktionerne
99/292
7
Istruktionsbog
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære
turbopumper
Sikkerhedsanvisninger for Molekylære turbopumper
De molekylære turbopumper, der er beskrevet i nærværende
brugsanvisning, har en stor kinetisk energi, der skyldes den høje
omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke
vægt.
Hvis der er en fejl i systemet, for eksempel på grund af en kontakt
mellem rotor og stator, eller fordi rotoren går i stykker, kan
omdrejningsenergien spredes.
ADVARSEL!
100/292
For at undgå materielle skader samt at operatørerne kommer til skade, er
det strengt nødvendigt nøje at overholde installeringsvejledningen i denne
brugsanvisning!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Generel information
7
Generel information
Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse. Brugeren bør
læse denne brugsanvisning og anden yderligere information fra
Agilent, før udstyret anvendes. Agilent tager ikke ansvar for skader
helt eller delvis som følge af tilsidesættelse af disse instruktioner,
fejlagtig brug af personer uden tilstrækkeligt kendskab, ikke
autoriserede indgreb på udstyret eller håndtering, der strider imod
gældende lokale regler.
TV 902 Navigator er et integreret system, som omfatter en
turbomolekylær pumpe til høje eller meget høje vakuumtilpasninger
og den respektive controller. Systemet er i stand til at pumpe en
hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter, men
systemet kan ikke anvendes til pumpning af væske eller af faste
partikler.
Pumpningen sker ved hjælp af en hurtigroterende turbine (38000
omdr./min. max.). Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med
høj effekt. TV 902 Navigator er ikke fremstillet af skadelige stoffer og
er derfor egnet til anvendelse, der kræver “rent” vakuum.
TV 902 Navigator har endvidere hjælpestik, der gør det muligt at
forsyne ventilator, styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved
hjælp af en værtscomputer gennem seriel forbindelse (RS 232 eller
RS 485).
De følgende afsnit indeholder oplysningerne, der er nødvendige for at
garantere sikkerhed for operatøren i forbindelse med anvendelse af
udstyret. Bilaget “Teknisk Information” indeholder detaljerede
oplysninger.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
101/292
7
Istruktionsbog
Generel information
I brugsanvisningen anvendes følgende standardrubrikker:
FORSIGTIG!
Denne advarselsmeddelelse vises før procedurer, der skal følges nøje for ikke at
risikere maskinskader.
ADVARSEL!
Advarselsmeddelelserne informerer operatøren om, at en speciel procedure
eller en vis type arbejde skal udføres præcist efter anvisningerne. I modsat
fald er der risiko for svære personskader.
BEMÆRK
102/292
Dette gør opmærksom på vigtig information i teksten.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Opbevaring
7
Opbevaring
Det er nødvendigt at overholde følgende forskrifter for at sikre
optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekylære pumper fra
Agilent:
FORSIGTIG!
Sørg for, at omgivelserne opfylder følgende betingelser i
forbindelse med transport, flytning og opbevaring af pumperne:
temperatur: fra –20 °C til +70 °C
relativ fugtighed: fra 0 til 95 % (ikke kondenserende).
Kunden skal altid starte de turbomolekylære pumper ved hjælp af
Soft-Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for
første gang.
De turbomolekylære pumper må opbevares i 10 måneder fra
forsendelsesdatoen.
Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er længere, er det nødvendigt
at sende pumpen tilbage til fabrikken. Yderligere oplysninger fås ved
henvendelse til den lokale Agilent repræsentant.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
103/292
7
Istruktionsbog
Forberedelse før installation
Forberedelse før installation
TV 902 Navigator leveres i en speciel beskyttende emballage. Kontakt
den lokale forhandler, hvis emballagen viser tegn på skader, der kan
være opstået under transporten. Sørg for, at TV 902 Navigator ikke
tabes eller udsættes for stød eller vibrationer ved udpakningen. Smid
ikke emballagen ud. Materialet kan genbruges 100% og opfylder EUdirektiv 85/399 om miljøbeskyttelse.
FORSIGTIG!
Komponenter, der skal udsættes for vakuum, må ikke berøres med bare hænder,
idet der er risiko for afgasning. Anvend altid handsker eller anden lignende
beskyttelse.
BEMÆRK
Normal atmosfærisk påvirkning kan ikke skade TV 902 Navigator. Det anbefales
dog, at opbevare pumpen i en lukket kasse, indtil den skal installeres på
systemet. Herved forhindres, at der kommer støv i pumpen.
Figur 1
104/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Installation
7
Installation
FORSIGTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen fjernes først, når turbopumpen tilsluttes
systemet.
Dette apparat må kun installeres i lukkede omgivelser og må under
ingen omstændigheder benyttes på steder med skiftende vejrforhold
(regn, is, sne), støv, aggressive luftarter eller i omgivelser med
eksplosionsfare eller øget risiko for brand.
Følgende krav til omgivelsesforholdene gælder ved drift:
max. tryk: 2 bar over det atmosfæriske tryk
temperatur: fra +10 °C til + 35 °C
relativ luftfugtighed: 0 – 90 % (ikke kondenserende).
Hvis pumpen er anbragt i nærheden af elektromagnetiske felter, skal
den afskærmes. Se bilaget “Teknisk Information” for yderligere
oplysninger.
TV 902 Navigator skal tilsluttes en hovedpumpe (se skemaet “Teknisk
Information”).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
105/292
7
Istruktionsbog
Fastgørelse af pumpe
Fastgørelse af pumpe
ADVARSEL!
Hvis rotoren beskadiges, kan forbindelsen mellem pumpen og systemet
blive udsat for et kraftigt drejemoment. Hvis forbindelsen ikke er
tilstrækkelig til at modstå dette drejemoment, kan pumpen rive sig løs fra
systemet eller motoren kan rive sig løs fra pumpens beklædning. I dette
tilfælde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet,
hvilket kan medføre alvorlige kvæstelser eller dødsfald og/eller materiel
beskadigelse af apparaterne i nærheden.
Montér TV 902 Navigator i en stabil position ved at montere
turbopumpens indgangsflange på systemets kontraflange.
Forbindelsen skal kunne tåle et drejemoment på 6800 Nm omkring
dens egen akse.
Denne Bolted Flange kan for eksempel fastgøres med skruer M10 af
højstyrkestål (klasse højere end 8.8).
På nedenstående oversigt vises, hvor mange skruer der kræves samt
hvilket spændingssmoment, de skal strammes ved.
FLANGE
DIMENSION SKRUER
ANT.
DREJNINGS-MOMENT
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbopumpen med indgangsflange ConFlat skal fastgøres till
vakuumkammeret ved hjælp af Agilent's mekaniske smådele. Se
bilaget "Teknisk Information" for yderligere detaljer. TV 902
Navigator kan installeres i en hvilken som helst position.
106/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Fastgørelse af pumpe
BEMÆRK
FORSIGTIG!
7
TV 902 Navigator kan ikke fastgøres i fundamentet.
TV 902 Navigator hører til den anden installationsklasse (eller
overspændingsklasse) jf. normen EN 61010-1. Slut derfor anordningen til en
forsyningslinie, som opfylder kravene i denne klasse. TV 902 Navigator er
forsynet med konnektorer til ind-/udgange og til seriel kommunikation.
Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredsløb, således at det ikke er muligt
at opnå adgang til de spændingsførende dele. Kontrollér, at anordningen, der er
tilsluttet TV 902 Navigator, har en passende isolering. Dette gælder også i
tilfælde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
107/292
7
Istruktionsbog
Anvendelse
Anvendelse
Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer. Inden anvendelse
af systemet, bør samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger
udføres. I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret må
indløbsflangens temperatur ikke overstige 80 °C.
ADVARSEL!
Pumpen må aldrig aktiveres, hvis indløbsflangen ikke er tilsluttet
vakuumkammeret, eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjælp af
lukkeflangen. Rør aldrig turbopumpen eller dens tilbehør i forbindelse med
opvarmningsprocedurerne. Den høje temperatur kan resultere i skade på
personer.
FORSIGTIG!
Undgå sammenstød, vibrationer eller bratte bevægelser i forbindelse med brug
af turbopumpen. Der er risiko for beskadigelse af lejerne. Pumpen skal forsynes
med luft eller ædelgasser, der ikke indeholder støv eller faste partikler.
Indgangstrykket ved den specielle dør skal være mindre end 2 bar (over
atmosfærisk tryk). I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse
pumper udstyret med en speciel dør, igennem hvilken det er nødvendigt at
forsyne pumpen med ædelgasser (Kvælstof eller Argon) for at beskytte lejerne
(se bilaget “Teknisk Information”)
ADVARSEL!
Når pumpen anvendes til toksiske, brandfarlige eller radioaktive gasser,
følges fremgangsmåden for den enkelte gastype. Anvend ikke pumpen til
eksplosive gasser.
108/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Anvendelse
7
Start og anvendelse af TV 902 Navigator
For at starte TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at tilslutte et
forsyningsstik. Den indbyggede controller genkender blokerings- og
startsignaler automatisk, og starter pumpen.
"Soft Start" metoden bruges, når man starter pumpen, efter at den
har stået stille over en længere periode. For at aktivere "Soft Start"
metoden på ny skal ovennævnte måde programmeres ved hjælp af
software (se afsnit "RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION" i
bilaget "Teknisk Information").
Den grønne LED, der er anbragt på panelet på TV 902 Navigator’s
fundament, angiver systemets funktion ved blink:
konstant tændt: pumpen er i normal rotation;
langsomme blink: (periode på ca. 400 ms); systemet er i stilling
for acceleration, bremsning, stop eller “Waiting for interlock”;
hurtige blink: (periode på ca. 200 ms); fejl.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
109/292
7
Istruktionsbog
Anvendelse
Stop af TV 902 Navigator
For at afbryde TV 902 Navigator er det tilstrækkeligt at afbryde
strømtilførselen. Den indbyggede controller afbryder straks pumpen.
ADVARSEL!
For operatørens sikkerhed skal Turbo - V controller'en strømforsynes med
et 3-trådet-fødekabel (se tabellen over de bestilbare stykker) fødekablet
skal være udstyret med et stik (som skal være godkendt på international
plan). Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt, som på
passende måde er forbundet til jorden for at undgå elektriske stød og
opfylde kravene ifølge CE(EF) normerne. De høje spændinger, som udvikles
i controller'en, kan forårsage alvorlige skader eller døden. Før der foretages
vedligeholdelses-operationer inde i enheden, skal man koble fødekablet fra.
Nødstop
Afbrydelse af TV 902 Navigator i nødsituationer sker ved at koble
ledningen fra styreenheden.
110/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Istruktionsbog
Vedligeholdelse
7
Vedligeholdelse
TV 902 Navigator behøver ikke nogen vedligeholdelse. Ethvert
indgreb skal foretages af autoriseret personale.
ADVARSEL!
Inden der foretages noget som helst indgreb på systemet, skal strømmen
først afbrydes, og luften i pumpen skal fjernes ved at åbne ventilen. Vent
med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset, og til temperaturen på
pumpens overflade er under 50 °C.
I tilfælde af skader på systemet kontaktes et Agilent
reparationsværksted, der udskifter pumpen med en repareret pumpe.
BEMÆRK
Inden pumpen sendes til konstruktørens reparationsværksted eller advanced
exchange service skal “Sikkerheds- og tilstandsdokumentet”, der er vedlagt
denne instruktionsmanual, udfyldes og sendes til den lokale forhandler. En kopi
af dette dokument skal indsættes i systemets emballage inden afsendelse.
Skrotning af systemet skal foregå i overensstemmelse med det
pågældende lands særlige love.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
111/292
7
Istruktionsbog
Bortskaffelse
Bortskaffelse
Betydningen af "WEEE" logoet på mærkaterne. Nedenstående
symbol anvendes i overensstemmelse med det såkaldte EU-direktiv
"WEEE". Symbolet (kun gældende for EU-landene) viser, at
produktet, som det sidder på IKKE må bortskaffes sammen med
affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal
indleveres på en godkendt affaldsstation. Vi opfordrer derfor
slutbrugeren til at kontakte leverandøren af anordningen, enten
fabrikken eller en forhandler, for igangsættelse af afhentnings- og
bortskaffelsesprocessen efter nøje at have kontrolleret betingelserne i
salgskontrakten.
112/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
8
Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar 114
Allmän information
115
Förvaring
117
Förberedelser för installationen 118
Installation
119
Fastsättning av pump 120
Användning
122
Start och användning av TV 902 Navigator
123
Avstängning av TV 902 Navigator 124
Nödstopp
124
Underhåll
125
Bortskaffning
126
Översättning av originalinstruktionerna
113/292
8
Bruksanvisning
Säkerhetsanvisningar för Molekylära
turbopumpar
Säkerhetsanvisningar för Molekylära turbopumpar
De molekylära turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har
en hög kinetisk energi beroende på den höga rotationshastigheten
och rotorernas specifika massa.
I det fall fel skulle uppstå i systemet, t ex på grund av kontakt mellan
rotor och stator eller om rotorn skulle skadas, kan det hända att
rotationsenergin frigörs.
VARNING!
114/292
För att undvika skador på utrustningen och förhindra att skador orsakas på
operatörer, måste installationsinstruktionerna som beskrivs i den här
bruksanvisningen följas noga.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Allmän information
8
Allmän information
Utrustningen är avsedd för yrkesmässig användning. Användaren bör
läsa denna bruksanvisning, samt övrig dokumentation från Agilent
före användning av utrustningen. Agilent tar inget ansvar för skador
helt eller delvis till följd av åsidosättande av instruktionerna,
olämplig användning av person utan tillräcklig kunskap, obehörigt
bruk av utrustningen eller hantering som strider mot gällande lokala
föreskrifter.
Systemet TV 902 Navigator består av en turbomolekylär pump för
höga och mycket höga vakuumtillämpningar och en styrenhet.
Systemet kan användas för pumpning av alla typer av gas eller
gasföreningar. Dock lämpar sig inte systemet för pumpning av
vätskor eller fasta partiklar.
Pumpningen åstadkoms med hjälp av en högvarvig turbin (max 38000
varv/minut) som drivs av en trefas högeffektsmotor. Inga
tillsatsämnen används i TV 902 Navigator, som därför passar för
tillämpningar som kräver ett "rent" vakuum.
TV 902 Navigator har dessutom hjälpkontakter som gör det möjlig att
förse ström till en extra ventilator, att kontrollera
avluftningsventilen, och att fjärrstyra den med hjälp av en host-dator
som är ansluten genom seriell förbindelse (RS 232/RS 485).
De följande avsnitten innehåller all information som behövs för att
garantera operatörens säkerhet under användningen. Detaljerade
uppgifter finns i bilagan "Technical information".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
115/292
8
Bruksanvisning
Allmän information
I bruksanvisningen används följande standardrubriker:
OBSERVER!
Detta varningsmeddelande visas framför procedurer som måste följas exakt för
att undvika skador på maskinen.
VARNING!
Varningsmeddelandena informerar operatören om att en speciell procedur
eller en viss typ av arbete måste utföras exakt enligt anvisningarna. I annat
fall finns risk för svåra personskador.
OBSERVERA
Detta visar på viktig information i texten.
116/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Förvaring
8
Förvaring
Respektera följande anvisningar för att garantera optimal prestanda
och driftsäkerhet för Agilent turbomolekylära pumpar:
OBSERVER!
Vid transport, flytt och lagring av pumparna ska följande
omgivningsförhållanden respekteras:
Temperaturområde: -20 °C till +70 °C.
Relativ fuktighet: 0 till 95 % (utan kondens).
Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylära pumparna när
de mottas och sätts i drift för första gången.
De turbomolekylära pumparna kan lagras i 10 månader från
leveransdatumet.
Om lagringstiden av någon anledning är längre måste pumpen skickas tillbaka
till fabriken. Var god och kontakta den lokala Agilent-återförsäljaren för
ytterligare information.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
117/292
8
Bruksanvisning
Förberedelser för installationen
Förberedelser för installationen
TV 902 Navigator levereras i ett särskilt skyddande emballage.
Kontakta det lokala försäljningskontoret om emballaget visar tecken
på skador som kan ha uppstått under transporten. Se till att TV 902
Navigator inte tappas eller utsätts för stötar vid uppackningen.
Kasta inte packmaterialet i soporna. Materialet är återvinningsbart
till 100% och uppfyller EU-direktiv 85/399 om miljöskydd.
OBSERVER!
Komponenter som skall utsättas för vakuum får inte hanteras med bara händer
pga. kontamineringsrisken. Använd alltid handskar eller liknande skydd.
OBSERVERA
Normal påverkan från omgivningen kan inte skada TV 902 Navigator. Trots det
är det säkrast att hålla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet,
för att förhindra att det kommer in damm eller annat i den.
Figur 1
118/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Installation
8
Installation
OBSERVER!
Ta bort tejpen och skyddsproppen först när turbopumpen ska anslutas till
systemet.
Denna apparat får endast installeras inomhus. Den får inte användas
i miljöer som utsätts för atmosfärförändringar (regn, is, snö), damm,
frätande gaser eller i områden med hög explosions- eller brandrisk.
Följande krav på omgivningsförhållanden gäller vid drift:
maximitryck: 2 bar (över atmosfäriskt tryck)
temperatur: från +10 °C till +35 °C
relativ luftfuktighet: 0 – 90 % (utan kondens).
I närvaro av magnetfält ska pumpen skyddas med särskilda skärmar.
Se bilagan “Technical information“ för ytterligare upplysningar. TV
902 Navigator måste anslutas till en huvudpump (se schemat i
"Technical information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
119/292
8
Bruksanvisning
Fastsättning av pump
Fastsättning av pump
VARNING!
I händelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet
utsättas för ett högt vridmoment. Om anslutningen inte tål ovannämnda
vridmoment kan pumpen lossna från systemet eller motorn kan lossna från
pumpens hölje. I detta fall kan metallföremål slungas iväg från pumpen
eller systemet och förorsaka allvarliga skador eller dödsfall och/eller
skador på apparater i närheten.
Fäst TV 902 Navigator i ett stabilt läge genom att ansluta
turbopumpens intagsfläns till systemets fläns som måste tåla ett
vridmoment på 6800 Nm kring sin axel.
Den här “Bolted Flange” till exempel kan fixeras med höghållfasta
stålskruvar M10 (klass högre än 8.8).
I tabellen nedan anges hur många skruvar som behövs och med vilket
moment de ska dras åt.
FLÄNS
DIMENSION SKRUVAR
ANT.
ÅTDRAGNINGSMOMENT
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbopumpen med intagsfläns ConFlat ska fästas till
vakuumkammaren med hjälp av Agilent fästdelar. För detaljer
hänvisas till bilaga ”Technical Information”.
TV 902 Navigator kan installeras i valfri position.
120/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Fastsättning av pump
8
OBSERVERA
TV 902 Navigator-systemet kan inte fastspännas med sin egen bas.
OBSERVER!
TV 902 Navigator tillhör den andra installationsklassen (eller
överspänningsklassen) enligt standard EN 61010-1. Anslut därför anordningen
till en elledning som uppfyller kraven för denna klass. TV 902 Navigator är
utrustad med kontaktdon för ingångarna/utgångarna och för den seriella
kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna så att det inte går
att komma åt någon spänningsförande del. Kontrollera att anordningen som är
ansluten till TV 902 Navigator har en lämplig isolering även vid ett enskilt fel
enligt standard EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
121/292
8
Bruksanvisning
Användning
Användning
I denna paragraf beskrivs de huvudsakliga driftsförloppen. Innan du
använder systemet ska du utföra alla elektriska och pneumatiska
anslutningar. Om vakuumkammaren uppvärms får temperaturen vid
inloppet aldrig överstiga 80 °C.
VARNING!
Sätt aldrig igång pumpen om intagsflänsen varken är kopplad till
vakuumkammaren eller är blockerad på plats med låsflänsen. Vidrör inte
turbopumpen eller några tillbehör under uppvärmningen för att undvika
brännskador.
OBSERVER!
Undvik sammanstötningar, svängningar eller plötsliga förflyttningar av
turbopumpen när den är igång. Lagren kan bli skadade. Pumpen ska förses med
luft eller med ädelgaser, fria från damm eller andra partiklar. Ingångstrycket mot
rätt port måste understiga 2 bar (utöver det atmosfäriska trycket). För pumpning
av frätande gaser är dessa pumpar försedda med en speciell öppning igenom
vilken man ska leda en ström av ädelgas (kväve eller argon) för att skydda
lagren (se bilagan “Technical information”).
VARNING!
Då pumpen används för pumpning av giftiga, lättantändliga eller
radioaktiva gaser, bör man följa de särskilda anvisningarna för varje
enskild gas. Använd ej pumpen i närheten av explosiva gaser.
122/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Användning
8
Start och användning av TV 902 Navigator
För att starta TV 902 Navigator behöver du bara ansluta till ett
eluttag. Den inbyggda styrenheten känner automatiskt igen
förreglings- och startsignaler, och startar pumpen.
“Soft Start” är till för att starta pumpen efter att den har stått stilla
en längre tid. För att kunna starta med funktionen “Soft Start” aktiv
måste man återställa ovannämnda läge genom mjukvaran (se stycket
“RS 232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” i bilagan “Technical
Information”).
Den gröna lysdioden på underdelen av TV 902 Navigator anger,
genom frekvensen av dess blinkningar, hur systemet fungerar:
fast sken: pumpen roterar normalt;
långsamt blinkande (ungefär var 400 ms): systemet är i läge för
acceleration, bromsning, Stop eller "Waiting for interlock";
hastigt blinkande (ungefär 200 ms): feltillstånd.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
123/292
8
Bruksanvisning
Användning
Avstängning av TV 902 Navigator
Om du vill stänga av TV 902 Navigator behöver du bara dra ut
elkabeln ur vägguttaget. Den inbyggda styrenheten avbryter
omedelbart pumpens funktion.
VARNING!
