Physik Instrumente N 565 Datenblatt Datasheet CN
N-565-Datasheet-CN N-565 Linear Positioner with the Highest Precision
User Manual: Physik Instrumente N-565 Linear Positioner with the Highest Precision
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带线性编码器实现最高精度 具有亚纳米级编码器分辨率的NEXACT®压电步进驱动器 N-565 超高精度：最小位移为2纳米，直接测 量PIOne编码器的分辨率为0.5纳米 长行程：13 毫米、26 毫米或52 毫米 关机后自锁：节约能量，减少热量产生 PiezoWalk®技术带来长使用寿命和高可 靠性 紧凑型设计：宽为65毫米、高为20毫米 NEXACT®参考类别线性定位器 带NEXACT® PiezoWalk®驱动器的线性定位器可实现长行程范围内的纳米级高精度定位。其配置直接测量线性编码器和交叉滚柱轴 承，可实现最高精度。 PiezoWalk®技术：高分辨率、低磨损 PiezoWalk®技术将压电陶瓷促动器与压电电机的技术优势结合在一起。PiezoWalk®步进驱动器不仅能提供亚纳米级分 辨率、较大的力和高刚性，而且根据其驱动原理，其还能实现理论上无限的行程。不同于其他压电机动化驱动器原理 ，PiezoWalk®步进驱动器不受滑动摩擦作用的影响。其是基于几个压电陶瓷促动器的静摩擦接触，这几个促动器沿一 个动轮步进。静止状态下，PiezoWalk®步进驱动器自锁，不消耗能量，无热量产生。 带PIOne线性编码器用于直接位置测量 高分辨率PIOne编码器由PI研发，在对测量数据进行相应处理后，可实现远低于1纳米的位置分辨率。此外，由于信号 周期短、信号质量高，PIOne编码器的线性误差小于1 %。PIOne编码器在研究参考信号时支持方向感应。 有效专利 在压电陶瓷步进驱动器（NEXACT®、NEXLINE®）技术领域，PI拥有以下专利或专利申请： DE10148267B4, EP1267478B1, EP2209202B1, EP2209203B1, US6800984B2 应用领域 样本操纵、样本定位、高精度和高稳定性光学或机械部件、半导体行业中的精密机械部件、显微操纵、显微镜、自动 化、有限空间内的应用、真空或无磁性环境中的应用。. 06.11.2017 规格 运动 N-565.160 N-565.260 N-565.360 主动轴 X X X 行程 13 26 52 毫米 速度，闭环 10 10 10 毫米/秒 系统分辨率 0.5 0.5 0.5 纳米 双向重复性 12 12 12 纳米 典型值 单向重复精度 ±5 ±5 ±5 纳米 典型值 直线度/平面度 ±1 ±1 ±1.5 微米 典型值 螺距 ±30 ±40 ±80 微弧度 典型值 偏转角 ±30 ±30 ±30 微弧度 典型值 机械特性 N-565.160 N-565.260 N-565.360 单位 公差 Z向负载能力 20 20 20 牛 最大 总质量 0.3 0.4 0.6 千克 ±5 % 驱动特性 N-565 单位 公差 驱动类型 NEXACT®压电陶瓷步进驱动器 推拉力 10 牛 最大 保持力（被动） 10 牛 最小 定位 N-565.x60 单位 公差 集成传感器 PIOne增量线性编码器 测量原理 光学 测量方法 直接测量 传感器分辨率 0.5 纳米 最小位移 2 纳米 典型值 单向重复精度 ±5 纳米 典型值 双向重复性 12 纳米 典型值 参考点开关 光学 其他 N-565.x60 单位 公差 工作温度范围 10 到 50 °C 工作电压 -10 到 45 伏 材料 铝，阳极氧化致黑 电机连接器 HD Sub-D 15（公头） 传感器连接 Sub-D 15（母头） 单位 公差 最大 N-565平台系列取代LPS-65系列。 06.11.2017 图纸和图片 P-565，尺寸单位是mm。N-565.160：a=75；b=70；c=80 N-565.260：a=100；b=100；c=110 N565.360：a=150；b=150；c=160。 06.11.2017 订购信息 N-565.160 精密线性定位平台，行程为13毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 80 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器 N-565.260 精密线性定位平台，行程为26毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 110 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器 N-565.360 精密线性定位平台，行程为52毫米，PIOne线性编码器，分辨率为0.5纳米，驱动力为10牛，尺寸为65 × 160 × 20毫米（宽 × 长 × 高），NEXACT®压电步进驱动器 询问定制设计！ 06.11.2017
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File Type : PDF File Type Extension : pdf MIME Type : application/pdf PDF Version : 1.4 Linearized : Yes Language : DE-DE Tagged PDF : Yes XMP Toolkit : Adobe XMP Core 5.6-c015 84.159810, 2016/09/10-02:41:30 Modify Date : 2017:11:06 13:44:36+01:00 Create Date : 2017:11:06 13:44:35+01:00 Metadata Date : 2017:11:06 13:44:36+01:00 Creator Tool : Acrobat PDFMaker 15 für Word Document ID : uuid:70ac55ed-8d21-4ba4-8b8f-31131ca4c30f Instance ID : uuid:49b9329b-551e-4658-a900-37abac4f780b Subject : 2 Format : application/pdf Title : N-565 Datenblatt Creator : Hoelzer, Christoph Producer : Adobe PDF Library 15.0 Source Modified : D:20171106124424 Company : PI Page Layout : OneColumn Page Count : 4 Author : Hoelzer, ChristophEXIF Metadata provided by EXIF.tools