Physik Instrumente N 565 Datenblatt Datasheet CN

N-565-Datasheet-CN N-565 Linear Positioner with the Highest Precision

User Manual: Physik Instrumente N-565 Linear Positioner with the Highest Precision

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06.11.2017
具有亚纳米级编码器分辨率的
NEXACT®
压电步进驱动器
NEXACT®
参考类别线性定位器
带NEXACT®
PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴
承，可实现最高精度。
PiezoWalk®
技术：高分辨率、低磨损
PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分
辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理
，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一
个动轮步进。静止状态下，PiezoWalk®步进驱动器自锁，不消耗能量，无热量产生。
带
PIOne
线性编码器用于直接位置测量
高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外，由于信号
周期短、信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。
有效专利
在压电陶瓷步进驱动器（NEXACT®、NEXLINE®）技术领域，PI拥有以下专利或专利申请：
DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2
应用领域
样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动
化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。.
N-565
带线性编码器实现最高精度
超高精度：最小位移为
2
纳米，直接测
量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米
长行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米
关机后自锁：节约能量，减少热量产生
PiezoWalk®技术带来长使用寿命和高可
靠性
紧凑型设计：宽为65毫米、高为20毫米
06.11.2017
规格
运动
N-565.160 N-565.260 N-565.360
单位
公差
主动轴 X X X
行程 13 26 52 毫米
速度，闭环 10 10 10 毫米/秒 最大
系统分辨率 0.5 0.5 0.5 纳米
双向重复性 12 12 12 纳米 典型值
单向重复精度 ±5 ±5 ±5 纳米 典型值
直线度/平面度 ±1 ±1 ±1.5 微米 典型值
螺距 ±30 ±40 ±80 微弧度 典型值
偏转角 ±30 ±30 ±30 微弧度 典型值
机械特性
N-565.160 N-565.260 N-565.360
单位
公差
Z向负载能力 20 20 20 牛 最大
总质量 0.3 0.4 0.6 千克 ±5 %
驱动特性
N-565
单位
驱动类型 NEXACT®压电陶瓷步进驱动器
推拉力 10 牛 最大
保持力（被动） 10 牛 最小
定位
N-565.x60
单位
集成传感器 PIOne增量线性编码器
测量原理 光学
测量方法 直接测量
传感器分辨率 0.5 纳米
最小位移 2 纳米 典型值
单向重复精度 ±5 纳米 典型值
双向重复性 12 纳米 典型值
参考点开关 光学
其他
N-565.x60
单位
工作温度范围 10 到 50 °C
工作电压 -10 到 45 伏
材料 铝，阳极氧化致黑
电机连接器 HD Sub-D 15（公头）
传感器连接 Sub-D 15（母头）
N-565平台系列取代LPS-65系列。
06.11.2017
图纸和图片
P-565
，尺寸单位是
mm
。
N-565.160
：
a=75
；
b=70
；
c=80 N-565.260
：
a=100
；
b=100
；
c=110 N-
565.360
：
a=150
；
b=150
；
c=160
。
06.11.2017
订购信息
N-565.160
精密线性定位平台，行程为13毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 80 ×
20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器
N-565.260
精密线性定位平台，行程为26毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 110 ×
20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器
N-565.360
精密线性定位平台，行程为52毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 160 ×
20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器
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