För operatörens säkerhet bör Turbo-V systemet vara anslutet med en
strömkabel med 3 stycken ledare (se tabellen över ordinerbara delar)
tillsammans med kontakt (godkänd på internationell nivå). Använd sladden
och kontakten tillsammans med en jordad anslutning för att undvika stötar
och enligt krävande EU normer. Den höga spänningen som framkallas av
styrenheten kan orsaka personskador eller till och med döda. Dra därför
alltid ur strömkabeln innan eventuella underhållsarbeten utförs inuti
enheten.
Nödstopp
Dra ut elsladden från styrenheten för att utföra ett nödstopp av TV
902 Navigator.
124/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Bruksanvisning
Underhåll
8
Underhåll
TV 902 Navigator är underhållsfritt. Allt servicearbete måste utföras
av auktoriserad personal.
VARNING!
Innan något arbete utförs på systemet måste pumpens strömförsörjning
avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen öppnas. Vänta
sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur är lägre än
50 ºC.
Om pumpen havererar, kontakta Agilent reparationsverkstad eller
Agilent utbytesservice, som kan ersätta systemet med ett renoverat
system.
OBSERVERA
Innan systemet lämnas in till tillverkaren för reparation eller advanced exchange
service, måste "hälso- och säkerhetsbladet" som medföljer bruksanvisningen
fyllas i och skickas in till den lokala återförsäljaren. Bifoga dessutom en kopia av
bladet med pumpen.
Skrotning av pumpen skall ske enligt gällande lagstiftning.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
125/292
8
Bruksanvisning
Bortskaffning
Bortskaffning
Betydelse av logotypen "WEEE" på etiketterna. Symbolen som visas
nedan har tillämpats i enlighet med CD-direktivet som har betecknats
som "WEEE". Den här symbolen (gäller endast i de länder som
tillhör den Europeiska Unionen) indikerar att produkten på vilken
symbolen har applicerats INTE får skaffas bort tillsammans med
vanliga hushålls- eller industriavfall, men att däremot ett
differentierat uppsamlingssystem måste upprättas. Vi
rekommenderar därför att slutanvändaren tar kontakt med
leverantören av anordningen, oberoende om det handlar om
moderföretaget eller återförsäljaren, för att kunna starta
uppsamlings- och bortskaffningsprocessen, detta efter lämplig
kontroll av kontraktsenliga tidsgränser och försäljningsvillkor.
126/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
9
Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper128
Generell informasjon 129
Lagring
131
Klargjøre til installasjon
132
Installasjon
133
Festing av pumpen
134
Bruk 136
Starte og bruke TV 902 Navigator 137
Stoppe TV 902 Navigator 138
Nødstopp
138
Vedlikehold
139
Eliminering
140
Oversetting av den opprinnelige samsvarserklæringen
127/292
9
Instruksjon Manual
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær
Pumper
Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekylær Pumper
De turbomolekylære pumpene som er beskrevet i den følgende
Bruksanvisningen har et høyt kinetisk energinivå som skyldes den
høye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til
pumpenes rotor.
I tilfelle feil ved systemet, for eksempel på grunn av en kontakt
mellom rotor og stator eller brudd på rotoren, kan roteringsenergien
bli frigitt.
ADVARSEL!
128/292
For å unngå skader på utstyret og forebygge operatørskader må
installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen følges nøye!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Generell informasjon
9
Generell informasjon
Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere. Brukeren
bør lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra
Agilent før utstyret tas i bruk. Agilent kan ikke holdes ansvarlig for
hendelser som skjer på grunn av manglende oppfølging av disse
instruksjonene, selv delvis, feilaktig bruk av utrent personell, ikke
autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som på noen måte
er i strid med nasjonale bestemmelser.
TV 902 Navigator systemet består av en turbo-molekulær pumpe for
bruk i høy- eller ultrahøye vakuumanlegg og en styreenhet. Systemet
kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening. Det er ikke
beregnet for å pumpe væsker eller faste partikler.
Pumpingen oppnås med en høyhastighetsturbin (maks. 38000 opm)
koplet til en svært effektiv trefase elektrisk motor. TV 902 Navigator
har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med
behov for "rene" vakuum.
Den har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for forsyning av
en ekstra vifte, styring av utluftingsventilen, og fjernstyring av
systemet med en serietilkoplet (RS232 eller RS485) vertsmaskin.
De følgende avsnitt inneholder all informasjon som er nødvendig for
å sikre brukeren når utstyret er i bruk. For mer detaljert bruk vises
det til tillegget "Teknisk informasjon".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
129/292
9
Instruksjon Manual
Generell informasjon
Denne manualen bruker følgende standardprotokoll:
FORSIKTIG!
Denne advarselen vises foran fremgangsmåter som, dersom de ikke følges,
kan føre til at utstyret skades.
ADVARSEL!
Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en
spesiell fremgangsmåte eller praksis som, hvis den ikke følges, kan
medføre alvorlige skader.
MERK
Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten.
130/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Lagring
9
Lagring
For å garantere optimal drift og pålitelighet for Agilent
turbomolekylære pumper må følgende anvisninger følges:
FORSIKTIG!
Under transport, flytting og lagring av pumpene må ikke følgende
miljøforhold overstiges:
Temperatur: fra –20 °C til 70 °C.
Relativ fuktighet: fra 0 til 95 % (uten kondensering).
Kunden må alltid soft-starte de turbomolekylære pumpene når de
mottas og startes opp første gang.
Lagringstiden for en turbomolekylær pumpe er 10 måneder fra
sendedato.
Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger, må pumpen
returneres til fabrikken. Vennligst kontakt den lokale Agilent-forhandleren for
informasjon.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
131/292
9
Instruksjon Manual
Klargjøre til installasjon
Klargjøre til installasjon
TV 902 Navigator leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje. Viser
denne tegn på skader som kan ha oppstått under transporten, må du
ta kontakt med det lokale salgskontoret. Når TV 902 Navigator pakkes
ut, må du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for
støt. Emballasjen må ikke kastes på en ulovlig måte. Alle materialer
er 100% resirkulerbare og er i samsvar med EU-direktiv 85/399 om
miljøbeskyttelse.
FORSIKTIG!
MERK
For å unngå avgassingsproblemer, må ingen del som skal utsettes for vakuum
håndteres med bare hendene. Bruk alltid hansker eller andre og passende
verneutstyr.
Normale miljømessige belastninger kan ikke ødelegge TV 902 Navigator.
Likevel anbefaler vi å holde pumpen lukket til den er montert i systemet, slik
at den ikke forurenses eller utsettes for nedstøving.
Figur 1
132/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Installasjon
9
Installasjon
FORSIKTIG!
Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes først når turbopumpen koples til
systemet.
Dette apparatet må bare installeres i lukkede lokaler. Det må iallfall
ikke installeres i lokaler som er utsatt for vær og vind (regn, frost,
snø), støv, aggressive gasser, i eksplosive eller brannfarlige miljøer.
Under bruk må følgende forhold respekteres:
maksimalt trykk: 2 bar (over atmosfærisk trykk)
temperatur: fra +10 °C til +35 °C
relativ fuktighet: 0 – 90 % (uten kondens)
Ved magnetfelt må pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer. Se
“Teknisk informasjon” for detaljer.
TV 902 Navigator må koples til en hovedpumpe (se skjema i "Teknisk
informasjon").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
133/292
9
Instruksjon Manual
Festing av pumpen
Festing av pumpen
ADVARSEL!
Dersom rotoren ødelegges, kan tilkoplingen mellom pumpen og
systemet utsettes for et betydelig dreiemoment. Dersom tilkoplingen
ikke er sterk nok til å tåle dette dreiemomentet, kan pumpen løsne fra
systemet eller motoren kan løsne fra pumpens hylster. I dette tilfellet
kan metallsplinter kastes ut fra pumpen eller fra systemet. Dette kan
føre til alvorlige skader eller død og/eller skader på annet utstyr i
nærheten.
Fest TV 902 Navigator i en stabil posisjon, monter turbopumpens
innløpsflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand
til å tåle et dreiemoment på 6800 Nm rundt sin egen akse.
For eksempel, denne Bolted Flange kan festes med ekstra resistente
stålskruer M10 (klasse over 8.8).
Følgende tabell viser det nødvendige antall skruer og de
korresponderende torque fester.
FLENS
SKRUENES STØRRELSE
ANT.
STRAMME-MOMENT
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbopumpen med innløpsflens ConFlat må festes til
vakuumskammeret ved hjelp av den dertil egnede lille mekaniske
innretningen Agilent. For detaljer henvises det til avsnittet for
”Teknisk informasjon”. TV 902 Navigator kan monteres i en valgfri
stilling.
134/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Festing av pumpen
MERK
FORSIKTIG!
9
TV 902 Navigator må ikke festes gjennom fundamentet.
TV 902 Navigator hører til installasjonsklasse (eller overspenningsklasse)
nummer 2 i følge EN 61010-1 standarden. Kople derfor anordningen til en
ledning for strømtilførsel som tilfredsstiller kravene for denne klassen. TV
902 Navigator er utstyrt med koplingsstykker for inn-/utgangene og
seriekommunikasjonen som må koples til de ytre strømkretsene slik at ingen
deler under spenning er tilgjengelige. Forsikre deg om at isoleringen av
anordningen koplet til TV 902 Navigator har en egnet isolering, også under
forhold med en enkel feil i følge EN 61010-1 standarden.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
135/292
9
Instruksjon Manual
Bruk
Bruk
De viktigsteinstruksjonene for korrekt bruk finnes i dette avsnittet.
Før systemet tas i bruk må en utføre alle elektriske og pneumatiske
koblinger. Ved en eventuell oppvarmingen av vakuumkammeret, må
temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 °C.
ADVARSEL!
Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til
vakuumkammeret, eller ikke er lukket med lukkeflensen. Ikke berør
turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen. De
høye temperaturene kan føre til brannskader.
FORSIKTIG!
Unngå støt, svingninger eller plutselige bevegelser av turbopumpen når den er
i funksjon. Lagrene kan skades. Bruk støv- og partikkelfri luft eller inaktiv gass
ved forsyning av pumpen. Trykket ved inngangen, gjennom den dertil egnede
åpning, må ikke være mindre enn 2 bar (over atmosfærisk trykk). Ved pumping
av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell åpning. Gjennom
denne åpningen er det nødvendig å tilføre en flyt av inaktive gasser (argon
eller kvelstoff) for å beskytte lagrene (se “Teknisk informasjon").
MERK
136/292
Når pumpen brukes for å pumpe giftige, brannfarlige eller radioaktive gasser
skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene følges. Pumpen skal
ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljøer.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Bruk
9
Starte og bruke TV 902 Navigator
TV 902 Navigator startes ved å sette strømkabelen i veggkontakten.
Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings- og
startsignaler, og starter pumpen.
Modusen “Myk Start” er beregnet for oppstarting av pumpen etter at
denne har vært uaktiv i en lengre periode.
For å oppnå en ”Myk Start” igjen er det nødvendig å tilbakestille
modusen via software (se avsnittet “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION” i tillegget “Teknisk Informasjon”).
Den grønne lysdioden på TV 902 Navigator basepanel angir systemets
funksjon ved hjelp av blink:
den lyser fast: pumpen roterer normalt
den blinker langsomt (ca. hver 400 ms): systemet er i stilling for
akselerasjon, bremsing, stopp eller “Waiting for interlock”
den blinker hurtig (ca. hver 200 ms): feiltilstand.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
137/292
9
Instruksjon Manual
Bruk
Stoppe TV 902 Navigator
TV 902 Navigator stoppes ved å kople det fra strømforsyningen. Den
innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart.
ADVARSEL!
Turbo-V styreenheten må forsynes med en 3-tråds strømkabel (se
tabellen for deler som kan bestilles) og utstyrt med et støpsel (som er
internasjonalt godkjent) for brukerens sikkerhet. Bruk denne kabelen
og støpselet sammen med en egnet jordet kontakt for å unngå elektrisk
støt og for å overholde EU forskriftene. Høyspenningene som utvikler
seg inne i styreenheten kan føre til alvorlige skader eller dødsulykker.
Før man utfører vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten, er det
nødvendig å kople fra strømkabelen.
Nødstopp
Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for å stoppe TV 902 Navigator i
en nødssituasjon.
138/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instruksjon Manual
Vedlikehold
9
Vedlikehold
TV 902 Navigator er vedlikeholdsfritt. Alt arbeid på systemet må kun
utføres av autorisert personell.
ADVARSEL!
Før noe arbeid gjøres på systemet må det frakoples strømtilførselen,
pumpen må luftes ved å åpne den aktuelle ventilen og deretter vente til
rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn
50 °C.
Dersom pumpen stanser, må du ta kontakt med Agilents
reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan
tilby en overhalt pumpe til erstatning for den ødelagte.
MERK
Før en pumpe returneres til produsenten for reparasjon, eller som innbytte
mot et overhalt system, er det helt nødvendig å fylle ut og sende det vedlagte
skjemaet "Helse og sikkerhet" til det lokale salgskontoret. En kopi av dette
arket må vedlegges systemet som sendes tilbake.
Dersom et system skal kasseres, må dette skje i henhold til nasjonale
bestemmelser.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
139/292
9
Instruksjon Manual
Eliminering
Eliminering
Betydelsen av symbolet på logo "WEEE" på etikettene. Symbolet
nedenunder som finnes, er anvendt i henhold til EC-direktiv kalt
"WEEE". Dette symbolet (som bare gjelder for land i Det europeiske
fellesselskap), viser at produktet som det sitter på, IKKE må
behandles som vanlig hus-industriavfall, men må legges i
kildesortering. Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av
anordningen å henvende seg til leverandøren av anordningen, som
kan være et firma eller en forhandler, som sørger for oppsamling og
eliminering etter å ha kontrollert avtal og betingelser i
kjøpekontrakten.
140/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
10
Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 142
Yleisiä tietoja
143
Varastointi
145
Valmistelut asennusta varten 146
Asennus
147
Pumpun kiinnitys 148
Käyttö 150
TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö 151
TV 902 Navigatorin pysäyttäminen 152
Hätäpysäytys 152
Huolto 153
Hävittäminen
154
Alkuperäisen ohjeiden käännös
141/292
10 Ohjekäsikirja
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet
Tässä käyttöohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea
määrä kineettistä energiaa, joka aiheutuu korkeasta
pyörimisnopeudesta yhdistettynä pumppujen roottorien massaan.
Järjestelmän vikatilassa, esimerkiksi roottorin ja staattorin
koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa, pyörimisenergia
saattaa vapautua.
VAROITUS!
142/292
Tässä käyttöohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti
laitteiston vaurioitumisen ja käyttäjien vahingoittumisen välttämiseksi!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
10
Yleisiä tietoja
Tämä laite on tarkoitettu ammattimaiseen käyttöön. Ennen laitteen
käyttöönottoa tulee käyttäjän lukea huolellisesti ohjekirja ja muut
Agilentin toimittamat lisätiedot. Agilent ei ota vastuuta seurauksista,
jotka johtuvat laitteen käyttöohjeiden täydellisestä tai osittaisesta
laiminlyönnistä, ammattitaidottoman henkilön virheellisestä laitteen
käytöstä, valtuuttamattomista toimenpiteistä tai kansallisen
lainsäädännön vastaisesta käytöstä.
TV 902 Navigator on kokonaisjärjestelmä, joka muodostuu valvojalla
varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean
tyhjiön käyttöä varten. Järjestelmä kykenee pumppaamaan kaiken
tyyppisiä kaasuja tai kaasukoostumuksia. Se ei sovellu nesteiden tai
kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen.
Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella (38000
kierrosta/min. max) pyörivän turbiinin avulla, jota käyttää
korkeatehoinen kolmivaiheinen sähkömoottori. TV 902 Navigator järjestelmässä ei ole lainkaan likaavia aineita, joten se soveltuu myös
"puhdasta" tyhjiötä vaativiin käyttötarpeisiin.
Järjestelmään kuuluu lisäksi apuliittimiä, joiden avulla on
mahdollista käyttää lisätuuletinta, ohjata tuuletusventtiiliä ja käyttää
järjestelmää kauko-ohjauksella sarjakytketyn isäntätietokoneen
avulla (RS 232/RS 485).
Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen
käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi laitteen käytön aikana.
Yksityiskohtaiset tiedot löytyvät osasta "Tekniset tiedot”.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
143/292
10 Ohjekäsikirja
Yleisiä tietoja
Tämä käsikirja käyttää seuraavanlaisia merkintöjä:
HUOMIO!
Huomio-merkit varoittavat toiminnoista, joiden laiminlyönti voi johtaa laitteen
vahingoittumiseen.
VAROITUS!
Vaara-merkit saavat käyttäjän kiinnittämään huomion erityiseen käyttö- tai
toimintatapaan, jonka vääränlainen suoritus voi johtaa vakaviin
henkilövaurioihin.
HUOM
144/292
Huomautukset sisältävät tärkeää tekstissä käsiteltyä tietoa.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Varastointi
10
Varastointi
Noudata seuraavia ohjeita, jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu
toimisi erittäin tehokkaasti ja luotettavasti:
HUOMIO!
Kun pumppua kuljetetaan, siirretään ja varastoidaan, seuraavia
ympäröiviä olosuhteita ei tule ylittää:
lämpötila: -20 °C - 70 °C.
suhteellinen kosteus: 0 – 95 % (ei tiivistävä).
Asiakkaan tulee aina käynnistää turbomolekyylinen pumppu softstart-tavalla vastaanottaessaan pumpun ja käyttäessään sitä
ensimmäisen kerran.
Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta
toimituspäivästä.
Jos varastointiaika on jostain syystä pidempi, pumppu tulee palauttaa
tehtaalle. Pyydä lisätietoja paikalliselta Agilent-edustajalta.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
145/292
10 Ohjekäsikirja
Valmistelut asennusta varten
Valmistelut asennusta varten
TV 902 Navigator toimitetaan erityisessä suojapakkauksessa; mikäli
siinä on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita,
ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon.
Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti TV 902
Navigatorin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai tärinöitä.
Pakkausta ei tule jättää ympäristöön. Pakkausmateriaali voidaan
kierrättää kokonaisuudessaan ja se vastaa EY-direktiiviä 85/399
ympäristön suojelusta.
HUOMIO!
HUOM
Jotta kaasun vuoto-ongelmilta vältyttäisiin, ei tyhjiölle altistuviin osiin tule
koskea paljain käsin. Käyttäkää aina käsineitä tai muuta sopivaa suojausta.
TV 902 Navigator ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa (auki). On
kuitenkin suositeltavaa pitää se suljettuna, kunnes se asennetaan järjestelmään.
Siten vältetään laitteen mahdollinen pölysaastuminen.
Kuva 1
146/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Asennus
10
Asennus
HUOMIO!
Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta, kun turbopumppu kytketään
järjestelmään..
Asenna laite ainoastaan suljettuun tilaan. Älä käytä sitä
ilmastotekijöille (sade, pakkanen, lumi), pölylle tai syövyttäville
kaasuille altistuvissa, räjähdysvaarallisissa tai erittäin
palovaarallisissa tiloissa.
Käytön aikana on noudatettava seuraavia ympäristöä koskevia
ehtoja:
maksimipaine: 2 baaria yli atmosfäärisen paineen
lämpötila: + 10 °C – +35 °C
suhteellinen kosteus: 0 - 90 % (ei tiivistävä)
Mikäli läsnä on magneettikenttiä, tulee pumppu suojata tähän
tarkoitukseen olevilla suojilla. Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” liitteestä.
TV 902 Navigator tulee kytkeä pääpumppuun (ks. “Tekniset tiedot” liitteen kaaviota).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
147/292
10 Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
Pumpun kiinnitys
VAROITUS!
Jos roottori vaurioituu, pumpun ja järjestelmän väliseen liitäntään saattaa
kohdistua huomattavaa vääntömomenttia. Ellei liitäntä kestä kyseistä
momenttia, pumppu saattaa irrota järjestelmästä tai moottori pumpun
kotelosta. Tällöin metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai
järjestelmästä ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja/tai lähellä
olevien laitteiden vaurioita.
Kiinnittäkää TV 902 Navigator vakaaseen asentoon asentamalla
turbopumpun sisääntulolaippa järjestelmän vastalaippaan liitoksella,
joka kestää 6800 Nm:n momentin akselinsa ympäri.
Tämä ruuvilaippa voidaan esimerkiksi kiinnittää kestävillä
teräsruuveilla M10 (lujuusluokka yli 8,8).
Seuraavassa taulukossa esitetään vaadittu ruuvimäärä ja vastaava
vääntömomentti.
LAIPPA
RUUVIEN KOKO
MÄÄRÄ
KIRISTYS- MOMENTTI
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbopumppu ConFlat-sisääntulolaipalla tulee kiinnittää
tyhjiökammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla.
Lisätietoja löytyy “Tekniset tiedot” -liitteestä.
TV 902 Navigator voidaan asentaa mihin tahansa asentoon.
148/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Pumpun kiinnitys
HUOM
HUOMIO!
10
TV 902 Navigatoria ei voida kiinnittää perustansa kautta.
TV 902 Navigator kuuluu toiseen EN 61010-1 säännösten mukaiseen
asennusluokkaan (tai ylijänniteluokkaan). Kytke laite tämän vuoksi
sähköverkkoon, joka täyttää tämän luokan vaatimukset. TV 902 Navigator
laitteissa on liittimet sisääntuloille/ulostuloille sekä sarjakytkennälle, jotka on
kytkettävä ulkoisiin järjestelmiin siten, ettei mihinkään jännitteen alaisena
olevaan osaan päästä käsiksi. Varmista, että TV 902 Navigator laitteeseen
kytketyn laitteen eristys riittää myös yksittäisen toimintahäiriön yhteydessä
EN 61010-1 säännösten edellyttämällä tavalla.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
149/292
10 Ohjekäsikirja
Käyttö
Käyttö
Tähän kappaleeseen on kirjattu tärkeimmät käyttötoimenpiteet.
Suorittakaa ennen järjestelmän käyttöä kaikki sähkö- ja
paineilmakytkennät. Tyhjiökammion mahdollisen lämmityksen
aikana sisääntulolaipan lämpötila ei saa ylittää 80 °C:tta.
VAROITUS!
Älkää käyttäkö pumppua, ellei sisääntulolaippaa ole kytketty
tyhjiökammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla. Älkää koskeko
turbopumppuun tai sen lisäosiin lämmittämisen aikana. Korkea lämpötila
saattaa aiheuttaa henkilöiden loukkaantumisia.
HUOMIO!
Vältä kolhuja, heiluntaa tai äkkiliikkeitä turbopumpun toiminnan aikana, sillä
laakerit voivat vahingoittua. Käytä pumpun ilmansyöttöön ilmaa tai
jalokaasua, joissa ei ole pölyä tai hiukkasia. Erityisen aukon läpi syötettävän
paineen tulee olla alle 2 baaria (yli atmosfäärisen paineen). Pumput on
varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla, jonka läpi
pumppuun kuljetetaan jalokaasuja (typpi tai argon) laakereiden suojaamiseksi
(katso “Tekniset tiedot” -liite).
VAROITUS!
Kun pumppua käytetään myrkyllisten, paloherkkien tai radioaktiivisten
kaasujen pumppaamiseen, noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa
menettelytapaa. Älkää käyttäkö pumppua räjähdysherkkien kaasujen
lähellä.
150/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Käyttö
10
TV 902 Navigatorin käynnistys ja käyttö
TV 902 Navigatorin käynnistykseen riittää, että se kytketään
sähköverkkoon. Sisäänrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti
lukitus- ja käynnistyssignaalit ja käynnistää pumpun.
“Soft Start” –tapaa käytetään pumpun käynnistykseen pitkien
seisokkiaikojen jälkeen. Jotta käynnistys voitaisiin suorittaa “Soft
Start” –tavalla, tulee kyseinen tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston
avulla (ks. kappale “RS 232/485 VIESTINNÄN KUVAUS” “Tekniset
tiedot” -liitteessä).
Vihreä LED, joka sijaitsee TV 902 Navigator:n perustan paneelissa,
osoittaa vilkkumistiheydellään järjestelmän toimintaolosuhteet:
palaa jatkuvasti: pumppu pyörii normaalisti;
vilkkuu hitaasti (noin 400 ms:n jakso): systeemi on kiihdytys-,
jarrutus-, pysäytys- tai “Waiting for interlock”- tilassa;
vilkkuu nopeasti (noin 200 ms:n jakso): virhetila.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
151/292
10 Ohjekäsikirja
Käyttö
TV 902 Navigatorin pysäyttäminen
TV 902 Navigatorin pysäyttämiseen riittää, että se kytketään irti
sähköverkosta. Sisäänrakennettu valvoja pysäyttää pumpun
välittömästi.
VAROITUS!
Käyttäjän turvallisuuden takaamiseksi Turbo-V valvojan virran syötön on
tapahduttava pistokkeella (kansainvälisesti hyväksyttyä tyyppiä) ja 3:lla
johtimella varustettua sähkökaapelia käyttämällä (katso tilattavien osien
taulukkoa). Käytä tätä kaapelia ja pistoketta yhdessä oikein maadoitetun
pistorasian kanssa, jotta sähköiskuilta vältytään ja CE- normien vaatimukset
täyttyvät. Valvojassa kehittyvät korkeajännitteet voivat aiheuttaa vakavia
onnet-tomuuksia tai jopa kuoleman. Irrota sähkökaapeli ennen yksikön
sisälle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista.
Hätäpysäytys
TV 902 Navigator on pysäytettävä hätätilassa irrottamalla
sähkökaapeli ohjausyksiköstä.
152/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Ohjekäsikirja
Huolto
10
Huolto
TV 902 Navigator ei vaadi lainkaan huoltoa. Mahdolliset toimenpiteet
tulee jättää valtuutetun henkilön tehtäväksi.
VAROITUS!
Ennen minkään tyyppistä toimenpidettä järjestelmässä kytkekää se irti
sähköverkosta, päästäkää pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu
venttiili ja odottakaa roottorin täydellistä pysähtymistä. Antakaa tämän
jälkeen pumpun pintalämmön laskea alle 50 ºC:en.
Laitteen vahingoittuessa on mahdollista käyttää Agilentin
korjauspalvelua, jonka kautta saatte uudistetun pumpun
vahingoittuneen tilalle.
HUOM
Ennen pumpun lähettämistä valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on
ehdottomasti täytettävä ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon
"Turvallisuus ja Terveys” -kaavake, joka on liitteenä ohjekirjassa. Kyseisen
kaavakkeen kopio tulee liittää järjestelmän pakkaukseen ennen sen lähettämistä.
Mikäli pumppu täytyy romuttaa, toimikaa sen hävittämisessä
kansallisen lainsäädännön määräämällä tavalla.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
153/292
10 Ohjekäsikirja
Hävittäminen
Hävittäminen
Pakkausmerkinnöissä olevan WEEE-logon merkitys. Alla näkyvä
merkki on lisätty pakkaukseen EY:n ns. WEEE-direktiivin mukaisesti.
Merkki (koskee ainoastaan Euroopan Unionin jäsenmaita)
tarkoittaa, että tuotetta EI saa hävittää tavallisen kotitalous- tai
teollisuusjätteen mukana, vaan se on toimitettava erilliseen
keräyspisteeseen. Loppukäyttäjää kehotetaan sen vuoksi ottamaan
keräys- ja hävittämisprosessia varten yhteyttä laitteen toimittajaan,
olipa se sitten laitteen valmistaja tai jälleenmyyjä, tarkastettuaan
ensin kaupan sopimusehdot.
154/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
11
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Γενικεσ πληροφοριεσ 157
Αποθηκευση
159
Προετοιμασια για την εγκατασταση 160
Εγκατασταση
161
Στερεωση τησ αντλιασ 162
Χρηση 164
Έναυση και Χρήση του TV 902 Navigator 165
Σταμάτημα του TV902 Navigator 166
Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj
166
Συντηρηση
167
Χώνευση
168
156
Μεταφραση οδηγιων χρησησ
155/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες
Στροβίλου
Οδηγίες Ασφάλειας για Μοριακές Αντλίες Στροβίλου
Οι μοριακές αντλίες στροβίλου, όπως περιγράφονται στο ακόλουθο
Eγχειρίδιο Λειτουργίας περιέχουν ένα μεγάλο ποσό κινητικής
ενέργειας, λόγω της υψηλής ταχύτητας περιστροφής σε συνδυασμό με
το ειδικό βάρος για τους ρότορες που περιέχουν.
Σε περίπτωση δυσλειτουργίας του συστήματος, για παράδειγμα επαφής
ρότορα / επαγωγέα ή ακόμη και σε περίπτωση καταστροφής του
ρότορα, η ενέργεια περιστροφής μπορεί να ελευθερωθεί.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
156/292
Για την αποφυγή τυχόν καταστροφής του εξοπλισμού και για την πρόληψη
τραυματισμών του προσωπικού, οι οδηγίες εγκατάστασης, όπως δίνονται στο
παρόν εγχειρίδιο, θα πρέπει να τηρούνται αυστηρώς!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Γενικεσ πληροφοριεσ
11
Γενικεσ πληροφοριεσ
Αυτή η συσκευή προορίζεται για επαγγελματική χρήση. Ο χρήστης θα
πρέπει να διαβάσει προσεκτικά τις οδηγίες του παρόντος εγχειριδίου
οδηγιών και οποιαδήποτε άλλη πρόσθετη πληροφορία που δίνει η
Agilent, πριν από τη χρησιμοποίηση της συσκευής. Η Agilent δεν
φέρει καμμία ευθύνη όσον αφορά την ολική ή μερική αθέτηση των
οδηγιών, την ακατάλληλη χρήση εκ μέρους ανεκπαίδευτου
προσωπικού, μη εξουσιοδοτημένες επεμβάσεις ή χρήση που δεν
συμφωνεί με τις ειδικές εθνικές διατάξεις.
Το TV 902 Navigator είναι ένα ολοκληρωμένο σύστημα αποτελούμενο
από μία στροβιλομοριακή αντλία για εφαρμογές υψηλού και
υπερυψηλού κενού και από το σχετικό κοντρόλερ. Το σύστημα είναι
ικανό να αντλήσει οποιοδήποτε είδος αερίου, αεριούχο προϊόν, αλλά
δεν είναι κατάλληλο για την άντληση υγρών ή στερεών σωματιδίων.
Η ενέργεια άντλησης επιτυγχάνεται διαμέσου μίας τουρμπίνας που
περιστρέφεται σε υψηλή ταχύτητα (38000 στρ.//λεπτό max) κινούμενη
από έναν τριφασικό ηλεκτρικό κινητήρα υψηλών επιδόσεων. Το TV
902 Navigator στερείται παντελώς ρυπαντικών παραγόντων, οπότε
είναι κατάλληλο για εφαρμογές οι οποίες απαιτούν ένα «καθαρό» κενό.
Το TV 902 Navigator έχει επίσης βοηθητικούς συνδετήρες διαμέσου
των οποίων είναι δυνατή η τροφοδότηση ενός πρόσθετου ανεμιστήρα, ο
έλεγχος της βαλβίδας αερισμού (vent), η καθοδήγηση από απόσταση
διαμέσου ενός computer host συνδεδεμένου μέσω διατεταγμένης
(serial) γραμμής (RS232/RS485).
σΣΣτΣτις επόμενες παραγράφους αναφέρονται όλες οι απαραίτητες
πληροφορίες που εγγυώνται την ασφάλεια του χειριστή κατά τη
διάρκεια της χρησιμοποίησης της συσκευής. Λεπτομερείς πληροφορίες
δίνονται στο παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες» (“Technical
Information”).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
157/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Γενικεσ πληροφοριεσ
Αυτό το εγχειρίδιο χρησιμοποιεί τους ακόλουθους συμβατικούς
όρους:
ΠΡΟΣΟΧΗ!
Οι ενδείξεις προσοχής εμφανίζονται πριν από τις διαδικασίες οι οποίες, αν δεν
τηρηθούν, θα μπορούσαν να προκαλέσουν βλάβες στη συσκευή.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Οι ενδείξεις κινδύνου ελκύουν την προσοχή του χειριστή σε μία διαδικασία ή
σε μία ειδική εργασία η οποία αν δεν εκτελεστεί σωστά, θα μπορούσε να
προκαλέσει σοβαρές προσωπικές βλάβες.
ΣΗΜΕΙΩΣΗ
158/292
Οι σημειώσεις περιέχουν σημαντικές πληροφορίες που έχουν αποσπαστεί από το
κείμενο.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Αποθηκευση
11
Αποθηκευση
ΓΓια να εγγυηθεί το μέγιστο επίπεδο λειτουργικότητας και αξιοπιστίας
των Στροβιλομοριακών αντλιών Agilent, πρέπει να τηρούνται οι εξής
προδιαγραφές:
ΠΡΟΣΟΧΗ!
κατά τη μεταφορά, τη διακίνηση και την αποθήκευση των αντλιών
δεν πρέπει να υπερβαίνονται οι εξής περιβαλλονικές συνθήκες:¿
θερμοκρασία από -20 °C έως 70 °C
σσχετική υγρασία από 0 έως 95 % (μη συμπυκνώσιμη)
ο πελάτης πρέπει να ανάβει τις στροβιλομοριακές αντλίες με τον
τρόπο Σοφτ-Σταρτ όταν παραλαμβάνονται και θέτονται σε
λειτουργία για πρώτη φορά
ο χρόνος αποθήκευσης μίας στροβιλομοριακής αντλίας είναι 10
μήνες από την ημερομηνία αποστολής.
Εάν, για οποιοδήποτε λόγο, ο χρόνος αποθήκευσης είναι μεγαλύτερος,
χρειάζεται να επιστρέψετε την αντλία στο εργοστάσιο. Για κάθε πληροφορία
παρακαλούμε να επικοινωνήσετε με την τοπική αντιπροσωπεία της Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
159/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Προετοιμασια για την εγκατασταση
Προετοιμασια για την εγκατασταση
Το TV 902 Navigator προμηθεύεται σε μία ειδική προστατευτική
συσκευασία: ααν υπάρχουν ενδείξεις βλάβης που θα μπορούσαν να
έχουν προκληθεί κατά τη διάρκεια της μεταφοράς, έρχεστε σε επαφή με
το τοπικό τμήμα πωλήσεων. Κατά τη διάρκεια του ανοίγματος της
συσκευασίας, δώστε ιδιαίτερη προσοχή ώστε να μην αφεθεί και πέσει το
TV 902 Navigator και να μην υποστεί χτηπήματα ή δονήσεις. Μην
εγκαταλείπετε τη συσκευασία στο περιβάλλον. Το υλικό ανακυκλώνεται
πλήρως και ανταποκρίνεται στην Οδηγία της Ε.Ο.Κ. 85/399 για τη
διαφύλαξη του περιβάλλοντος.
ΠΡΟΣΟΧΗ!
ΣΗΜΕΙΩΣΗ
Για να αποφύγετε προβλήματα απαγωγής αερίου, μην αγγίζετε με γυμνά χέρια
τα συστατικά που είναι προορισμένα να εκτεθούν στο κενό. Χρησιμοποιείτε τα
γάντια ή άλλη κατάλληλη προστασία.
Το TV 902 Navigator δεν βλάπτεται απλά παραμένοντας εκτεθειμένο στο
περιβάλλον. Εντούτοις συμβουλεύεται να διατηρείτε κλειστή την αντλία μέχρι τη
στιγμή της εγκατάστασης στο σύστημα ώστε να αποφευχθεί μία ενδεχόμενη
ρύπανση από σκόνη.
Φιγούρα 1
160/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Εγκατασταση
11
Εγκατασταση
ΠΡΟΣΟΧΗ!
Ξεκολλήστε το αυτοκόλλητο και βγάλτε το προστατευτικό καπάκι μόνο τη
στιγμή της σύνδεσης της τουρμποαντλίας στο σύστημα.
Εγκαταστήστε αυτό το σύστημα μόνο σε κλειστούς χώρους και σε κάθε
περίπτωση μην το χρησιμοποιήσετε σε χώρους εκτεθειμένους σε
ατμοσφαιρικούς παράγοντες (βροχή, πάγο, χιόνι), σκόνη, αέρια
προσβολής, σε εκρήξιμη ατμόσφαιρα ή με υψηλό κίνδυνο πυρκαγιάς.
Κατά τη διάρκεια της λειτουργίας πρέπει να τηρούνται οι ακόλουθες
συνθήκες περιβάλλοντος:
μέγιστη πίεση: 2 bar πάνω από την ατμοσφαιρική πίεση
θερμοκρασία: από +10 °C μέχρι +35 °C
σχετική υγρασία: 0 – 90 % (ασυμπύκνωτη).
Σε παρουσία ηλεκτρομαγνητικών πεδίων η αντλία πρέπει να
προστατεύεται με κατάλληλα προκαλύμματα. Βλέπε το παράρτημα
«Τεχνικές Πληροφορίες» για περισσότερες λεπτομέρειες.
Το TV 902 Navigator πρέπει να είναι συνδεδεμένο σε μία πρωτεύουσα
αντλία (βλέπε σχήμα στις «Τεχνικές Πληροφορίες»).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
161/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Στερεωση τησ αντλιασ
Στερεωση τησ αντλιασ
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Αν παρουσιαστεί ζημιά στον ρότορα, η σύνδεση ανάμεσα στην αντλία και στο
σύστημα μπορεί να εφαρμοστεί σημαντική ροπή. Αν η σύνδεση δεν είναι
επαρκής για να αντέξει σε τέτοιου είδους ροπή, η αντλία μπορεί να
αποσυνδεθεί από το σύστημα ή το μοτέρ μπορεί να αποκολληθεί από το
κάλυμμα της αντλίας. Σ’αυτήν την περίπτωση ύπάρχει κίνδυνος να πεταχτούν
κομματάκια μετάλλου από την αντλία ή το σύστημα, που θα μπορούσαν να
προκαλέσουν σοβαρό τραυματισμό ή θάνατο και/ή ζημιά στον παρακείμενο
εξοπλισμό.
Στερεώστε το TV 902 Navigator σε σταθερή θέση τοποθετώντας τη
φλάντζα εισόδου της στροβιλοαντλίας στην κοντραφλάντζα του
συστήματος, με σύνδεση ικανή να υπόκειται σε ροπή 6800 Nm γύρω
από τον άξονά της.
Για παράδειγμα, αυτή η Bolted Flange μπορεί να στερεωθεί με βίδες
M10 από χάλυβα υψηλής αντοχής (κατηγορία ανώτερη από 8,8).
Στον ακόλουθο πίνακα αναφέρεται ο αριθμός των βιδών που
χρειάζονται και η ανάλογη ροπή κοχλίωσης.
ΦΛΑΝΤΖΑ
∆ΙΑΣΤΑΣΗ ΒΙ∆ΩΝI
Ν.
ΖΕΥΓΟΣ ΒΙ∆ΩΜΑΤΟΣ
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Η τουρμποαντλία με φλάντζα εισόδου ConFlat πρέπει να στερεωθεί στο
θάλαμο κενού μέσω του σχετικού μηχανικού εξοπλισμού Agilent.
Βλέπε το παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες» για περισσότερες
λεπτομέρειες. Το TV 902 Navigator μπορεί να εγκατασταθεί σε
οποιαδήποτε θέση.
162/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Στερεωση τησ αντλιασ
ΣΗΜΕΙΩΣΗ
Το TV 902 Navigator δεν μπορεί να στερεωθεί διαμέσου της βάσης του.
ΠΡΟΣΟΧΗ!
Ο TV 902 Navigator ανήκει στη δεύτερη κατηγορία εγκατάστασης (ή
υπέρτασης) που προβλέπεται από τον κανονισμό EN 61010-1. Κατά συνέπεια
σσυνδέετε τη διάταξη σε μία γραμμή τροφοδότησης η οποία ικανοποιεί αυτήν
την κατηγορία. Ο TV 902 Navigator έχει βύσματα για τις εισόδους/εξόδους και
για τη σειριακή επικοινωνία που πρέπει να συνδεθούν στα εξωτερικά
κυκλώματα έτσι ώστε να μην είναι προσιτό κανένα μέρος υπό τάση.
Βεβαιωθείτε ότι η μόνωση της συνδεδεμένης διάταξης στον TV 902 Navigator
έχει μια κατάλληλη μόνωση ακόμα και σε κατάσταση μονής βλάβης όπως
προβλέπεται από τον κανονισμό EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
11
163/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
Χρηση
Σε αυτήν την παράγραφο αναφέρονται οι κυριώτερες επιχειρησιακές
διαδικασίες. Πριν να χρησιμοποιήσετε το σύστημα πραγματοποιείτε
όλες τις ηλεκτρικές και πνευματικές συνδέσεις. Κατά τη διάρκεια της
ενδεχόμενης θέρμανσης του θαλάμου κενού, η θερμοκρασία στη
φλάντζα εισόδου δεν πρέπει να ξεπερνά τους 80 °C.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Μην αφήνετε ποτέ να λειτουργεί η αντλία αν η φλάντζα εισόδου δεν είναι
συνδεδεμένη στο θάλαμο κενού ή δεν είναι κλειστή με τη φλάντζα
κλεισίματος. Μην αγγίζετε την τουρμποαντλία και τα ενδεχόμενα εξαρτήματά
της κατά τις εργασίες θέρμανσης. Η υψηλή θερμοκρασία μπορεί να
προκαλέσει προσωπικές βλάβες.
ΠΡΟΣΟΧΗ!
Αποφύγετε συγκρούσεις, ολισθήσεις ή απότομες μετακινήσεις της αντλίας
τούρμπο όταν βρίσκεται σε λειτουργία. Θα μπορούσαν να πάθουν ζημιές τα
κουζινέτα. Για να διοχετεύσετε με αέρα την αντλία χρησιμοποιείτε αέρα ή
αδρανές αέριο καθαρό από σκόνη ή άλλα στοιχεία. Η πίεση εισόδου διαμέσου
της ειδικής πόρτας, πρπεπει να είναι μικρότερη από 2bar (πάνω από την
ατμοφαιρική πίεση). Για την άντληση πολεμικών αερίων αυτές οι αντλίες είναι
εφοδιασμένες με μια ειδική θυρίδα μέσω της οποίας είναι αναγκαία η
διοχέτευση αδρανούς αερίου (Άζωτο ή Αργό) για να προστατευτούν τα έδρανα
(βλέπε το παράρτημα «Τεχνικές Πληροφορίες»).
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Όταν η αντλία χρησιμοποιείται για την άντληση τοξικών, εύφλεκτων ή
ραδιενεργών αερίων, ακολουθείτε τις κατάλληλες χαρακτηριστικές
διαδικασίες του κάθε αερίου. Μη χρησιμοποιείτε την αντλία παρουσία
εκρηκτικών αερίων.
164/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
11
Έναυση και Χρήση του TV 902 Navigator
Για να ανάψετε το TV 902 Navigator αρκεί να προμηθεύσετε την τάση
τροφοδότησης. Ο ενσωματωμένος κοντρόλερ αναγνωρίζει αυτομάτως
την παρουσία των σημάτων interlock και εκκίνησης και ανάβει την
αντλία.
Η ρύθμιση “Soft Start” έχει προβλεφθεί για να ανάβει η αντλία μετά
από μεγάλη περίοδο ακινησίας. Για να κάνετε εκκίνηση με το “Soft
Start” ενεργό πρέπει να ενεργοποιήσετε τη σχετική ρύθμιση μέσω του
software (βλέπε την παράγραφο “RS 232/485 COMMUNICATION
DESCRIPTION” στα περιεχόμενα “Technical Information”).
Το πράσινο LED το οποίο βρίσκεται στο πλαίσιο της βάσης του TV 902
Navigator ενδεικνύει, με τη συχνότητα που αναβοσβήνει, τις
επιχειρησιακές συνθήκες του συστήματος::
σταθερά αναμμένο η αντλία είναι σε κανονική περιστροφή˙
ναβοσβήνει αργά (περίοδος περίπου 400 ms): Το σύστημα είναι σε
κατάσταση ανάβασης, ή επιβράδυνσης, ή stop, ή “Waiting for
interlock”.
αναβοσβήνει γρήγορα (περίοδος περίπου 200 ms): εσφαλμένη
συνθήκη.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
165/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χρηση
Σταμάτημα του TV902 Navigator
Για να σταματήσετε το TV 902 Navigator είναι αρκετό να αφαιρέσετε
την τάση τροφοδότησης. Ο ενσωματωμένος ελεγκτής σταματά αμέσως
την αντλία.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Για την ασφάλεια του χειριστή το controller Turbo-V πρέπει να
τροφοδοτείται διαμέσου ενός καλωδίου τροφοδότησης με τρία σύρματα
(βλέπε τον πίνακα κατάταξης των μερών ) εφοδιασμένο με
ρευματολήπτ11(στάνταρ διεθνώς εγκεκριμένο). Αυτό το καλώδιο
τροφοδότησης με τον ρευματολήπτη να χρησιμοποιείται μαζί με έναν
ρευματοδότη κατάλληλα συνδεδεμένο με το έδαφος για να αποφεύγεται η
ηλεκτροπληξία και να ικανοποιούνται οι προδιαγραφές των οδηγιών ΕΚ. Οι
υψηλές τάσεις που αναπτύσσονται στο κοντρόλερ μπορούν να προκαλέσουν
σοβαρές βλάβες ή τον θάνατο. Πριν πραγματοποιήσετε εργασίες συντήρησης
στη μονάδα βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης.
Σταμάτημα Έκτακτης Ανάγκηςj
Για να σταματήσετε σε συνθήκες έκτακτης ανάγκης το TV 902
Navigator πρέπει να βγάλετε το καλώδιο τροφοδότησης από τον
κοντρόλερ.
166/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Oδηγιεσ Χρησεωσ
Συντηρηση
11
Συντηρηση
Το TV 902 Navigator δε χρειάζεται καμμία συντήρηση. Οποιαδήποτε
επέμβαση πρέπει να γίνεται από ειδικευμένο προσωπικό.
ΚΙΝ∆ΥΝΟΣ!
Πριν επιχειρήσετε οποιαδήποτε επέμβαση στο σύστημα, αποσυνδέστε το από
την τροφοδοσία, κάντε εξαέρωση στην αντλία ανοίγοντας την ειδική βαλβίδα,
περιμένετε μέχρι να σταματήσει τελείως ο ρότορ και αναμένετε η
επιφανειακή θερμοδρασία της αντλίας να είναι κατώτερη από 50 °C.
Σε περίπτωση βλάβης μπορείτε να απευθυνθείτε στο service της Agilent
ή στο “Agilent advanced exchange service”, που σας δίνει τη
δυνατότητα να αντικαταστήσετε τη χαλασμένη αντλία με μία άλλη
αναζωογονημένη.
ΣΗΜΕΙΩΣΗ
Πριν επιστρέψετε στον κατασκευαστή την αντλία για επισκευή ή για advanced
exchange service, είναι απαραίτητο να συμπληρώσετε και να παρουσιάσετε στο
τοπικό Γραφείο Πωλήσεων, το έντυπο «Σιγουριά και Υγεία» συνημμένο στο παρόν
εγχειρίδιο οδηγιών. Αντίγραφο του ίδιου εντύπου πρέπει να υπάρχει μέσα στη
συσκευασία της αντλίας πριν από την αποστολή.
Όταν πλέον μία αντλία πρέπει να διαλυθεί, προχωρείτε στην
εξουδετέρωσή της τηρώντας τις ειδικές εθνικές διατάξεις.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
167/292
11 Oδηγιεσ Χρησεωσ
Χώνευση
Χώνευση
Έννοια του logo "WEEE" που υπάρχει στις ετικέττες. Το παρακάτω
σύμβολο εφαρμόζεται σύμφωνα με την ντιρεκτίβα Ε.Κ. που ονομάζεται
"WEEE". Αυτό το σύμβολο (που ισχύει μόνο για τις χώρες της
Ευρωπαϊκής Κοινότητας) δείχνει ότι το προϊόν στο οποίο είναι
εφαρμοσμένο, ΔΕΝ πρέπει να πεταχτεί μαζί με κοινά οικιακά ή
βιομηχανικά σκουπίδια, αλλά με διαφοροποιημένο τρόπο. Γι΄αυτό,
παρακαλούμε τον τελικό χρήστη να έρθει σε επαφή με τον πωλητή της
συσκευής ή με το εργοστάσιο σχετικά με την εκκίνηση της διαδικασίας
διαφοροποιημένης συλλογής, κατόπιν επαλήθευσης του συμβολαίου
πώλησης.
168/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
12
Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz 170
Általános információ 171
Tárolás
173
Előkészítés telepítésre 174
Telepítés
175
A szivattyú rögzítése 176
Használat
178
A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése 179
A TV 902 Navigator kikapcsolása 180
Vészleállítás 180
Karbantartás
181
Megsemmisítés 182
Az eredeti utasítás fordítása
169/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris
szivattyúkhoz
Biztonsági útmutató Turbómolekuláris szivattyúkhoz
A jelen gépkönyvben leírt turbómolekuláris szivattyúk nagy mozgási
energiával rendelkeznek nagy forgási sebességük és a rotorok
fajlagos tömege miatt.
A rendszer hibás működése – például a rotor és az állórész
érintkezése vagy a forgórész széttörése – esetén a forgási energia
felszabadulhat.
VESZÉLY!
170/292
A berendezés károsodásának és a kezelő személyzet sérülésének
megelőzésére az ebben a gépkönyvben adott telepítési utasításokat
szigorúan be kell tartani!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Általános információ
12
Általános információ
A berendezést professzionális felhasználók számára tervezték. A
felhasználónak a berendezés működtetése előtt el kell olvasnia ezt a
gépkönyvet és a Agilent által biztosított bármely információt. A
Agilent elhárít magától minden felelősséget minden olyan esemény
esetében, amely ezen utasítások részben vagy teljes egészében való
be nem tartása, a berendezés szakképzetlen személyek által történő
nem megfelelő használata, az engedély nélküli beavatkozások vagy a
specifikus nemzeti szabványokkal ellentétes bármely művelet miatt
történik.
A TV 902 Navigator egy nagy és rendkívül nagy
vákuumalkalmazásokhoz való turbo-molekuláris szivattyból és a
megfelelő vezérlőegységből álló integrált rendszer. A rendszer
bármely típusú gázt vagy gázkeveréket képes szivattyúzni, De nem
alkalmas folyadékok vagy szilárd részecskék szivattyúzására. A
szivattyúzást egy nagyteljesítményű 3 fázisú elektromos motorral
hajtott nagysebességű turbina (max. 38000 fordulat/perc) biztosítja.
A TV 902 Navigator szennyezőanyagoktól mentes, és ezért alkalmas
„tiszta” vákuumot igénylő alkalmazásokra.
A berendezés rendelkezik olyan segédcsatlakozókkal, melyken
keresztül további ventillátort táplálhat, vezérelheti a ventillátor
szelepet, és távvezérlésel működtethető egy sorosan (RS232 vagy
RS485) csatlakoztatott gazdagép segítségével.
A következő bekezdések a berendezést használó kezelő biztonságának
garantálásához szükséges összes információt tartalmazzák. Részletes
információt talál a „Műszaki információ” függelékben.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
171/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Általános információ
Ez a kézikönyv a következő figyelmeztető jelzéseket használja:
FIGYELEM!
A „Figyelem” üzenetek olyan eljárások előtt jelennek meg, amelyeket ha nem
tartanak be, az a berendezés károsodását okozhatja.
VESZÉLY!
A veszélyt jelző üzenetek felhívják a kezelő figyelmét egy konkrét eljárásra
vagy gyakorlatra, ami, ha nem megfelelően végzik el, súlyos személyi
sérülésekhez vezethet.
MEGJEGYZÉS A megjegyzések a szövegből vett fontos információt tartalmaznak.
172/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Tárolás
12
Tárolás
A Agilent turbomolekuláris szivattyúk maximális
teljesítményszintjének garantálására a következő útmutatásokat kell
követni:
FIGYELEM!
szivattyúk szállításakor, mozgatásakor és tárolásakor a következő
környezeti paramétereket nem szabad túllépni:
hőmérséklettartomány: -20 °C - 70 °C
relatív páratartalom: 0 – 95 % (nem kondenzáló)
A turbomolekuláris szivattyúkat mindig lágyan kell indítani,
amikor a felhasználó átveszi, és először üzemelteti őket.
Egy turbomolekuláris szivattyú raktározási ideje 10 hónap a
szállítás dátumától számítva.
Ha valamilyen okból a raktározási időt túllépik, a szivattyút vissza kell vinni a
gyárba. Információért forduljon a helyi Agilent képviselethez.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
173/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Előkészítés telepítésre
Előkészítés telepítésre
A TV 902 Navigatort különleges védőcsomagolásban szállítják. Ha ez
sérülés jeleit mutatja, ami szállítás közben felmerülhet, forduljon a
helyi képviselethez. A rendszer kicsomagolásakor ügyeljen arra, hogy
ne ejtse le a TV 902 Navigatort, és kerülje annak bármilyhez való
hozzáütését vagy rázkódását. Ne dobja el a csomagoló anyagokat a
környezetben! Az anyag teljesen újrafeldolgozható, és megfelel a
85/399/EK a Környezetvédelemről szóló irányelvnek.
FIGYELEM!
Gázkivonási problémák elkerülésére, ne érintse meg puszta kézzel a
vákuumnak kitett komponenseket. Mindig viseljen kesztyűt vagy más
alkalmas védőfelszerelést.
MEGJEGYZÉS Ha csak a légkörnek van kitéve, az nem károsíthatja a TV 902 Navigatort. Mégis
ajánlatos zárva tartani a szivattyút a rendszerbe való telepítésig,
megakadályozva a porral való szennyeződés bármely formáját.
Ábra 1
174/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Telepítés
12
Telepítés
FIGYELEM!
Ne távolítsa el az öntapadó csíkot és a védőkupakot, csak a turbószivattyú
rendszerre csatlakoztatása előtt.
Csak beltéri környezetbe telepítse az eszközt, és semmilyen esetben
se használja káros időjárási jelenségeknek (eső, hó, jég), pornak,
agresszív gázoknak kitett, illetve robbanás- vagy tűzveszélyes
környezetben. Üzemeltetés közben a következő környezeti feltételeket
kell biztosítani:
maximális nyomás: 2 bar a légköri nyomás felett
hőmérséklet: +10 °C-tól +35 °C-ig
relatív páratartalom: 0 – 90% (nem kondenzáló)
Elektromágneses mezők jelenlétében a szivattyút ferromágneses pajzs
segítségével védeni kell. Részletes információért lásd a „Műszaki
információ” fejezetet. A TV 902 Navigatort egy elsődleges
szivattyúhoz kell csatlakoztatni (lásd "Műszaki információ”).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
175/292
12 Felhasználói Kézikönyv
A szivattyú rögzítése
A szivattyú rögzítése
VESZÉLY!
Ha rotorhiba jelentkezik, a szivattyú és a rendszer közötti csatlakozás
jelentős nyomatéknak lehet kitéve. Ha a csatlakozás nem képes ezt a
nyomatékot elviselésni, a szivattyú leválhat a rendszerről, illetve a motor
leválhat a szivattyúházról. Ebben az esetben fémrészecskék repülhetnek szét
a szivattyúból vagy a rendszerből, ami komoly károkat illetve halálos
sérüléseket és/vagy a többi gép károsodását okozhatja.
Rögzítse a TV 902 Navigatort stabil helyzetben, a turbószivattyú
bemeneti karimáját a rendszer ellenkarimájára szerelve, 6800 Nm
tengely körüli nyomatéknak ellenállni képes csatlakozással.
Például ez a csavarmenetes karima rögzíthető nagy teherbírású M10
acélcsavarokkal (8.8-nál magasabb osztály).
A következő táblázat a csavarok szükséges számát és a rögzítő
nyomatékot mutatja.
KARIMA
CSAVARMÉRET
SZÁM
RÖGZÍTŐ NYOMATÉK
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
A ConFlat bemeneti karimás turbószivattyút a megfelelő Agilent
mechanikus alkatrészekkel kell rögzíteni a vákuumkamrához.
Részletes leírásért lásd „Műszaki információ”. A TV 902 Navigator
bármely helyzetben felszerelhető.
176/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
A szivattyú rögzítése
12
MEGJEGYZÉS A TV 902 Navigator nem rögzíthető az alapján keresztül.
FIGYELEM!
A TV 902 Navigator a második telepítési (vagy túlfeszültség) kategóriához
tartozik az EN 61010-1 szabvány szerint. Csatlakoztassa az eszközt a fenti
kategóriának megfelelő hálózatra. A TV 902 Navigatornak olyan
bemeneti/kimeneti és soros kommunikációs csatlózásai vannak, amelyeket
úgy kell külső áramkörökhöz csatlakoztatni, hogy semmilyen feszültség alatt
lévő rész ne legyen hozzáférhető. Győződjön meg arról, hogy a TV 902
Navigatorhoz csatlakoztatott eszköz szigetelése megfelelő még egyes hibák
esetén is az RN 61010-1 irányelv szerint.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
177/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Használat
Használat
Ez a bekezdés részletezi az alapvető üzemeltetési eljárásokat. A
rendszert, az üzemeltetés megkezdése előtt, minden elektromos és
pneumatikus csatlakozásra kösse rá. A vákuumkamra esetleges
felmelegedésekor a bemeneti karimánál mért hőmérséklet nem
haladhatja meg a 80 °C-ot.
VESZÉLY!
Soha ne használja a turbószivattyút, ha a bemeneti karima nincs
csatlakoztatva a vákuumkamrához, nem zárja azt le a lezárókarima! Ne
érintse meg a turbószivattyút vagy annak tartozékait a melegítési folyamat
közben! A magas hőmérséklet égési sérüléseket okozhat!
FIGYELEM!
Kerülje a turbószivattyú ütését, rázását vagy durva mozgatását üzem közben.
A csapágyak megsérülhetnek. Használjon portól és szilárd részektől mentes
levegőt vagy közömbös gázt a szivattyú átlevegőztetéséhez. A bemeneti
nyomásnak, a megfelelő bemenetnél mérve, 2 barnál kisebbnek kell lennie (a
légköri nyomás fölött). Agresszív gázok szivattyúzásához ezek a szivattyúk
egy különleges bemenettel vannak felszerelve, melyen keresztül közömbös
gáz (pl. N2, Ar) kell a szivattyúba áramoltatni, hogy megvédjük a csapágyakat
(lásd „Műszaki információ” c. függelék).
VESZÉLY!
178/292
Amikor a szivattyút mérgező, tűzveszélyes vagy radioaktív gázok
szivattyúzására használja, kövesse az egyes gázok kezelésére vonatkozó
eljárásokat! Ne használja a szivattyút robbanó gázok jelenlétében!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Használat
12
A TV 902 Navigator bekapcsolása és működtetése
A TV 902 Navigator bekapcsolásához elegendő azt rákapcsolni a
tápfeszültségre. A beépített vezérlő automatikusan felismeri a
kapcsolatot és a start jel jelenlétét, és elindítja a szivattyút.
A lágy indítás (Soft Start) üzemmódot arra tervezték, hogy a
szivattyút hosszabb működtetésmentes időszak után így indítsák be.
Aktivált lágy indítás üzemmóddal történő indításhoz a fenti
üzemmódot egy szoftveren keresztül kell beállítani (lásd az “RS
232/485 COMMUNICATION DESCRIPTION” (KOMMUNIKÁCIÓ
LEÍRÁSA) pontot a Műszaki információk c. mellékletben).
A TV 902 Navigator-en elhelyezett zöld LED a villogásának
gyakoriságával jelzi a rendszer üzemi körülményeit.
ha nem villog: a szivattyú rendesen forog;
ha lassan villog (kb. 400 ms-os periódus): a rendszer
gyorsulásban, fékezésben, leállás vagy „kapcsolatra vár”
állapotban van;
ha gyorsan villog (kb. 200 ms-os periódus): az meghibásodást
jelent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
179/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Használat
A TV 902 Navigator kikapcsolása
A TV 902 Navigator kikapcsolásához egyszerűen le kell kapcsolni a
tápfeszültséget. A beépített vezérlő azonnal leállítja a szivattyút.
VESZÉLY!
A gépkezelő biztonsága érdekében, a Turbo-V vezérlő egységet háromeres
betápkábellel kell ellátni (lásd a megrendelhető alkatrészek táblázatát), ami
egyik végén (nemzetközi szabvány szerinti) csatlakozó dugóval van ellátva.
Ezt a kábelt és csatlakozó dugót megfelelően földelt csatlakozó aljazattal
használja, hogy elkerülje az áramütés veszélyét, és eleget tegyen az EK
normatíváiban lefektetett biztonsági követelményeknek. A magasfeszültség,
ami az ellenőrző egységben keletkezik, súlyos sérüléseket, sőt halált
okozhat. Mielőtt az egység belsejében karbantartási munkát végezne,
kapcsolja le az egységről a tápfeszültség szolgáltató kábelt.
Vészleállítás
A TV 902 Navigator vészhelyzetben való azonnali leállításához ki kell
húzni a tápkábelt a hálózati aljazatból.
180/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Felhasználói Kézikönyv
Karbantartás
12
Karbantartás
A TV 902 Navigator nem igényel karbantartást. A rendszeren végzett
bármely karbantartási munkát arra jogosultsággal rendelkező
személyzetnek kell elvégeznie.
VESZÉLY!
Mielőtt bármely munkát elvégezne a rendszeren, válassza le azt a
tápfeszültségről, levegőztesse át a szivattyút a megfelelő szelep
kinyitásával, várjon, amíg a rotor forgása leáll, és amíg a szivattyú
felületének hőmérséklete 50 °C alá esik.
Meghibásodás esetén lépjen kapcsolatba a helyi Agilent
szervizközponttal, ahol tudnak adni egy helyreállított rendszert a
hibás helyett.
MEGJEGYZÉS Mielőtt javításra vagy cserére visszaküldi a rendszert a gyártóhoz, az ehhez a
kézikönyvhöz csatolt „Egészség és biztonság” űrlapot ki kell tölteni, és el kell
küldeni a helyi kereskedelmi irodához. Az űrlap egy másolatát szállítás előtt el kell
helyezni a rendszert tartalmazó csomagba.
Ha a szivattyút le kell selejtezni, azt a specifikus nemzeti
előírásoknak megfelelően ártalmatlanítani kell.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
181/292
12 Felhasználói Kézikönyv
Megsemmisítés
Megsemmisítés
A címkén jelenlévő "WEEE" logo jelentése. Az alább látható
szimbólum az EK "WEEE" elnevezésű irányelvével összhangban kerül
alkalmazásra. Ez a szimbólum (mely csak az Európai Közösség
országaiban érvényes), azt jelzi, hogy a termék, melyen megtalálható,
NEM kerülhet közönséges háztartási vagy ipari hulladékkal együtt
megsemmisítésre, hanem azt egy szelektív hulladékgyűjtő rendszerbe
kell továbbítani. A végfelhasználónak, a gyűjtési és megsemmisítési
eljárás beindítása céljából, az adásvételi szerződés határidőinek és
feltételeinek alapos áttanulmányozása után, fel kell vennie a
kapcsolatot a berendezés szállítójával, legyen ez a gyártó vagy egy
viszonteladó.
182/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
13
Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych 184
Ogólne informacje 185
Magazynowanie 187
Przygotowanie do instalacji 188
Instalacja
189
Mocowanie pompy
190
192
Użytkowanie
Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator
193
Zatrzymanie TV 902 Navigator 194
Zatrzymanie Alarmowe
194
Konserwacja
195
Przetworstwo odpadow
196
Tłumaczenie instrukcji oryginalnej
183/292
13 Podrecznik Instrukcji
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla
Pomp Turbomolekularnych
Wskazówki dotyczące bezpieczeństwa dla Pomp
Turbomolekularnych
Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obsługi
posiadają wysoką ilość energii kinetycznej spowodowanej bardzo
wysoką prędkością obrotową razem z masą właściwą wirników.
W przypadku uszkodzenia systemu, na przykład z powodu kontaktu
między wirnikiem a stojanem lub z powodu pęknięcia wirnika,
energia obrotowa może być zwolniona.
ZAGROZENIE!
184/292
Aby uniknąć uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciała
operatorów, należy obowiązkowo przestrzegać zaleceń dotyczących
instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obsługi!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Ogólne informacje
13
Ogólne informacje
Ta aparatura jest przeznaczona do użytku zawodowego. Użytkownik
musi przeczytać bardzo uważnie niniejszą instrukcję każdą
dodatkową informację dostarczoną przez firmę Agilent przed
użytkowaniem aparatury. Firma Agilent uchyla się od jakiejkolwiek
odpowiedzialności w przypadku częściowego lub całkowitego
nieprzestrzegania instrukcji, w przypadku niewłaściwego
użytkowania przez nieprzeszkolony personel, w przypadku
nieupoważnionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania
odpowiednich norm krajowych.
Urządzenie TV 902 Navigator jest zintegrowanym systemem
składającym się z pompy turbomolekularnej stosowanej do
wytwarzania wysokich i ultra wysokich próżni i z relatywnego
kontrollera. System jest w stanie pompować jakikolwiek typ gazu lub
mieszanki gazowej, ale nie jest przystosowany do pompowania
płynów lub stałych cząstek.
Efekt pompowania jest uzyskiwany poprzez turbinę obrotową o
wysokiej prędkości (max. 38000 obr./min) napędzaną przez
elektryczny silnik trójfazowy o wysokiej wydajności. Urządzenie TV
902 Navigator jest całkowicie pozbawiony czynników
zanieczyszczających, a więc odpowiedni do zastosowań gdzie jest
wymagana tzw.”czysta” próżnia.
Poza tym posiada konektory pomocnicze poprzez które istnieje
możliwość zasilania dodatkowego wentylatora, sterowania zaworem
wentylacyjnym, zdalnego kierowania nim z głównego komputera host
podłączonego do linii szeregowej (RS232 lub RS485).
W następnych paragrafach zostały przedstawione wszystkie
potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeństwa
operatora podczas użytkowania aparatury. Szczegółowe informacje
przedstawiono w dodatku „Technical information”.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
185/292
13 Podrecznik Instrukcji
Ogólne informacje
W tej instrukcji zastosowano następujące umowne znaczenia:
UWAGA!
ZAGROZENIE!
PRZYPIS
186/292
Komunikaty zwiększonej uwagi są wyświetlane przed procedurami i w
przypadku ich braku przestrzegania, może dojść do uszkodzenia aparatury.
Komunikaty niebezpieczeństwa przyciągają uwagę operatora co do danej
procedury lub danego postępowania którego nieprawidłowe wykonanie
mogłoby spowodować poważne uszkodzenia ciała.
Są to ważne informacje wyciągnięte z tekstu.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Magazynowanie
13
Magazynowanie
W celu zagwarantowania najwyższego poziomu funkcjonalności i
niezawodności pomp Turbomolekularnych Agilent należy
przestrzegać następujących zaleceń:
UWAGA!
podczas transportu, przestawiania i magazynowania pomp, nie
należy przekraczać następujących warunków środowiskowych:
temperatura: od –20 °C do 70 °C
względna wilgoć od 0 do 95 % ( bez opar)
klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp
turbomolekularnych, musi je zawsze uruchomić·
w sposób
Soft-Start
czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10
miesięcy od daty wysyłki.
Jeżeli z jakiegokolwiek powodu, czas magazynowania jest dłuższy, należy
odesłać pompę do fabryki. W celu jakiejkolwiek informacji, prosimy
skontaktować się z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
187/292
13 Podrecznik Instrukcji
Przygotowanie do instalacji
Przygotowanie do instalacji
Urządzenie TV 902 Navigator jest dostarczane w specjanym
ochronnym opakowaniu; w przypadku śladów uszkodzeń do których
mogłoby dojść podczas transportu, skontaktować się z miejscowym
biurem sprzedaży. Podczas rozpakowywania, należy zwrócić
szczególną uwagę aby nie spowodować upadku urządzenia TV 902
Navigator ani nie poddawać go uderzeniom lub wibracjom. Nie
porzucać opakowania w środowisku. Materiał ten nadaje się
całkowicie do recyklingu bo zgodny z dyrektywą UE 85/399
dotyczącej ochrony środowiska.
UWAGA!
PRZYPIS
Aby uniknąć problemów odgazowywania, należy nie dotykać gołymi rękoma
części przeznaczonych do wytwarzania próżni. Należy zawsze stosować
odpowiednie rękawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie.
Urządzenie TV 902 Navigator, nie może być uszkodzone poprzez wystawienie go
na działanie atmosfery. Dlatego też zaleca się aby pompa do momentu
zainstalowania jej w systemie pozostała zamknięta, celem uniknięcia
zanieczyszczenia jej pyłem.
Posta 1
188/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Instalacja
13
Instalacja
UWAGA!
Usunąć taśmę klejącą i zdjąć korek zabezpieczający dopiero w momencie
połączenia pompy do systemu.
Przyrząd ten należy umieszczać w miejscach zamkniętych, i nie
stosować go w miejscach wystawionych na działanie czynników
atmosferycznych (deszcz, mróz, śnieg), pyłów, niszczących gazów, w
środowiskach wybuchowych lub z wysokim ryzykiem pożarowym.
Podczas działania należy obowiązkowo przestrzegać następujących
warunkówi otoczenia:
maksymalne ciśnienie: 2 bary ponad ciśnieniem atmosferycznym
temperatura: od +10 °C do +35 °C
względna wilgoć: 0 – 90 % (bez opar).
W obecności pól elektromagnetycznych pompa musi być odpowiednio
zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie. W celu
szczegółowego zapoznania się z tematem patrz dodatek “Technical
Information”
TV 902 Navigator musi być podłączony do głównej pompy (patrz
schemat w “Technical Information”)
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
189/292
13 Podrecznik Instrukcji
Mocowanie pompy
Mocowanie pompy
ZAGROZENIE!
W przypadku uszkodzenia wirnika, złącze między pompą i systemem może
być narażone na bardzo wysoki moment. Jeżeli złącze jest niewystarczające
by wytrzymać wspomiany moment, pompa może się odczepić od systemu lub
silnik może odczepić się od obudowy pompy. W takim przypadku fragmenty
metalu mogą być wyrzucone przez pompę lub przez system, i mogą one
spowodować poważne uszkodzenia lub śmierć osób, jak i uszkodzić
aparaturę znajdującą się w pobliżu systemu.
Zamocować TV 902 Navigator w pozycji stabilnej, montując kołnierz
wejścia turbopompy do kołnierza systemu, dokręcając w taki sposób
aby połączenie to wytrzymało moment 6800 Nm wokół własnej osi.
Na przykład, ta Bolted Flange może być zamocowana śrubami M10
stalowymi o dużej wytrzymałości ( powyżej klasy 8.8).
Niniejsza tabela opisuje ilość potrzebnych śrub i na jaki moment
trzeba je dokręcić.
KOŁNIERZ
WYMIARY ŚRUBY
Nr.
MOMENT DOKRĘCENIA
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbopompa z kołnierzem wejściowym ConFlat musi być
przymocowana do komory próżniowej odpowiednimi, małymi
narzędziami firmy Agilent. Aby poznać dodatkowe detale, patrz
dodatek „Technical Information”. TV 902 Navigator może być
zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji.
190/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Mocowanie pompy
PRZYPIS
TV 902 Navigator nie może być zamocowany poprzez własną podstawę.
UWAGA!
TV 902 Navigator należy do drugiej kategorii instalacji (lub nadnapięcia)
przewidzianej przez normę EN 61010-1. Dlatego też podłączyć urządzenie do
linii zasilania która spełnia te wymogi. TV 902 Navigator posiada konektory
wejściowe/ wyjściowe i do przekazu szezregowego które muszą być
podłączone do obwodów zewnętrznych w sposób aby żadna część znajdująca
się pod napięciem nie mogła być dostępna. Należy upewnić się że izolacja
przyrządu podłączonego do TV 902 Navigator, posiada odpowiednie nawet w
stanie pojedynczej usterki odizolowanie zgodnie z wymaganiami normy EN
61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
13
191/292
13 Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
Użytkowanie
W tym paragrafie zostały przedstawione główne procedury
operatywne. Przed zastosowaniem systemu należy wykonać
wszystkie połączenia elektryczne i pneumatyczne. Podczas
ewentualnego nagrzania komory próżniowej, temperatura na
kołnierzu nie może przekroczyć 80 °C.
ZAGROZENIE!
Nie należy nigdy uruchomiać pompy kiedy kołnierz wejściowy nie jest
podłączony do komory lub nie jest zamknięty kołnierzem zamykającym. Nie
dotykać turbopompy i jej ewentualnych akcesoriów podczas operacji
nagrzewania. Wysoka temperatura może spowodować uszkodzenia ciała na
osobach.
UWAGA!
Unikać uderzeń, wahań lub gwałtownych przesunięć turbopompy podczas jej
działania. Mogą uszkodzić się łożyska. Dla wlotu powietrza pompy stosować
powietrze lub obojętny gaz bez pyłu lub innych cząstek. Ciśnienie wejściowe
poprzez odpowiedni wlot musi być niższe od 2 barów ( ponad ciśnienie
atmosferyczne). Do pompowania niszczących gazów pompy te są wyposażone
w odpowiedi wlot poprzez który należy dostarczyć pompie przepływ
obojętnego gazu (Azot lub Argon) celem zabezpieczenia łożysk (Patrz dodatek
„Technical Information”).
ZAGROZENIE!
192/292
Kiedy pompa jest stosowana do pompowania gazów toksycznych, łatwo
palnych lub radioaktywnych, należy wykonać odpowiednie procedury
typowe dla każdego z gazów. Nie stosować pompy w obecności gazów
wybuchowych.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
13
Włączenie i Użytkowanie TV 902 Navigator
Aby włączyć TV 902 Navigator wystarczy dostarczyć napięcie
zasilania. Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecność
sygnałów interlock-u i uruchomienia i uruchamia pompę.
Sposób “Soft Start” został przewidziany do włączenia pompy po
długim okresie jej nie eksploatowania. By uruchomić pompę
uaktywnionym sposobem “Soft Start” należy odpowiednio
przystosować software (przeczytaj paragraf “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” w dodatku “Technical
Information”).
Zielona dioda LED znajdująca się na panelu podstawy TV 902
Navigator wskazuje częstotliwością własnego migania, stan
operatywny systemu:
zaświecona na stałe: pompa znajduje się w normalnych obrotach;
miga powoli ( okres 400 ms.): system w stanie zbocza, lub
hamowania, lub w stanie Stop lub w stanie “Waiting for
interlock”;
miga szybko ( okres 200 ms.): stan błędu.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
193/292
13 Podrecznik Instrukcji
Użytkowanie
Zatrzymanie TV 902 Navigator
Aby zatrzymać TV 902 Navigator wystarczy odłączyć napięcie
zasilania. Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompę.
ZAGROZENIE! Dla zagwarantowania bezpieczeństwa operatorowi, kontroler Turbo-V
powinien być zasilany kablem zasilającym o 3 przewodach (zobacz tabelę
części dających się zamówić) i zamontowaną wtyczką (zgodna z
międzynarodowymi normami). Kabel ten wraz z wtyczką podłączyć do
kontaktu uziemionego celem uniknięcia porażeń prądem elektrycznym oraz
spełnienia wymogów norm CE. Duże siły wewnętrzne wytwarzające się w
kontrolerze mogą spowodować poważne uszkodzenia ciała lub śmierć.
Przed przeprowadzeniem czynności konserwacyjnych wewnątrz tego
urządzenia odłączyć kabel zasilający.
Zatrzymanie Alarmowe
Aby zatrzymać w stanie awaryjno-alarmowym TV 902 Navigator
należy wyciągnąć kabel zasilania ze sterownika.
194/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Podrecznik Instrukcji
Konserwacja
13
Konserwacja
Urządzenie TV 902 Navigator nie wymaga żadnej konserwacji.
Jakakolwiek interwencja musi być wykonana przez upoważniony
personel.
ZAGROZENIE!
Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie, należy odłączyć
go od zasilania, otworzyć odpowiedni zawór wlotu powietrza, odczekać aż
do całkowitego zatrzymania wirnika i odczekać aż temperatura powierzchni
pompy będzie poniżej 50 °C.
W przypadku usterki możliwe jest skorzystanie z serwisu
naprawczego Agilent który pozwoli na uzyskanie zregenerowanego
systemu w zastępstwie uszkodzonego systemu.
PRZYPIS
Przed wysyłką systemu do konstruktora celem naprawy lub advanced exchange
service, należy obowiązkowo wypełnić i przekazać do miejscowego biura
sprzedaży kartę „Bezpieczeństwo i Zdrowie” załączoną do niniejszej instrukcji.
Jeden egzemplarz karty musi być włożony do opakowania systemu przed jego
wysyłką.
Jeżeli pompa musi być poddana rozbiórce, rzystąpić do jej eliminacji
zgodnie z obowiązującymi krajowymi normami w meritum sprawy.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
195/292
13 Podrecznik Instrukcji
Przetworstwo odpadow
Przetworstwo odpadow
Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo “WEEE”.
Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia “WEEE”
Unii Europejskiej. Symbol ten (prawomocny tylko w krajach Unii
Europejskiej) oznacza, ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE
moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub
przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu
przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej . Dlatego
tez poleca sie uzytkownikowi, , po uprzedniej weryfikacji terminu i
warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy, nawiazac kontakt z
dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu
zbiorki i przerobu.
196/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
14
Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy 198
Všeobecné informace 199
Uskladnění
201
Příprava k instalaci
202
Instalace
203
Upevnění vývěvy 204
Použití 206
Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator 207
Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator 208
Nouzové zastavení 208
Údržba 209
Likvidace
210
Překlad originálního návodu
197/292
14 Návod k Použití
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární
vývěvy
Bezpečnostní návod pro Turbomolekulární vývěvy
Turbomolekulární vývěvy, jak jsou popisovány v následujícím
návodu, obsahují velké množství kinetické energie díky vysoké
otáčivé rychlosti v kombinaci s konkrétním objemem jejich rotorů.
V případě systémové nefunkčnosti, např. kontaktu rotoru anebo
statoru nebo při zhroucení rotoru může dojít k uvolnění rotační
energie.
NEBEZPEČÍ!
198/292
Pokyny k instalaci uvedené v tomto návodu musí být přísně dodržovány za
účelem prevence poškození zařízení a zranění obsluhy!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Všeobecné informace
14
Všeobecné informace
Toto zařízení je určeno pro odborníky. Uživatel by si měl před
použitím zařízení přečíst tento návod a všechny další informace
dodané firmou Agilent. Firma Agilent neodpovídá za jakékoli nehody,
které vzniknou následkem i částečného nedodržení těchto pokynů,
nesprávným používáním neznalými osobami, neoprávněným zásahem
do zařízení nebo jakoukoli činností, která je v rozporu s pokyny
uvedenými v příslušných státních normách.
Vývěva TV 902 Navigator je integrovaný systém s turbomolekulární
vývěvou a příslušným regulátorem pro takové aplikace, kde se
požaduje vysoké a velmi vysoké vakuum. Zařízení může odčerpávat
libovolný plyn nebo plynnou směs. Není vhodný na čerpání tekutin
nebo pevných částic.
Čerpání zajišťuje velmi rychlá turbína (max. 38000 ot./min.)
poháněná vysoce výkonným trojfázovým elektromotorem. Vývěva TV
902 Navigator neobsahuje žádné kontaminující látky a proto se hodí
pro aplikace vyžadující „čisté" vakuum.
Je vybavena přídavnými konektory pro připojení přídavného
ventilátoru, ovládání odvzdušňovacího ventilu, který je ovládán na
dálku pomocí hostitelského počítače připojeného sériovou linkou
(RS232 nebo RS485).
Následující odstavce obsahují informace potřebné k zajištění
bezpečnosti obsluhy při používání této vývěvy. Podrobné informace
jsou uvedeny v příloze „Technické informace".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
199/292
14 Návod k Použití
Všeobecné informace
Tento manuál používá následující standardní protokol:
POZOR!
NEBEZPEČÍ!
POZNÁMKA
200/292
Výstražná hlášení jsou uvedena před postupy, které by v případě nedodržení
mohly poškodit zařízení.
Varovná hlášení jsou určena pro upozornění obsluhy na určitý postup nebo
činnosti, které by v případě nedodržení mohly způsobit vážný úraz.
Poznámky obsahují důležité informace převzaté z textu.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Uskladnění
14
Uskladnění
Aby byla zajištěna maximální provozuschopnost a spolehlivost
turbomolekulárních vývěv firmy Agilent, musíte dodržovat
následující pokyny:
POZOR!
Při přepravě, přemísťování a skladování vývěv byste neměli
překračovat následující technické podmínky prostředí:
Teplotní rozpětí : -20 °C až 70 °C
Rozpětí vlhkosti: 0 až 95 % (bez srážení)
turbomolekulární vývěvy musí uživatel po dodávce a poprvé
vždycky spouštět pozvolně
skladovatelnost turbomolekulární vývěvy je 10 měsíců ode dne
doručení.
Pokud dojde z jakéhokoli důvodu k překročení skladovací lhůty, vývěvu musíte
vrátit výrobci. Informujte se prosím u místního zástupce pro prodej a servis
vývěv firmy Agilent.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
201/292
14 Návod k Použití
Příprava k instalaci
Příprava k instalaci
Vývěva TV 902 Navigator se dodává ve speciálním ochranném balení.
Pokud toto balení vykazuje známky poškození, k němuž mohlo dojít
během přepravy, kontaktujte vaši místní prodejní pobočku. Při
vybalování dávejte pozor, aby vývěva TV 902 Navigator nespadla a
chraňte ji před, otřesy nebo vibracemi. Balicí materiál nevyhazujte do
volného prostředí. Tento materiál lze 100% recyklovat a splňuje
požadavky směrnice EEC 85/399 na téma životního prostředí.
POZOR!
Aby se zamezilo problémům s odplyňováním, nepoužívejte holé ruce při
manipulaci s komponenty, které budou vystaveny vakuu. Vždy používejte
rukavice nebo jinou vhodnou ochranu.
POZNÁMKA Normální prostředí nechráněnou vývěvu TV 902 Navigator nemůže poškodit.
Přesto doporučujeme, abyste ji nechali zakrytou, dokud nebude nainstalována do
systému a tím se ochránila před jakýmkoli znečištěním a prachem.
Postava 1
202/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Instalace
14
Instalace
POZOR!
Před připojením turbomolekulární vývěvy do systému nesundávejte adhezní a
ochranné víko.
Toto zařízení instalujte pouze v místnosti a v žádném případě vývěvu
nepoužívejte v prostředí, kde by byla vystavena atmosférickým
vlivům (déšť, mráz, sníh), prachu, agresivním plynům, ve výbušném
prostředí nebo v prostředí s vysokým nebezpečím požáru.
Za provozu je třeba dodržovat následující podmínky dané prostředím:
maximální tlak: 2 bary nad atmosférickým tlakem
teplota: od +10 °C do +35 °C
relativní vlhkost: 0 - 90% (bez srážení).
V přítomnosti magnetických polí se vývěva musí chránit
feromagnetickým stíněním. Viz podrobné informace v příloze
„Technické informace".
Vývěva TV 902 Navigator se musí připojit k primárnímu čerpadlu (viz
„Technické informace").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
203/292
14 Návod k Použití
Upevnění vývěvy
Upevnění vývěvy
NEBEZPEČÍ!
Pokud dojde k poruše rotoru, propojení vývěvy se systémem by mohlo být
vystaveno velkému točivému momentu. Pokud toto propojení nebude
schopno vydržet tento točivý moment, vývěva by se mohla odpojit od
systému nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pláště vývěvy. V
tomto případě by z vývěvy nebo systému mohly vyletět kovové úlomky, které
by mohly způsobit vážný úraz nebo smrt a také poškodit okolní zařízení.
Vývěvu TV 902 Navigator umístěte do stabilní polohy a přívodní
přírubu turbomolekulární vývěvy připevněte k protipřírubě systému
pomocí přípojky, která odolá točivému momentu 6800 Nm kolem své
osy.
Např. přírubu Bolted Flange lze připevnit. vysokopevnostními
ocelovými šrouby M10 (třídy vyšší než 8.8).
Následující tabulka uvádí nezbytný počet šroubů a příslušný
utahovací moment.
PŘÍRUBA
VELIKOST ŠROUBŮ
POČET
UTAHOVACÍ MOMENT
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Při připojování turbomolekulární vývěvy s přívodní přírubou ConFlat
k vakuové komoře použijte příslušné mechanické prvky zn. Agilent.
Viz podrobný popis v příloze „Technické informace". Vývěva TV 902
Navigator se může instalovat v libovolné poloze.
204/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Upevnění vývěvy
POZNÁMKA
POZOR!
14
Vývěvu TV 902 Navigator nelze připevňovat využitím její základny.
Podle směrnice EN 61010-1 patří vývěva TV 902 Navigator do druhé
elektroinstalační (nebo přepěťové) třídy. Zařízení připojte do napájecí sítě,
která splňuje uvedenou třídu. Vývěva TV 902 Navigator je vybavena vstupními
a výstupními konektory a konektory pro sériovou komunikaci, které se musí
připojit k externím obvodům tak, aby žádná elektrická součást nebyla
přístupná. Zajistěte, aby izolace zařízení připojeného k vývěvě TV 902
Navigator byla přiměřená i v případě jediné poruchy podle směrnice
EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
205/292
14 Návod k Použití
Použití
Použití
Tento odstavec popisuje podrobnosti základních pracovních postupů.
Před použitím systému proveďte všechna elektrická a pneumatická
připojení. Při zahřívání vakuové komory teplota přívodní příruby
nesmí překročit 80 °C.
NEBEZPEČÍ!
Turbomolekulární vývěvu nikdy nepoužívejte, nebude-li přívodní příruba
připojená k vakuové komoře nebo nemá-li utaženou zavírací přírubu. Během
zahřívání se turbomolekulární vývěvy ani jejího příslušenství nedotýkejte.
Vysoká teplota může způsobit popáleniny.
POZOR!
Během chodu chraňte vývěvu před nárazy, vibracemi a prudkými pohyby.
Mohla by se poškodit ložiska. Pro odplynění vývěvy používejte vzduch nebo
inertní plyn, který je zbaven prachu a smítek. Tlak při odvětrávacím otvoru
musí být menší než 2 bary (nad atmosférickým tlakem). Pro čerpání
agresivních plynů jsou tyto vývěvy vybaveny speciálním otvorem, který
umožňuje plynulý přítok inertního plynu (např. N2, Ar) pro ochranu ložisek
vývěvy (viz přílohu „Technické informace").
NEBEZPEČÍ!
Pokud používáte vývěvu pro čerpání toxických, hořlavých nebo
radioaktivních plynů, dodržujte prosím požadované postupy pro likvidaci
každého plynu. Vývěvu nepoužívejte v přítomnosti výbušných plynů.
206/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Použití
14
Zapnutí a používání vývěvy TV 902 Navigator
Pro uvedení vývěvy TV 902 Navigator do provozu je nutné přivést
síťové napětí. Integrovaný regulátor automaticky zjišťuje přítomnost
signálů blokování a spouštěcích signálů a uvede vývěvu do provozu.
Pozvolný rozběh (Soft Start) se používá pro zapínání vývěvy po delší
přestávce. Pro zapnutí s aktivním pozvolným rozběhem je nutno
obnovit tento způsob v softwaru (viz odstavec „RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION“ v příloze „Technické informace“).
Zelená kontrolka umístěná na panelu základny vývěvy TV 902
Navigator indikuje provozní stavy systému blikáním:
bez blikání: vývěva se otáčí normálně;
pomalé blikání (interval cca 400 ms): systém se pozvolna rozbíhá
nebo brzdí, nebo stojí, nebo je ve stavu „čekání na blokování”;
rychlé blikání (interval cca 200 ms): poruchový stav.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
207/292
14 Návod k Použití
Použití
Vypnutí vývěvy TV 902 Navigator
Vývěva TV 902 Navigator se vypne odpojením síťového napětí.
Vestavěný regulátor vývěvu okamžitě zastaví.
NEBEZPEČÍ!
Pro zajištění bezpečnosti obsluhy musí být regulátor čerpadla Turbo-V
napájený trojžilovým přívodním kabelem (viz tabulka dílů, které lze
doobjednat) se zástrčkou (mezinárodně schválenou). Používejte tento kabel
se zástrčkou a patřičně uzemněnou zásuvku, abyste předešli úrazu
elektrickým proudem a aby byly zaručené požadavky norem ES. Vysoké
napětí, které vzniká v regulátoru může způsobit vážné zranění, i smrtelné.
Před prováděním zásahů údržby uvnitř jednotky přívodní kabel odpojte.
Nouzové zastavení
Pro okamžité zastavení vývěvy TV 902 Navigator v nouzové situaci je
třeba odpojit napájecí kabel z regulátoru.
208/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod k Použití
Údržba
14
Údržba
Vývěva TV 902 Navigator nevyžaduje žádnou údržbu. Veškeré práce
na tomto zařízení musí provádět oprávněné osoby.
NEBEZPEČÍ!
Než začnete provádět jakékoli práce na tomto zařízení, odpojte jej od sítě,
odvzdušněte vývěvu otevřením příslušného ventilu, počkejte, až se rotor
přestane otáčet a počkejte, dokud povrchová teplota vývěvy neklesne pod
50 °C.
V případě poruchy kontaktujte technický servis firmy Agilent, který
může dodat náhradní repasované zařízení výměnou za porouchané.
POZNÁMKA Před odesláním vývěvy výrobci na opravu nebo výměnu za repasovaný kus vyplňte
list „Zdraví a bezpečnost“ přiložený k tomuto návodu a odešlete ho do kanceláře
místního prodejního oddělení. Před odesláním přibalte k zařízení kopii tohoto listu.
Pokud se má zařízení vyřadit, musí se zlikvidovat v souladu s
konkrétními státními normami.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
209/292
14 Návod k Použití
Likvidace
Likvidace
Význam loga "WEEE" nacházejícího se na štítku. Níže uvedený
symbol odpovídá směrnicím CE pojmenovaným "WEEE". Tento
symbol (platný jen pro státy Evropské Unie) určuje, že výrobek,
který je takto označen NESMÍ být likvidován společně s ostatními
domácími nebo průmyslovými odpady, ale je nutno ho předat do
patřičných provozních sběren, kde musí být tříděn a likvidován
odděleně od městského odpadu. Uživateli, který míní výrobek
likvidovat doporučujeme, aby se nakontaktoval přímo s výrobcem
nebo prodejcem, který se po patřičném prověření termínů a
smluvních podmínek postará o kompletní likvidaci uvedeného
výrobku.
210/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
15
Návod na Obsluhu
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy
Všeobecné informácie 213
Uchovávanie
215
Príprava na inštaláciu 216
Inštalácia
217
Upevnenie vývevy 218
Použitie
220
Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator
Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator
222
Núdzové zastavenie
222
Údržba 223
Likvidácia
224
212
221
Preklad originálneho návodu
211/292
15 Návod na Obsluhu
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne
vývevy
Bezpečnostné pokyny pre Turbomolekulárne vývevy
Turbomolekulárne vývevy, opísané v nasledujúcej príručke, sa
vyznačujú vysokou kinetickou energiou, a to vďaka vysokej rýchlosti
otáčania v kombinácii so špecifickou hmotnosťou svojich rotorov.
V prípade systémovej poruchy, napr. pri kontakte rotora a statora
alebo pri zlomení rotora, sa može uvolniť rotačná energia.
NEBEZPEČÍ!
212/292
Pokyny k inštalácii uvedené v tomto návode musia byť dôsledne dodržované,
aby nedošlo k poškodeniu zariadenia alebo k zraneniu obsluhy!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Všeobecné informácie
15
Všeobecné informácie
Toto zariadenie je určené pre profesionálnych pracovníkov. Skôr než
začnete zariadenie používať, prečítajte si návod na použitie a všetky
ďalšie pokyny spoločnosti Agilent. Spoločnosť Agilent nenesie žiadnu
zodpovednosť za akékoľvek udalosti, zapríčinené postupom, ktorý
nie je v súlade, dokonca ani v čiastočnom súlade, s týmito pokynmi,
zapríčinené nesprávnym používaním zariadenia nepoučenými
osobami, neoprávnenou úpravou zariadenia alebo akýmkoľvek
postupom, ktorý je v rozpore so špecifickými normami danej krajiny.
Zariadenie TV 902 Navigator predstavuje integrovaný systém s
turbomolekulárnou vývevou pre vysoké a ultravysoké vákuové
aplikácie s príslušným kontrolným modulom. Systém dokáže
odčerpať ľubovoľný typ plynu alebo plynnej zmesi. Nie je vhodný na
odčerpávanie tekutín alebo pevných častíc. Odčerpávanie
zabezpečuje vysokorýchlostná rotačná turbína (max. 38000
otáčok/minútu), poháňaná vysokovýkonným 3-fázovým elektrickým
motorom. Zariadenie TV 902 Navigator neobsahuje žiadne
kontaminačné činidlá, a preto sa hodí pre aplikácie, vyžadujúce
„čisté“ vákuum.
Zariadenie je vybavené pomocnými konektormi na pri-pojenie
ďalšieho ventilátora, na ovládanie vetracieho ventilu a na diaľkové
ovládanie pomocou hostiteľského počítača, pripojeného cez sériovú
komunikačnú linku (RS232 alebo RS485).
Nasledujúce časti obsahujú všetky potrebné informácie, ktoré
zaručujú bezpečnosť pracovníka v priebehu práce so zariadením.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické
informácie“.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
213/292
15 Návod na Obsluhu
Všeobecné informácie
Návod na použitie obsahuje tieto štandardné označenia:
POZOR!
NEBEZPEČÍ!
POZNÁMKA
214/292
Upozornenia označujú postupy, nedodržanie ktorých môže spôsobiť
poškodenie zariadenia.
Varovania majú sústrediť pozornosť pracovníka na určitý postup alebo
činnosť, nesprávne vykonanie ktorých môže spôsobiť vážne zranenie.
Poznámky upozorňujú na dôležité informácie v texte.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Uchovávanie
15
Uchovávanie
Ak chcete, aby turbomolekulárne vývevy značky Agilent podávali
maximálny a spoľahlivý výkon, dodržiavajte nasledujúce pokyny:
POZOR!
neprekračujte nasledujúce podmienky prostredia počas prevozu,
prenášania a uchovávania vývev:
rozsah teplôt: -20 °C až 70 °C
rozsah relatívnej vlhkosti: 0 až 95 % (bez kondenzácie)
zákazník musí pri prvom spustení turbomolekulárnej vývevy vždy
použiť režim soft štartu
skladovateľnosť turbomolekulárnej vývevy je 10 mesiacov odo
dňa dodania
Ak z akéhokoľvek dôvodu vyprší čas skladovateľnosti zariadenia, vráťte vývevu
do závodu, v ktorom bola vyrobená. Informácie získate u miestneho
zastúpenia spoločnosti Agilent pre predaj a servis.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
215/292
15 Návod na Obsluhu
Príprava na inštaláciu
Príprava na inštaláciu
Zariadenie TV 902 Navigator sa dodáva v špeciálnom ochrannom
balení. Ak je balenie poškodené (čo sa môže stať napríklad počas
dopravy), obráťte sa na miestneho predajcu. Počas vybaľovania
dbajte na to, aby zariadenie nespadlo, nebolo vystavené nárazu alebo
prudkému otrasu či vibráciám. Obalový materiál nevyhadzujte, ale
zlikvidujte predpísaným spôsobom. Materiál je 100% recyklovateľný a
spĺňa požiadavky normy EEC 85/399 na ochranu životného
prostredia.
POZOR!
Ak chcete predísť problémom s odplyňovaním, nechytajte komponenty, ktoré
budú vystavené vákuu holými rukami. Vždy používajte rukavice alebo inú
vhodnú ochranu.
POZNÁMKA Bežné vystavenie vplyvu prostredia nemôže zariadenie TV 902 Navigator poškodiť.
Napriek tomu je vhodné, aby zariadenie zostalo zabalené až do inštalácie kvôli
prevencii usadzovania prachu.
Postava 1
216/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Inštalácia
15
Inštalácia
POZOR!
Neodstraňujte lepiacu pásku a ochranný uzáver skôr, než pripojíte
turbovývevu k systému.
Zariadenie vždy nainštalujte v miestnosti a v žiadnom prípade ho
nepoužívajte v prostredí, v ktorom by bolo vystavené vplyvu počasia
(dážď, sneh, mráz), prachu, agresívnym plynom, výbušným alebo
veľmi horľavým látkam.
Počas činnosti zariadenia je potrebné zabezpečiť tieto vlastnosti
prostredia:
maximálny tlak: 2 bary nad úrovňou atmosférického tlaku
teplota: od +10 °C do +35 °C
relatívna vlhkosť: 0 - 90% (bez kondenzácie)
V prítomnosti magnetického poľa musí byť výveva chránená
vhodným ochranným štítom. Podrobné informácie sa nachádzajú v
dodatku „Technické informácie“.
Zariadenie TV 902 Navigator sa musí pripojiť k primárnej výveve
(pozri „Technické informácie“).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
217/292
15 Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
Upevnenie vývevy
NEBEZPEČÍ!
Ak sa objaví chyba rotora, pripojenie vývevy k systému bude vystavené
silnému točivému momentu. Ak pripojenie nie je dostatočne pevné, aby
točivému momentu odolalo, môže sa odpojiť výveva od systému alebo kryt
motora od plášťa vývevy. V takom prípade sa môžu z vývevy alebo systému
prudko vymrštiť kovové časti a spôsobiť vážne zranenie alebo smrť a/alebo
poškodiť ďalšie zariadenia.
Upevnite zariadenie TV 902 Navigator do stabilnej polohy tak, že
pripevníte vstupnú prírubu turbovývevy k protiprírube systému.
Pripojenie musí byť schopné vydržať točivý moment 6800 Nm okolo
vlastnej osi. Napríklad skrutkovacia príruba sa môže upevniť
pomocou veľmi pevných oceľových skrutiek M10 (trieda vyššia než
8.8). Nasledujúca tabuľka uvádza potrebný počet skrutiek a potrebný
uťahovací moment.
PRÍRUBA
ROZMER SKRUTIEK
POČET
UŤAHOVACÍ MOMENT
DN-160
skrutkovacia
M10
8
5 Nm
Turbovýveva s prírubou ConFlat musí byť pripojená k vákuovej
komore pomocou vhodných mechanických súčiastok značky Agilent.
Podrobné informácie sa nachádzajú v dodatku „Technické
informácie“. Zariadenie TV 902 Navigator môže byť nainštalované v
ľubovoľnej polohe.
218/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Upevnenie vývevy
15
POZNÁMKA
Zariadenie TV 902 Navigator sa nemôže upevniť pomocou vlastnej základne.
POZOR!
Zariadenie TV 902 Navigator patrí do druhej inštalačnej (prepäťovej) kategórie
podľa normy EN 61010-1. Zariadenie je potrebné pripojiť ku zdroju napájania,
ktorý vyhovuje uvedenej kategórii. Zariadenie TV 902 Navigator má konektory
pre vstup/výstup a konektory sériovej komunikácie, ktoré je potrebné pripojiť
k vonkajšiemu okruhu tak, aby k žiadnej súčiastke pod napätím nebol prístup.
Presvedčite sa, či zariadenie, pripojené k TV 902 Navigator má adekvátnu
izoláciu aj pre prípad samostatnej chyby podľa normy EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
219/292
15 Návod na Obsluhu
Použitie
Použitie
Táto časť popisuje základné spôsoby použitia zariadenia. Skôr než
začnete systém používať, zapojte všetky elektrické a pneumatické
pripojenia. Teplota vstupnej príruby počas zahrievania vákuovej
komory nesmie prekročiť 80 °C.
NEBEZPEČÍ!
Nikdy nepoužívajte turbovývevu, ak vstupná príruba nie je pripojená k
vákuovej komore alebo ak nie je zablendovaná. V priebehu zahrievania sa
nikdy nedotýkajte turbovývevy ani žiadneho príslušenstva. Vysoké teploty
môžu spôsobiť popáleniny
POZOR!
Dbajte na to, aby výveva počas činnosti nebola vystavená nárazom, kmitaniu
alebo prudkým pohybom. Mohli by sa poškodiť ložiská. Vývevu vetrajte
pomocou vzduchu alebo inertného plynu, zbaveného prachu a častíc. Tlak na
ventilačnom vstupe musí byť nižší než 2 bary (nad atmosférickým tlakom).
Vývevy sú vybavené špeciálnym vstupom na odčerpávanie agresívnych
plynov, cez ktorý sa do vývevy musí privádzať inertný plyn (N2 alebo Ar) kvôli
ochrane ložísk vývevy (pozri dodatok „Technické informácie“).
NEBEZPEČÍ!
220/292
Ak vývevu používate na odčerpávanie toxických, horľavých alebo
rádioaktívnych plynov, dodržiavajte prosím požadované postupy pre
likvidáciu jednotlivých plynov. Nepoužívajte vývevu v prítomnosti výbušných
plynov.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Použitie
15
Zapnutie a použitie zariadenia TV 902 Navigator
Ak chcete zapnúť zariadenie TV 902 Navigator, musíte ho pripojiť ku
zdroju napájania. Integrovaný kontrolný modul automaticky
rozpozná signály spojenia a spustenia a zapne vývevu.
Štartovací režim „Soft Start“ (jemný štart) sa používa pri uvedení
vývevy do chodu po dlhom období mimo prevádzky. Ak si želáte
uviesť zariadenie do chodu v režime „Soft Start“, musíte ho aktivovať
príslušným softvérovým príkazom (viď odsek “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” v prílohe “Technické
informácie").
Zelená dióda LED na základnom čelnom paneli zariadenia TV 902
Navigator ukazuje frekvenciou blikania spôsob činnosti systému:
žiadne blikanie: výveva normálne rotuje
pomalé blikanie (interval asi 400 ms): systém je v niektorom
z týchto stavov: nábeh, brzdenie, Stop alebo „Čakanie na
spojenie“;
rýchle blikanie (interval asi 200 ms): chybový stav
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
221/292
15 Návod na Obsluhu
Použitie
Vypnutie zariadenia TV 902 Navigator
Ak chcete vypnúť zariadenie TV 902 Navigator, musíte odpojiť
napájanie. Zabudovaný kontrolný modul vývevu okamžite zastaví.
NEBEZPEČÍ!
Z dôvodu bezpečnosti obsluhujúceho pracovníka musí byť kontrolné
zariadenie napájané pomocou 3-žilovej šnúry (viď tabuľku dielov, ktoré
možno objednať) so zástrčkou (medzinárodne schválenou). Túto šnúru so
zástrčkou používajte spolu s vhodne uzemnenou zásuvkou, aby nedošlo k
zásahu elektrickým prúdom a aby boli splnené požiadavky noriem ES.
Vysoké napätie v kontrolnom zariadení môže spôsobiť vážne škody alebo
smrť. Prv než začnete prevádzať údržbárske práce v tejto jednotke, odpojte
napájaciu šnúru.
Núdzové zastavenie
Ak chcete zariadenie TV 902 Navigator okamžite vypnúť v stave
núdze, musíte odpojiť kábel napájania kontrolného modulu.
222/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Návod na Obsluhu
Údržba
15
Údržba
Zariadenie TV 902 Navigator nevyžaduje žiadnu údržbu. Akékoľvek
úpravy a opravy systému musí vykonať kvalifikovaný personál.
NEBEZPEČÍ!
Skôr než začnete čokoľvek robiť v systéme, odpojte ho od zdroja napájania,
vyvetrajte vývevu tak, že otvoríte príslušný ventil, počkajte, kým sa rotor
neprestane otáčať a kým teplota povrchu vývevy neklesne pod 50 ºC.
V prípade poruchy zariadenia vyhľadajte servisné stredisko
spoločnosti Agilent, kde vám pokazenú vývevu vymenia za funkčnú.
POZNÁMKA Skôr, než systém odošlete na opravu alebo výmenu, musíte vyplniť dotazník
“Zdravie a bezpečnosť”, pripojený k návodu na použitie, a odoslať miestnemu
predajcovi. Kópiu dotazníka vložte do balíka so systémom a odošlite spolu s ním.
Ak je potrebná likvidácia systému, musí prebehnúť v súlade so
špecifickými predpismi danej krajiny.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
223/292
15 Návod na Obsluhu
Likvidácia
Likvidácia
Význam loga "WEEE" nachádzajúceho sa na štítkoch. Aplikovanie
doluozznačeného symbolu dodržuje smernicu EÚ s názvom "WEEE".
Tento symbol (platný iba pre štáty Európskej Únie) znamená, že
výrobok s týmto štítkom NESMIE byť odstránený spolu s bežným
domácim alebo priemyselným odpadom, ale sa musí odstrániť ako
delený odpad. Vyzývame preto konečného užívateľa, aby sa
skontaktoval s dodávateľom prístroja, či už je to výrobca alebo
predajca za účelom jeho likvidácie podľa zmluvných podmienok
predaja.
224/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
16
Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke 226
Splošne informacije 227
Shranjevanje
229
Priprava za montažo 230
Montaža
231
Pritrjevanje črpalke
232
Uporaba
234
Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator
235
Izključevanje naprave TV 902 Navigator 236
Not-Aus
236
Vzdrževanje
237
Odlaganje opadkov
238
Prevod navodil v izvirniku
225/292
16 Priročnik za Navodila
Varnostna navodila za Turbomolekularne
črpalke
Varnostna navodila za Turbomolekularne črpalke
Turbomolekularne črpalke, opisane v naslednjih navodilih vsebujejo
veliko količino kinetične energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s
specifičnimi masami rotorjev.
V primeru nepravilnega delovanje sistema, na primer pri dotiku
rotorja/statorja ali poškodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska
energija.
SVARILO!
226/292
Da bi se izognili poškodbam opreme in preprečili poškodbe osebja morate
natančno slediti navodilom za nameščanje iz tega priročnika!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Splošne informacije
16
Splošne informacije
Oprema je namenjena za profesionalno uporabo. Pred uporabo mora
uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije,
ki mu jih je posredoval Agilent. Agilent ni odgovoren za dogodke, ki
bi nastali zaradi neupoštevanja teh navodil, nepravilne uporabe in
nepooblaščenega poseganja v opremo ali kakršnega koli dejanja, ki
niso v skladu s standardi.
TV 902 Navigator je integriran sistem s turbomolekularno črpalko za
visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo s primernim krmilnikom.
Sistem lahko črpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi. Ni primeren za
črpanje tekočine ali trdnih delcev. Črpanje se izvaja preko hitre
turbine (maks. 38000 rpm), ki jo vodi visoko učinkovit 3-fazni
električni motor. TV 902 Navigator ne vsebuje onesnaževalnih
agentov in je primeren za »čisto« vakuumiranje.
Opremljen je s pomožnimi priljučki za dodaten ventilator, ki skrbi za
nazor šobe za zrak, ki je nadzorovana z računalnikom preko serijske
povezave (RS232 ali RS485).
Naslednji odstavki vsebujejo informacije, ki so potrebne za varnost
tistega, ki uporablja to opremo. Podrobne informacije lahko najdete v
prilogi »Tehnične informacije«.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
227/292
16 Priročnik za Navodila
Splošne informacije
Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu:
POZOR!
Sporočila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poškodbe
opreme.
SVARILO!
Opozorila so za to, da pritegnejo pozornost uporabnika na določene postopke
pri katerih lahko pride do resnih poškodb, če se jih ne drži.
OPOMBA
228/292
Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Shranjevanje
16
Shranjevanje
Da bi zagotovili maksimalni učinek in zanesljivost črpalk Agilent
Turbomolecular se morate držati naslednjih vodil:
POZOR!
Pri pošiljanju, premikanju in shranjevanju črpalk ne smete
preseči naslednjih specifikacij:
temperaturno območje: -20 °C do 70 °C
območje relativne vlažnosti: 0 do 95 % (brez kondenza)
Turbomolekularne črpalke morate pred prvo uporabo zmerja
zagnati mehko.
Življenjska doba turbomolekularne črpalke je 10 mesecev od
datum pošiljanja.
Če zaradi kakršnega koli razloga presežete življenjsko dobo, je treba črpalko
vrniti v tovarno. Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika
prodaje in storitev za Agilent Vacuum.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
229/292
16 Priročnik za Navodila
Priprava za montažo
Priprava za montažo
TV 902 Navigator je dobavljen v posebni zaščitni embalaži Če je
embalaža poškodovana, kontaktirajte lokalno prodajno pisarno. Pri
odpiranju sistema pazite, da vam ne pade iz rok oz. ga ne stresajte.
Embalažo zavrzite v skladu s pravili. Material je možno v celoti
reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85/399.
POZOR!
Komponent, ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami,
saj boste tako preprečili probleme puščanja. Zmeraj uporabite rokavice ali
drugo primerno zaščito.
OPOMBA
Normalna izpostavljenost na okolje ne more poškodovati naprave TV 902
Navigator. Kljub temu je priporočljivo, da je enota zaprta dokler je ne namestite v
sistem. S tem boste preprečili onesnaženje s prahom.
Slika 1
230/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Montaža
16
Montaža
POZOR!
Lepljiv in zaščitni pokrov ne odstranjujte dokler ne povežete turbo črpalko na
sistem.
Napravo nameščajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne
nameščajte v okolju, ki je izpostavljeno na atmosferske agente (dež,
sneg, led), prah, agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost
požara.
Tekom delovanja je treba spošotvati naslednje pogoje:
Maksimalen pritisk: 2 bara nad pritiskom atmosfere
temperatura: Od +10 °C od +35 °C
Relativna vlažnost: 0 – 90 % (brez kondenza)
V prisotnosti magnetnih polje mora črpalka biti zaščitena s
feromagnetnim ščitom. Za dodatne informacije glejte prilogo
"Tehnične informacije".
TV 902 Navigator morate priključiti na primarno črpalko (glej
"Tehnične informacije").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
231/292
16 Priročnik za Navodila
Pritrjevanje črpalke
Pritrjevanje črpalke
SVARILO!
Če pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo črpalke s
sistemom pride do velikega navora. Če povezava ne more izdržati takšnega
navora se lahko črpalka izključi iz sistema ali se ohišje motorja iztrga iz
nostilca črpalke. V takšnem primeru lahko priletijo kovinski delci iz črpalke
ali sistema in povzročijo resne poškodbe ali smrt in/ali poškodujejo
okoliško opremo.
Namestite TV 902 Navigator na stabilno pozicijo tako, da zmontirate
dovodno prirobnico turbo črpalke na prirobnico na sistemu tako, da
povezava lahko zdrži navor večji od 6800 Nm okoli osi.
Na primer, to prirobnico lahko namestite z močnimi jeklenimi vijaki
M10 (razred, višji od 8.8).
Spodnja tabela prikazuje število potrebnih vijakov in pripadajoči
navor.
PRIROBNICA
VELIKOST VIJAKOV
ŠT.
NAVOR
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
Turbo črpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na
vakuumsko ležišče s pomočjo primerne Agilent strojne opreme. Za
dodatne informacije glejte prilogo "Tehnične informacije" . TV 902
Navigator lahko montirate v številne pozicije.
232/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Pritrjevanje črpalke
16
OPOMBA
Naprave TV 902 Navigator ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo.
POZOR!
Po direktivi EN 61010-1 spada TV 902 Navigator v skupino za drugo
nameščanje (ali prekovoltažo). Napravo priljučite na napetost, ki je v vskladu z
zgornjo kategorijo. Naprava TV 902 Navigator ima vhodne/izhodne in serijske
priključke, ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako, da noben električni
del ni dosegljiv. Prepričajte se, da je izolacija naprave, priključene na TV 902
Navigator, primerna tudi v primerno ene napake, kar je opisano v direktivi EN
61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
233/292
16 Priročnik za Navodila
Uporaba
Uporaba
Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo. Pred uporabo
sistema povežite vse električne in pnevmatske povezave. Pri
segrevanju vakuumskega ležišča temperatura dovodne prirobnice ne
sme preseči 80 °C.
SVARILO!
Turbo črpalke ne uporabljajte, če dovodna prirobnica ni priključena na
vakuumsko ležišče. Tekom segrevanja se turbo črpalke ali njenih delov ne
dotikajte. Visoka temperatura lahko povzroči opekline.
POZOR!
Izogibajte se udarcem, oscilacijam ali nenadnim premikom črpalke tekom
delovanja. Nosilci se lahko poškodujejo. Za prezračevanje črpalke uporabite
zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev. Pritisk na oddušniku mora biti manjši
od 2 bara (nad pritiskom atmosfere). Za črpanje agresivnih plinov so te
črpalke opremljene s priključkom, ki omogoča stalen pretok inertnih plinov
(kot N2, Ar) za zaščito nosilcev (glej prilogo “Tehnične informacije”).
SVARILO!
Pri črpanju strupenih, vnetljivih ali radioaktivnih plinov, sledite zahtevanim
navodilom za odstranjevanje vsakega plina. Črpalke ne uporabljajte v
prisotnosti eksplozivnih plinov.
234/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Uporaba
16
Vključitev in uporaba naprave TV 902 Navigator
Za vključitev TV 902 Navigator morate priključiti napetost. Vgrajeni
kontroler samodejno prepozna zaporo in prisotnost signalov za vklop
ter zažene črpalko.
Način »mehkega zaganjanja« (»Soft Start«) je predviden za zagon
črpalke po daljšem obdobju neobratovanja. Za ponovno aktiviranje
»Soft Start« načina je potreben ustrezen programski ukaz (glej
odstavek »Opis komunikacije RS 232/485« v prilogi »Tehnične
informacije«).
Zelena LED dioda, ki se nahaja na sprednji plošči TV 902 Navigator, s
hitrostjo utripanja označuje delovne pogoje sistema:
Brez utripanja: Č•rpalka je normalno vrti;
Poč•asno utripanje (perioda približno 400 ms): Sistem je v stanju
ramp, breaking, stop ali v stanju »Waiting for interloc«;
Hitro utripanje (perioda približno 200 ms): Napaka.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
235/292
16 Priročnik za Navodila
Uporaba
Izključevanje naprave TV 902 Navigator
Za izključitev TV 902 Navigator morate izključiti napetost. Vgrajen
kontroler takoj zaustavi črpalko.
SVARILO!
Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo-V napajan preko triveznega
napajalnega kabla (glej tabelo delov, ki se lahko naročijo) z vtikačem
(potrjen na mednarodnem nivoju). Uporabljajte ta kabel in vtikač skupaj s
primerno ozemljeno vtičnico, tako, da vas tok ne strese in da zadovoljite EU
predpisom. Visoka napetost, ki je prisotna v krmilniku, lahko povzroči hude
poškodbe ali smrt. Preden začnete z vzdrževalnimi postopki v notranjosti,
izvlecite napajalni kabel.
Zaustavitev v sili
Za takojšenj izklop naprave TV 902 Navigator je treba izključiti
napetostni kabel iz napetosti.
236/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Priročnik za Navodila
Vzdrževanje
16
Vzdrževanje
Naprave TV 902 Navigator ni potrebno vzdrževati. Kakršno koli delo
na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje.
SVARILO!
Pred začetkom dela na sistemu, ga izključite iz napetosti, prečistite črpalko
tako, da odprete primerno odprtino, počakajte, da se rotor ustavi an
počakajte, da površinska temperatura črpalke pade pod 50 °C.
V primeru okvare, kontaktirajte lokalni Agilent servisni center, ki
vam lahko zamenja pokvarjeno črpalko z novo.
OPOMBA
Preden odnesete črpalko na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto, morate
izpolniti »Health and Safety« obrazec, ki je priložen navodilom in ga poslate
lokalni prodajni pisarni. Pred pošiljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v
embalažo sistema.
Črpalko je treba uničiti v skladu z določenimi nacionalnimi
standardi.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
237/292
16 Priročnik za Navodila
Odlaganje opadkov
Odlaganje opadkov
Pomen znamke "WEEE" na etiketah. Spodaj navedeni simbol je v
skladu z direktivo ES znano pod imenom "WEEE". Ta simbol (ki velja
samo v državah Evropske Skupnosti) pomeni, da izdelek NE SMETE
ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi
odpadki, temveč morate poskrbeti za njihovo primerno ločevanje.
Zato pozivamo uporabnike, da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri
prodajalcu seznani o postopku ločevanja in odstranitve odpadkov,
šele nato, ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe.
238/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
17
Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 240
General information 241
Storage
243
Preparation for Installation 244
Installation
245
Pump Fixing
246
Use248
Switching on and Use of TV 902 Navigator
249
TV 902 Navigator Switching off 250
Emergency Stop 250
Maintenance
251
Disposal
252
Original Instructions
239/292
17 Instructions for Use
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Safety Guideline for Turbomolecular Pumps
Turbomolecular pumps as described in the following operating
manual contain a large amount of kinetic energy due to the high
rotational speed in combination with the specific mass of their
rotors.
In case of a malfunction of the system for example rotor/stator
contact or even a rotor crash the rotational energy may be released.
WARNING!
240/292
To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel
the installation instructions as given in this manual should be strictly
followed!
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
General information
17
General information
This equipment is destined for use by professionals. The user should
read this instruction manual and any other additional information
supplied by Agilent before operating the equipment. Agilent will not
be held responsible for any events occurring due to non-compliance,
even partial, with these instructions, improper use by untrained
persons, non-authorized interference with the equipment or any
action contrary to that provided for by specific national standards.
The TV 902 Navigator is an integrated system with a turbo-molecular
pump for high and ultra-high vacuum applica-tions with its relevant
controller. The system can pumps any type of gas or gas compound. It
is not suitable for pumping liquids or solid particles.
The pumping action is obtained through a high speed turbine (max.
38000 rpm) driven by a high-performance 3-phase electric motor. The
TV 902 Navigator is free of contaminating agents and, therefore, is
suitable for applications requiring a "clean" vacuum.
It is equipped with auxiliary connectors to supply an additional fan,
to control the vent valve, to be controlled from a remote site by
means of an host computer connected through a serial line (RS232 or
RS485).
The following paragraphs contain all the information necessary to
guarantee the safety of the operator when using the equipment.
Detailed information is supplied in the appendix "Technical
Information".
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
241/292
17 Instructions for Use
General information
This manual uses the following standard protocol:
CAUTION!
The caution messages are displayed before procedures which, if not followed,
could cause damage to the equipment.
WARNING!
The warning messages are for attracting the attention of the operator to a
particular procedure or practice which, if not followed correctly, could lead to
serious injury.
NOTE
242/292
The notes contain important information taken from the text.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
Storage
17
Storage
In order to guarantee the maximum level of performance and
reliability of Agilent Turbomolecular pumps, the following guidelines
must be followed:
CAUTION!
when shipping, moving and storing pumps, the following
environmental specifications should not be exceeded:
temperature range: -20 °C to 70 °C
relative humidity range: 0 to 90 % (non condensing)
the turbomolecular pumps must be always soft-started when
received and operated for the first time by the customer
the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the
shipping date.
If for any reason the shelf life time is exceeded, the pump has to be returned to
the factory. Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service
representative for informations.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
243/292
17 Instructions for Use
Preparation for Installation
Preparation for Installation
The TV 902 Navigator is supplied in a special protective packing. If
this shows signs of damage which may have occurred during
transport, contact your local sales office. When unpacking the
system, be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or
shock vibration to it. Do not dispose of the packing materials in an
unauthorized manner. The material is 100% recyclable and complies
with EEC Directive 85/399.
CAUTION!
NOTE
In order to prevent outgassing problems, do not use bare hands to handle
components which will be exposed to vacuum. Always use gloves or other
appropriate protec-tion.
Normal exposure to the environment cannot damage the TV 902 Navigator.
Nevertheless, it is advisable to keep it closed until it is installed in the system,
thus preventing any form of pollution by dust.
Figure 1
244/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
Installation
17
Installation
CAUTION!
Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump
to the system.
Install this device only in indoor ambient and in any case don't use in
an environment exposed to atmospheric agents (rain, snow, ice),
dust, aggressive gases, or in explosive environments or those with a
high fire risk.
During operation, the following environmental conditions must be
respected:
maximum pressure: 2 bar above atmospheric pressure
temperature: from +10 °C to +35 °C
relative humidity: 0 – 90 % (non-condensing)
In the presence of magnetic fields the pump must be protected using
a ferromagnetic shield. See the appendix "Technical Information" for
detailed information.
The TV 902 Navigator must be connected to a primary pump (see
"Technical Information").
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
245/292
17 Instructions for Use
Pump Fixing
Pump Fixing
WARNING!
If a rotor failure occurs, the connection of the pump to the system could be
subjected to a significant torque. If the connection is not sufficient to
withstand that torque, the pump could detach from the system or the motor
housing could detach from the pump envelope. In this case metal fragments
could be projected from the pump or system, which could cause serious
injury or death and/or damage to surrounding equipment.
Fix the TV 902 Navigator in a stable position, mounting the inlet
flange of the turbopump to the system counter-flange, with a
connection capable of withstanding a torque of 6800 Nm around its
axis.
For example, this Bolted Flange can be fixed using high strength M10
steel screws (class higher than 8.8).
The following table shows the necessary number of screws and the
relevant fixing torque.
FLANGE
BOLT SIZE
N.
FIXING TORQUE
DN-160 Bolted
M10
8
5 Nm
The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the
vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware. See
the appendix "Technical Information" for a detailed description. The
TV 902 Navigator can be installed in any position.
246/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
Pump Fixing
NOTE
CAUTION!
17
The TV 902 Navigator cannot be fixed by means of its base.
The TV 902 Navigator belongs to the second installation (or overvoltage)
category as per directive EN 61010-1. Connect the device to a mains line that
satisfy the above category. The TV 902 Navigator has Input/Output and serial
communication connectors that must be connected to ex-ternal circuits in such a
way that no electrical part is accessible. Be sure that the insulation of the device
connected to the TV 902 Navigator is adequate even in the case of single fault as
per directive EN 61010-1.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
247/292
17 Instructions for Use
Use
Use
This paragraph details the fundamental operating procedures. Make
all electrical an pneumatic connections before the use of the system.
While heating the vacuum chamber, the temperature of the inlet
flange must not exceed 80 °C.
WARNING!
Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the
vacuum chamber. Do not touch the turbopump or any of its accessories
during the heating process. The high temperatures may cause burns.
CAUTION!
Avoid impacts, oscillations or harsh movements of the pump when in operation.
The bearings may become dam-aged. Use air or inert gas free from dust or
particles for venting the pump. The pressure at the vent port must be less than 2
bar (above atmospheric pressure). For pumping aggressive gases, these pumps
are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas (like N2, Ar) for
pump bearing protection (see the appendix "Technical Information").
WARNING!
When employing the pump for pumping toxic, flammable, or radioactive
gases, please follow the required procedures for each gas disposal. Do not
use the pump in presence of explosive gases.
248/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
Use
17
Switching on and Use of TV 902 Navigator
To switch on the TV 902 Navigator it is necessary to supply the
mains. The integrated controller automatically recognizes the
interlock and start signals presence and start up the pump.
“Soft Start” mode is provided to start the pump after a protracted
stop. This allows a better grease distribution in the bearings. To
enable the “Soft Start” mode it must be activated by the suitable
software command (see the paragraph “RS 232/485
COMMUNICATION DESCRIPTION” in the appendix “Technical
Information”).
The green LED located on the TV 902 Navigator base front panel
indicates with its flashing frequency the system operating conditions:
with no flashing: the pump is normally rotating;
slowly flashing (period of about 400 ms): the system is in ramp,
or in braking, or in Stop, or in “Waiting for interlock” status;
fast flashing (period of about 200 ms): error condition.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
249/292
17 Instructions for Use
Use
TV 902 Navigator Switching off
To switch off the TV 902 Navigator it is necessary to remove the
mains. The integrated controller immediately stops the pump.
WARNING!
The Turbo-V controller must be powered with 3-wire power cord (see
orderable parts table) and plug (internationally approved) for user's safety.
Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power
socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements. High voltage
developed in the controller can cause severe injury or death. Before servicing
the unit, disconnect the input power cable.
Emergency Stop
To immediately stop the TV 902 Navigator in an emergency condition
it is necessary to remove the supply cable from the mains plug.
250/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Instructions for Use
Maintenance
17
Maintenance
The TV 902 Navigator does not require any maintenance. Any work
performed on the system must be carried out by authorized
personnel.
WARNING!
Before carrying out any work on the system, disconnect it from the mains,
vent the pump by opening the appropriate valve, wait until the rotor has
stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls
below 50 °C.
In the case of breakdown, contact your local Agilent service center
who can supply a reconditioned pump to replace that broken down.
NOTE
Before returning the pump to the constructor for repairs, or advanced exchange
service, the "Health and Safety" sheet attached to this instruction manual must
be filled-in and sent to the local sales office. A copy of the sheet must be
inserted in the system package before shipping.
If a pump is to be scrapped, it must be disposed of in accordance
with the specific national standards.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
251/292
17 Instructions for Use
Disposal
Disposal
Meaning of the "WEEE" logo found in labels The following symbol
is applied in accordance with the EC WEEE (Waste Electrical and
Electronic Equipment) Directive. This symbol (valid only in
countries of the European Community) indicates that the product it
applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic
or industrial waste but must be sent to a differentiated waste
collection system. The end user is therefore invited to contact the
supplier of the device, whether the Parent Company or a retailer, to
initiate the collection and disposal process after checking the
contractual terms and conditions of sale.
252/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
TV 902 Navigator User Manual
18
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator 254
Pump Description 255
Controller Description 257
Technical Specification 258
TV 902 Navigator Outline 260
Interconnections 262
P3 - Vent
262
P4 – External fan 263
J1 – IN-OUT 263
P2 – Serial
273
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an External
Cable
274
RS 232/RS 485 Communication Description 275
Communication Format 275
Communication Protocol
275
Window Meanings 279
Air Cooling Kit
283
TV 902 with Navigator Controller 283
Connection of the Fore-Vacuum Pump 284
Connection to the Pump 285
Pump used in Presence of Magnetic Fields 286
Accessories and Spare Parts
286
Original Instructions
253/292
18 Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
Description of the TV 902 Navigator
The TV 902 Navigator is composed by a pump (869-8933R001) with
an envelope with fins and a shroud with two fans and a dedicated
navigator controller (SQ 337).
The pump is equipped with a custom ISO 160 F high vacuum flange.
The following pictures show the pump and the controller.
254/292
Figure 2
Controller model SQ 337
Figure 3
Pump model 869-8933R001
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
18
Pump Description
The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted
with 7 bladed stages and 2 Macrotorr stages. The turbine rotates in
an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange
end. The turbine is made of high-strength aluminium al-loy, machined
from a single block. Proceeding from the high vacuum to the for vacuum region, the turbine stages sequence is:
1st stage with a blade angle of 45°,
2nd stage with a blade angle of 35°,
3rd stage with a blade angle of 25°,
4th stage with a blade angle of 20°,
5th stage with a blade angle of 18°,
6th and 7th stages with a blade angle of 16°.
The Macrotorr stages are in the form of two discs.
The turbine rotor is supported by permanently lu-bricated high
precision ceramic ball bearings in-stalled on the forevacuum side of
the pump.
The static blades of the stator are made of stain-less steel. These are
supported and accurately po-sitioned by spacer rings.
The Macrotorr stators are in the form of self-positioning machined
discs with pumping channels and an opening restricted by the
corresponding rotor discs. These are made of aluminium alloy.
During normal operation, the motor is fed with a voltage of 54 Vac
three-phase at 646 Hz. To re-duce losses during start-up to a
minimum, the fre-quency increases according to a ramp with a higher
initial voltage/frequency ratio.
The pump has to be air cooled and an external fan is available.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
255/292
18 Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent
the pump from overheating. If the thermistor reading exceeds 60 °C
the pump fails and stops with Error Code = 1 (WIN 206). If the
thermistor reading is below 0 °C, the pump fails and stops with Error
Code = 0 (WIN 206). See Window Meanings pag. 79-80, for details.
The pump is balanced after assembly with a resid-ual vibration
amplitude less than 0.01 μm.
The pump can operate in any position and can be supported on the
high vacuum flange. The connection of the forevacuum on the side of
the pump is a KF 25 flange.
Figure 4
256/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Description of the TV 902 Navigator
18
Controller Description
The dedicated controller is a solid-state frequency converter which is
driven by a single chip micro-computer and is composed of two PCBs
which include power supply and 3-phase output, analog and
input/output section, microprocessor and digital section.
The power supply, together with the 3-phase out-put, converts the
single phase AC mains supply into a 3-phase, low voltage, medium
frequency output which is required to power the pump.
The controller can be operated by a remote host computer via the
serial connection. A Windows-based software is available (optional)..
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
257/292
18 Technical Information
Technical Specification
Technical Specification
Pumping speed (with inlet screen)
N2:
680 l/s
He:
810 l/s
H2:
850 l/s
Compression ratio
N2:
>1 x 108
He:
1 x 105
H2:
1 x 104
Base pressure
< 1 x 10-9 mbar
with recommended forepump
(< 1 x 10-9 Torr)
(According to standard DIN 28 428, the base
pressure is that measured in a leak-free test
dome, 48 hours after the completion of test dome
bake-out, with a Turbopump fitted with a ConFlat
flange and using the recommended pre-vacuum
pump)
Inlet flange
Custom ISO 160 F
Foreline flange
KF 25
Rotational speed
38000 rpm
Start-up time
< 4 minutes
Recommended forepump
DS 402, TriScroll 300
Operating position
Any
Operating ambient temperature
+10 °C to +35 °C
Bakeout temperature
80 °C at inlet flange max.
Vibration level (displacement)
< 0.01 μm at inlet flange
Lubricant
permanent lubrication
Cooling requirements
Forced air
Noise level
<55 dB(A) at 1 meter
Power supply:
258/292
Input voltage:
100 - 240 Vac (± 10%)
Input freq.:
50 - 60 Hz
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Technical Specification
Max input power:
600 VA
Stand-by power:
30 to 35 W
Max operating power:
18
320 W with forced air
Protection fuse
1x8A
Compliance with:
UNI EN 292-1
UNI EN 292-2
EN-CENELEC 55011
IEC 1000-4-2 (ex 801-2)
IEC 1000-4-3 (ex 801-3)
IEC 1000-4-4 (ex 801-4)
EN 61010-1 (IEC 1010-1)
EN 1012-2
Power cable
With European or NEMA plug
3 meters long (optional)
Serial communication (Navigator
kit)
RS232 cable with a 9-pin D type male connector
and a 9-pin D type female connector, and
Navigator software (optional)
Installation category
II
Pollution degree
2
Storage temperature
-20 ° C to +70 ° C
Weight kg (lbs)
NOTE
Pump:
23,5 (51.8)
Controller:
5.4 (12)
When the TV 902 Navigator has been stored at a temperature less than 5 °C,
wait until the system has reached the above mentioned temperature.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
259/292
18 Technical Information
TV 902 Navigator Outline
TV 902 Navigator Outline
The following figure shows the TV 902 Navigator outlines
(dimensions are in mm [inches]).
Figure 5
260/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
TV 902 Navigator Outline
Figure 6
18
Graph of nitrogen pumping speed vs inlet pressure
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
261/292
18 Technical Information
Interconnections
Interconnections
The following figure shows the TV 902 interconnections.
Figure 7
P3 - Vent
Figure 8
This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent
valve.
262/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
18
P4 – External fan
Figure 9
This is a dedicated 24 Vdc connector to supply the optional external
fan.
A shielded cable with ferrite is shipped with the controller (see
picture). The faston contact has to be connected on the front panel in
order to reduce noise and accomplish the EMC rules.
J1 – IN-OUT
Figure 10
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
263/292
18 Technical Information
Interconnections
This connector carries all the input and output signals to remote
control the TV 902 Navigator.
It is a 15-pins D type connector; the available signals are detailed in
the table, the following paragraphs describe the signal characteristics
and use.
PIN N.
SIGNAL NAME
INPUT/OUTPUT
1
START/STOP (+)
IN
2
START/STOP (-)
IN
3
INTERLOCK (+)
IN
4
INTERLOCK (-)
IN
5
SPEED SETTING (+)
IN
6
SPEED SETTING (-)
IN
7
SOFT START (+)
IN
8
SOFT START (-)
IN
9
+24 Vdc
OUT
10
RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN
OUT
11
PROGRAMMABLE SET POINT
OUT
12
RELAY CONTACT: NORMALLY OPEN
OUT
13
FAULT OUTPUT
OUT
14
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (+)
OUT
15
GROUND PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL (-)
OUT
Signal description
START/STOP: input signal to start or stop the pump. With the
supplied cover connector the START/STOP (+) signal is connected to
the +24 Vdc pin and the START/STOP (-) signal to the GROUND pin:
in this condition the pump automati-cally starts as soon as the
controller recognises the input supply ("Plug & Pump").
INTERLOCK: input signal to control the pump rotation. With the
supplied cover connector the IN-TERLOCK (+) signal is connected to
the +24 Vdc pin and the INTERLOCK (-)signal to the GROUND pin.
264/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
18
RELAY CONTACT: This relay output signal is en-abled when the
reference quantity chosen (fre-quency, current, time) is higher than
the set threshold. The signal can be “normally open” (it will close the
circuit when activated) or “normally close”.
The factory default setting are:
Frequency: 582 Hz (90 % of the max rotational frequency)
Hysteresis: 2 %
Activation type: normally open
Delay time: 0 sec.
These setting can be changed by serial interfaces (see “windows
meaning” table: windows 101 to 105). The same settings are used by
the “pro-grammable set point”.
SPEED SETTING: PWM input signal to set the pump speed. The
PWM signal characteristics must be the following:
NOTE
frequency: 100 Hz +/-20 %
ampitude: 24 V max
duty cycle range: from 25 % to 75 %
corresponding to an output frequency from 500 Hz to 646 Hz
linearly.
The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
265/292
18 Technical Information
Interconnections
PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL: this output signal is a voltage
(from 0 to 10 Vdc) proportional to a reference quantity (frequency or
power) set by the user. The default setting is the frequency (see the
following example diagram).
Figure 11
FAULT: this open collector output signal is ON when a system fault
condition is detected.
PROGRAMMABLE SET POINT: this open collector output signal is
enabled when the reference quantity chosen (frequency, current or
time) is higher than the set threshold. The signal can be "high level
active" (that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc
when activated), or "low level active" (that is the output is normally
at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated). Moreover, if the
reference quantity is the frequency or the current drawn, it is
possible to set the hysteresis (in % of the threshold value) to avoid
bouncing.
For example:
266/292
reference quantity: frequency
threshold: 500 Hz
hysteresis: 1%
activation type: "high level"
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
18
Figure 12
The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes
higher than 505 Hz (that is 500 Hz + 1% of 500 Hz), then the output
goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower
than 495 Hz (that is 500 Hz – 1% of 500 Hz).
It is possible to delay the set point checking for a programmable
delay time.
The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default
settings:
NOTE
reference quantity: frequency
threshold: 582 Hz
hysteresis: 2%
activation type: high level
delay time: 0 second
The Navigator Software (optional) allows the oper-ator to set all the
programmable feature.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
267/292
18 Technical Information
Interconnections
When no external input-output device is available this connector
must be closed with the supplied mating connector that short-circuits
the START and INTERLOCK inputs with the GROUND and 24 Vdc
OUT (see the following figure).
Figure 13
268/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
18
How to connect the open-collector inputs of the controller
Here below there are the typical connections of the open collector
input of SQ 337 to an external sys-tem. Two cases are considered:
1.
the customer supplies the 24 Vdc
2.
the customer does not supply the 24 Vdc
Please note that on the connector a 24 Vdc, 60 mA voltage, a
GROUND signal and the open col-lector pin are available.
Figure 14
Case 1
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
269/292
18 Technical Information
Interconnections
Figure 15
270/292
Case 2 with relay utilisation
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
Figure 16
18
Case 2 with transistor utilisation
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
271/292
18 Technical Information
Interconnections
How to connect the outputs of the controller
The following figure shows a typical logic output connection (relay
coil) but any other device may be connected e.g. a LED, a computer,
etc., and the related simplified circuit of the controller.
The following figure refers to the programmable set point signal on
pins 11 and 9.
Figure 17
Typical output connection
The following figure shows a typical output connection to a relay coil.
Figure 18
272/292
Output to a relay coil
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Interconnections
18
P2 – Serial
Figure 19
This is a 9 pin D-type serial input/output connector to control via an
RS 232 or RS 485 connection the TV 902 Navigator.
PIN N.
SIGNAL NAME
1
+5V OUT
2
TX (RS232)
3
RX (RS232)
4
A + (RS422 optional)
5
GND
6
A + (RS485)
7
B – (RS422 optional)
8
B – (RS485)
9
RESERVED
Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial
connection.
A serial communication kit with a serial cable and the Navigation
software is available (optional).
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
273/292
18 Technical Information
Procedure to Connect the Serial and I/O
Ports to an External Cable
Procedure to Connect the Serial and I/O Ports to an
External Cable
In the following picture, it has showed the right procedure to connect
a cable to the I/O or to the serial port.
A shielded cable of 3 m maximum length has to be utilized for both
serial and I/O port connection. Remove the plastic protection on both
the ends of the cable (picture b) and after it is necessary to connect
the wires to the single pins like showed in the picture c.
NOTE
Take care to have a good contact between the metallic case and the external
shield of the wire. Moreover, this operation has to be done at least on the
controller side.
In this way, you will be sure to reduce the influence of the external
noise and to accomplish the EMC requests. In picture d is showed the
cable assembled.
Picture a
Picture b
Picture d
Figure 20
274/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
RS 232/RS 485 Communication Description
Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the
connector P2.
The communication protocol is the same (see the structure below),
but only the RS 485 manages the address field. Therefore to enable
the RS 485 is necessary to select the type of communication as well
as the device address by means of the Navigator software.
Communication Format
8 data bit
no parity
1 stop bit
baud rate: 600/1200/2400/4800/9600
programmable
Communication Protocol
The communication protocol is a MASTER/SLAVE type where:
Host = MASTER
Controller = SLAVE
The communication is performed in the following way:
1.
the host (MASTER) send a MESSAGE + CRC to the controller
(SLAVE);
2.
the controller answer with an ANSWER + CRC to the host.
The MESSAGE is a string with the following format:
++++++
where:
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
275/292
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
NOTE
When a data is indicated between two quotes (‘...’) it means that the indicated
data is the corresponding ASCII character.
(Start of transmission) = 0x02
(Unit address) = 0x80 (for RS 232)
(Unit address) = 0x80 + device number (0 to 31) (for RS
485)
(Window) = a string of 3 numeric char-acter indicating the
window number (from ‘000’ to ‘999’); for the meaning of each
window see the relevant paragraph.
(Command) = 0x30 to read the window, 0x31 to write into
the window
= an alphanumeric ASCII string with the data to be
written into the window. In case of a reading command this field
is not present.
Data Type
Field Length
Valid
Characters
Logic (L)
1
‘0’ = OFF
‘1’ = ON
Numeric (N)
6
‘-‘, ‘.’, ‘0’ . . . ‘9’ right
justified with ‘0’
Alphanumeric (A)
10
from blank to ‘_’ (ASCII)
(End of transmission) = 0x03
= XOR of all characters subsequent to
and including the terminator. The value is
hexadecimal coded and indicated by two ASCII character.
276/292
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
The addressed SLAVE will respond with an AN-SWER whose
structure depends from the MESSAGE type.
When the MESSAGE is a reading command, the SLAVE will respond
transmitting a string with the same structure of the MESSAGE.
NOTE
Using the RS 485 interface, the message structure remains identical to the one
used for the RS 232 interface, the only difference being that the value assigned
to the ADDRESS
The controller can answers with the following re-sponse types:
Type
Length
Value
Description
Logic
1 byte
-
After a read instruction of a logic window
Numeric
6 bytes
-
After a read instruction of a numeric
window
Alphanumeric
10 bytes
-
After a read instruction of an
alphanumeric window
ACK
1 byte
(0x6)
The command execution has been
successfully completed
NACK
1 byte
(0x15)
The command execution has been failed
Unknown
Window
1 byte
(0x32)
The specified window in the command is
not a valid window
Data Type
Error
1 byte
(0x33)
The data type specified in the command
(Logic, Numeric or Alphanumeric) is not
accorded with the specified Window
Out of Range
1 byte
Win Disabled
1 byte
(0x34)
(0x35)
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
The value expressed during a write
command is out of the range value of the
specified window
The specified window is Read Only or
temporarily disabled (for example you
can’t write the Soft Start when the Pump
is running)
277/292
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
Examples:
Command: START
Source: PC
Destination: Controller
02
80
30
30
STX
ADDR
WINDOW
30
31
31
03
42
WR
ON
ETX
CRC
31
30
03
42
WR
OFF
ETX
CRC
33
Source: Controller
Destination: PC
02
80
06
03
38
STX
ADDR
ACK
ETX
CRC
35
Command: STOP
Source: PC
Destination: Controller
02
80
30
30
STX
ADDR
WINDOW
30
32
Source: Controller
Destination: PC
02
80
06
03
38
STX
ADDR
ACK
ETX
CRC
35
Command: SOFT-START (ON)
Source: PC
Destination: Controller
02
80
31
30
STX
ADDR
WINDOW
30
31
31
03
42
WR
ON
ETX
CRC
32
Source: Controller
Destination: PC
278/292
02
80
06
03
38
STX
ADDR
ACK
ETX
CRC
35
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
18
Command: SOFT-START (OFF)
Source: PC
Destination: Controller
02
80
31
30
STX
ADDR
WINDOW
30
31
30
03
42
WR
OFF
ETX
CRC
33
Source: Controller
Destination: PC
02
80
06
03
38
STX
ADDR
ACK
ETX
CRC
35
Window Meanings
N.
Read/
Write
Data
000
R/W
L
008
R/W
L
Description
Type
Admitted
Values
Start/Stop
Start = 1
(in remote mode the window is a read only)
Stop = 0
Remote
Remote = 1
(default) or Serial configuration
Serial = 0
(default = 1)
100
R/W
L
Soft Start
YES = 1
(write only in Stop condition)
NO = 0
101
R/W
N
Set Point type
0 = Frequency
1 = Current
2 = Time
(default = 0)
102
R/W
N
Set Point threshold (expressed in Hz, mA or s)
(default = 582)
103
R/W
N
Set Point delay: time between the pump start
and the set point check (seconds)
0 to 99999
Set Point signal activation type: the signal can be
"high level active" or "low level active"
0 = high level
active
104
R/W
L
(default = 0)
1 = low level active
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
279/292
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
N.
Read/
Write
Data
Description
Type
Admitted
Values
(default = 0)
105
106
R/W
R/W
N
L
Set point hysteresis
0 to 100
(in % of threshold)
(default = 2)
Intercooling
0 = NO
1 = YES
107
108
R/W
R/W
L
N
Active Stop
0 = NO
(write only in stop)
1 = YES
Baud rate
600 = 0
1200 = 1
2400 = 2
4800 = 3
9600 = 4
(default = 4)
109
W
L
110
R/W
L
111
120
R/W
R/W
L
N
Pump life/ cycle time/ cycle number reset
To reset write ‘1’
Interlock type
Impulse = 0
(default = 1)
Continuous = 1
Analog output type:
0 = frequency
output voltage signal proportional to frequency
or power
1 = power
Rotational frequency setting (Hz)
500 to 646
(default = 0)
(default = 646)
121
122
R/W
R/W
N
L
Maximum rotational frequency in Hz (active
only in Stop condition)
500 to 646
Set vent valve on/off
On = 1
(on = closed)
Off = 0
(default = 646)
(default = 1)
123
Reserved to Agilent service
124
125
R/W
L
Set the vent valve
operation
Automatic = 0 (see
note 1.)
On command = 1
(see note 2.)
126
280/292
R/W
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
N.
Read/
Write
Data
Description
130
Reserved to Agilent service
200
R
N
Pump current in mA dc
201
R
N
Pump voltage in Vdc
202
R
N
Pump power in W (pump current x pump voltage
duty cycle)
203
R
N
Driving frequency in Hz
204
R
N
Pump temperature in °C
0 to 60
205
R
N
Pump status
Stop = 0
Type
18
Admitted
Values
Waiting intlk = 1
Starting = 2
Auto-tuning = 3
Braking = 4
Normal = 5
Fail = 6
206
R
N
Error code
Bit description: see
the following figure
300
R
N
Cycle time in minutes (zeroed by the reset
command)
0 to 999999
301
R
N
Cycle number (zeroed by the reset command)
0 to 9999
302
R
N
Pump life in hours (zeroed by the reset
command)
0 to 999999
320 to 399
Reserved to Agilent service
400
R
A
CRC EPROM (QE)
QE8XXXX
(where “XXXX” are
variable)
402
R
A
CRC Param. (PA)
PA8XXXX
(where “XXXX” are
variable)
404
R
A
500
Reserved to Agilent service
503
R/W
N
CRC parameter structure
RS 485 address
XXXX
0 to 31
(default = 0)
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
281/292
18 Technical Information
RS 232/RS 485 Communication Description
N.
Read/
Write
Data
504
R/W
L
Description
Admitted
Type
Values
Serial type select
0 = RS 232
1 = RS 485
(default = 0)
NOTE
1.
Automatic means that when the controller stops, the vent valve is
opened with a delay defined by window n. 126; when the controller starts, the
vent valve is immediately closed.
2.
On command means that the vent valve is opened or closed by means of
window n. 122.
7
6
5
4
3
2
1
TOO HIGH LOAD
NO CONNECTION
SHORT CIRCUIT
OVERVOLTAGE
AUX FAIL
Figure 21
282/292
0
PUMP OVERTEMP.
CONTROLL. OVERTEMP.
POWER FAIL
Window N. 206 Bit Description
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Air Cooling Kit
18
Air Cooling Kit
TV 902 with Navigator Controller
An air cooling kit (mod. 5214 NM) is available to improve the TV 902
cooling during heavy operational conditions.
Single fan specifications:
air flow: 187 m3/h
input voltage: 24 Vdc
dimensions: 127 x 127 x 38 mm (5 x 5 x 1.5 in.)
power: 4.6 W
To supply the fan it is necessary to connect the fan supply to the P4
connector of the controller with the special shielded cable included
into the kit to reduce noises and to accomplish to EMC norms.
Figure 22
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
283/292
18 Technical Information
Connection of the Fore-Vacuum Pump
Connection of the Fore-Vacuum Pump
A flange KF 40 NW is available to connect the TV 902 Navigator pump
to the fore-vacuum pump. A hose or vacuum approved pipe can be
used. If a rigid pipe is used, any vibration generated by the
mechanical pump must be eliminated through the use of bellows.
NOTE
284/292
The TV 902 Navigator pump is characterized by its high compression ratio also
for oil vapors. When using a mechanical oil-sealed pump, it is advisable to
install a suitable trap between the turbopump and the fore-vacuum pump in
order to prevent oil back-streaming.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Technical Information
Connection to the Pump
18
Connection to the Pump
Figure 23
Also the pump cable is shielded and is equipped with ferrite (see the
following picture). Pump cable length must not exceed 1,5 m.
Figure 24
The turbopump is connected to the controller through an 8-pin
connector. Pins B, C and D are the 3-phase supply to the motor, pins
A and F are connected to the temperature sensor (NTC type, 30 KΩ
resistance at 25 °C) and pin E is connected to the pump ground; pins
G and H are not connected.
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
285/292
18 Technical Information
Pump used in Presence of Magnetic Fields
If the temperature sensor is disconnected, the pump will not start. To
prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 °C,
the sensor automatically cuts out the power supply.
Pump used in Presence of Magnetic Fields
Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular
pump that tend to oppose to its rotation. The result is increased
electrical power consump-tion by the motor, most of which is
dissipated in the rotor. Since the rotor is not in contact with the
stator the above power can leave the rotor mainly by radia-tion and
hence the rotor may be overheated while static parts of the pump
remain cool. This effect is strongly dependant from the inten-sity,
time function and distribution of the magnetic field. In general,
therefore, an increase in pump current can be expected. If this
increase is lower than 50 % of the current value drawn by the motor
in high vacuum opera-tion, no particular problem should be
expected. However if the effect is greater, than the case should be
carefully reviewed by Agilent’s special-ist. As a matter of fact, in case
of high magnetic fields, also important forces might be generated and
applied to the rotor.
Accessories and Spare Parts
Description
286/292
Part number
Mains cable NEMA Plug, 3m long
969-9958
Mains cable European Plug, 3m long
969-9957
TV 902 Navigator User Manual / 87-900-999-01 (A)
Request for Return Form
United States
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
Sales and Service Offices
India
Agilent Technologies India Pvt. Ltd.
Vacuum Product Division
G01. Prime corporate Park,
230/231, Sahar Road, Opp. Blue Dart Centre,
Andheri (East), Mumbai – 400 099.India
Tel: +91 22 30648287/8200
Fax: +91 22 30648250
Toll Free: 1800 113037
Italy
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54
10040 Leinì, (Torino) - Italy
Tel.: +39 011 997 9111 Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Southeast Asia
Agilent Technologies Sales Sdn Bhd
Vacuum Products Division
Unit 201, Level 2 uptown 2,
2 Jalan SS21/37, Damansara Uptown
47400 Petaling Jaya,
Selangor, Malaysia
Tel : +603 7712 6106
Fax: +603 6733 8121
Taiwan
Agilent Technologies Taiwan Limited
Vacuum Products Division (3F)
20 Kao-Shuang Rd.,
Pin-Chen City, 324
Taoyuan Hsien , Taiwan, R.O.C.
Tel. +886 34959281
Toll Free: 0800 051 342
Canada
Central coordination through: Agilent Technologies
Vacuum Products Division
121 Hartwell Avenue
Lexington, MA 02421 - USA
Tel.: +1 781 861 7200
Fax: +1 781 860 5437
Toll-Free: +1 800 882 7426
Japan
Agilent Technologies Japan, Ltd.
Vacuum Products Division
8th Floor Sumitomo Shibaura Building
4-16-36 Shibaura Minato-ku Tokyo 108-0023 - Japan
Tel.: +81 3 5232 1253
Fax: +81 3 5232 1710
Toll-Free: 0120 655 040
UK and Ireland
Agilent Technologies UK, Ltd.
Vacuum Products Division
6 Mead Road Oxford Industrial Park
Yarnton, Oxford OX5 1QU – UK
Tel.: +44 (0) 1865 291570
Fax: +44 (0) 1865 291571
Toll free: 00 800 234 234 00
China
Agilent Technologies (China) Co. Ltd
Vacuum Products Division
No.3, Wang Jing Bei Lu,
Chao Yang District,
Beijing, 100102
China
Tel.: +86 (10) 6439 7718
Toll-Free: 800 820 6556
France
Agilent Technologies France
Vacuum Products Division
7 Avenue des Tropiques
Z.A. de Courtaboeuf - B.P. 12
91941 Les Ulis cedex - France
Tel.: +33 (0) 1 69 86 38 84
Fax: +33 (0) 1 69 86 29 88
Toll free: 00 800 234 234 00
Germany and Austria
Agilent Technologies
Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11
14 35
64289 Darmstadt – Germany
Tel.: +49 (0) 6151 703 353
Fax: +49 (0) 6151 703 302
Toll free: 00 800 234 234 00
Korea
Agilent Technologies Korea, Ltd.
Vacuum Products Division
Shinsa 2nd Bldg. 2F 966-5 Daechi-dong
Kangnam-gu, Seoul
Korea 135-280
Tel.: +82 2 3452 2452
Fax: +82 2 3452 2451
Toll-Free: 080 222 2452
Mexico
Agilent Technologies
Vacuum Products Division
Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle
C.P. 03100 – Mexico, D.F.
Tel.: +52 5 523 9465
Fax: +52 5 523 9472
Other Countries
Agilent Technologies Italia S.p.A.
Vacuum Products Division
Via F.lli Varian, 54 10040 Leinì, (Torino) Italy
Tel.: +39 011 997 9111
Fax: +39 011 997 9350
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Benelux
Agilent Technologies Netherlands B.V.
Vacuum Products Division
Herculesweg 8
4338 PL Middelburg
The Netherlands
Tel.: +31 118 671570
Fax: +31 118 671569
Toll-Free: 00 800 234 234 00
Singapore
Agilent Technologies Singapore Pte. Ltd,
Vacuum Products Division
Agilent Technologies Building,
1 Yishun Avenue 7,
Singapore 768923
Tel : (65) 6215 8045
Fax : (65) 6754 0574
© Agilent Technologies, Inc. 2011
Printed in ITALY
04/2011
Publication Number: 87-900-999-01 (A)
Customer Support & Service
NORTH AMERICA:
Toll Free: 800 882 7426, Option 3
vpl-ra@agilent.com
EUROPE:
Toll Free: 00 800 234 234 00
vpt-customercare@agilent.com
PACIFIC RIM:
please visit our website for individual office
information http://www.agilent.com
Worldwide Web Site, Catalog and Order
On-line:
www.agilent.com
Representative in most countries
12/10
Source Exif Data:
ExifTool Version Number : 10.40 File Name : download Directory : /home/ubuntu/manual/scrapers/tmp/545/89702010f54d5419b52ec080afaf5a9ca46ecaa96bb3fb5a59d1129e9307023f File Size : 3.1 MB File Modification Date/Time : 2018:01:22 12:14:13+00:00 File Access Date/Time : 2018:01:22 12:14:13+00:00 File Inode Change Date/Time : 2018:01:22 12:14:13+00:00 File Permissions : rw-rw-r-- Error : Unknown file typeEXIF Metadata provided by EXIF.tools